JPH02239511A - マイクロ波用誘電体磁器組成物とその製造方法 - Google Patents
マイクロ波用誘電体磁器組成物とその製造方法Info
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- JPH02239511A JPH02239511A JP1061261A JP6126189A JPH02239511A JP H02239511 A JPH02239511 A JP H02239511A JP 1061261 A JP1061261 A JP 1061261A JP 6126189 A JP6126189 A JP 6126189A JP H02239511 A JPH02239511 A JP H02239511A
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- 239000000203 mixture Substances 0.000 title claims abstract description 30
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 5
- 229910052573 porcelain Inorganic materials 0.000 title abstract description 6
- 239000002245 particle Substances 0.000 claims abstract description 14
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 claims description 15
- 239000000843 powder Substances 0.000 claims description 7
- 239000007858 starting material Substances 0.000 claims description 4
- 239000000463 material Substances 0.000 abstract description 6
- MCMNRKCIXSYSNV-UHFFFAOYSA-N Zirconium dioxide Chemical compound O=[Zr]=O MCMNRKCIXSYSNV-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 5
- WATWJIUSRGPENY-UHFFFAOYSA-N antimony atom Chemical compound [Sb] WATWJIUSRGPENY-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract 2
- ADCOVFLJGNWWNZ-UHFFFAOYSA-N antimony trioxide Inorganic materials O=[Sb]O[Sb]=O ADCOVFLJGNWWNZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract 1
- YEAUATLBSVJFOY-UHFFFAOYSA-N tetraantimony hexaoxide Chemical compound O1[Sb](O2)O[Sb]3O[Sb]1O[Sb]2O3 YEAUATLBSVJFOY-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract 1
- 229910000410 antimony oxide Inorganic materials 0.000 description 6
- VTRUBDSFZJNXHI-UHFFFAOYSA-N oxoantimony Chemical compound [Sb]=O VTRUBDSFZJNXHI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N Titan oxide Chemical compound O=[Ti]=O GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000011230 binding agent Substances 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 1
- 238000000748 compression moulding Methods 0.000 description 1
