JPH02243417A - 半導体材料の搬送装置 - Google Patents
半導体材料の搬送装置Info
- Publication number
- JPH02243417A JPH02243417A JP6285489A JP6285489A JPH02243417A JP H02243417 A JPH02243417 A JP H02243417A JP 6285489 A JP6285489 A JP 6285489A JP 6285489 A JP6285489 A JP 6285489A JP H02243417 A JPH02243417 A JP H02243417A
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- Japan
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- containers
- container
- inert gas
- insides
- positive pressure
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- Pending
Links
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Landscapes
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は高清浄度を必要とする半導体材料の搬送装置に
関し、特に無人かつ自動で車軸又はレール等の移動手段
により、目的地へ半導体材料を運搬する搬送装置に関す
る。
関し、特に無人かつ自動で車軸又はレール等の移動手段
により、目的地へ半導体材料を運搬する搬送装置に関す
る。
半導体製品は種々の拡散・組立プロセス工程を経て製品
化されるが、今日、各工程で使用する装置の設置場所へ
、例えば建物の１階から２階にクリーンルーム外を無人
で移動する自動搬送システムが広く使用されている。従
来では第３図に示すように、数十枚の半導体ウェハ１，
１・・・をテフロン製キャリア２に入れてこれを密閉ボ
ックス３に収納して無人自動搬送車４にて搬送する型式
のもの、又はレール上を移動する搬送台車に前記密閉ボ
ックスを固定して目的地へ移動する方式が広く採用され
ていた。
化されるが、今日、各工程で使用する装置の設置場所へ
、例えば建物の１階から２階にクリーンルーム外を無人
で移動する自動搬送システムが広く使用されている。従
来では第３図に示すように、数十枚の半導体ウェハ１，
１・・・をテフロン製キャリア２に入れてこれを密閉ボ
ックス３に収納して無人自動搬送車４にて搬送する型式
のもの、又はレール上を移動する搬送台車に前記密閉ボ
ックスを固定して目的地へ移動する方式が広く採用され
ていた。
上述した従来の搬送装置は半導体材料を密閉ボックス内
に収納して無人搬送車に固定して目的地へ運搬する方式
である。密閉ボックスには塩ビ製が多く、四角い箱で出
し入れ川堤が付いたものが多く、半導体材料はキャリア
に入れてボックス内へ置くものであった。したがって、
運搬時の振動でゴミが生じたり、また、通常クリーンル
ーム内は温度が一定に保たれているが、クリーンルーム
内外を移動する際に生じる温度差で大気の流れが生じ、
小さなゴミ等が密閉ボックスと半導体装置出し入れ用堤
の隙間から入り込んでしまう構造であった。したがって
、半導体材料を汚染する原因となり、製品の歩留り低下
及び製品の特性へ悪影響を及ぼすという欠点がある。
に収納して無人搬送車に固定して目的地へ運搬する方式
である。密閉ボックスには塩ビ製が多く、四角い箱で出
し入れ川堤が付いたものが多く、半導体材料はキャリア
に入れてボックス内へ置くものであった。したがって、
運搬時の振動でゴミが生じたり、また、通常クリーンル
ーム内は温度が一定に保たれているが、クリーンルーム
内外を移動する際に生じる温度差で大気の流れが生じ、
小さなゴミ等が密閉ボックスと半導体装置出し入れ用堤
の隙間から入り込んでしまう構造であった。したがって
、半導体材料を汚染する原因となり、製品の歩留り低下
及び製品の特性へ悪影響を及ぼすという欠点がある。
本発明の目的は前記課題を解決した半導体材料の搬送装
置を提供することにある。
置を提供することにある。
上述した従来の自動搬送装置に対し、本発明は搬送ボッ
クス内に不活性ガスを吹き込み陽圧に保つことで、搬送
装置がゴミレベルの多い雰囲気中を移動しようと、搬送
ボックス内へのゴミの流入を防止し、製品を常時高清浄
度に保つことを可能にするという相違点を有する。
クス内に不活性ガスを吹き込み陽圧に保つことで、搬送
装置がゴミレベルの多い雰囲気中を移動しようと、搬送
