JPH02268244A - 光センサの分光感度測定方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［発明の目的］ （産業上の利用分野） 本発明は、光センサに照射される光の波長に対する分光
感度を測定する測定方法に関する。

（従来の技術） 光センサに用いられる高性能半導体素子を作製する手法
として、有機金属熱分解気相成長法（Ｍｅｔａｌ　Ｏｒ
ｇａｎｉｃ　Ｃｈｅｍｉｋａｌ　Ｖａｐｏｒ　ｐｅｐｏ
ｓｉｔｉｏｎ　、以下、ＭＯＣＶＤ法と言う）が知られ
ており、従来の作成方法に比較して量産性、膜厚及び組
成比の制御性の面において極めて優れた技術となってい
る。

このような既知の手法により作製された光センサ素子は
、パッケージングされた後に広い分野で用いられている
が、その用途に応じた特性を把握する必要があることか
ら、製造した後の検査段階にて、各製造条件における光
センサの分光感度特性を評価している。

光センサにおける従来の分光感度の測定方法は、分光器
を用いて特定波長の単色光を測定する光センサと予め分
光感度が既知である標準光センサとに照射し、両者の出
力強度を相対的に比較することにより被測定物である光
センサの分光感度を測定していた。

すなわち、第１９図に示すように、白色光源５０からの
光を集光ミラー５１により集光して分光器５２に入射し
、当該分光器５２によって、ある波長の単色光に分光す
る。そして、この特定波長λの単色光に重畳した高調波
をロングパスフィルタ５３によって除去した後に、再び
集光ミラー５４によって集光し、被測定物である光セン
サ５５に照射する。このとき、光センサ５５より出力さ
れる出力強度Ａと、当該光センサ５５に照射された光量
Ｐ１及び求める光センサ５５の分光感度Ｒとの間には、
Ａ＝ＲΦＰ　　　　　　　　・・・・・・　（２）の関
係が成立する。

したがって、被測定物である光センサ５５への放射光ｉ
Ｐと、この光により出力された光センサ５５の出力強度
とが測定あるいは計算できれば、光センサ５５の分光感
度が容易に求まるわけであるが、ここで、光源の放射ス
ペクトル、すなわち、光の波長λに対する放射輝度りの
関係、分光器５２の分散効率、すなわち各波長における
出射光量と入射光量との比、及び測定光学系で用いられ
る集光ミラー５Ｌ５４の反射率の内、１つでも未知の値
が存在すると、前述した放射光ｆｆ１Ｐが求められない
ことになる。

そこで従来においては、第１９図に示す測定光学系にお
いて、特定波長λに分光した際に、被測定物として、照
射される光の波長λに対するそれぞれの分光感度Ｒが予
め知られている標準光センサを用い、これと分光感度を
測定する光センサ５５とを相対的に比較することにより
、分光感度Ｒを測定していた。

すなわち、標準光センサの分光感度をＲ８、このときの
光センサの出力強度をＡ。とすると、前記（２）式より
下記の式が成立する。

Ａｏ−ＲＯ−Ｐ　　　　　　　−・−・−（３）ここで
、放射光ｆｆ１Ｐは等しいから、（２）（３）式より、
Ａ　／　Ａ　ｏ　＝　Ｒ／　Ｒ。

したがって、求める光センサ５５の分光感度Ｒは、Ｒ＝
Ａ／　Ａｏ　　会　Ｒｏ　　　　　　　　　　−−（４
）にて表される。

このような操作を波長λ毎に繰り返し、被測定物である
光センサ５５の分光感度Ｒを所定の波長領域で求めたの
が第２０図に示すグラフである。本図にて示す光センサ
は、波長が５〜１０μｍの領域で相対分光感度が最大と
なることから、この波長領域にて使用して好適な光セン
サであることが認められ、この値が所定の規格範囲内で
あるか否かの評価を行なうことができる。

