JPH0225579Y2 - - Google Patents
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- JPH0225579Y2 JPH0225579Y2 JP1984058215U JP5821584U JPH0225579Y2 JP H0225579 Y2 JPH0225579 Y2 JP H0225579Y2 JP 1984058215 U JP1984058215 U JP 1984058215U JP 5821584 U JP5821584 U JP 5821584U JP H0225579 Y2 JPH0225579 Y2 JP H0225579Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- connecting rod
- manipulator
- electromagnet
- manipulator arm
- movable
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
- 238000000926 separation method Methods 0.000 claims description 4
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 3
- 238000005476 soldering Methods 0.000 description 2
- 230000005611 electricity Effects 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Manufacturing Of Electrical Connectors (AREA)
- Electric Connection Of Electric Components To Printed Circuits (AREA)
- Jigs For Machine Tools (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
本考案は可動台操作用マニピユレータ、特に電
子部品を可動台に載せて半田付け処理等を行うボ
ンダー装置において前記可動台の可動倍率を容易
に変え得るようにした可変倍率式マニピユレータ
に関する。
子部品を可動台に載せて半田付け処理等を行うボ
ンダー装置において前記可動台の可動倍率を容易
に変え得るようにした可変倍率式マニピユレータ
に関する。
半導体部品等に端子を半田付け処理したり、基
板に配線付け処理を行つたりする場合、これらの
電子部品をＸ−Ｙ方向に動く載物台（可動台）に
載せ、マニピユレータを用いて可動台を動かしつ
つ処理を行う装置がある。前記可動台の動きはマ
ニピユレータの手動操作部（マニピユレータノ
ブ）の動作に対して一定比率で縮小された動作を
する。このような手動マニピユレータを用いたワ
イヤボンダー装置は従来からかなり出回つている
が、いずれもその可動台の可動範囲はかなり小さ
い（一般的には１インチ平方程度）のがほとんど
である。しかしハイブリツドIC等の基板になる
と２インチ平行程度のものまであり、この大きさ
のものを上述した手動式のマニピユレータで動か
すことができれば作業上非常に便利である。しか
し従来のこの種のマニピユレータでは可動台と操
作ノブとの移動倍率（マニピユレータ比）は高々
１：５か１：６程度であり、２インチ平方の大き
さの基板を動かすにはマニピユレータノブの可動
範囲は300mm以上（マニピユレータ比１：６の場
合）にもなり、装置全体が非常に大きくなつてし
まうとともに手も大きく動かす必要があり、作業
がわずらわしくなる。したがつてあまり大きな可
動範囲を要するものには適用できず、せいぜい１
インチ平方以下程度の部品が対象となる。この可
動範囲を外れる場合は基板（搭載台）を手で直接
動かす必要があり、しかも無造作に動かすとボン
デイング個所を見失う場合もあり得る。
板に配線付け処理を行つたりする場合、これらの
電子部品をＸ−Ｙ方向に動く載物台（可動台）に
載せ、マニピユレータを用いて可動台を動かしつ
つ処理を行う装置がある。前記可動台の動きはマ
ニピユレータの手動操作部（マニピユレータノ
ブ）の動作に対して一定比率で縮小された動作を
する。このような手動マニピユレータを用いたワ