ボックス内へのゴミの流入を防止し、製品を常時高清浄
度に保つことを可能にするという相違点を有する。
前記目的を達成するため５本発明は高清浄度を必要とす
る半導体材料を収納して、車軸又はレール等の移動手段
により、無人かつ自動で目的地に移動する半導体材料の
搬送装置において、搬送装置本体に、半導体材料を収納
する容器と、該容器内に不活性ガスを供給して内部を陽
圧に維持する不活性ガス供給システムとを有するもので
ある。
る半導体材料を収納して、車軸又はレール等の移動手段
により、無人かつ自動で目的地に移動する半導体材料の
搬送装置において、搬送装置本体に、半導体材料を収納
する容器と、該容器内に不活性ガスを供給して内部を陽
圧に維持する不活性ガス供給システムとを有するもので
ある。
次に、本発明について図面を参照して説明する。
（実施例１）
第１図は本発明の実施例１を示す縦断面図である。
図において、数十枚の半導体ウェハ１はテフロン製キャ
リア２に載置して、塩ビ製の容器３内に収納する。該容
器３を目的地に向かって自動で搬送可能な無人搬送車４
の定位置に搭載する。無人搬送車４には不活性ガス供給
ノズル５が設けられており、該容器３下部には開口３ａ
が設けてあり。
リア２に載置して、塩ビ製の容器３内に収納する。該容
器３を目的地に向かって自動で搬送可能な無人搬送車４
の定位置に搭載する。無人搬送車４には不活性ガス供給
ノズル５が設けられており、該容器３下部には開口３ａ
が設けてあり。
無人搬送車４の定位置へ容器３を置くと同時に不活性ガ
ス供給ノズル５が容器３の開口３ａに差込まれてその内
部に接続可能な構造となっている。無人搬送車４には不
活性ガス供給システムが設けてあり、容器３を置くと、
無人搬送車４に設けであるリミットスイッチ６が働き、
エアバルブ７が開いて、窒素ガスボンベ８より流量調節
バルブ９によって定量・微量の窒素ガスが容器３内に吹
き出し、容器３内が不活性ガスで充満され陽圧状態とな
り、その窒素ガスの一部が吹き出し孔１０より大気中に
放出される。従って、常時容器３内は高清浄度な窒素ガ
スで陽圧に保つことが可能で、無人搬送車４がゴミの多
い雰囲気中を何度も走ろうとも、容器３内にゴミが侵入
することがなく、半導体ウェハ１を高清浄に保つことが
できる。
ス供給ノズル５が容器３の開口３ａに差込まれてその内
部に接続可能な構造となっている。無人搬送車４には不
活性ガス供給システムが設けてあり、容器３を置くと、
無人搬送車４に設けであるリミットスイッチ６が働き、
エアバルブ７が開いて、窒素ガスボンベ８より流量調節
バルブ９によって定量・微量の窒素ガスが容器３内に吹
き出し、容器３内が不活性ガスで充満され陽圧状態とな
り、その窒素ガスの一部が吹き出し孔１０より大気中に
放出される。従って、常時容器３内は高清浄度な窒素ガ
スで陽圧に保つことが可能で、無人搬送車４がゴミの多
い雰囲気中を何度も走ろうとも、容器３内にゴミが侵入
することがなく、半導体ウェハ１を高清浄に保つことが
できる。
（実施例２）
第２図は本発明の実施例２を示す縦断面図である。
図において、半導体ウェハ１はテフロン製午ヤリア２に
載置して、塩ビ製の容器３に収納し、該容器３を目的地
へ向かってレール１１上を自動で移動可能な搬送台車１
２の定位置に搭載する。搬送台車１２には不活性ガス供
給システムが設けられており、搬送台車１２に容器３を
置く際に、容器３内に不活性ガス供給ノズル５が容易に
接続され、かつリミットスイッチ６が働いて容器３内に
不活性ガスが吹き出す構造となっている。この実施例で
は、常時容器３内が不活性ガスにより陽圧状態に保持さ
れるため、レール１１がゴミレベルの多い場所を通り、
建物の１階から２階又は３階へと搬送する場合でも、小
さなゴミも容器３内へ入ることがなく、製品を常時高清
浄な状態で目的地へ運搬するという利点がある。
載置して、塩ビ製の容器３に収納し、該容器３を目的地
へ向かってレール１１上を自動で移動可能な搬送台車１
２の定位置に搭載する。搬送台車１２には不活性ガス供
給システムが設けられており、搬送台車１２に容器３を
置く際に、容器３内に不活性ガス供給ノズル５が容易に
接続され、かつリミットスイッチ６が働いて容器３内に
不活性ガスが吹き出す構造となっている。この実施例で
は、常時容器３内が不活性ガスにより陽圧状態に保持さ
れるため、レール１１がゴミレベルの多い場所を通り、
建物の１階から２階又は３階へと搬送する場合でも、小
さなゴミも容器３内へ入ることがなく、製品を常時高清
浄な状態で目的地へ運搬するという利点がある。
以上説明したように本発明は無人搬送車に不活性ガス供
給システムを設け、半導体ウェハを収納する容器内を不
活性ガスで陽圧に保ちながら運搬することにより、無人
搬送車がゴミレベルの多い雰囲気中を移動しようとも、