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000002349 favourable effect Effects 0.000 description 1
- 239000004014 plasticizer Substances 0.000 description 1
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 1
- 230000009257 reactivity Effects 0.000 description 1
- 238000005245 sintering Methods 0.000 description 1
- 239000002002 slurry Substances 0.000 description 1
- 239000006104 solid solution Substances 0.000 description 1
- 239000007921 spray Substances 0.000 description 1
- OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N titanium oxide Inorganic materials [Ti]=O OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Landscapes
- Compositions Of Oxide Ceramics (AREA)
- Inorganic Insulating Materials (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
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Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
？発明は、マイクロ波帯域で用いられる誘電体フィルタ
等の材料として適した、マイクロ波用誘電体磁器組成物
とその製造方法に関するものである． 〔従来技術〕 誘電体フィルタ用のマイクロ波用誘電体磁器組成物とし
て、誘電率が４０付近で、マイクロ波帯域でのＱが高く
、共振周波数の温度係数が小さく、かつ直線性に優れた
誘電体磁器組成物が要求されている． 従来、誘電率が４０付近の材料としては、ＢａＯ−ＴＫ
Ｏ系のＢａＴｉｎＯｑやＢａＴｉ＊Ｏｘｏなどが知られ
ているが、これらの材料は特性的には、一部小さい領域
もあるが、周波数温度係数（τｆ）が大きく、非直線で
あるなどの問題があった． また、製造上の面で、焼結体が還元され易く、Ｑの劣化
または変動が大き（ 、９ａＴｉｇＯ■。などの結晶性
を制御することは難しかった。
等の材料として適した、マイクロ波用誘電体磁器組成物
とその製造方法に関するものである． 〔従来技術〕 誘電体フィルタ用のマイクロ波用誘電体磁器組成物とし
て、誘電率が４０付近で、マイクロ波帯域でのＱが高く
、共振周波数の温度係数が小さく、かつ直線性に優れた
誘電体磁器組成物が要求されている． 従来、誘電率が４０付近の材料としては、ＢａＯ−ＴＫ
Ｏ系のＢａＴｉｎＯｑやＢａＴｉ＊Ｏｘｏなどが知られ
ているが、これらの材料は特性的には、一部小さい領域
もあるが、周波数温度係数（τｆ）が大きく、非直線で
あるなどの問題があった． また、製造上の面で、焼結体が還元され易く、Ｑの劣化
または変動が大き（ 、９ａＴｉｇＯ■。などの結晶性
を制御することは難しかった。
結晶性の制御のためにＢａ−Ｔｉ系の組成物にＺｒを添
加したり、固溶させることも試みられている（特公昭５
６−３８００７号、特開昭６０−２６４３６号など）が
、３．７重量％、８モル％以下としないとＱなどの特性
が劣化し、実用に適さないとされている。
加したり、固溶させることも試みられている（特公昭５
６−３８００７号、特開昭６０−２６４３６号など）が
、３．７重量％、８モル％以下としないとＱなどの特性
が劣化し、実用に適さないとされている。
本発明は、ＢａＯ−ＴｉＯ系のマイクロ波用誘電体磁器
組成物の焼結性を改善し、還元され難い組成物を得よう
とするものである。
組成物の焼結性を改善し、還元され難い組成物を得よう
とするものである。
また、それによって、広範囲でＱが高く、温度係数の小
さなマイクロ波用誘電体磁器組成物を得ようとするもの
である。
さなマイクロ波用誘電体磁器組成物を得ようとするもの
である。