（発明が解決しようとする課題） ところが、このような従来の光センサの分光感度測定方
法によれば、測定光学系の装置が大がかりになるという
欠点がある。すなわち、従来装置には少なくとも、白色
光源、複数の集光ミラー分光器、分光器を駆動するため
の駆動装置、高調波の混入を防止するロングパスフィル
タ、当該ロングパスフィルタの切換え機構、分光感度が
既知の標準光センサ、光センサからの出力を記録する記
録装置等が必要となる。

また、従来の測定装置には分光器が必須であるため、白
色光源からの光を単色光に分光する際に、分光される光
の波長領域によってはプリズムを変更しなければならな
いという非常に煩わしい操作をともなってしまう。

本発明は、このような従来技術の問題点に鑑みてなされ
たものであり、簡便な装置で光センサの分光感度を測定
することができ、しかも、いずれの波長領域でも分光感
度の測定ができると共に、任意の周波数における感度、
すなわち直流的感度及び交流的感度の両方を測定するこ
とができる測定方法を提供することを目的とする。

［発明の構成コ （課題を解決するための手段） 上記目的を達成するための本発明は、放射スペクトル可
変手段により少なくともｎ個の互いに独立した放射スペ
クトルの波形が与えられる光源から、被測定物である光
センサに少なくとも前記ｎ個の光をそれぞれ照射し、こ
のとき光センサから出力される少な（ともｎ個の出力強
度により、ｎ個に分割した前記光の波長領域のそれぞれ
における前記光センサの分光感度を測定する方法であっ
て、 ある放射スペクトルをもつ光（添字ｊにて表わす）の、
ある分割された波長領域（添字ｉにて表わす）における
前記光源の放射光量をＰｊｉ。

ある放射スペクトルをもつ光を照射したときの前記光セ
ンサの出力強度をＡｊ、 ある分割された波長領域における前記光センサの分光感
度をＲｉとしたときに、 （ｊ＝１．２．　・・・１ｍ１但しｍ≧ｎ）により与え
られる　（１）式から前記光センサの分光感度（Ｒｉ）
を求めることを特徴とする光センサの分光感度測定方法
である。

（作用） このように構成した本発明にあっては、以下の手順によ
り分光感度を測定することができる。

まず、放射スペクトル可変手段の制御パラメータに対す
る光源の波形、つまり波長に対する放射光量あるいは放
射輝度が予め測定された光源を用いる。そして、ある制
御パラメータｊにおいてこの光源から被測定物である光
センサに光を照射し、このとき、光センサから出力され
る出力強度Ａｊを測定する。

次に、波長領域を任意にｎ分割し、ｊなる制御パラメー
タを設定した光源から放射される光のうち、ある波長領
域ｉにおける放射光ｆｆ１Ｐｊｉと、上記測定された出
力強度Ａｊとを下記式、（ｊ＝１．２．　　・・・２ｍ
１但しｍ≧ｎ）に代入して得られる分光感度Ｒｎについ
ての連立方程式を演算することにより、任意に分割した
波長域における光センサの分光感度Ｒｉを求めることが
できる。

（実施例） 以下、本発明の一実施例を図面に基づいて説明する。

第１図は、本発明の測定方法を用いて被測定物である光
センサの分光感度を測定する装置を示す基本構成図、第
２図は、光センサの検出視野が光源より小さい場合にお
ける同測定装置の光源及び光センサ部分を示す構成図、
第３〜７図は、光センサの検出視野が光源より大きい場
合における同測定装置の光源、光センサ及び補正装置部
分を示す構成図、第８図は、同じ（光センサの検出視野
が光源より大きい場合における他の実施例に係る同測定
装置の光源及び光センサ部分を示す構成図である。

第１図に示す如く、本実施例の測定装置は、被測定物で
ある光センサ１０と、当該光センサ１ｏに特定の放射ス
ペクトルを有する光を照射する白色光源１１と、この白
色光Ｒ１１の放射スペクトルの波形を変更する放射スペ
クトル変更手段１２と、種々の演算を行う演算手段１３
とから構成されている。