イヤボンダー装置は従来からかなり出回つている
が、いずれもその可動台の可動範囲はかなり小さ
い（一般的には１インチ平方程度）のがほとんど
である。しかしハイブリツドIC等の基板になる
と２インチ平行程度のものまであり、この大きさ
のものを上述した手動式のマニピユレータで動か
すことができれば作業上非常に便利である。しか
し従来のこの種のマニピユレータでは可動台と操
作ノブとの移動倍率（マニピユレータ比）は高々
１：５か１：６程度であり、２インチ平方の大き
さの基板を動かすにはマニピユレータノブの可動
範囲は300mm以上（マニピユレータ比１：６の場
合）にもなり、装置全体が非常に大きくなつてし
まうとともに手も大きく動かす必要があり、作業
がわずらわしくなる。したがつてあまり大きな可
動範囲を要するものには適用できず、せいぜい１
インチ平方以下程度の部品が対象となる。この可
動範囲を外れる場合は基板（搭載台）を手で直接
動かす必要があり、しかも無造作に動かすとボン
デイング個所を見失う場合もあり得る。
本考案は上述した問題を解決し、本来の微動機
構のほかにマニピユレータ比が１：１の粗動機構
を備え、可動台の可動範囲が大きく、しかも操作
性に優れた可変倍率式マニピユレータを提供する
ことを目的とする。
構のほかにマニピユレータ比が１：１の粗動機構
を備え、可動台の可動範囲が大きく、しかも操作
性に優れた可変倍率式マニピユレータを提供する
ことを目的とする。
本考案は、固定台に１つの支点をもちかつ可動
台に一端を連結した可動台微動機構を有するマニ
ピユレータにおいて、前記微動機構の支点部に回
転自在に設けられかつ該支点部を接続・開離する
第１の電磁石と、手動操作部につながるマニピユ
レータ腕部に回転不能に設けられかつ前記可動台
と接続・開離する第２の電磁石とを有し、前記可
動台の微動操作時には前記第１の電磁石をON、
前記第２の電磁石をOFFとし、粗動操作時には
前記第１の電磁石をOFF、前記第２の電磁石を
ONとするように構成したものである。
台に一端を連結した可動台微動機構を有するマニ
ピユレータにおいて、前記微動機構の支点部に回
転自在に設けられかつ該支点部を接続・開離する
第１の電磁石と、手動操作部につながるマニピユ
レータ腕部に回転不能に設けられかつ前記可動台
と接続・開離する第２の電磁石とを有し、前記可
動台の微動操作時には前記第１の電磁石をON、
前記第２の電磁石をOFFとし、粗動操作時には
前記第１の電磁石をOFF、前記第２の電磁石を
ONとするように構成したものである。
以下、本考案を、図面を参照しながら、実施例
について説明する。
について説明する。
第１図は本考案の実施例に係る可変倍率式マニ
ピユレータを用いたワイヤボンダー装置の平面図
であり、第２図は第１図の矢視Ｆからみた側面図
である。固定台となるボンダ底部１の上面にＸ−
Ｙテーブル２（第２図）が取り付けられ、このＸ
−Ｙテーブル２に、平面図でみて概略Ｔ字形を成
したＴバー３が設けられている。Ｔバー３はＸ−
Ｙテーブル２上を直交２方向即ちＸ方向およびＹ
方向に摺動するようになつている。Ｔバー３の一
端３ａには載物台４が取り付けられる。Ｔバー３
および載物台４によつて本考案に係る可動台を構
成している。この載物台４には、図示しないヒー
タステージ等を介して基板等の電子部品が載せら
れる。
ピユレータを用いたワイヤボンダー装置の平面図
であり、第２図は第１図の矢視Ｆからみた側面図
である。固定台となるボンダ底部１の上面にＸ−
Ｙテーブル２（第２図）が取り付けられ、このＸ
−Ｙテーブル２に、平面図でみて概略Ｔ字形を成
したＴバー３が設けられている。Ｔバー３はＸ−
Ｙテーブル２上を直交２方向即ちＸ方向およびＹ
方向に摺動するようになつている。Ｔバー３の一
端３ａには載物台４が取り付けられる。Ｔバー３
および載物台４によつて本考案に係る可動台を構
成している。この載物台４には、図示しないヒー
タステージ等を介して基板等の電子部品が載せら
れる。
全体として符号５で示す可動台微動機構は、図
示実施例では平行四辺形リンク機構で構成された
平行運動機構が用いられている。第１図に示すよ
うに可動台微動機構５の支点部はボンダ底部１に
固定されたプレート６上に形成され、また該微動
機構５の一部はＴバー３にピン１６を介して枢着
されている。可動台微動機構５の他端からマニピ
ユレータ腕部７がのばされ、該腕部の端部にはマ
ニピユレータノブ８が取り付けられている。上述