本発明は、Ｚｒ島を添加して三成分系のマイクロ波誘電
体磁器組成物を得て、これにアンチモン酸化物を添加す
ることにより、上記の課題を解決するものである． すなわち、一般式Ｂａ（Ｔｉｌ−ＩＺｒｘ ） ｙ Ｏ
ｚｙ＋ｚで表される組成において、Ｘおよびｙの値が、
０．０２≦ ｘ ＜０．２０ ４．５ ＜ ｙ ＜７．３ の範囲であり、添加物としてＳｂｆｆｉＯＳまたはＳｂ
！Ｏｎ？Ｏ．１〜２。ｏｉｖｔ％含有させたマイクロ波
用誘電体磁器組成物である。
体磁器組成物を得て、これにアンチモン酸化物を添加す
ることにより、上記の課題を解決するものである． すなわち、一般式Ｂａ（Ｔｉｌ−ＩＺｒｘ ） ｙ Ｏ
ｚｙ＋ｚで表される組成において、Ｘおよびｙの値が、
０．０２≦ ｘ ＜０．２０ ４．５ ＜ ｙ ＜７．３ の範囲であり、添加物としてＳｂｆｆｉＯＳまたはＳｂ
！Ｏｎ？Ｏ．１〜２。ｏｉｖｔ％含有させたマイクロ波
用誘電体磁器組成物である。
また、その出発原料の粉末粒子径を小さくして更に特性
の良好なマイクロ波用誘電体磁器組成物を得るものであ
る。
の良好なマイクロ波用誘電体磁器組成物を得るものであ
る。
すなわち、ＢａＣＯ＞ ． ＴｉＯｚ、およびＺｒ０２
を出発原料とし、ＺｒＯｔの粉末粒子径をＴｉＯ■の粉
末粒子径とほぼ同じ（約０．３μｍ）として上記のマイ
クロ波用誘電体磁器組成物を製造するものである。
を出発原料とし、ＺｒＯｔの粉末粒子径をＴｉＯ■の粉
末粒子径とほぼ同じ（約０．３μｍ）として上記のマイ
クロ波用誘電体磁器組成物を製造するものである。
以下、本発明の実施例について説明する．本発明の前提
として、発明者が既に提案したＢａ−Ｔｉ ４ｒ系のマ
イクロ波用誘電体磁器組成物（特願平１− ）につい
て先ず説明する． 出発原料としてＢａＣＯｚ（平均粒径ロ，。＝１．５μ
ｓ＋）ＴｉＯｚ （平均粒径Ｄ，。＝０．２８μｓ）お
よびＺｒＯｚ （平均粒径Ｄ，。＝０．３１μ鵬、０．
９μ麟）を用い、Ｂａ（Ｔｉｎ−ｘＺｒ’ｘ ） ｙ
Ｏｔｙ＋ｘの組成式において、表１に示したｘ． ｙの
範囲で秤量、配合した．これを、ボールミルで１６時間
湿？混合し、水分を乾燥させた後、１０００°Ｃで二時
間仮焼した。
として、発明者が既に提案したＢａ−Ｔｉ ４ｒ系のマ
イクロ波用誘電体磁器組成物（特願平１− ）につい
て先ず説明する． 出発原料としてＢａＣＯｚ（平均粒径ロ，。＝１．５μ
ｓ＋）ＴｉＯｚ （平均粒径Ｄ，。＝０．２８μｓ）お
よびＺｒＯｚ （平均粒径Ｄ，。＝０．３１μ鵬、０．
９μ麟）を用い、Ｂａ（Ｔｉｎ−ｘＺｒ’ｘ ） ｙ
Ｏｔｙ＋ｘの組成式において、表１に示したｘ． ｙの
範囲で秤量、配合した．これを、ボールミルで１６時間
湿？混合し、水分を乾燥させた後、１０００°Ｃで二時
間仮焼した。
この仮焼物を再度ボールミルで有機バインダー（ＰＶＡ
など）、可塑剤などとともに２０時間粉砕し、得られた
スラリーをスプレードライヤーによって造粒した。その
後、１．０〜１．５ｔｏｎ／ｃｓ＋”の圧力で１２．０
Φ×１０ＩＩＩ１に圧縮成型し、バインダー除去の後、
１３２０〜１３８０°Ｃにて二時間焼成した，得られた
焼結体を９。ＯΦＸ ８ｍ＋ｉに研磨加工し、密度測定
どＨＡκＫＩ ＆ ＣＯＬＥＭＡＮ法により、約６ＧＩ
Ｉｚで比誘電率（εｒ）、Ｑおよび温度係数（τｆ）を
測定した．その結果を表１に併せて示す．なお、Ｑの値
はｆＸＱ−一定として、Ｉ Ｇ ＩＩ ｚＯ値に換算し
た値として示してある。
など）、可塑剤などとともに２０時間粉砕し、得られた
スラリーをスプレードライヤーによって造粒した。その
後、１．０〜１．５ｔｏｎ／ｃｓ＋”の圧力で１２．０
Φ×１０ＩＩＩ１に圧縮成型し、バインダー除去の後、
１３２０〜１３８０°Ｃにて二時間焼成した，得られた
焼結体を９。ＯΦＸ ８ｍ＋ｉに研磨加工し、密度測定
どＨＡκＫＩ ＆ ＣＯＬＥＭＡＮ法により、約６ＧＩ
Ｉｚで比誘電率（εｒ）、Ｑおよび温度係数（τｆ）を
測定した．その結果を表１に併せて示す．なお、Ｑの値
はｆＸＱ−一定として、Ｉ Ｇ ＩＩ ｚＯ値に換算し
た値として示してある。
前記の範囲外ではＱが低下したり、そのばらつきが大き
くなるなど、十分な特性が得られない。
くなるなど、十分な特性が得られない。
上記の試料はＺｒ０１の粒径が０．３１μ讃の材料を用
いたものであるが、ＺｒＯ■の粒径が０．９μ鑞のとき
の結果を表２に示す。
いたものであるが、ＺｒＯ■の粒径が０．９μ鑞のとき
の結果を表２に示す。
表１。＆Ｉ（ＴＬ−ｘＺｒｘ ） ｙ Ｏｚｙ＊ｚω＝
１０） 表２ ？１と表２を比較すると、いずれもＺｖＯｚの粒径を０
．３１μ脂とした時の方が、特性が改善されていること