前記白色光源１１として本実施例は黒体炉を用いている
。この黒体炉１１は、周知のように完全放射体であって
、るつぼ内に収容された円筒管からなる黒体と、るつぼ
内に前記黒体を包含するように充填された白金と、るつ
ぼ全体を埋め込んで熱絶縁を向上せしめるトリア粉など
から構成され、るつぼ周囲に設けられた高周波加熱コイ
ルなどからなる加熱手段によって白金を介して黒体を加
熱することにより白色光を発生させるようになっている
。そして、この黒体炉１１から発せられる白色光は、黒
体の加熱温度によりその放射スペクトル、すなわち、光
の波長λと放射輝度りとの関係が独立して変化するとい
う特性を有している。換言すれば、黒体炉１１の加熱温
度に対して特定の放射スペクトルを有する光を発生させ
る特性を備えており、しかも、これらの光は互いに独立
、すなわち単に放射輝度りが相似的に変化したものでな
く、波長λに対する放射輝度りの波形がそれぞれ異なる
波形となるという特性を有している。したがって、本実
施例にあっては、放射スペクトル変更手段１２を黒体炉
１１の加熱温度Ｔとし、ある特定の加熱温度１つに対し
て、独立した１つの放射スペクトルの波形を有する光を
光源１１から発生させるようにしている。

また、被測定物である光センサ１０は、前記光源１１か
ら照射される光の方向に対して対向する位置に設置され
、この光源１１及び光センサ１０は、乾燥した窒素ガス
を充満した所定の密閉容器内に収容されている。これに
より大気中の水蒸気あるいは二酸化炭素等による光の吸
収を防止することができる。

前記演算手段１３は、光センサ１０の出力強度Ａを検出
する検出部１４と、予め必要なデータを格納しておく記
憶部１５と、これら出力強度Ａ及び必要なデータを入力
して光センサ１０の分光感度Ｒを演算する演算部１６と
を有しており、マイクロコンピュータなどにより構成す
ることができる。本実施例にあっては、光センサ１０の
出力強度Ａを検出する検出部１４として直流電圧計を用
い、また記憶部１５には、黒体炉１１の加熱温度Ｔに対
する光源１１の放射光量Ｐのデータを格納している。

また、前記演算部１６にて演算された光センサ１０の波
長λに対する分光感度Ｒを記録する記録手段１７を当該
演算部１６に接続するように構成することもできる。

第２図に示すように、前記光センサ１０の検出視野αが
前記光源１１の大きさより小さい場合にあっては、上述
した装置構成のみによって測定することができるが、第
３図に示すように、光センサ１０の検出視野βが光源１
１の大きさより大きい場合には、測定光学系に光源１１
以外からの光が当該光センサ１０に照射されることから
、以下述べるような検出視野の補正装置を用いて測定を
行なう。

この補正装置は、予め理論式によりその放射光量を算出
し得る部材（１８）を用いることにより、実際の光源１
１を当該光源と所定の関係を有する新たな光源とみなす
ことができるように構成したものであって、実際の測定
値との誤差が生じることなく測定できるという特徴を備
えている。

すなわち、まず第４図に示すように、光センサ１０の検
出視野βを光源１１の大きさ以下に制限するために通孔
１９が形成されたバッフル板１８を光源１１と光センサ
１０との間に配設し、さらに、このバッフル板１８の表
面を黒化すると共に室温と同一温度に温調した状態で、
光センサ１０の出力強度Ａを測定し、この測定値Ａを後
述する（９）式に代入する。

このとき、光センサｌＯに照射される光ｆｆ１Ｐｌには
、第７図に示すように光？ｌｊ、ｌｌから放射された光
ｆｆ１Ｐと、前記バッフル板１８から放射された光（主
に赤外線である）による光量とが含まれている。

