JPH02254417A - 液晶ディスプレイ用ラビング装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は液晶ディスプレイ基板を配向させるためのラ
ビング装置に関するものである。

〔従来の技術」 第３図は例えば協栄セミコンダクター株式会社の液晶用
ラビング装置Ｌ−３００型のラビング原理を示す断面図
である。２はＸ−Ｙテーブル１上に配置された液晶ディ
スプレイ基板、４０はラビングローラで、アルミなどの
金属材料よりなる回転ローラ３と、その外周面に巻かれ
たラビング布４とから構成されており、また上記液晶デ
ィスプレイ基板２はガラス基板２０．薄膜トランジスタ
２１、外部引き出し端子２２．ポリイミドなどの材料よ
りなる配向膜２３から構成されており、該配向膜２３は
上記ラビング布４によってラビングされる。ＢはＸ−Ｙ
テーブルｌの移動方向、Ａはラビング・ローラ４０の回
転方向である。

この装置では、液晶ディスプレイ基板２をラビングする
際には、ラビング布４と配向膜２３及び外部引き出し端
子２２とが摺動するため、それぞれに静電気帯電を生じ
る。その帯電量は例えばラビング布４で＋０．５〜＋１
．５ＫＶ、配向膜２３で−０，５〜−１，ＯＫＶになる
。帯電した静電気が例えば外部引き出し端子２２に印加
されたり、あるいは配向膜２３の大地間浮遊容量（図示
せず）を介して薄膜トランジスタ２１に印加されると、
薄膜トランジスタ２１の特性劣化ないしは破壊が生じる
。

第４図は液晶ディスプレイ基板２の電気的等価回路図で
、液晶ディスプレイ基板２には通常薄膜トランジスタ２
１のゲート２１ａ及びソース２１ｂに接続される外部引
き出し端子２２を一括接続するショート・リング２５が
上記静電気の影響を除去する目的で設けられている。な
お、ショート・リング２５はラビングが実施されている
期間接地されている。２１ｃは薄膜トランジスタ２１の
ドレインである。

次にラビング工程におけるラビング・ローラ４０と液晶
ディスプレイ基板２との相対位置関係を第５図を用いて
説明する。この回は第３図のラビング装置の上面図であ
り、ここでは液晶ディスプレイ基板２とラビング・ロー
ラ４０との相対位置は液晶ディスプレイの視野角の問題
から所定の角度、例えば４５°に設定されている。

ラビング・ローラ４０が方向Ａに回転している状態で、
Ｘ−Ｙテーブル１が方向Ｂに移動すると、液晶ディスプ
レイ基板２とラビング・ローラ４０との接触面積が漸増
（漸減）し、それに伴って液晶ディスプレイ基板２及び
ラビング・ローラ４０の静電気帯電量も漸増（漸減）す
る。この静電気帯電は液晶ディスプレイ基板２が第４図
のショート・リング２５で接地されていると、ラビング
・ローラ４０に生じる。従って、市販のイオン発生器を
用いて一定量のイオンをラビング・ローラ４０に吹き付
けた場合、上記静電気帯電量が最も大きくなるラビング
・ローラ４０と液晶ディスプレイ基板２との相対位置で
は有効であるが、それ以外の相対位置ではイオン発生器
によってラビング・ローラ４０の静電気帯電量が増大す
る弊害が生じる。

〔発明が解決しようとする課題］ 従来のラビング装置は以上のように構成されているので
、ラビング・ローラ４０と液晶ディスプレイ基板２との
相対位置関係によって、発生する静電気帯電量が変化す
るため、一定量のイオンを発生する市販のイオン発生器
を用いても上記ラビング・ローラ４０及び液晶ディスプ
レイ基板２に発生する静電気を効果的に除電できず、従
って液晶ディスプレイ基板２に内蔵される薄膜トランジ
スタ２１の特性劣化ないしは破壊を抑止できないという
問題点があった。

この発明は上記のような問題点を解消するためになされ
たもので、液晶ディスプレイ基板のラビング工程で発生
する静電気を除電することができ、これにより液晶ディ
スプレイ基板に内蔵される薄膜トランジスタの特性劣化
や破壊を抑止するこ七ができるラビング装置を得ること
を目的とする。

