JPH0225788A - ビーム配量の測定法 - Google Patents

ビーム配量の測定法

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JPH0225788A
JPH0225788A JP1130303A JP13030389A JPH0225788A JP H0225788 A JPH0225788 A JP H0225788A JP 1130303 A JP1130303 A JP 1130303A JP 13030389 A JP13030389 A JP 13030389A JP H0225788 A JPH0225788 A JP H0225788A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
etching
cell
voltage
nuclear
sheet
Prior art date
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Pending
Application number
JP1130303A
Other languages
English (en)
Inventor
Hans Kiefer
ハンス・キーフアー
Bernd Reinhardt
ベルント・ラインハルト
Gotthard Schleicher
ゴツトハルト・シユライヒヤー
Manfred Urban
マンフレート・ウルバン
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Forschungszentrum Karlsruhe GmbH
Original Assignee
Kernforschungszentrum Karlsruhe GmbH
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Filing date
Publication date
Application filed by Kernforschungszentrum Karlsruhe GmbH filed Critical Kernforschungszentrum Karlsruhe GmbH
Publication of JPH0225788A publication Critical patent/JPH0225788A/ja
Pending legal-status Critical Current

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    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01TMEASUREMENT OF NUCLEAR OR X-RADIATION
    • G01T5/00Recording of movements or tracks of particles; Processing or analysis of such tracks
    • G01T5/10Plates or blocks in which tracks of nuclear particles are made visible by after-treatment, e.g. using photographic emulsion, using mica