後者の光量は、表面を黒化された前記バッフル板１８を
室温における黒体、すなわち完全放射体とみなすことが
できることから、前記通孔１９が形成された前記バッフ
ル板１８（第４図）と同一位置に配設された通孔が形成
されていないバッフル板２０（第５図）から放射される
光ｆｆ１ＰＯから、前記通孔１９が形成された前記バッ
フル板１８（第４図）と同一位置に配設された前記通孔
と同一形状のバッフル板２１（第６図）から放射される
光ｆｆ１Ｐ２を減じた値（ＰＯ−Ｐ２　）となる。した
がって、求める光量Ｐ１は、 ＰＬ　＝Ｐ＋　（ＰＯ−Ｐ２　）　　　　・・・・・・
（５）となり、ここで、Ｐ、ＰＯ，Ｐ２のそれぞれの値
は、ブランクの放射式を用いて精度良く、しかも容易に
算出することができる。つまり、光センサ１０の検出視
野が光源１１の大きさより大きい場合には、上述した検
出視野の補正装置を用いることにより、Ｐｌなる光量を
放射する新たな光源を備えた測定光学系とみなす訳であ
る。

なお、光センサ１０の検出視野が光源１１の大きさより
大きい場合の測定は、第８図に示すように、前記バッフ
ル板１８に代えて、光源１１と光センサ１０との間にミ
ラーあるいはレンズなどの光学素子２２を設置して行な
うこともできる。

この場合には、光源１１から発せられる光の反射率が１
００％であるミラー２２を用いることが好ましく、反射
率１００％のミラー２２の表面から放射される光量は０
となることから、光センサ１０に照射される光量は光源
１１からの光量のみとなる。したがって、この場合にお
いても、ミラー２２の光学的特性、すなわちＦメンバあ
るいは口径及び焦点距離、光源１１とミラー２２の幾何
学的配置等から、光源１１から放射される光量を算出す
ることができ、これによって、前述した第１図に示す測
定光学系と同様に光センサ１０の分光感度を求めること
ができる。

次に、本発明の測定方法における解析原理について説明
する。

前述したように、黒体炉１１は完全放射体であることか
ら、その放射スペクトル、すなわち光の波長λに対する
放射輝度りの関係は、波長λと炉温Ｔとの関数で表され
たブランクの放射式によって求められる。

すなわち、黒体炉１１からの放射スペクトルをＭＯ〔λ
、Ｔｌ　　（Ｗ／ゴ）、波長をλ（ｍ）、炉温をＴ　（
Ｋ）とすると、この放射スペクトルは、Ｍｅ［λ、　Ｔ
コ 一＝　Ｃ１１１λ−５（ｅｘｐ　　（Ｃ２／λＴ）−１
１・・・・・・　（６） で表される。ここで、Ｃ１，Ｃ２はブランク定数、ボル
ツマン定数及び真空中の光速度から求まる定数であり、 Ｃ１＝３．７Ｘ１０２０ Ｃ２＝１．４Ｘ１０７ である。

まず、光センサ１０の分光感度を求めようとする波長領
域（λ５〜λＥ）を任意にｎ個に分割する。

この分割は、等分割である必要はな（、例えば、被測定
物である光センサ１０の分光感度領域が予め予想される
ならば、その高感度領域の立ち上がり部分において細分
化すると、高精度の測定結果を得ることができ、本発明
の活用上好ましいものとなる。

また、この波長領域（λＳ〜λＥ）を分割するに際し、
もし、被測定物である光センサ１０の分光感度域の境界
値、すなわち、その光よりも短波長域、長波長域では、 （分光感度）−〇 であるような値が、予め予想できる場合には、その境界
値を前述のλ３、λ６とする。

