JPH02272309A - 輪郭検査装置 - Google Patents
輪郭検査装置Info
- Publication number
- JPH02272309A JPH02272309A JP9481189A JP9481189A JPH02272309A JP H02272309 A JPH02272309 A JP H02272309A JP 9481189 A JP9481189 A JP 9481189A JP 9481189 A JP9481189 A JP 9481189A JP H02272309 A JPH02272309 A JP H02272309A
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- Japan
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- 239000000463 material Substances 0.000 claims abstract description 3
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 claims description 2
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- 239000004925 Acrylic resin Substances 0.000 description 2
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- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
この発明は、柱状ワーク例えば積層構造体としての磁気
ヘッドを逆光照明によって撮像し、そのシルエット画像
の処理に基づいてワークの輪郭形状ないし輪郭寸法を検
査する装置に関する。
ヘッドを逆光照明によって撮像し、そのシルエット画像
の処理に基づいてワークの輪郭形状ないし輪郭寸法を検
査する装置に関する。
従来例について、その側面図である第３図を参照しなが
ら説明する。同図において、輪郭検査の対象としてのワ
ーク１が載置台８に置かれる。ここで、ワークｌは同一
な横断面をもつ柱状部材、たとえば積層構造体としての
磁気ヘッドである。 載置台８は、透光性材料たとえばアクリル樹脂からなり
、ワーク１がその軸線方向に嵌め込み可能な凹部９が形
成されている。凹部９の底面９ａにワーク１が載置され
、外周面９ｂがワーク１を横方向について位置決めする
。面取り９Ｃはワークを凹部９に嵌め込みやすくする。 図の下方から矢印のようにワーク１の軸線方向に逆光照
明が当てられ、上方にワーク１の軸線に光軸を一致させ
てＴＶカメラ４が設置される。 このＴＶカメラ４の映像信号によって、ワーク１をその
軸線方向から見たときの輪郭がシルエット画像として得
られる。このシルエット画像を処理してワーク１の輪郭
検査、つまり輪郭形状ないし輪郭寸法の各標準値に対す
る一致度合の判定がなされる。
ら説明する。同図において、輪郭検査の対象としてのワ
ーク１が載置台８に置かれる。ここで、ワークｌは同一
な横断面をもつ柱状部材、たとえば積層構造体としての
磁気ヘッドである。 載置台８は、透光性材料たとえばアクリル樹脂からなり
、ワーク１がその軸線方向に嵌め込み可能な凹部９が形
成されている。凹部９の底面９ａにワーク１が載置され
、外周面９ｂがワーク１を横方向について位置決めする
。面取り９Ｃはワークを凹部９に嵌め込みやすくする。 図の下方から矢印のようにワーク１の軸線方向に逆光照
明が当てられ、上方にワーク１の軸線に光軸を一致させ
てＴＶカメラ４が設置される。 このＴＶカメラ４の映像信号によって、ワーク１をその
軸線方向から見たときの輪郭がシルエット画像として得
られる。このシルエット画像を処理してワーク１の輪郭
検査、つまり輪郭形状ないし輪郭寸法の各標準値に対す
る一致度合の判定がなされる。
以上説明したように、従来の技術では、ＴＶ左カメラの
映像信号によって、ワーク１をその軸線方向から見たと
きの輪郭がシルエット画像として得られる。ＴＶ左カメ
ラの一水平走査分の映像信号が、第４図の波形図で示さ
れる。同図において、実線表示の映像信号ｓｂは、−点
鎖線表示の２値化信号Ｓｏに基づいて２値化され、Ｂで
示されるワーク１に係る一つの輪郭寸法が得られる。こ
の場合、映像信号ｓｂの暗部（底部）から明部（上部）
に至る立ち上がり線が直立しないで、わずかながら傾斜
している。すなわち、輪郭としてのシルエット画像の外
周が若干ぼけることを意味する。 これは、ワークｌの外周面が逆光照明を受けないため、
陰になるからである。したがって、２値化信号Ｓｏの決
め方によって値Ｂは変動し、正確な輪郭寸法が得られな
い、という問題がある。 この発明の課題は、従来の技術がもつ以上の問題点を解
消し、ワークの輪郭の明確なシルエット画像に基づいて
正確な検査が可能な輪郭検査装置を提供することにある
。
映像信号によって、ワーク１をその軸線方向から見たと
きの輪郭がシルエット画像として得られる。ＴＶ左カメ
ラの一水平走査分の映像信号が、第４図の波形図で示さ
れる。同図において、実線表示の映像信号ｓｂは、−点
