JPH02267882A - 板状ヒータ - Google Patents
板状ヒータInfo
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- JPH02267882A JPH02267882A JP8739889A JP8739889A JPH02267882A JP H02267882 A JPH02267882 A JP H02267882A JP 8739889 A JP8739889 A JP 8739889A JP 8739889 A JP8739889 A JP 8739889A JP H02267882 A JPH02267882 A JP H02267882A
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- pattern
- heating element
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- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
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- 239000012212 insulator Substances 0.000 claims abstract description 27
- ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N Tin Chemical compound [Sn] ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 25
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- 238000005452 bending Methods 0.000 abstract 1
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- 238000005336 cracking Methods 0.000 abstract 1
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Landscapes
- Surface Heating Bodies (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
[産業上の利用分野J
本発明は、2枚の薄板状セラミック絶縁体の間に抵抗発
熱体層のパターンをはさみ込んでなる板状ヒータに関し
、特に、熱膨張差による抵抗発熱体層のクラックの発生
を防止してものである。
熱体層のパターンをはさみ込んでなる板状ヒータに関し
、特に、熱膨張差による抵抗発熱体層のクラックの発生
を防止してものである。
[従来の技術]
ガスや気化状石油を着火するため、2枚の板状セラミッ
ク絶縁体の間に抵抗発熱体層のパターンをはさみ込んだ
板状ヒータが使用されている。
ク絶縁体の間に抵抗発熱体層のパターンをはさみ込んだ
板状ヒータが使用されている。
ディーゼルエンジンの点火栓等に使用する板状ヒータは
800℃以上の高温状態に加熱されるため高温強度、耐
熱性、耐熱衝撃性が要求される。
800℃以上の高温状態に加熱されるため高温強度、耐
熱性、耐熱衝撃性が要求される。
そのため、それら条件を満足するようにセラミック絶縁
体は5isN4を主成分として作成し、抵抗発熱体層の
パターンはTiNを主成分としたものが知られている。
体は5isN4を主成分として作成し、抵抗発熱体層の
パターンはTiNを主成分としたものが知られている。
この種の板状ヒータに使用する抵抗発熱体層のパターン
は、電極端子側と先端発熱部との間を単に電気供給用の
リード線として使用するため幅広に形成し、それを幅狭
の先端発熱部に連続させている。
は、電極端子側と先端発熱部との間を単に電気供給用の
リード線として使用するため幅広に形成し、それを幅狭
の先端発熱部に連続させている。
[発明が解決しようとする課題]
従来の板状ヒータは、薄板状のセラミック絶縁体を5L
Naで作成し、抵抗発熱体層をTiNで作成しているが
、両者の熱膨張率はそれぞれ3XlO−6と8X10”
−’である。両者にこのように大きな熱膨張率の差があ
るため、抵抗発熱体層のパターンにクラックがはいり断
線状態になってしまう。このクラックは電極端子寄りの
位置に生じやすいが、それはその位置が最も熱膨張差が
