JPH02236129A - 熱画像作成装置 - Google Patents
熱画像作成装置Info
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- JPH02236129A JPH02236129A JP1137599A JP13759989A JPH02236129A JP H02236129 A JPH02236129 A JP H02236129A JP 1137599 A JP1137599 A JP 1137599A JP 13759989 A JP13759989 A JP 13759989A JP H02236129 A JPH02236129 A JP H02236129A
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J5/00—Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry
- G01J5/10—Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry using electric radiation detectors
- G01J5/34—Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry using electric radiation detectors using capacitors, e.g. pyroelectric capacitors
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N15/00—Thermoelectric devices without a junction of dissimilar materials; Thermomagnetic devices, e.g. using the Nernst-Ettingshausen effect
- H10N15/10—Thermoelectric devices using thermal change of the dielectric constant, e.g. working above and below the Curie point
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- Light Receiving Elements (AREA)
- Carbon And Carbon Compounds (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は熱画像作成装置に関し、特に赤外線に応答する
パイロ電気性検知要素のアレイを具備した熱画像作成装
置に関する。
パイロ電気性検知要素のアレイを具備した熱画像作成装
置に関する。
パイロ電気性検知要素のアレイに結像されるシーンの画
像を検知する際に既存の熱画像作成装置の性能を制限す
る主な要因は隣接検知要素間および各検知要素と支持お
よび呼びかけ構造との間の熱伝導である。
像を検知する際に既存の熱画像作成装置の性能を制限す
る主な要因は隣接検知要素間および各検知要素と支持お
よび呼びかけ構造との間の熱伝導である。
英国特許出願第2163596A号には、一方の主表面
上に共通電極を、そして他方の主表面上に信号電極構造
を担持した強誘電体スラブよりなる熱画像作成装置が開
示されている。その信号電極構造は電気的導体によって
信号処理手段の電極に接続されている。隣接導体間の横
方向の熱伝導は、熱的絶縁材よりなる各ピラーの穴に各
導体を入れ込むことによって軽減される。それらのピラ
ーは強誘電体スラブを支持する。
上に共通電極を、そして他方の主表面上に信号電極構造
を担持した強誘電体スラブよりなる熱画像作成装置が開
示されている。その信号電極構造は電気的導体によって
信号処理手段の電極に接続されている。隣接導体間の横
方向の熱伝導は、熱的絶縁材よりなる各ピラーの穴に各
導体を入れ込むことによって軽減される。それらのピラ
ーは強誘電体スラブを支持する。
本発明のひとつの目的はパイロ電気性検知要素がピラー
によって支持されているが、検知要素と支持ピラーとの
間の熱損失が減少される熱画像作成装置を提供すること
である。
によって支持されているが、検知要素と支持ピラーとの
間の熱損失が減少される熱画像作成装置を提供すること
である。
本発明によれば、パイロ電気性物質よりなる層と、この
層の一方の主表面上に担持されて相互接続された電極の
アレイと、前記層の他方の主表面上に担持された個別電
極のアレイと、前記層を支持しかつ前記個別電極と電気
信号処理手段との間で電気信号を伝送させるように作用
する複数のピラーを具備し、各ピラーは前記他方の主表
面上に形成された該当する導電性領域に位置決めされ、
各個別電極および該当する導電性領域が導電性物質の該
当する細長いストリップに接続されている熱画像作成装
置が提供される。
層の一方の主表面上に担持されて相互接続された電極の
アレイと、前記層の他方の主表面上に担持された個別電