を示している． 以上の結果より、従来困難とされていた組成範囲におい
ても、還元され難い、安定した焼結体が得られ、高Ｑで
温度係数の小さい組成が見出された。
１０） 表２ ？１と表２を比較すると、いずれもＺｖＯｚの粒径を０
．３１μ脂とした時の方が、特性が改善されていること
を示している． 以上の結果より、従来困難とされていた組成範囲におい
ても、還元され難い、安定した焼結体が得られ、高Ｑで
温度係数の小さい組成が見出された。
ＺｒＯ■はｘ＜０．２３の範囲で含有量が多くなる程焼
結性は良好となり、ｘ＜０．１まではＸ線的にも単一相
であることが確認された。また、０．１＜ｘ＜０．２３
では複合結晶であるが、温度係数の増大に影響を及ぼす
ＴｌＯｔの生成を抑制している．なお、上記のＸの値を
モル換算すると約３．５モル％から２１モル％の範囲と
なる． また、使用するＺ『０！の粉末原料については、反応性
の高い粒の小さいものを用いると、結晶性に優れた特性
の良好な範囲が広がることが１ｉ！認され本発明は、上
記の基本組成に酸化アンチモン（ＳｂｚＯｓまたはＳｂ
ｔＯｚ ）を添加するものである。
結性は良好となり、ｘ＜０．１まではＸ線的にも単一相
であることが確認された。また、０．１＜ｘ＜０．２３
では複合結晶であるが、温度係数の増大に影響を及ぼす
ＴｌＯｔの生成を抑制している．なお、上記のＸの値を
モル換算すると約３．５モル％から２１モル％の範囲と
なる． また、使用するＺ『０！の粉末原料については、反応性
の高い粒の小さいものを用いると、結晶性に優れた特性
の良好な範囲が広がることが１ｉ！認され本発明は、上
記の基本組成に酸化アンチモン（ＳｂｚＯｓまたはＳｂ
ｔＯｚ ）を添加するものである。
前記の仮焼物Ｖ酸化アンチモン（ＳｂｚＯｓまたはＳｂ
ｚＯｚ ）を添加してボールミルで混合粉砕し、以下前
記の工程と同様にサンプルを作成し、測定した。
ｚＯｚ ）を添加してボールミルで混合粉砕し、以下前
記の工程と同様にサンプルを作成し、測定した。
第１図は、Ｂａ（Ｔｉｔ−ｘＺｒｘ ） ｙ （ｈｙ−
ｘに．おいて、ｘ ＝０．１． ｙ−５．０のポイント
にＳｂｚＯｓを添加したときの、添加量と各種特性の関
係を示したものである。横軸に添加量（れ％）をとって
あり、縦軸にはＱ、温度係数（τｒ：単位ｐｐｓｉ／・
Ｃ）および誘電率εｒがとってある。
ｘに．おいて、ｘ ＝０．１． ｙ−５．０のポイント
にＳｂｚＯｓを添加したときの、添加量と各種特性の関
係を示したものである。横軸に添加量（れ％）をとって
あり、縦軸にはＱ、温度係数（τｒ：単位ｐｐｓｉ／・
Ｃ）および誘電率εｒがとってある。
添加量が０．２５χのときにＱが最大になることを示し
ている．温度係数は１％程度までは僅かに上昇するが、
それ以上になると低下している．また、２．０％までは
焼結性が良く、欠陥の生成も少なく、安定していた． 上記の例では温度係数が上昇する場合を示していたが、
上記のｙ値の範囲によっては、温度係数が非常に小さく
なることがあった．第２図は、添加量を０．２５２に固
定し、上記のｙの値を４．７〜５．１の範囲で変えた結
果を示している．これによるとｙが４．８のときに、温
度係数が最小値を示している。表１に示した例では温度
係数が５以下になることはなかったが、酸化アンチモン
を添加することにより、温度係数を４まで下げることが
できる。これは、厳格な特性の要求される誘電体フィル
タ等に利用する際に有利である。
ている．温度係数は１％程度までは僅かに上昇するが、
それ以上になると低下している．また、２．０％までは
焼結性が良く、欠陥の生成も少なく、安定していた． 上記の例では温度係数が上昇する場合を示していたが、
上記のｙ値の範囲によっては、温度係数が非常に小さく
なることがあった．第２図は、添加量を０．２５２に固
定し、上記のｙの値を４．７〜５．１の範囲で変えた結
果を示している．これによるとｙが４．８のときに、温
度係数が最小値を示している。表１に示した例では温度
係数が５以下になることはなかったが、酸化アンチモン
を添加することにより、温度係数を４まで下げることが
できる。これは、厳格な特性の要求される誘電体フィル
タ等に利用する際に有利である。
第３図はＢａ（Ｔｉｉ−ｘＺｒｘ ） ｙ Ｏｔｙ＋２
（曲線３２）と本発明によりｓｂ，ｏ，を０．２５
ｈＨ添加したちのく曲線３１）、および従来のＢａＴｉ
ｙ Ｏｚｖ＊ｚ （曲′４ａ）の特性を比較したもの
である。ｙの値を変化させて温度係数の変化をみたもの
である。曲線３ｌの示す本発明により酸化アンチモ〉・
を添加したときが最小を示している． 〔効果〕 本発明によれば、ＺｒＯｚを比較的多く含むことにより