〔課題を解決するための手段〕

この発明に係る液晶ディスプレイ用ラビング装置は、液
晶ディスプレイ基板のラビングの際発生する静電気帯電
の量またはこの帯電量と比例関係にある物理量を検出す
る検出手段及びイオンを発生して該静電気帯電を除電す
る帯電除電手段を設けるとともに、上記検出手段の出力
信号に基づいて該帯電除電手段のイオン発生量を制御す
る制御手段を設けたものである。

〔作用〕

この発明においては、液晶ディスプレイ基板のラビング
の際発生する静電気帯電の量またはこの帯電量と比例関
係にある物理量を検出するとともに、静電気を除電する
イオンの発生量を該検出出力に基づいて制御するように
したから、上記ラビングの際発生する静電気を効果的に
除電でき、この結果、液晶ディスプレイ基板に内蔵され
る薄膜トランジスタの特性劣化あるいは破壊を抑止する
ことができる。

〔実施例〕

以下、この発明の一実施例を図について説明する。

第１図は本発明の一実施例による液晶ディスプレイのラ
ビング装置を説明するための模式図であり、図において
、２は第３図と同様ガラス基板２０、薄膜トランジスタ
２１．外部引き出し端子２２　ポリイミドなどの材料よ
りなる配向膜２３より構成された液晶ディスプレイ基板
、４０はアルミなどの材料よりなる回転ローラ３とナイ
ロンなどの材料よりなるラビング布４とで構成されたラ
ビング・ローラで、上記配向膜２３は該ラビング・ロー
ラ４０によってラビングされるようになっている。また
Ａはラビング・ローラ４０の回転方向、１は液晶ディス
プレイ基板２を搭載するためのＸ−Ｙテーブル、ＢはＸ
−Ｙテーブルの移動方向である。

１００はラビング工程において液晶ディスプレイ基板２
に加えられるラビング荷重を検出するための荷重検出器
、２００はラビング工程においてラビング・ローラ４０
及び液晶ディスプレイ基板２に発生する静電気を除電す
るためのイオナイザ３００は荷重検出器１００の出力信
号によってイオナイザー２００を制御するコントローラ
である。

次に作用効果について説明する。

まず液晶ディスプレイ基板２のラビング工程における静
電気発生メカニズムを説明する。

ラビング・ローラ４０がＡ方向に回転している状態でＸ
−Ｙテーブル１をＢ方向に移動して、液晶ディスプレイ
基板２のラビングを行なうと、ラビング布４と配向膜２
３及び外部引き出し端子２２とが摺接することとなるた
め、それぞれに静電気帯電を生じる。このとき第５図の
ように、ＸＹ子テーブルの移動に伴ってラビング・ロー
ラ４０と液晶ディスプレイ基板２との接触面積が漸増（
漸減）するため、ラビング・ローラ４０のｎＮ気帯電量
も漸増（漸減）する。

一方、液晶ディスプレイ基板２は外部引き出し端子２２
が第４図のようにショート・リング２５を介して接地さ
れているため、静電気帯電量がかなり少ない。しかしな
がら、外部引き出し端子２２及びショート・リング２５
の大地間浮遊容量。

薄膜トランジスタ２１の電極間容量などが原因で、薄膜
トランジスタ２１の電極間、例えばゲート２１ａとソー
ス２１ｂ間、ゲート２１ａとドレイン２１ｃ間、ソース
２１ｂとドレイン２１ｃ間にはラビング工程中において
過渡的な静電気が印加される。

そこで本装置では、ラビング・ローラ４０の回転数及び
Ｘ−Ｙテーブル１の移動速度を一定とした場合、時間的
に変化するラビング荷重はラビング・ローラ４０と液晶
ディスプレイ基板２との接触面積に比例し、結局液ロー
ラ４０及び基板２のそれぞれの静電気帯電量と比例関係
を持つため、除電用イオンを発生するイオナイザー２０
０のイオン発生量を、上記ラビング荷重に対応した電気
量を用いてコントローラ３００で制御するようにしてい
る。これによりラビング工程に伴って時間的に変化する
ラビング・ローラ４０及び液晶ディスプレイ基板２の静
電気帯電量をイオナイザー２００で減殺するようにして
除電することが可能となり、液晶ディスプレイ基板２に
内蔵される薄膜トランジスタ２１の静電気による特性劣
化ないしは破壊を皆無とすることができる。