大きくなるためだと考えられる。
Naで作成し、抵抗発熱体層をTiNで作成しているが
、両者の熱膨張率はそれぞれ3XlO−6と8X10”
−’である。両者にこのように大きな熱膨張率の差があ
るため、抵抗発熱体層のパターンにクラックがはいり断
線状態になってしまう。このクラックは電極端子寄りの
位置に生じやすいが、それはその位置が最も熱膨張差が
大きくなるためだと考えられる。
また抵抗発熱体層のパターンの電極端子側の部分と先端
発熱部との間で、パターン幅が急に変るため加熱状態も
急に変り、クラックが生じやすい。さらに抵抗発熱体層
はTiNを主成分としているため、1O−3Ω・Cl1
1以上の高抵抗にすることが困難であり、抵抗値の幅を
広くとれないという問題があった。
発熱部との間で、パターン幅が急に変るため加熱状態も
急に変り、クラックが生じやすい。さらに抵抗発熱体層
はTiNを主成分としているため、1O−3Ω・Cl1
1以上の高抵抗にすることが困難であり、抵抗値の幅を
広くとれないという問題があった。
そこで本発明は、抵抗発熱体層のパターンにクラックが
生じに<<シ、しかも抵抗発熱体層の抵抗値の幅を広く
とれるようにし、さらに抵抗発熱体層のパターンの加熱
状態が急に変わる部所が生じないようにすることを目的
とする。
生じに<<シ、しかも抵抗発熱体層の抵抗値の幅を広く
とれるようにし、さらに抵抗発熱体層のパターンの加熱
状態が急に変わる部所が生じないようにすることを目的
とする。
[課題を解決するための手段]
本発明は、2枚の薄板状セラミック絶縁体の間に抵抗発
熱体層のパターンをはさみ込んで成る板状ヒータにおい
て、セラミック絶縁体はTiN 0〜20vol%に対
し 1oOvol%のサイアロンを合わせた材料から作
成し、抵抗発熱体層はTiNが20〜40vol%に対
し100vol%のサイアロンを合わせた材料から作成
したものである。
熱体層のパターンをはさみ込んで成る板状ヒータにおい
て、セラミック絶縁体はTiN 0〜20vol%に対
し 1oOvol%のサイアロンを合わせた材料から作
成し、抵抗発熱体層はTiNが20〜40vol%に対
し100vol%のサイアロンを合わせた材料から作成
したものである。
抵抗発熱体層のパターンは、電極端子側から先端の加熱
部に向って漸次幅を狭(形成すれば、その加熱状態が急
激に変ることがない。
部に向って漸次幅を狭(形成すれば、その加熱状態が急
激に変ることがない。
セラミック絶縁体と抵抗発熱体層との材料成分を上記の
範囲にしたのは、両者の熱膨張率を近づけて抵抗発熱体
層にクラックが生じに(くするためである。
範囲にしたのは、両者の熱膨張率を近づけて抵抗発熱体
層にクラックが生じに(くするためである。
サイアロンの容積100に対してTiNの添加v。
1%を変化させた場合に、熱膨張αがどのように変化す
るかを測定すると、その結果は第2図に示すようになる
。すなわちTiNの含有%は熱膨張係数にほぼ比例し、
TiN添加量が0〜20vol%で熱膨張係数が3.0
XlO−’〜4.0X10−’であり、TiNが20〜
40%で熱膨張係数が4.0XIO−’〜5.0X10
−’となり、上記の成分範囲であれば、セラミック絶縁
体と抵抗発熱体層との熱膨張係数の差をほぼ3XIO−
’以下にさせめことかできる。なお、両者の熱膨張率を
近づけるためにはセラミック絶縁体材料のTiNはl0
〜20 vol%が望ましい。
るかを測定すると、その結果は第2図に示すようになる
。すなわちTiNの含有%は熱膨張係数にほぼ比例し、
TiN添加量が0〜20vol%で熱膨張係数が3.0
XlO−’〜4.0X10−’であり、TiNが20〜
40%で熱膨張係数が4.0XIO−’〜5.0X10
−’となり、上記の成分範囲であれば、セラミック絶縁
体と抵抗発熱体層との熱膨張係数の差をほぼ3XIO−
’以下にさせめことかできる。なお、両者の熱膨張率を
近づけるためにはセラミック絶縁体材料のTiNはl0
〜20 vol%が望ましい。
また前記と同様に、l OOvol%のサイアロンに含
有させるTiN添加量のvol%を変化させた場合の固
有抵抗率(Ω・cm)の変化は、第3図に示すようにな
る。すなわちTiN添加量が0〜20vol%では固有
抵抗率が非常に大きい絶縁体となり、TiNが20vo
l%を越えたあたりで固有抵抗率が10−’Ω・cmと
なり、40vol%に向って曲線的に固有抵抗率が下が
って約lO″″1Ω・cmとなり、抵抗発熱体用の抵抗
体となり得る。このように抵抗発熱体層はTiN添加量
が20〜40v。
有させるTiN添加量のvol%を変化させた場合の固