、結晶性の良好な、還元され難ク、特性の安定したマイ
クロ波用誘電体磁器組成物が得られる。
（曲線３２）と本発明によりｓｂ，ｏ，を０．２５
ｈＨ添加したちのく曲線３１）、および従来のＢａＴｉ
ｙ Ｏｚｖ＊ｚ （曲′４ａ）の特性を比較したもの
である。ｙの値を変化させて温度係数の変化をみたもの
である。曲線３ｌの示す本発明により酸化アンチモ〉・
を添加したときが最小を示している． 〔効果〕 本発明によれば、ＺｒＯｚを比較的多く含むことにより
、結晶性の良好な、還元され難ク、特性の安定したマイ
クロ波用誘電体磁器組成物が得られる。
また、酸化アンチモンを添加することにより、温度係数
の小さく高いＱのマイクロ波用誘電体磁器組成物が得ら
れる． 従って、本発明によって得られるマイクロ波誘電体磁器
組成物は誘電体フィルタ等に適した温度特性の良好なも
のとなる。
の小さく高いＱのマイクロ波用誘電体磁器組成物が得ら
れる． 従って、本発明によって得られるマイクロ波誘電体磁器
組成物は誘電体フィルタ等に適した温度特性の良好なも
のとなる。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 （１）一般式Ｂａ（Ｔｉ＿１＿−＿ｘＺｒ＿ｘ）＿ｙＯ
＿２＿ｙ＿＋＿ｚで表される組成において、ｘおよびｙ
の値が、 ０．０２≦ｘ＜０．２０ ４．５＜ｙ＜７．３ の範囲であり、添加物としてＳｂ＿２Ｏ＿５またはＳｂ
＿２Ｏ＿３，を０．１〜２．０ｗｔ％含有させて成るマ
イクロ波用誘電体磁器組成物。 （２）ＢａＣＯ＿３、ＴｉＯ＿２およびＺｒＯ＿２を出
発原料とし、ＺｒＯ＿２の粉末粒子径をＴｉＯ＿２の粉
末粒子径とほぼ同じとすることを特徴とする請求項第１
項記載のマイクロ波用誘電体磁器組成物の製造方法。 （３）ＺｒＯ＿２の粉末粒子径が約０．３μｍである請
求項第２項記載のマイクロ波用誘電体磁器組成物の製造
方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1061261A JP2687288B2 (ja) | 1989-03-14 | 1989-03-14 | マイクロ波用誘電体磁器組成物とその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1061261A JP2687288B2 (ja) | 1989-03-14 | 1989-03-14 | マイクロ波用誘電体磁器組成物とその製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02239511A true JPH02239511A (ja) | 1990-09-21 |
| JP2687288B2 JP2687288B2 (ja) | 1997-12-08 |
Family
ID=13166115
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1061261A Expired - Fee Related JP2687288B2 (ja) | 1989-03-14 | 1989-03-14 | マイクロ波用誘電体磁器組成物とその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2687288B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6034015A (en) * | 1997-05-14 | 2000-03-07 | Georgia Tech Research Corporation | Ceramic compositions for microwave wireless communication |
-
1989
- 1989-03-14 JP JP1061261A patent/JP2687288B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6034015A (en) * | 1997-05-14 | 2000-03-07 | Georgia Tech Research Corporation | Ceramic compositions for microwave wireless communication |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2687288B2 (ja) | 1997-12-08 |
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