JPH02267882A - 板状ヒータ - Google Patents

板状ヒータ

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Publication number
JPH02267882A
JPH02267882A JP8739889A JP8739889A JPH02267882A JP H02267882 A JPH02267882 A JP H02267882A JP 8739889 A JP8739889 A JP 8739889A JP 8739889 A JP8739889 A JP 8739889A JP H02267882 A JPH02267882 A JP H02267882A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
pattern
heating element
element layer
tin
plate
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP8739889A
Other languages
English (en)
Inventor
Ryoichi Shibata
良一 柴田
Yojiro Kamiyama
神山 洋二郎
Seiji Okazaki
岡崎 清治
Makoto Imaizumi
今泉 誠
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Proterial Ltd
Original Assignee
Hitachi Metals Ltd
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Publication date
Application filed by Hitachi Metals Ltd filed Critical Hitachi Metals Ltd
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野J 本発明は、2枚の薄板状セラミック絶縁体の間に抵抗発
熱体層のパターンをはさみ込んでなる板状ヒータに関し
、特に、熱膨張差による抵抗発熱体層のクラックの発生
を防止してものである。
[従来の技術] ガスや気化状石油を着火するため、2枚の板状セラミッ
ク絶縁体の間に抵抗発熱体層のパターンをはさみ込んだ
板状ヒータが使用されている。
ディーゼルエンジンの点火栓等に使用する板状ヒータは
800℃以上の高温状態に加熱されるため高温強度、耐
熱性、耐熱衝撃性が要求される。
そのため、それら条件を満足するようにセラミック絶縁
体は5isN4を主成分として作成し、抵抗発熱体層の
パターンはTiNを主成分としたものが知られている。
この種の板状ヒータに使用する抵抗発熱体層のパターン
は、電極端子側と先端発熱部との間を単に電気供給用の
リード線として使用するため幅広に形成し、それを幅狭
の先端発熱部に連続させている。
[発明が解決しようとする課題] 従来の板状ヒータは、薄板状のセラミック絶縁体を5L
Naで作成し、抵抗発熱体層をTiNで作成しているが
、両者の熱膨張率はそれぞれ3XlO−6と8X10”
−’である。両者にこのように大きな熱膨張率の差があ
るため、抵抗発熱体層のパターンにクラックがはいり断
線状態になってしまう。このクラックは電極端子寄りの
位置に生じやすいが、それはその位置が最も熱膨張差が
大きくなるためだと考えられる。
また抵抗発熱体層のパターンの電極端子側の部分と先端
発熱部との間で、パターン幅が急に変るため加熱状態も
急に変り、クラックが生じやすい。さらに抵抗発熱体層
はTiNを主成分としているため、1O−3Ω・Cl1
1以上の高抵抗にすることが困難であり、抵抗値の幅を
広くとれないという問題があった。
そこで本発明は、抵抗発熱体層のパターンにクラックが
生じに<<シ、しかも抵抗発熱体層の抵抗値の幅を広く
とれるようにし、さらに抵抗発熱体層のパターンの加熱
状態が急に変わる部所が生じないようにすることを目的
とする。
[課題を解決するための手段] 本発明は、2枚の薄板状セラミック絶縁体の間に抵抗発
熱体層のパターンをはさみ込んで成る板状ヒータにおい
て、セラミック絶縁体はTiN 0〜20vol%に対
し 1oOvol%のサイアロンを合わせた材料から作
成し、抵抗発熱体層はTiNが20〜40vol%に対
し100vol%のサイアロンを合わせた材料から作成
したものである。
抵抗発熱体層のパターンは、電極端子側から先端の加熱
部に向って漸次幅を狭(形成すれば、その加熱状態が急
激に変ることがない。
セラミック絶縁体と抵抗発熱体層との材料成分を上記の
範囲にしたのは、両者の熱膨張率を近づけて抵抗発熱体
層にクラックが生じに(くするためである。
サイアロンの容積100に対してTiNの添加v。
1%を変化させた場合に、熱膨張αがどのように変化す
るかを測定すると、その結果は第2図に示すようになる
。すなわちTiNの含有%は熱膨張係数にほぼ比例し、
TiN添加量が0〜20vol%で熱膨張係数が3.0
XlO−’〜4.0X10−’であり、TiNが20〜
40%で熱膨張係数が4.0XIO−’〜5.0X10
−’となり、上記の成分範囲であれば、セラミック絶縁
体と抵抗発熱体層との熱膨張係数の差をほぼ3XIO−
’以下にさせめことかできる。なお、両者の熱膨張率を
近づけるためにはセラミック絶縁体材料のTiNはl0
〜20 vol%が望ましい。
また前記と同様に、l OOvol%のサイアロンに含
有させるTiN添加量のvol%を変化させた場合の固
有抵抗率(Ω・cm)の変化は、第3図に示すようにな
る。すなわちTiN添加量が0〜20vol%では固有
抵抗率が非常に大きい絶縁体となり、TiNが20vo
l%を越えたあたりで固有抵抗率が10−’Ω・cmと
なり、40vol%に向って曲線的に固有抵抗率が下が
って約lO″″1Ω・cmとなり、抵抗発熱体用の抵抗
体となり得る。このように抵抗発熱体層はTiN添加量
が20〜40v。
1%で固有抵抗率は10″″3〜10−’Ω・cmとな
り、抵抗値を広くとることも可能である。
またセラミック絶縁体にTiNを含む場合には、Y2O
3量が5%を越えるとTiNの酸化が進行する。このた
めYzOs量は5%以下がよい。
[作用] 上記手段の板状ヒータでは、薄板状セラミック絶縁体と
抵抗発熱体層のパターンとの熱膨張率は互いに近いもの
であり、板状ヒータが加熱された場合に両者間に熱応力
が生じに(く、抵抗発熱体層のパターンにクラックが生
じに(い。
[実施例] 本発明の板状ヒータを第1図により説明する。
板状ヒータは、2枚の薄板状のセラミック絶縁体lの間
に抵抗発熱体層のパターン2がはさみ込まれている。抵
抗発熱体層のパターン2は、その基端側かタングステン
等からなる電極端子3に接続され、そのパターン2は先
端の発熱部4に向って漸次幅が狭(形成されている。
セラミック絶縁体lは、5++un X 50mn+の
長方形で厚さ1mmに形成され、その材料は1oovo
l%のサイアロンに対しTiN添加量が18vol%で
あるものを使用した。
抵抗発熱体層のパターン2は、 100vol%のサイ
アロンに対しTiN添加量が30vol%である材料を
使用した。パターン2の作成は、セラミック絶縁体lと
なる 1枚のグリーンシート上にパターン2の材料を厚
さ約30μmスクリーン印刷した後、もう 1枚のグリ
ーンシートを重ねて厚着し、焼結して板状ヒータを作成
することにより作成した。
なお、電極端子3も焼結前に2枚のグリーンシト間に配
置して、焼結により固定した。
以上により作成した板状ヒータを1100℃に加熱する
とともに室温にまで自然放熱させることを10000回
繰返久したが、板状ヒータの加熱状態に異常は生じなか
った。また抵抗発熱体層のパターンの抵抗値は246Ω
と高いものになった。
前記実施例における板状ヒータにおいて、セラミック絶
縁体材料としてさらにY2O3を3vol%添加して作
成したが、前記実施例と同様に耐熱性の高いヒータとな
った。
[発明の効果] 本発明の板状ヒータは、薄板状のセラミック絶縁体と抵
抗発熱体層との熱膨張率の差を小さ(しているので、抵
抗発熱体層のパターンにクラックは生じに((耐久性あ
るものになる。また抵抗発熱体層として、 1oOvo
l%サイアロンに対しTiN添加量が20〜40vol
である材料を使用しているので高抵抗となり、抵抗値の
幅を広(とることができる。さらに抵抗発熱体層のパタ
ーンを電極端子側から先端発熱部に向って漸次幅を狭く
形成したので、加熱状態が急激に変わることがなく、耐
久性のよいものになる。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の板状ヒータの分解斜視図、第2図はT
iNの含有率と熱膨張係数との関係を示すグラフ、第3
図はTiNの含有率と熱膨張係数との関係を示すグラフ
である。 l:セラミック絶縁体  2;パターン3:電極端子 
     4:発熱部