鎖線表示の２値化信号Ｓｏに基づいて２値化され、Ｂで
示されるワーク１に係る一つの輪郭寸法が得られる。こ
の場合、映像信号ｓｂの暗部（底部）から明部（上部）
に至る立ち上がり線が直立しないで、わずかながら傾斜
している。すなわち、輪郭としてのシルエット画像の外
周が若干ぼけることを意味する。 これは、ワークｌの外周面が逆光照明を受けないため、
陰になるからである。したがって、２値化信号Ｓｏの決
め方によって値Ｂは変動し、正確な輪郭寸法が得られな
い、という問題がある。 この発明の課題は、従来の技術がもつ以上の問題点を解
消し、ワークの輪郭の明確なシルエット画像に基づいて
正確な検査が可能な輪郭検査装置を提供することにある
。
この課題を解決するために、本発明に係る輪郭検査装置
は、 透光性材料からなる載置台の凹部に軸線方向に嵌め込ま
れその軸線方向について同一横断面をもつ柱状ワークを
、前記載置台の凹部とは逆側から照射する前記軸線方向
の逆光照明によって撮像して得られる前記ワークのシル
エンド画像の処理に基づき前記ワークの軸線方向から見
た輪郭を検査する装置であって、 前記凹部は、その開口部の周縁が拡散光を照射する斜面
として形成され、この斜面を除く内周面の前記軸線方向
の寸法が前記ワークの長さ未満であることを特徴とする
。
は、 透光性材料からなる載置台の凹部に軸線方向に嵌め込ま
れその軸線方向について同一横断面をもつ柱状ワークを
、前記載置台の凹部とは逆側から照射する前記軸線方向
の逆光照明によって撮像して得られる前記ワークのシル
エンド画像の処理に基づき前記ワークの軸線方向から見
た輪郭を検査する装置であって、 前記凹部は、その開口部の周縁が拡散光を照射する斜面
として形成され、この斜面を除く内周面の前記軸線方向
の寸法が前記ワークの長さ未満であることを特徴とする
。
逆光が斜面から拡散光として放出され、その拡散光の一
部がワークの外周面を照射して、この外周面に陰が生じ
るのを防止する。その結果、ワークの輪郭を明確なシル
エット画像として得ることができる。
部がワークの外周面を照射して、この外周面に陰が生じ
るのを防止する。その結果、ワークの輪郭を明確なシル
エット画像として得ることができる。
本発明に係る輪郭検査装置の実施例について、以下に図
面を参照しながら説明する。 第１図はこの実施例の側面図である。同図において、１
は輪郭検査の対象としてのワークで、第３図に示した従
来例におけるのと同じである。２は載置台で、透光性材
料たとえばアクリル樹脂からなり、ワーク１がその軸線
方向に嵌め込み可能な凹部３が形成されている。凹部３
の底面３ａにワーク１が載置され、外周面３ｂがワーク
１を横方向について位置決めする。斜面３ｃは凹部３の
開口部の周縁として形成され、表面に微小な凹凸をもつ
。ここで、ワーク１の長さ （縦方向寸法）は、凹部３
の外周面３ｂの縦方向寸法よりかなり大きく決められて
いる。また、従来例におけるのと同様に、図の下方から
矢印のようにワークｌの軸線方向に逆光照明が当てられ
、上方にワーク１の軸線に光軸を一致させてＴＶ左カメ
ラが設置される。 この実施例の作用は次のとおりである。第２図はこの実
施例におけるＴＶ左カメラからの映像信号Ｓａの一水平
走査分の波形図である。この映像信号Ｓａの暗部から明
部への立ち上がりは、第３図に示した従来例におけるの
と異なり、はぼ直立している。言いかえれば、シルエッ
ト画像の外周（輪郭）が非常に明確である。この理由は
、第１図において逆光照明の一部が載置台２を透過して
斜面３Ｃから出るとき、微小な凹凸によって拡散し、こ
の拡散光の一部がワーク１の外周面を照射して、ここに
陰が生じないからである。 したがって、２値化信号ＳＯによって映像信号Ｓａを２
値化したときに得られる、ある輪郭寸法に対応する値Ａ
は、２値化信号Ｓｏの決め方によって変動することがな
く、輪郭形状ないし輪郭寸法の測定精度を向上させるこ
とができる。 ところで、第１図における凹部３の斜面３Ｃはその形状
が台形円錐の外周面に相当しているが、これに限定され
ることはなく、表面に微小な凹凸をもちさえすれば、つ
まり光拡散性を備えてさえいれば、湾曲面であってもよ
い。
面を参照しながら説明する。 第１図はこの実施例の側面図である。同図において、１
は輪郭検査の対象としてのワークで、第３図に示した従
来例におけるのと同じである。２は載置台で、透光性材
料たとえばアクリル樹脂からなり、ワーク１がその軸線
方向に嵌め込み可能な凹部３が形成されている。凹部３
の底面３ａにワーク１が載置され、外周面３ｂがワーク
１を横方向について位置決めする。斜面３ｃは凹部３の
開口部の周縁として形成され、表面に微小な凹凸をもつ
。ここで、ワーク１の長さ （縦方向寸法）は、凹部３
の外周面３ｂの縦方向寸法よりかなり大きく決められて
いる。また、従来例におけるのと同様に、図の下方から
矢印のようにワークｌの軸線方向に逆光照明が当てられ
、上方にワーク１の軸線に光軸を一致させてＴＶ左カメ
ラが設置される。 この実施例の作用は次のとおりである。第２図はこの実
施例におけるＴＶ左カメラからの映像信号Ｓａの一水平
走査分の波形図である。この映像信号Ｓａの暗部から明
部への立ち上がりは、第３図に示した従来例におけるの