極のアレイと、前記層を支持しかつ前記個別電極と電気
信号処理手段との間で電気信号を伝送させるように作用
する複数のピラーを具備し、各ピラーは前記他方の主表
面上に形成された該当する導電性領域に位置決めされ、
各個別電極および該当する導電性領域が導電性物質の該
当する細長いストリップに接続されている熱画像作成装
置が提供される。
パイロ電気性物質は本質的にパイロ電気性の物質か、あ
るいは(例えば強誘電体物質の適当なポーリング(po
ling)によって)パイロ電気特性が誘起される物質
よりなりうる。
るいは(例えば強誘電体物質の適当なポーリング(po
ling)によって)パイロ電気特性が誘起される物質
よりなりうる。
前記層はパイロ電気性物質の薄膜であるのが適当である
。
。
細長いストリップは長さ対幅の比が少なくとも5である
のが適当である。
のが適当である。
ひとつの実施例では、個別電極が行および列で配列され
、かつ前記導電性領域が4つの隣接した個別電極の中心
によって形成されたそれぞれの四角形の中心に配置され
る。
、かつ前記導電性領域が4つの隣接した個別電極の中心
によって形成されたそれぞれの四角形の中心に配置され
る。
他の実施例では、個別電極が交互配置行および交互配置
列で配列され、かつ導電性領域が3つの隣接した個別電
極の中心によって形成されたそれぞれの三角形の中心に
配置される。
列で配列され、かつ導電性領域が3つの隣接した個別電
極の中心によって形成されたそれぞれの三角形の中心に
配置される。
他の実施例では、それぞれ相補性をなす電極が各個別電
極と隣接ピラーとの間の他の主表面の電極の存在しない
領域に設けられ、各相補性電極は該当するピラーに接続
され、そのピラーは信号処理手段への2つの独立した導
電性通路を有する。
極と隣接ピラーとの間の他の主表面の電極の存在しない
領域に設けられ、各相補性電極は該当するピラーに接続
され、そのピラーは信号処理手段への2つの独立した導
電性通路を有する。
相浦性電極からの信号を処理することによって、改善さ
れた信号/ノイズ比が実現されうる。
れた信号/ノイズ比が実現されうる。
たの実施例では、前記層の電極なし領域に入射した赤外
線が光学機構によって電極あり領域に転向される。
線が光学機構によって電極あり領域に転向される。
該当する個別電極から遠隔のピラーおよび長くて狭い導
体と一緒に、個別電極を該当するピラーに接続するため
いに薄いパイロ電気性膜を用いることにより、各ビクセ
ルから該当支持ピラーへの熱伝導が小さくなる。
体と一緒に、個別電極を該当するピラーに接続するため
いに薄いパイロ電気性膜を用いることにより、各ビクセ
ルから該当支持ピラーへの熱伝導が小さくなる。
以下図面を参照して本発明による6つの熱画像作成装置
について例示説明する。
について例示説明する。
第1図に示された実施例では、例えばフッ化ポリビニリ
デン(PVDF)のパイロ電気性膜21が一側に形成さ
れて相互接続された電極22のパターンと、他の側に形
成された個別電極23および導電性バッチ24のパター
ンを有している。個別電極23は狭い導電性のストリッ
プ25によってそれぞれのパッチ24に連結されている
。導電性のビラ−26は一端を該当するパッチ241に
接着され、かつ他端を基板29上に形成された集積回路
28の入力パッド27に接着されている。第1(a)図
に示されているように、個別電極23は行および列で配
列され、そいてパッチz4は個別電極23のそれと交互
に配置された行および列で配列されている。第1図の例
では、電極22および23はそれぞれ等しい寸法を有し
、かつバッチ24とビラ−26も等しい寸法を有するが
、それらは電極より小さい。この例でも、電極、バッチ
およびピラーはすべて四角形であり、相互接続されたパ
ッチおよび電極がそれぞれパッチと電極を接合した導電
性ストリップに対して直交関係にあるひとつの面を有す
るように配列されている。相互接続された電極22は例
えばブラックゴールドの層のような赤外線吸収層30に
よって被覆されている。これらの電極22間の相互接続
は狭《て薄く、そしてそれの長さを大きくするために蛇
行状(meandered)となされることが好ましい
。相互接続された電極は接地されている。
デン(PVDF)のパイロ電気性膜21が一側に形成さ
れて相互接続された電極22のパターンと、他の側に形
成された個別電極23および導電性バッチ24のパター
ンを有している。個別電極23は狭い導電性のストリッ
プ25によってそれぞれのパッチ24に連結されている
。導電性のビラ−26は一端を該当するパッチ241に
接着され、かつ他端を基板29上に形成された集積回路
28の入力パッド27に接着されている。第1(a)図
に示されているように、個別電極23は行および列で配
列され、そいてパッチz4は個別電極23のそれと交互
に配置された行および列で配列されている。第1図の例
では、電極22および23はそれぞれ等しい寸法を有し
、かつバッチ24とビラ−26も等しい寸法を有するが
、それらは電極より小さい。この例でも、電極、バッチ
およびピラーはすべて四角形であり、相互接続されたパ
ッチおよび電極がそれぞれパッチと電極を接合した導電