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)2枚の薄板状セラミック絶縁体の間に、抵抗発熱
    体層のパターンをはさみ込んで成る板状ヒータにおいて
    、セラミック絶縁体はTiN0〜20vol%に対して
    100vol%のサイアロンを合わせた材料からなり、
    抵抗発熱体層はTiNが20〜40vol%に対して1
    00vol%のサイアロンを合わせた材料からなること
    を特徴とする板状ヒータ。
  2. (2)抵抗発熱体層のパターンは、電極端子側から先端
    の加熱部に向って漸次幅が狭くなる形状にした請求項1
    に記載の板状ヒータ。
  3. (3)セラミック絶縁体のY_2O_3含有量が5%以
    下である請求項1又は2に記載の板状ヒータ。
JP8739889A 1989-04-06 1989-04-06 板状ヒータ Pending JPH02267882A (ja)

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JP8739889A JPH02267882A (ja) 1989-04-06 1989-04-06 板状ヒータ

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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH04181725A (ja) * 1990-11-16 1992-06-29 Ngk Insulators Ltd 半導体ウエハー加熱用セラミックスヒーター
JPH0531191U (ja) * 1991-09-25 1993-04-23 日本特殊陶業株式会社 セラミツクヒータ
WO2024005739A1 (en) * 2022-06-28 2024-01-04 Gravi̇ton Enerji̇ Anoni̇m Şi̇rketi̇ Ac/dc high heat efficient resistance heater

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH04181725A (ja) * 1990-11-16 1992-06-29 Ngk Insulators Ltd 半導体ウエハー加熱用セラミックスヒーター
JPH0531191U (ja) * 1991-09-25 1993-04-23 日本特殊陶業株式会社 セラミツクヒータ
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