有抵抗率(Ω・cm)の変化は、第3図に示すようにな
る。すなわちTiN添加量が0〜20vol%では固有
抵抗率が非常に大きい絶縁体となり、TiNが20vo
l%を越えたあたりで固有抵抗率が10−’Ω・cmと
なり、40vol%に向って曲線的に固有抵抗率が下が
って約lO″″1Ω・cmとなり、抵抗発熱体用の抵抗
体となり得る。このように抵抗発熱体層はTiN添加量
が20〜40v。
1%で固有抵抗率は10″″3〜10−’Ω・cmとな
り、抵抗値を広くとることも可能である。
り、抵抗値を広くとることも可能である。
またセラミック絶縁体にTiNを含む場合には、Y2O
3量が5%を越えるとTiNの酸化が進行する。このた
めYzOs量は5%以下がよい。
3量が5%を越えるとTiNの酸化が進行する。このた
めYzOs量は5%以下がよい。
[作用]
上記手段の板状ヒータでは、薄板状セラミック絶縁体と
抵抗発熱体層のパターンとの熱膨張率は互いに近いもの
であり、板状ヒータが加熱された場合に両者間に熱応力
が生じに(く、抵抗発熱体層のパターンにクラックが生
じに(い。
抵抗発熱体層のパターンとの熱膨張率は互いに近いもの
であり、板状ヒータが加熱された場合に両者間に熱応力
が生じに(く、抵抗発熱体層のパターンにクラックが生
じに(い。
[実施例]
本発明の板状ヒータを第1図により説明する。
板状ヒータは、2枚の薄板状のセラミック絶縁体lの間
に抵抗発熱体層のパターン2がはさみ込まれている。抵
抗発熱体層のパターン2は、その基端側かタングステン
等からなる電極端子3に接続され、そのパターン2は先
端の発熱部4に向って漸次幅が狭(形成されている。
に抵抗発熱体層のパターン2がはさみ込まれている。抵
抗発熱体層のパターン2は、その基端側かタングステン
等からなる電極端子3に接続され、そのパターン2は先
端の発熱部4に向って漸次幅が狭(形成されている。
セラミック絶縁体lは、5++un X 50mn+の
長方形で厚さ1mmに形成され、その材料は1oovo
l%のサイアロンに対しTiN添加量が18vol%で
あるものを使用した。
長方形で厚さ1mmに形成され、その材料は1oovo
l%のサイアロンに対しTiN添加量が18vol%で
あるものを使用した。
抵抗発熱体層のパターン2は、 100vol%のサイ
アロンに対しTiN添加量が30vol%である材料を
使用した。パターン2の作成は、セラミック絶縁体lと
なる 1枚のグリーンシート上にパターン2の材料を厚
さ約30μmスクリーン印刷した後、もう 1枚のグリ
ーンシートを重ねて厚着し、焼結して板状ヒータを作成
することにより作成した。
アロンに対しTiN添加量が30vol%である材料を
使用した。パターン2の作成は、セラミック絶縁体lと
なる 1枚のグリーンシート上にパターン2の材料を厚
さ約30μmスクリーン印刷した後、もう 1枚のグリ
ーンシートを重ねて厚着し、焼結して板状ヒータを作成
することにより作成した。
なお、電極端子3も焼結前に2枚のグリーンシト間に配
置して、焼結により固定した。
置して、焼結により固定した。
以上により作成した板状ヒータを1100℃に加熱する
とともに室温にまで自然放熱させることを10000回
繰返久したが、板状ヒータの加熱状態に異常は生じなか
った。また抵抗発熱体層のパターンの抵抗値は246Ω
と高いものになった。
とともに室温にまで自然放熱させることを10000回
繰返久したが、板状ヒータの加熱状態に異常は生じなか
った。また抵抗発熱体層のパターンの抵抗値は246Ω
と高いものになった。
前記実施例における板状ヒータにおいて、セラミック絶
縁体材料としてさらにY2O3を3vol%添加して作
成したが、前記実施例と同様に耐熱性の高いヒータとな
った。
縁体材料としてさらにY2O3を3vol%添加して作
成したが、前記実施例と同様に耐熱性の高いヒータとな
った。
[発明の効果]
本発明の板状ヒータは、薄板状のセラミック絶縁体と抵
抗発熱体層との熱膨張率の差を小さ(しているので、抵
抗発熱体層のパターンにクラックは生じに((耐久性あ
るものになる。また抵抗発熱体層として、 1oOvo
l%サイアロンに対しTiN添加量が20〜40vol
である材料を使用しているので高抵抗となり、抵抗値の
幅を広(とることができる。さらに抵抗発熱体層のパタ
ーンを電極端子側から先端発熱部に向って漸次幅を狭く
形成したので、加熱状態が急激に変わることがなく、耐
久性のよいものになる。
抗発熱体層との熱膨張率の差を小さ(しているので、抵
抗発熱体層のパターンにクラックは生じに((耐久性あ
るものになる。また抵抗発熱体層として、 1oOvo