と一部分重複するが、図示実施例の構成を、第１
図を参照してより具体的に説明すれば、この可変
倍率式マニピユレータは、一端にマニピユレータ
ノブ８を備え両端部間のＴバー３領域内における
下面に粗動時付勢用電磁石（第２の電磁石と称す
る）１２を回転不能に設けたマニピユレータ腕部
７と、マニピユレータ腕部７と平行に離間させて
一端をピン１６を介してＴバー３に枢着した第１
の連接棒１７と、第１の連接棒１７の他端とマニ
ピユレータ腕部７の他端に回転自在に架設しかつ
第１の連接棒１７の前記他端を越えて張り出した
張出部１８ａのボンダ底部１領域内における下面
に微動時付勢用電磁石（第１の電磁石と称する）
１０を回転自在に設けた第２の連接棒１８と、第
２の連接棒１８に平行に離間させて第１の連接棒
１７の中途部とマニピユレータ腕部７とに両端を
回動自在に架設した第３の連接棒１９とからなる
平行四辺形リンク機構を有し、第２の連接棒１８
の前記張出部１８ａの張出長さは、第２、第３の
連接棒１８，１９どおしの最大離間距離と大略等
しくなつており、マニピユレータ腕部７の長さ
は、第２の連接棒１８の全長に大略等しくなつて
おり、第２の電磁石１２の付勢によりマニピユレ
ータ腕部７が該第２の電磁石１２を介してＴバー
３に固着され、第１の電磁石１０の付勢により第
２の連接棒１８が該第１の電磁石１０を介してボ
ンダ底部１に回動自在に支点支持されている。マ
ニピユレータノブ８は操作台９の上面に極少の隙
間を有して位置しており、このノブ８を操作台９
上でＸ−Ｙ方向に動かすことにより、微動機構５
を介してＴバー３、したがつて載物台４は一定の
縮少比でＸ−Ｙ方向に移動する。
示実施例では平行四辺形リンク機構で構成された
平行運動機構が用いられている。第１図に示すよ
うに可動台微動機構５の支点部はボンダ底部１に
固定されたプレート６上に形成され、また該微動
機構５の一部はＴバー３にピン１６を介して枢着
されている。可動台微動機構５の他端からマニピ
ユレータ腕部７がのばされ、該腕部の端部にはマ
ニピユレータノブ８が取り付けられている。上述
と一部分重複するが、図示実施例の構成を、第１
図を参照してより具体的に説明すれば、この可変
倍率式マニピユレータは、一端にマニピユレータ
ノブ８を備え両端部間のＴバー３領域内における
下面に粗動時付勢用電磁石（第２の電磁石と称す
る）１２を回転不能に設けたマニピユレータ腕部
７と、マニピユレータ腕部７と平行に離間させて
一端をピン１６を介してＴバー３に枢着した第１
の連接棒１７と、第１の連接棒１７の他端とマニ
ピユレータ腕部７の他端に回転自在に架設しかつ
第１の連接棒１７の前記他端を越えて張り出した
張出部１８ａのボンダ底部１領域内における下面
に微動時付勢用電磁石（第１の電磁石と称する）
１０を回転自在に設けた第２の連接棒１８と、第
２の連接棒１８に平行に離間させて第１の連接棒
１７の中途部とマニピユレータ腕部７とに両端を
回動自在に架設した第３の連接棒１９とからなる
平行四辺形リンク機構を有し、第２の連接棒１８
の前記張出部１８ａの張出長さは、第２、第３の
連接棒１８，１９どおしの最大離間距離と大略等
しくなつており、マニピユレータ腕部７の長さ
は、第２の連接棒１８の全長に大略等しくなつて
おり、第２の電磁石１２の付勢によりマニピユレ
ータ腕部７が該第２の電磁石１２を介してＴバー
３に固着され、第１の電磁石１０の付勢により第
２の連接棒１８が該第１の電磁石１０を介してボ
ンダ底部１に回動自在に支点支持されている。マ
ニピユレータノブ８は操作台９の上面に極少の隙
間を有して位置しており、このノブ８を操作台９
上でＸ−Ｙ方向に動かすことにより、微動機構５
を介してＴバー３、したがつて載物台４は一定の
縮少比でＸ−Ｙ方向に移動する。
可動台微動機構５の前記支点部には第１の電磁
石１０がボンダ底部１の面に対して垂直方向即ち
上下方向に移動可能でかつ水平面内において回転
可能に取り付けられ、第２図に示す如くスプリン
グ１１によつてプレート６に対して上方へ引き上
げられるように力が加えられている。電磁石１０
が働くとその磁気的吸引力により該電磁石１０が
プレート６に吸着され、これによつて微動機構５
の支点が形成される。マニピユレータ腕部７は第
２の電磁石１２がボンダ底部１の面に対して垂直
方向即ち上下方向にのみ移動可能に設けられてい
る。第２の電磁石１２が働くとその磁気的吸引力
により該電磁石１２がＴバー３に吸着され、該電
