JPH0226048Y2 - - Google Patents
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- JPH0226048Y2 JPH0226048Y2 JP6456884U JP6456884U JPH0226048Y2 JP H0226048 Y2 JPH0226048 Y2 JP H0226048Y2 JP 6456884 U JP6456884 U JP 6456884U JP 6456884 U JP6456884 U JP 6456884U JP H0226048 Y2 JPH0226048 Y2 JP H0226048Y2
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- JP
- Japan
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- chamber
- cleaning
- exhaust system
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- exhaust
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- Expired
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- Examining Or Testing Airtightness (AREA)
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---|---|---|---|
JP6456884U JPS60176156U (ja) | 1984-04-30 | 1984-04-30 | リ−クテスト装置 |
Applications Claiming Priority (1)
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Publications (2)
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JPS60176156U JPS60176156U (ja) | 1985-11-21 |
JPH0226048Y2 true JPH0226048Y2 (enrdf_load_stackoverflow) | 1990-07-17 |
Family
ID=30595776
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP6456884U Granted JPS60176156U (ja) | 1984-04-30 | 1984-04-30 | リ−クテスト装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JPS60176156U (enrdf_load_stackoverflow) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2003518256A (ja) * | 1999-12-22 | 2003-06-03 | インフィコン ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング | シート型漏洩探査器を運転する方法並びに該方法を実施するために適したシート型探査器 |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JPS62147337A (ja) * | 1985-12-17 | 1987-07-01 | ウエブ、テクノロジ−、インコ−ポレ−テツド | 電子部品パッケージの密閉度試験方法 |
JP2012242316A (ja) * | 2011-05-23 | 2012-12-10 | Fukuda:Kk | リークテスト用掃除装置 |
-
1984
- 1984-04-30 JP JP6456884U patent/JPS60176156U/ja active Granted
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2003518256A (ja) * | 1999-12-22 | 2003-06-03 | インフィコン ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング | シート型漏洩探査器を運転する方法並びに該方法を実施するために適したシート型探査器 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPS60176156U (ja) | 1985-11-21 |
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