l%サイアロンに対しTiN添加量が20〜40vol
である材料を使用しているので高抵抗となり、抵抗値の
幅を広(とることができる。さらに抵抗発熱体層のパタ
ーンを電極端子側から先端発熱部に向って漸次幅を狭く
形成したので、加熱状態が急激に変わることがなく、耐
久性のよいものになる。
第1図は本発明の板状ヒータの分解斜視図、第2図はT
iNの含有率と熱膨張係数との関係を示すグラフ、第3
図はTiNの含有率と熱膨張係数との関係を示すグラフ
である。 l:セラミック絶縁体 2;パターン3:電極端子
4:発熱部
iNの含有率と熱膨張係数との関係を示すグラフ、第3
図はTiNの含有率と熱膨張係数との関係を示すグラフ
である。 l:セラミック絶縁体 2;パターン3:電極端子
4:発熱部
Claims (3)
- (1)2枚の薄板状セラミック絶縁体の間に、抵抗発熱
体層のパターンをはさみ込んで成る板状ヒータにおいて
、セラミック絶縁体はTiN0〜20vol%に対して
100vol%のサイアロンを合わせた材料からなり、
抵抗発熱体層はTiNが20〜40vol%に対して1
00vol%のサイアロンを合わせた材料からなること
を特徴とする板状ヒータ。 - (2)抵抗発熱体層のパターンは、電極端子側から先端
の加熱部に向って漸次幅が狭くなる形状にした請求項1
に記載の板状ヒータ。 - (3)セラミック絶縁体のY_2O_3含有量が5%以
下である請求項1又は2に記載の板状ヒータ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP8739889A JPH02267882A (ja) | 1989-04-06 | 1989-04-06 | 板状ヒータ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP8739889A JPH02267882A (ja) | 1989-04-06 | 1989-04-06 | 板状ヒータ |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH02267882A true JPH02267882A (ja) | 1990-11-01 |
Family
ID=13913769
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP8739889A Pending JPH02267882A (ja) | 1989-04-06 | 1989-04-06 | 板状ヒータ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH02267882A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH04181725A (ja) * | 1990-11-16 | 1992-06-29 | Ngk Insulators Ltd | 半導体ウエハー加熱用セラミックスヒーター |
JPH0531191U (ja) * | 1991-09-25 | 1993-04-23 | 日本特殊陶業株式会社 | セラミツクヒータ |
WO2024005739A1 (en) * | 2022-06-28 | 2024-01-04 | Gravi̇ton Enerji̇ Anoni̇m Şi̇rketi̇ | Ac/dc high heat efficient resistance heater |
-
1989
- 1989-04-06 JP JP8739889A patent/JPH02267882A/ja active Pending
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH04181725A (ja) * | 1990-11-16 | 1992-06-29 | Ngk Insulators Ltd | 半導体ウエハー加熱用セラミックスヒーター |
JPH0531191U (ja) * | 1991-09-25 | 1993-04-23 | 日本特殊陶業株式会社 | セラミツクヒータ |
WO2024005739A1 (en) * | 2022-06-28 | 2024-01-04 | Gravi̇ton Enerji̇ Anoni̇m Şi̇rketi̇ | Ac/dc high heat efficient resistance heater |
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