このように本実施例では、ラビング工程で発生する静電
気帯電量を検出し、その検出信号を用いてラビング・ロ
ーラ及び液晶ディスプレイ基板を除電するイオナイザー
のイオン発生量を時間的に制御するように構成したので
、ラビング・ローラ及び液晶ディスプレイを効果的に除
電することができ、この結果液晶ディスプレイ基板に内
蔵される薄膜トランジスタの特性劣化あるいは破壊を抑
止することができる。

第２図はこの発明の他の実施例を説明するだめのラビン
グ装置の断面図である。第１図の実施例ではラビング・
ローラ４０及び液晶ディスプレイ基板２の静電気帯電量
を荷重検出器１００から相対的な値として検出したのに
対し、この実施例では静電気検出器（一般に表面電位計
と呼ばれている）を用いて帯電量を直接的な値として検
出し、コントローラ３００を介してイオナイザー２００
のイオン発生量を時間的に制御することにより、上記静
電気帯電を除電するようにしている。この場合、静電気
検出器の検出精度の問題から第１図の実施例に比べて除
電効果は若干低下するが、ラビング装置の簡略化を図れ
るという効果がある。

なお、上記実施例ではイオナイザー２００は１台であっ
たが、これはラビング・ローラ４０の除電用、液晶ディ
スプレイ基板２の除電用といったように複数台設置して
もよく、また荷重検出器１００と静電気検出器１１０と
を併用（図示省略）してもよ（、いずれの場合も上記実
施例と同様の効果を奏する。

〔発明の効果〕

以上のように、この発明によれば、液晶ディスプレイ基
板のラビングの際発生する静電気帯電の量またはこの帯
電量と比例関係にある物理量を検出する検出手段及びイ
オンを発生して該静電気帯電を除電する帯電除電手段を
設けるとともに、上記検出手段の出力信号に基づいて該
帯電除電手段のイオン発生量を制御する制御手段を設け
たので、液晶ディスプレイ基板に内蔵される薄膜トラン
ジスタの特性劣化ないしは破壊を抑止することができ、
これにより液晶ディスプレイの歩留りおよび品質向上を
図るとともに装置を安価にすることができる効果がある
。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明の一実施例による液晶ディスプレイ用
ラビング装置を示す概略断面図、第２図はこの発明の他
の実施例によるラビング装置の概略断面図、第３図は従
来のラビング装置を示す概略断面図、第４図は液晶ディ
スプレイ基板の電気的等価回路図、第５図はラビング工
程を説明するための第３図の平面図である。 １はＸ−Ｙテーブル、２は液晶ディスプレイ基板、３は
回転ローラ、４はラビング布、ＢはＸＹ子テーブル移動
方向、２０はガラス基板、２１は薄膜トランジスタ、２
１ａはゲート、２１ｂはソース、２１ｃはドレイン、２
２は外部引き出し端子、２３は配向膜、２５はショート
・リング、Ａはラビング・ローラの回転方向、４０はラ
ビング・ローラ、ｌＯＯは荷重検出器、１１０は静電気
検出器、２００はイオナイザー、３００はコントローラ
である。 なお図中同一符号は同−又は相当部分を示す。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）ラビングローラを有し、該ローラによりディスプ
   レイ基板を配向させる液晶ディスプレイ用ラビング装置
   において、 液晶ディスプレイ基板のラビングの際発生する静電気帯
   電の量またはこの帯電量と比例関係にある物理量を検出
   する検出手段と、 イオンを発生して該静電気帯電を除電する帯電除電手段
   と、 上記検出手段の出力信号に基づいて該帯電除電手段のイ
   オン発生量を制御する制御手段とを備えたことを特徴と
   する液晶ディスプレイ用ラビング装置。