磁石１２への通電が切られるとスプリング１３の
ばね力によりＴバー３に対し上方へ引き上げら
れ、これによつてマニピユレータ腕部７はＴバー
３との接続が開離する。これ第１、第２の電磁石
１０，１２の電磁的付勢、消勢はマニピユレータ
ノブ８に取り付けたマニピユレータ比切換スイツ
チ１４によつて行われるようになつている。なお
マニピユレータノブ８にはボンドボタンスイツチ
１５が設けられている。
石１０がボンダ底部１の面に対して垂直方向即ち
上下方向に移動可能でかつ水平面内において回転
可能に取り付けられ、第２図に示す如くスプリン
グ１１によつてプレート６に対して上方へ引き上
げられるように力が加えられている。電磁石１０
が働くとその磁気的吸引力により該電磁石１０が
プレート６に吸着され、これによつて微動機構５
の支点が形成される。マニピユレータ腕部７は第
２の電磁石１２がボンダ底部１の面に対して垂直
方向即ち上下方向にのみ移動可能に設けられてい
る。第２の電磁石１２が働くとその磁気的吸引力
により該電磁石１２がＴバー３に吸着され、該電
磁石１２への通電が切られるとスプリング１３の
ばね力によりＴバー３に対し上方へ引き上げら
れ、これによつてマニピユレータ腕部７はＴバー
３との接続が開離する。これ第１、第２の電磁石
１０，１２の電磁的付勢、消勢はマニピユレータ
ノブ８に取り付けたマニピユレータ比切換スイツ
チ１４によつて行われるようになつている。なお
マニピユレータノブ８にはボンドボタンスイツチ
１５が設けられている。
このような構成でマニピユレータを微動させる
ときは第１の電磁石１０をON状態としてプレー
ト６に吸着させて微動機構５の支点を形成せしめ
る。同時に第２の電磁石１２はOFF状態となつ
ており、前述の如くスプリング１３によつてＴバ
ー３から１〜２mm開離している。したがつてマニ
ピユレータの平行運動機構部分は電磁石１０の軸
支部を支点としてボンダ底部１に連結されるので
通常のマニピユレータとして１：５あるいは１：
６の比で動作する。次にノブ８のスイツチ切換え
により第１の電磁石１０を消勢するとともに第２
の電磁石１２を付勢すると、微動機構５の前記支
点が開離し、かつマニピユレータ腕部７が第２の
電磁石１２を介してＴバー３と直結（固定）さ
れ、これによつて１：１のマニピユレータ比でＴ
バー３が動作し得るようになる。この状態が本考
案での粗動状態であり、マニピユレータノブ８の
動きとＴバー３上の載物台の動きとは同じ比、即
ち１：１で動作するので、大きな基板等をボンデ
イング処理する場合には作業がきわめて容易とな
る。
ときは第１の電磁石１０をON状態としてプレー
ト６に吸着させて微動機構５の支点を形成せしめ
る。同時に第２の電磁石１２はOFF状態となつ
ており、前述の如くスプリング１３によつてＴバ
ー３から１〜２mm開離している。したがつてマニ
ピユレータの平行運動機構部分は電磁石１０の軸
支部を支点としてボンダ底部１に連結されるので
通常のマニピユレータとして１：５あるいは１：
６の比で動作する。次にノブ８のスイツチ切換え
により第１の電磁石１０を消勢するとともに第２
の電磁石１２を付勢すると、微動機構５の前記支
点が開離し、かつマニピユレータ腕部７が第２の
電磁石１２を介してＴバー３と直結（固定）さ
れ、これによつて１：１のマニピユレータ比でＴ
バー３が動作し得るようになる。この状態が本考
案での粗動状態であり、マニピユレータノブ８の
動きとＴバー３上の載物台の動きとは同じ比、即
ち１：１で動作するので、大きな基板等をボンデ
イング処理する場合には作業がきわめて容易とな
る。
第１図は本考案を適用したワイヤボンダー装置
の平面図、第２図は第１図の矢視Ｆからみた側面
図である。 １……ボンダ底部、２……Ｘ−Ｙテーブル、３
……Ｔバー、４……載物台、５……可動台微動機
構、６……プレート、７……マニピユレータ腕
部、８……マニピユレータノブ、９……操作台、
１０……第１の電磁石、１１，１３……スプリン
グ、１２……第２の電磁石、１４……マニピユレ
ータ比切換スイツチ。
の平面図、第２図は第１図の矢視Ｆからみた側面
図である。 １……ボンダ底部、２……Ｘ−Ｙテーブル、３
……Ｔバー、４……載物台、５……可動台微動機
構、６……プレート、７……マニピユレータ腕
部、８……マニピユレータノブ、９……操作台、
１０……第１の電磁石、１１，１３……スプリン
グ、１２……第２の電磁石、１４……マニピユレ