性ストリップに対して直交関係にあるひとつの面を有す
るように配列されている。相互接続された電極22は例
えばブラックゴールドの層のような赤外線吸収層30に
よって被覆されている。これらの電極22間の相互接続
は狭《て薄く、そしてそれの長さを大きくするために蛇
行状(meandered)となされることが好ましい
。相互接続された電極は接地されている。
第2図を参照すると、第1図に対応する部分は同一符号
で示されており、個別でんきょ<23は交互配置された
行および列で配列され、かつバッチ24は3つの隣接し
たてんきょ<23によって形成された三角形の中心に配
列され、各パッチは狭い導体25によって該当でんきょ
くに接続されている。
で示されており、個別でんきょ<23は交互配置された
行および列で配列され、かつバッチ24は3つの隣接し
たてんきょ<23によって形成された三角形の中心に配
列され、各パッチは狭い導体25によって該当でんきょ
くに接続されている。
電極、パッチおよびピラーの変更された位置を除いて、
この実施例の構造は第1図について上述したのと類似し
ている。
この実施例の構造は第1図について上述したのと類似し
ている。
第1図および第2図に示された装置には、受信された赤
外線が失われる領域を各個別電極23がそのまわりに有
しているという難点がある。後述しる装置では、第3図
において51で示されているように電極23のまわりに
補助電極を設けることによって、この難点が克服される
。第3図では、電極23の配列は第1図と同様であるが
、導電性バッチ24はそれぞれ2つのバッチ24a,2
4bに分れている。各電極23は狭い導体25によって
対応したバッチ24aに接続され、かつ余分の電極5l
のそれぞれは狭い導体52によって対応するパッチ24
bに接続されている。2つのパッチ24a,24bは、
1対の導電性ビラ−(図示せず)によって、あるいは2
つの導電性トラックを担持した絶縁性ピラー(これも図
示せず)によって集積回路の該当する対の入力パッドの
該当する1つに接続されている。
外線が失われる領域を各個別電極23がそのまわりに有
しているという難点がある。後述しる装置では、第3図
において51で示されているように電極23のまわりに
補助電極を設けることによって、この難点が克服される
。第3図では、電極23の配列は第1図と同様であるが
、導電性バッチ24はそれぞれ2つのバッチ24a,2
4bに分れている。各電極23は狭い導体25によって
対応したバッチ24aに接続され、かつ余分の電極5l
のそれぞれは狭い導体52によって対応するパッチ24
bに接続されている。2つのパッチ24a,24bは、
1対の導電性ビラ−(図示せず)によって、あるいは2
つの導電性トラックを担持した絶縁性ピラー(これも図
示せず)によって集積回路の該当する対の入力パッドの
該当する1つに接続されている。
処理手段に対する両方の人力が前置増幅され、ウェイト
づけされ、そして加算される。補充電極は個別電極より
熱損失が大きく、従って補充電極出力には個別電極出力
より小さいウェイトが与えられるが、それでも信号/ノ
イズ比を改善することができる。
づけされ、そして加算される。補充電極は個別電極より
熱損失が大きく、従って補充電極出力には個別電極出力
より小さいウェイトが与えられるが、それでも信号/ノ
イズ比を改善することができる。
次に説明する第4および第5の装置は両方とも、さもな
ければ失われる入射赤外線をある程度用いるための光学
手段を具備している。第4(a)図および第4(b)図
を参照すると、第4の装置では、赤外線に対して透明な
プレート6lが相互接続された電極30のアレイを覆っ
ており、そしてそれは入射赤外線が電極領域に向って集
中されるように各電極領域状に凸面62を与える形状S
となされている。第4(c)図に示されている第5の装
置では、プレート6lが各個別電極23の背後に配置だ
れた反射凹面63で置換されており、そのプレートは電
極のまわりで受取られたエネルギーを電極に戻すように
反射する。ある場合には、四而63によって反射サレた
エネルギーを吸収するために、例えばブラックゴールド
の層のような赤外線吸収層で個別導体を覆うことが有利
である。第4(a)の平面図では、凸而62と反射凹面
63が個別電極23のまわりに円で概略的に示されてい
る。第4および第5の装置では電極構造が第1図と同じ
であるが、第2図のものであってもよい。
ければ失われる入射赤外線をある程度用いるための光学
手段を具備している。第4(a)図および第4(b)図
を参照すると、第4の装置では、赤外線に対して透明な
プレート6lが相互接続された電極30のアレイを覆っ
ており、そしてそれは入射赤外線が電極領域に向って集
中されるように各電極領域状に凸面62を与える形状S
となされている。第4(c)図に示されている第5の装
置では、プレート6lが各個別電極23の背後に配置だ
れた反射凹面63で置換されており、そのプレートは電
極のまわりで受取られたエネルギーを電極に戻すように
反射する。ある場合には、四而63によって反射サレた
エネルギーを吸収するために、例えばブラックゴールド