容器内にゴミが入らず、半導体ウェハ等を常時高清浄な
状態に保つことができる。従って、製品歩留りが向上す
るばかりでなく、高品質な製品を生産することが可能で
ある。また、本無人搬送車を使用することにより、半導
体製造装置が設置している以外の従来クリーンルームで
あった領域を縮小することが可能であり、工場の建設費
の低減ないし電力費の低減を実現できる効果を有する。
給システムを設け、半導体ウェハを収納する容器内を不
活性ガスで陽圧に保ちながら運搬することにより、無人
搬送車がゴミレベルの多い雰囲気中を移動しようとも、
容器内にゴミが入らず、半導体ウェハ等を常時高清浄な
状態に保つことができる。従って、製品歩留りが向上す
るばかりでなく、高品質な製品を生産することが可能で
ある。また、本無人搬送車を使用することにより、半導
体製造装置が設置している以外の従来クリーンルームで
あった領域を縮小することが可能であり、工場の建設費
の低減ないし電力費の低減を実現できる効果を有する。
第１図は本発明の実施例１を示す縦断面図、第２図は本
発明の実施例２を示す縦断面図、第３図は従来の自動搬
送装置を示す外観図である。 １・・・半導体ウェハ ２・・・キャリア３・・
・容器 ４・・・無人搬送車５・・・不
活性ガス供給ノズル ６・・・リミットスイッチ ７・・・エアパルプ８・
・・窒素ガスボンベ ９・・・流量調節バルブ１０
・・・吹き出し孔 １１・・・レール１２・・
・搬送台車
発明の実施例２を示す縦断面図、第３図は従来の自動搬
送装置を示す外観図である。 １・・・半導体ウェハ ２・・・キャリア３・・
・容器 ４・・・無人搬送車５・・・不
活性ガス供給ノズル ６・・・リミットスイッチ ７・・・エアパルプ８・
・・窒素ガスボンベ ９・・・流量調節バルブ１０
・・・吹き出し孔 １１・・・レール１２・・
・搬送台車
Claims (1)
- （１）高清浄度を必要とする半導体材料を収納して、車
輪又はレール等の移動手段により、無人かつ自動で目的
地に移動する半導体材料の搬送装置において、搬送装置
本体に、半導体材料を収納する容器と、該容器内に不活
性ガスを供給して内部を陽圧に維持する不活性ガス供給
システムとを有することを特徴とする半導体材料の搬送
装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6285489A JPH02243417A (ja) | 1989-03-15 | 1989-03-15 | 半導体材料の搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6285489A JPH02243417A (ja) | 1989-03-15 | 1989-03-15 | 半導体材料の搬送装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02243417A true JPH02243417A (ja) | 1990-09-27 |
Family
ID=13212308
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6285489A Pending JPH02243417A (ja) | 1989-03-15 | 1989-03-15 | 半導体材料の搬送装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02243417A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5799464A (en) * | 1995-09-08 | 1998-09-01 | Astra Aktiebolag | Aseptic transfer |
| DE19719957C1 (de) * | 1997-05-14 | 1999-01-28 | Wmg Maschinenbau Gmbh | Ampullentransportanlage |
-
1989
- 1989-03-15 JP JP6285489A patent/JPH02243417A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5799464A (en) * | 1995-09-08 | 1998-09-01 | Astra Aktiebolag | Aseptic transfer |
| DE19719957C1 (de) * | 1997-05-14 | 1999-01-28 | Wmg Maschinenbau Gmbh | Ampullentransportanlage |
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