もし、そのような予想ができなければ、波長域の短波長
側の境界値をλ５として０を、長波長側の境界値をλＥ
として■を設定する。

したがって、この波長分割は、 λＳ〜λ１〜λ２・・・・・・λｎ−１〜λＥとなり、
便宜上この波長領域を ズ１ＪＸ２１・・・Σ。−１，ズ。

及び ズ１＝［λ１〜１．λ、］ 但し、λ０＝λ３．λ。−λＥ と表わす。

次に、放射スペクトル可変手段により選択されたある一
つの放射スペクトルの光を光源１１から光センサｌＯに
照射した際に、当該放射スペクトルのうち前述したある
分割波長領域［λ１−１．λ１］による放射光量をＰ（
Σｌ）、黒体炉１１の温度がＴ　（Ｋ）のとき光センサ
１０に照射される光のうち波長領域［λ、−１．λ１］
にある成分の光量をＬＴ　（Σ１）とすると、 （ｉ＝１．２・・・・・・＋ｎ） であることから、この放射光ｉＰをλに対して矩形近似
すれば、 Ｐ（λ１） ＝ＬＴ　　（ズ１）　　（λ１−λ１−１）・・・（８
）また、波長領域ス、における求めるべき光センサの分
光感度をＲ（ΣＩ）とすると、波長領域λ１において光
量Ｐ　（Ｘ）の光が光センサに照射されたとき、当該光
センサ１０は、Ｒ（Σ１）・Ｐ（ズ１）の強度の信号を
出力する。ここで、この照射された光量と出力強度との
関係は、各波長領域で独立に成立することから、全波長
領域、すなわち［λＳ、λＥ］の光が照射されたときの
光センサ１０の出力強度は、各波長領域からの寄与成分
の総和として測定されていることになる。したがって、
測定された光センサの出力強度Ａヨは、（ｊ＝１．２．
　　・・・、ｎ） にて表わされる。なお、ＰＴ＋（ズ１）は、黒体炉１１
の温度がＴ、のときの波長領域■、内における放射光量
を表わす。また、Ａ　７１は黒体炉１１の温度がＴ、の
ときの測定された光センサの出力強度を表わす。

したがって、上記（９）式は、求めるべき未知数Ｒ（２
，）、Ｒ（ズ２　）　、　−Ｒ（Ｘｎ）についてのｎ元
１次連立方程式となる。そして、ＰＴｌ（２）、ＰＴ２
（ＸＩ）、　・・・Ｐ７ｏ（ａｔ）が互いに独立した放
射スペクトルを有する光源を用いていることからも、第
２図に示すように、光センサ１ｏの検出視野αが光源１
１の大きさより小さい場合にあっては、前述した（６）
　（７）　（８）式を用いることにより、また、第３図
に示すように、光センサ１ｏの検出視野βが光源１１の
大きさより大きい場合にあっては、前述した（５）　（
６）　（７）　（８）式を用いることにより、当該（９
）式はＲ（２゜）について解けることになる。

上述した実施例にあっては、黒体炉１１の温度Ｔを変え
ることにより得られる光＃、１１からの放射スペクトル
の種類が、分割波長領域の数ｎと等しい場合について説
明したが、本発明はこの実施例に限定されることなく、
放射スペクトルの種類がｎ個以上であれば良い。この場
合には、前記（１）式により得られる方程式の数が、求
めるべき未知数の数より多くなることから、当該方程式
は最小２乗法により解けることになる。

次に、第９〜１７図を参照して、本発明の他の実施例に
ついて説明する。上述した第１実施例は、照射される光
に対する光センサ１０の直流的分光感度を４ｖｊ定する
一例であるが、以下述べる第２実施例は、任意の周波数
に変調された光源１１からの光に対する光センサ１０の
交流的分光感度を測定する具体例である。