ータ比切換スイツチ。
Claims (1)
- 固定台上に保持された可動台を移動させるマニ
ピユレータにおいて、一端にノブを備え両端部間
の前記可動台領域内における下面に粗動時付勢用
電磁石を回転不能に設けたマニピユレータ腕部
と、該マニピユレータ腕部と平行に離間させて一
端を前記可動台に枢着した第１の連接棒と、該第
１の連接棒の他端と前記マニピユレータ腕部の他
端に回転自在に架設し前記第１の連接棒の前記他
端を越えて張り出した張出部の前記固定台領域内
における下面に微動時付勢用電磁石を回転自在に
設けた第２の連接棒と、該第２の連接棒に平行に
離間させて前記第１の連接棒の中途部と前記マニ
ピユレータ腕部とに両端を回動自在に架設した第
３の連接棒とからなる平行四辺形リンク機構を有
し、前記第２の連接棒の前記張出部の張出長さは
前記第２、第３の連接棒どおしの最大離間距離と
大略等しくなつており、前記マニピユレータ腕部
の長さは前記第２の連接棒の全長に大略等しくな
つており、前記粗動時付勢用電磁石の付勢により
前記マニピユレータ腕部が該粗動時付勢用電磁石
を介して前記可動台に固着され、前記微動時付勢
用電磁石の付勢により前記第２の連接棒が該微動
時付勢用電磁石を介して前記固定台に回動自在に
支点支持され、前記両電磁石を択一的に付勢して
前記可動台の粗動または微動を行うことを特徴と
する可変倍率式マニピユレータ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5821584U JPS60171663U (ja) | 1984-04-20 | 1984-04-20 | 可変倍率式マニピユレ−タ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5821584U JPS60171663U (ja) | 1984-04-20 | 1984-04-20 | 可変倍率式マニピユレ−タ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60171663U JPS60171663U (ja) | 1985-11-14 |
| JPH0225579Y2 true JPH0225579Y2 (ja) | 1990-07-13 |
Family
ID=30583509
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5821584U Granted JPS60171663U (ja) | 1984-04-20 | 1984-04-20 | 可変倍率式マニピユレ−タ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60171663U (ja) |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5182125A (ja) * | 1975-01-14 | 1976-07-19 | Kikuo Inoe | Fukuseiseizuki |
| JPS5852959U (ja) * | 1981-09-25 | 1983-04-11 | ダイワ精工株式会社 | リ−ルシ−ト |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS58110495U (ja) * | 1982-01-20 | 1983-07-27 | 株式会社学習研究社 | 拡大描画器 |
-
1984
- 1984-04-20 JP JP5821584U patent/JPS60171663U/ja active Granted
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5182125A (ja) * | 1975-01-14 | 1976-07-19 | Kikuo Inoe | Fukuseiseizuki |
| JPS5852959U (ja) * | 1981-09-25 | 1983-04-11 | ダイワ精工株式会社 | リ−ルシ−ト |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS60171663U (ja) | 1985-11-14 |
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