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  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • High Energy & Nuclear Physics (AREA)
  • Molecular Biology (AREA)
  • Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
  • Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Electric Means (AREA)
  • Measurement Of Radiation (AREA)
  • Weting (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、ビーム照射されて次にエツチングされるシー
トにおける核トラックを評価することによりビーム調量
を測定する方法に関する。
従来技術 請求項1の上位概念に、核ビームにより照射されるシー
トの種々の評価法が示されている。
これに関連する公知技術が、通常のエツチング法に関し
ては” Nuclear Tracks in 5ol
idsRobert L、 Fleischer他、U
niversity ofCalifornia Pr
ess+ 1975 +第50頁以下に示されてカシ、
さらに電気化学的エツチング法に対しては、報告書Kf
K −6805、Septem−ber 1985 p
 des Kernforschungszentru
msKarlsruhe +の例えば第22頁〜第32
頁に詳述されている。
照射されるシートの評価は時間の接近する2拡 つのステップを即ちエツチング(核トラック増克)およ
び後続の、核トラックの光学的計数を必要とする。
発明の解決すべき問題点 本発明の課題はこの所要時間を短縮させることである。
問題点を解決するための手段 この課題は上位概念に記載の方法において、本発明によ
り請求項1の特徴部分に示された構成によシ即ちステッ
プによシ解決されている。
本発明の別の構成が請求項2および6の特徴部分に示さ
れている。この方法は評価のための所要時間を著しく低
減させる、何故ならばエツチング工程の終了と共に既に
、求められるべきビーム調量が得られるからである。さ
らにエツチング工程が連続的に監視され評価の信頼性が
向上される。この評価は自動的に行なわれる。この方法
は、最小の作業経費で経済的に時間節約的にかつ信頼性
をもって、多数の核トラック検出器(シート)を同時に
評価可能にする、即ちその都度のビーム調量を検出でき
るようにする。
実施例の説明 次に本発明の実施例を図面を用いて説明する。
エツチング電圧Uciおよびその周波数は、検出器材料
の種類に応じて、変化可能にする必要がある。そのため
測定装置が、エツチング電圧500−1000Vおよび
500−5000Hzに対して設計される。この測定装
置は、RC素子の位相シフトの原理にもとづく。エツチ
ングセル1へ抵抗Ri 2が直列に接続されている。
位相シフトは、発電機電圧UGenのゼロ点検出によシ
ないし抵抗RN 3における部分電圧Uspおよび抵抗
R工2における電圧UKp工のゼロ点検出により、測定
される。
高電圧分圧器4において、ゼロ点検出のための信号取シ
出しが行なわれる。抵抗R工が位相シフトに影害を与え
る。信号は絶縁増幅器5によシ直流的に分離される。続
いて振幅が同じ高さへ調整6されて比較器7へ導ひかれ
る。最後にこれらの両信号が論理@ぎ結合8される。
エツチングセルたとえばC1・・・C工・・・C20に
おける電圧は最大値が1KvO値を有する必要がある。
エツチング発電機の電圧範囲は10−1990vの値を
有する。エツチングセルの電圧は次の式にもとづいて算
出される。
U   =U    −sin Φ Ci    gen        1位相角に対して
はΦ、<30°にする必要がちる。
測定され九位相角は次の式に代入される。
Φ = arctan 2π・f−R工・(CF工+C,) エツチングセル1の容量ClハC工= CF工+Cpで
あり、これは、照射されないシートの容量としてのCp
および付加的な容量としてのCFi−このシートは照射
されたーと全音する。角度は60°よりも小謳くするか
または60°に等しく嘔れる、何故ならばこの角度が増
加すると、所定の変化Δ釦、の場合の変化ΔΦ1が一層
小さくなるからである。上記の式を用いて抵抗R1= 
3 MGの値が選定される。発電機のゼロ点検出用の分
圧器に対して(RN+RH)=10MΩが選定される。
これにより損失電力が低く保たれる。信号の取り出され
る抵抗2ないし3は、最大許容信号電圧から求められる
高電圧側の短絡およびその他の障害の場合の計装の損傷
を回避するために、信号の直流的分離5が行なわれる。
このことは絶縁増幅器によシ行なわれる。その伝送作用
は小形ハイブリットトランスにもとづく。このトランス
は最大絶縁電圧が3500 VDC用に設計されている
各1つの高電圧分圧器および各1つの絶縁増幅器がその
配線と共に金属ケーシングの中へ組み込まれる。高い電
界のため、分圧器と絶縁増幅器との間に金属壁が組み込
まれる。高電圧の端子は絶縁されて引き込まれる。
電気的な基準点を相応に選定すれば、信号検出は基本的
には絶縁増幅器を用いなくても可能となる。
エツチングセルの容量は、電気化学的エツチングの工程
中に増加する。これにより、抵抗R1・・・R工・・・
R20における電圧が変化する。このことが、検出され
るべき信号”spiのその都度の振幅変化を生ぜさせる
比較器γは信号をゼロ通過の際に正確に検出するのでは
なく、この信号を可調整の基準電圧と比較する。所定の
基準電圧9の場合の振幅差が、比較器のスイッチング時
間の時間差を生ぜさせる。そのため振幅調整器6が必要
とされる。
振幅調整器6は、可変振幅増幅器、ピーク値測定器およ
び比較器から構成される。
比較器7の入力信号に障害電圧およびノイズが重畳する
ことがある。そのため比較器の基準としてアース電位は
用いられない。基準電圧源9は電圧0−100 mVを
調整可能に発生する。
排他OR信号0 .10のパルス持続時間0g1 t2□が測定される。このパルス持続時間により位相角
Φ、がΦ、=2πft、  により算出される。
この場合、fはエツチング電圧の周波数である。