第９図は、第２実施例に係る測定方法を用いて被測定物
である光センサの分光感度を測定する装置を示す構成図
、第１０，１１図は、光センサの検出視野が光源より小
さい場合における同測定装置の光源及び光センサ部分を
示す構成図、及び光センサにより照射される光量と時間
との関係を示すグラフ、第１２〜１７図は、光センサの
検出視野が光源より大きい場合における同測定装置の光
源、光センサ及び補正装置部分を示す構成図、及び光セ
ンサにより照射される光量と時間との関係を示すグラフ
である。

第９図に示すように、本実施例の測定装置は、前述した
第１実施例の構成部品である被測定物である光センサ１
０と、当該光センサ１０に特定の放射スペクトルを有す
る光を照射する白色光１ｉ１１と、この白色光源１１の
放射スペクトルの波形を変更する放射スペクトル変更手
段１２と、種々の演算を行う演算手段１３とに加え、前
記光源１１と光センサ１゜との間に、当該光源１１から
の光を所定の周波数の光に変調する変調装置２３を有し
ている。また、前記光センサ１０の出力端子には、当該
出力信号を増幅させて信号強度を大きくするための増幅
器２４が接続され、さらにこの増幅された出力信号のう
ち、周波数変調装置２３により変調された交流波形を検
出するロックインアンプ２５が接続されている。

なお、前記増幅器２４は、光センサ１０からの出力信号
が十分大きい場合には設ける必要はなく、前述した第１
実施例にこの増幅器２４を適用しても良い。

このような光センサの出力信号のうち、周波数変調装置
２３により変調された交流部分のみを抽出する手段とし
ては、他にも種々考えられる。例えば、単に交流電圧計
を光センサの出力端子に接続して平均電圧を測定したり
、また、光センサの出力端子に直流変換器を接続し、さ
らに直流電圧計を接続して、この直流電圧を測定するこ
ともできる。さらに、ＣＲアクティブフィルタによって
光センサの出力信号の中心周波数を周波数変調装置２３
による変調周波数に一致させ、これを交流電圧計によっ
て測定したり、あるいは直流変換器を介して直流電圧計
によって測定したりすることも可能である。

前記周波数変換装置２３は、表面が黒化され、かつ室温
と同一温度に温調されると共に、光源１１からの光を通
過させる通孔２６が所定間隔をもって形成されたチョッ
ピングブレード２７を有し、このチョピングブレード２
７には、当該チョッピングブレード２７をある一定の速
度にて回転させる駆動部２８が設けられている。前記通
孔２６は光センサ１０の検出視野より大きく形成されて
いる。また、周波数変調装置２３の駆動部２８から出力
されるリファレンス信号は、前記ロックインアンプ２５
に入力されるように結線されている。

前記演算手段１３は、予め必要なデータを格納しておく
記憶部１５と、前記ロックインアンプ２５から送信され
た出力強度Ａ及び必要なデータを人力して光センサ１０
の分光感度Ｒを演算する演算部１６とを有しており、マ
イクロコンピュータなどにより構成することができる。

本実施例にあっても、記憶部１５には、黒体炉１１の加
熱温度Ｔに対する光源１１の放射光ｆｆ１Ｐのデータを
格納している。

また、前記演算部１６にて演算された光センサ１０の波
長λに対する分光感度Ｒを記録する記録手段１７を当該
演算部１６に接続するように構成することもできる。

このように構成した本実施例にあっては、光源１１と光
センサ１０との間に周波数変調装置２３を設置している
ことから、当該光センサ１０には変調装置２３から発せ
られた光（主に赤外線）も照射されていることになる。

したがって、本実施例に係る測定装置は、第１０図に示
す測定装置により光源１１から照射される光量Ｐから、
第１３図に示す変調装置２３のチョッピングブレード２
７から発せられる光量Ｐ３を減じた光量（Ｐ−Ｐ３）の
新たな光源を有する測定光学系となっているとみなすこ
とができる（第１１図参照）。ここで、光ｆｆ１Ｐ及び
Ｐ３は、前記第１実施例と同様にして算出することがで
きる。