と異なり、はぼ直立している。言いかえれば、シルエッ
ト画像の外周（輪郭）が非常に明確である。この理由は
、第１図において逆光照明の一部が載置台２を透過して
斜面３Ｃから出るとき、微小な凹凸によって拡散し、こ
の拡散光の一部がワーク１の外周面を照射して、ここに
陰が生じないからである。 したがって、２値化信号ＳＯによって映像信号Ｓａを２
値化したときに得られる、ある輪郭寸法に対応する値Ａ
は、２値化信号Ｓｏの決め方によって変動することがな
く、輪郭形状ないし輪郭寸法の測定精度を向上させるこ
とができる。 ところで、第１図における凹部３の斜面３Ｃはその形状
が台形円錐の外周面に相当しているが、これに限定され
ることはなく、表面に微小な凹凸をもちさえすれば、つ
まり光拡散性を備えてさえいれば、湾曲面であってもよ
い。
以上説明したように、この発明においては、斜面からの
拡散光の一部がワークの外周面を照射して、この外周面
に陰が生じるのを防止するから、ワークの輪郭が明確な
シルエット画像として得られる。 したがって、この発明によれば、従来の技術に比べ次の
ようなすぐれた効果がある。 （１）明確なシルエット画像に基づいて高精度の輪郭形
状ないし輪郭寸法が測定できるから、検査を正確になし
うる。たとえば、ある測定例で従来、寸法精度が１００
μＩ程度であったのが、１０μｍ程度に向上させること
ができた。 （２）手段が簡単であるから、実施が容易になるととも
に、コスト増分がほとんど無くてすむ。
拡散光の一部がワークの外周面を照射して、この外周面
に陰が生じるのを防止するから、ワークの輪郭が明確な
シルエット画像として得られる。 したがって、この発明によれば、従来の技術に比べ次の
ようなすぐれた効果がある。 （１）明確なシルエット画像に基づいて高精度の輪郭形
状ないし輪郭寸法が測定できるから、検査を正確になし
うる。たとえば、ある測定例で従来、寸法精度が１００
μＩ程度であったのが、１０μｍ程度に向上させること
ができた。 （２）手段が簡単であるから、実施が容易になるととも
に、コスト増分がほとんど無くてすむ。
第１図は本発明に係る実施例の側面図、第２図はこの実
施例における映像信号の波形図、第３図は従来例の側面
図、 第４図はこの従来例における映像信号の波形図である。 符号説明 １：ワーク、２：載置台、３：凹部、３ａ ；底面、３
ｂ ：外周面、３Ｃ：斜面、４：ＴＶカメラ。 ハン 第１ｎ 第３図 ｈ 第２図 矛４図
施例における映像信号の波形図、第３図は従来例の側面
図、 第４図はこの従来例における映像信号の波形図である。 符号説明 １：ワーク、２：載置台、３：凹部、３ａ ；底面、３
ｂ ：外周面、３Ｃ：斜面、４：ＴＶカメラ。 ハン 第１ｎ 第３図 ｈ 第２図 矛４図
Claims (1)
- １）透光性材料からなる載置台の凹部に軸線方向に嵌め
込まれその軸線方向について同一横断面をもつ柱状ワー
クを、前記載置台の凹部とは逆側から照射する前記軸線
方向の逆光照明によって撮像して得られる前記ワークの
シルエット画像の処理に基づき前記ワークの軸線方向か
ら見た輪郭を検査する装置であって、前記凹部は、その
開口部の周縁が拡散光を照射する斜面として形成され、
この斜面を除く内周面の前記軸線方向の寸法が前記ワー
クの長さ未満であることを特徴とする輪郭検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9481189A JPH02272309A (ja) | 1989-04-14 | 1989-04-14 | 輪郭検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9481189A JPH02272309A (ja) | 1989-04-14 | 1989-04-14 | 輪郭検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02272309A true JPH02272309A (ja) | 1990-11-07 |
Family
ID=14120441
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9481189A Pending JPH02272309A (ja) | 1989-04-14 | 1989-04-14 | 輪郭検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02272309A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2020173209A (ja) * | 2019-04-12 | 2020-10-22 | 東京技研工業株式会社 | 画像検査装置 |
-
1989
- 1989-04-14 JP JP9481189A patent/JPH02272309A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2020173209A (ja) * | 2019-04-12 | 2020-10-22 | 東京技研工業株式会社 | 画像検査装置 |
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