角度Φ、を下の式に代入すると、容量Cpと9、との和
が求められる。
照射された検出器と照射されない検出器との差を形成す
ることにより、Cpを考慮しなくてすむ。測定値検出は
選択可能な時間間隔において行なわれ、この場合たとえ
ば100の測定値にわたる平均化が、ユニバーサル計数
器により自動的に実施される。
従来のエツチング法(前述の刊行物、4頁)は方法的に
この場合も実施可能である。この場合、エツチング時間
の終りに位相シフトが1回測定嘔れて、これにより1つ
または複数個のエツチングセルの最終容量が求められる
容量測定の別の構成は、例えば容量測定グリップによる
測定によっても可能である。
第6図に同時にエツチングされている3つのエツチング
セル容量の定性的経過11が、エラちの上に配属される
。12で示されているエツチングセル容量の時間経過に
おいては例えば、11の下のシートよシも一層わずかな
エネルギーを有するビームにさらされたシートがエツチ
ングされる。この場合、有利なエツチング時間t1゜は
11の下よシも短かい。
発明の効果 本発明によシ、所要時間の短縮された高い信頼性の経済
的なエツチング法が提供される。
【図面の簡単な説明】
第1図はエツチング装置の電気回路図、第2図はエツチ
ング装置用の測定回路のブロック図、第6図はエツチン
グ中のエツチングセルの定性的経過図を示す。 1・・・2番目のエツチングセル、2・・・エツチング
セル1への直列抵抗、3・・・分圧器抵抗RN%4・・
・分圧器、5・・・絶縁増幅器、6・・・振幅調整器、
γ・・・比較器、8・・・論理装置、9・・・基準電圧
、10・・・排他OR信号、11・・・異なる強さで照
射される6つのシートの同時のエツチング中のエツチン
グセル容量の時間経過ダイヤグラム、12・・・よシ高
いエネルギーの核ビームに照射されたシートのエツチン
グ中のエツチング容量の時間経過ダイヤグラム、13・
・・エツチングパケツ ト 。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1、トラック検出材料から成る、ビーム線の照射される
    シート中に、電気化学的エッチングセルを用いてエッチ
    ングされる核トラックを評価することによりビーム配量
    を測定する方法であつて、この場合このエッチングセル
    は核トラックを有するシートにより2つの室に分けられ
    ており、さらに2つの異なる液体を互いに分離しており
    、この場合この照射される方のシート側はエッチング−
    および溶媒混合液が接触するようにし、他方の側は電解
    液が接触するようにし、さらに前記液体中へ各1つの電
    極が浸漬されている構成の、ビーム線量の測定法におい
    て、 a)両方の電極へ交流電圧を印加するステップと、 b)核トラックを拡大するために、所定時間にわたるエ
    ッチング−および溶媒混合液による選択的腐食により核
    トラックをエッチングするステップとを有するビーム調
    量の測定法において、さらに次のステツプを設けるよう
    にし、即ち c)エッチング中にエッチングセルの電気容量を連続的
    に検出するステツプと、 d)較正規準により求められた所定のエッチング時間後
    に形成された電気容量を、較正値との比較によりビーム
    調量に対する尺度として用いるステップとを設けたこと
    を特徴とするビーム配量の測定法。 2、エッチングセルと直列に接続された抵抗における交
    流電圧を交流電圧源の電圧と、互いに位相に関して比較
    するようにし、さらに所定のエッチング時間後のこの位
    相を核ビーム調量に対する尺度として用いるようにした
    請求項1記載の方法。 3、複数個のエッチングセルを機械的に1つのエッチン
    グパケットにまとめるようにし、さらに交流電圧源へ接
    続し、この場合、各々のエッチングセルに直列に接続さ
    れた抵抗における交流電圧を前記電圧源の電圧と位相に
    関して連続的に比較するようにした請求項1又は2記載
    の方法。
JP1130303A 1988-05-25 1989-05-25 ビーム配量の測定法 Pending JPH0225788A (ja)

Applications Claiming Priority (2)

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DE3817659.9 1988-05-25
DE3817659A DE3817659A1 (de) 1988-05-25 1988-05-25 Verfahren zum bestimmen von strahlendosen durch auswerten von kernspuren in bestrahlten und danach geaetzten folien

Publications (1)

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JPH0225788A true JPH0225788A (ja) 1990-01-29

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JP1130303A Pending JPH0225788A (ja) 1988-05-25 1989-05-25 ビーム配量の測定法

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JP (1) JPH0225788A (ja)
DE (1) DE3817659A1 (ja)
FR (1) FR2632074A1 (ja)
GB (1) GB2220064B (ja)

Cited By (1)

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FR2632074A1 (fr) 1989-12-01
DE3817659C2 (ja) 1990-11-22
US4933564A (en) 1990-06-12
GB2220064B (en) 1992-05-20
GB2220064A (en) 1989-12-28
DE3817659A1 (de) 1989-11-30
GB8911962D0 (en) 1989-07-12

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