第１０図に示すように、前記光センサ１０の検出視野α
が前記光源１１の大きさより小さい場合にあっては、上
述した装置構成のみによって測定することができるが、
第１２図に示すように、光センサ１０の検出視野βが光
源１１の大きさより大きい場合には、測定光学系に光源
１１以外からの光が当該光センサ１０に照射されること
から、前述した第１実施例と同様な検出視野の補正装置
を用いて測定を行なう。

この補正装置は、予め理論式によりその放射光量を算出
し得る部材（２９）を用いることにより、実際の光源１
１を当該光源と所定の関係を有する新たな光源とみなす
ことができるように構成したものであって、実際の測定
値との誤差が生じることなく測定できるという特徴を備
えている。

すなわち、まず第１２図に示すように、光センサ１０の
検出視野βを光源１１の大きさ以下に制限するために通
孔３０が形成されたバッフル板２９を光源１１と周波数
変調装置２３との間に配設し、さらにこのバッフル板２
９の表面を黒化すると共に室温と同一温度に温調した状
態で、光センサ１０の出力強度Ａを測定し、この測定値
Ａを前述した（９）式に代入する。

このとき、第１２図に示す光センサ１０に照射される光
ｆｆ１Ｐｌは、第１５図に示すように光源１１から放射
された光量Ｐと、第１９図に示すように、前記バッフル
板２９と同一位置に配設された通孔が形成されていない
バッフル板３１から放射される光量ＰＯとを加算した光
量から、第１４図に示すように前記バッフル板２９に形
成された通孔３０に相当するバッフル板から照射される
光量Ｐ２と、第１３図に示すようにチョッピングブレー
ド２７が光源１１からの光を遮ったときの光センサ１０
によって検出される光ｆｆ１Ｐ３とを加算した光量を減
じた光量、つまり、 ＰＬ　＝Ｐ＋ＰＯ−Ｐ２−Ｐ３・・・　（９）となる。

これらＰ、ＰＯ，ＰＬ、Ｐ２．Ｐ３の関係は第１６図に
示す通りである。

ここで、Ｐ、ＰＯ，Ｐ２．Ｐ３のそれぞれの値は、ブラ
ンクの放射式を用いて精度良く、しかも容易に算出する
ことができる。つまり、光センサ１０の検出視野が光源
１１の大きさより大きい場合には、に述した検出視野の
補正装置を用いることにより、Ｐｌなる光量を放射する
新たな光源を備えた測定光学系とみなす訳である。

このように構成した本実施例にあっても、前記第１実施
例にて詳述した（９）式により、光センサの分光感度Ｒ
Ｅについての連立方程式を得ることができ、これを前記
演算手段１３にて解くことにより、任意に分割した波長
領域における交流的分光感度を得ることができる。

なお、本発明は、前述した第１及び第２実施例のみに限
定されることなく、種々の変形例が考えられ、特に測定
装置の実施例は、本発明の要件を満たす限りにおいて種
々のものが適用できる。例えば、実施例にあっては、光
源として黒体炉を用いたが、フィラメント電流値により
互いに独立した放射スペクトルを発生させ得るランプも
適用することができる。

次に、本発明の分光感度測定方法について、さらに具体
的な実施例を挙げて説明する。

本具体例は、第９図に示す装置構成にて測定を行ない、
その測定結果を第１８図に示す。

なお、本具体例においては、第９図における被測定物で
ある光センサ１０には分光感度が予め知られている市販
のものを使用し、一方、光源１１として黒体炉を用いる
とと共に、演算手段１３としてマイクロコンピュータを
使用した。また、放射スペクトル変更手段１２としては
、黒体炉の温度コントローラを用い、前記マイクロコン
ピュータによって当該温度コントローラを制御した。こ
こで、黒体炉１１、周波数変調装置２３、被測定物であ
る光センサ１０は、乾燥窒素ガスを充満させた密閉容器
内に収容し、大気中の水蒸気及び二酸化炭素等の影響を
除去するようにした。

測定条件としては、周波数変調装置２３における変調周
波数を８Ｈｚとし、黒体炉１１の温度は２００〜１００
０℃（４７３〜１２７３Ｋ）の間を１００℃単位に設定
して測定した。また、光源の分割波長は、 ０３２、　１．０、　４．０、　７．０．１０．０、１
３．０、１６．０、１９．０．２２．０．１００．０　
　μｍの９区分とした。

黒体炉からの放射光量は、各設定温度において、前述し
たブランクの放射式によって求め、また、得られた連立
方程式（９元１次連立方程式）は、前記マイクロコンピ
ュータを用いてガウスの消去法にて算出した。

第１８図には、上記測定結果（図中、実線にて示す）と
、その比較例として光センサの特性（図中、破線にて示
す）とを示したが、この結果からも本発明の測定方法の
精度が優れたものであるかを理解することができる。

［発明の効果コ 以上述べたように本発明によれば、極めて簡便な装置構
成により光センサの分光感度を測定することができ、し
かも、いずれの波長領域でも分光感度の測定ができると
共に、任意の周波数において、すなわち直流的感度及び
交流的感度の両方を測定することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明の測定方法を用いて被測定物である光
センサの分光感度を測定する装置を示す基本構成図、第
２図は、光センサの検出視野が光源より小さい場合にお
ける同測定装置の光源及び光センサ部分を示す構成図、
第３〜７図は、光センサの検出視野が光源より大きい場
合における同測定装置の光源、光センサ及び補正装置部
分を示す構成図、第８図は、同じく光センサの検出視野
が光源より大きい場合における他の実施例に係る同測定
装置の光源及び光センサ部分を示す構成図、第９図は、
本発明の第２実施例に係る測定方法を用いて被測定物で
ある光センサの分光感度を測定する装置を示す構成図、
第１０．１１図は、光センサの検出視野が光源より小さ
い場合における同測定装置の光源及び光センサ部分を示
す構成図、及び光センサにより照射される売足と時間と
の関係を示すグラフ、第１２〜１７図は、光センサの検
出視野が光源より大きい場合における同測定装置の光源
、光センサ及び補正装置部分を示す構成図、及び光セン
サにより照射される光量と時間との関係を示すグラフ、
第１８図は、本発明の具体例による分光感度の測定結果
を示すグラフ、第１９〜２０図は、従来の分光感度測定
方法を用いた測定装置を示す構成図及び測定により得ら
れたデータを示すグラフである。 １０・・・光センサ（被測定物）、１１・・・光源、１
２・・・放射スペクトル変更手段、１３・・・演算手段
。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 放射スペクトル可変手段により少なくともｎ個の互いに
   独立した放射スペクトルの波形が与えられる光源から、
   被測定物である光センサに少なくとも前記ｎ個の光をそ
   れぞれ照射し、このとき光センサから出力される少なく
   ともｎ個の出力強度により、ｎ個に分割した前記光の波
   長領域のそれぞれにおける前記光センサの分光感度を測
   定する方法であって、 ある放射スペクトルをもつ光（添字ｊにて表わす）の、
   ある分割された波長領域（添字ｉにて表わす）における
   前記光源の放射光量をＰｊｉ、 ある放射スペクトルをもつ光を照射したときの前記光セ
   ンサの出力強度をＡｊ、 ある分割された波長領域における前記光センサの分光感
   度をＲｉとしたときに、 Ａｊ＝Σ＾ｎ＿ｉ＿＝＿１（Ｒｉ・Ｐｊｉ）・・・・・
   ・（１）（ｊ＝１、２、・・・、ｍ、但しｍ≧ｎ） により与えられる（１）式から前記光センサの分光感度
   （Ｒｉ）を求めることを特徴とする光センサの分光感度
   測定方法。