の層のような赤外線吸収層で個別導体を覆うことが有利
である。第4(a)の平面図では、凸而62と反射凹面
63が個別電極23のまわりに円で概略的に示されてい
る。第4および第5の装置では電極構造が第1図と同じ
であるが、第2図のものであってもよい。
第5図を参照すると、次に説明する第6の装置はパイロ
電気性検知要素がらの熱損失を軽減するための他の2つ
の手段を具備している。まず第一に、導体71を蛇行さ
せ第1図および第2図の構成における真っ直ぐで狭い導
体を置換することによって、電極23からそれに対応し
たバッチ24およびビラ−26への熱伝導が減少される
。第二に、パイロ電気性膜2lに穴72を形成すること
によってそのパイロ電気性膜における熱伝導が軽減され
る。これらの構成はいずれも第2図の電極構造に対して
用いられうる。第5図では、電極23とパッチ24が第
1図のものより小さく、そうすれば隣接穴72の対の間
で膜73の狭いストリップを用いるのが容易である。受
取るエネルギーを電極23に集中させるために、赤外線
に透明の凸レンズ62が第4(b)図に62で示されて
いるように各相互接続された電極22上に配置されるか
、あるいは凹面ミラー63が第4(C)図に63で示さ
れているように各個別電極の下に配置されてもよい。レ
ンズ62またはミラー63が第5図に概略的に円で示さ
れている。
電気性検知要素がらの熱損失を軽減するための他の2つ
の手段を具備している。まず第一に、導体71を蛇行さ
せ第1図および第2図の構成における真っ直ぐで狭い導
体を置換することによって、電極23からそれに対応し
たバッチ24およびビラ−26への熱伝導が減少される
。第二に、パイロ電気性膜2lに穴72を形成すること
によってそのパイロ電気性膜における熱伝導が軽減され
る。これらの構成はいずれも第2図の電極構造に対して
用いられうる。第5図では、電極23とパッチ24が第
1図のものより小さく、そうすれば隣接穴72の対の間
で膜73の狭いストリップを用いるのが容易である。受
取るエネルギーを電極23に集中させるために、赤外線
に透明の凸レンズ62が第4(b)図に62で示されて
いるように各相互接続された電極22上に配置されるか
、あるいは凹面ミラー63が第4(C)図に63で示さ
れているように各個別電極の下に配置されてもよい。レ
ンズ62またはミラー63が第5図に概略的に円で示さ
れている。
本発明の実施例が以上において図示されかつ説明された
電極の特定の形状に限定されるものでないことは明らか
であろう。従って、電極は複雑な形状をなしていてもよ
く、有利な形態では、電極の形状を装置の等温抵抗輪郭
に合致させ、接地に対する熱抵抗が比較的高い値を有す
る(好ましくはそれの最高値)領域に電極が位置決めさ
れる。
電極の特定の形状に限定されるものでないことは明らか
であろう。従って、電極は複雑な形状をなしていてもよ
く、有利な形態では、電極の形状を装置の等温抵抗輪郭
に合致させ、接地に対する熱抵抗が比較的高い値を有す
る(好ましくはそれの最高値)領域に電極が位置決めさ
れる。
ひとつの電極が他の電極を少な《とも部分的に取囲む実
施例では、内側電極の外部境界と外側電極の内部境界が
局部の等温抵抗輪郭に応じて同様の形状を有することが
好ましく、各局部の等温抵抗輪郭に応じた外側電極の外
部境界の形状と必ずしも類似していない。
施例では、内側電極の外部境界と外側電極の内部境界が
局部の等温抵抗輪郭に応じて同様の形状を有することが
好ましく、各局部の等温抵抗輪郭に応じた外側電極の外
部境界の形状と必ずしも類似していない。
第1(a)図は個別電極構造を示す第1の装置の一部分
の概略断面図、第1(b)図は第1(a)図のAAにお
ける断面を示す図、第2図は個別電極構造を示す第2の
装置の一部分の概略断面図、第3図は個別電極構造を示
す第3の装置の一部分の概略断面図、第4(a)図は個
別電極構造を示す第4の装置の一部分の概略断面図、第
4(b)図は第4(a)図のAAに沿ってみた断面図、
第4(C)図は第4(b)図に示された装置の修正例の
断面図、第5図は個別電極構造を示す第6の装置の一部
分の概略図である。 図面において、2lはパイロ電気性膜、22は相互接続
された電極、23は個別電極、24はパッチ、25はス
トリップ、26はピラー、27は入力パッド、28は集
積回路、29は基板、30は赤外線吸収層、5lは補充
電極、52は導体、61はプレート、62は凸面、63
は反射凹面である。
の概略断面図、第1(b)図は第1(a)図のAAにお
ける断面を示す図、第2図は個別電極構造を示す第2の
装置の一部分の概略断面図、第3図は個別電極構造を示
す第3の装置の一部分の概略断面図、第4(a)図は個
別電極構造を示す第4の装置の一部分の概略断面図、第
4(b)図は第4(a)図のAAに沿ってみた断面図、
第4(C)図は第4(b)図に示された装置の修正例の
断面図、第5図は個別電極構造を示す第6の装置の一部
分の概略図である。 図面において、2lはパイロ電気性膜、22は相互接続
された電極、23は個別電極、24はパッチ、25はス
トリップ、26はピラー、27は入力パッド、28は集
積回路、29は基板、30は赤外線吸収層、5lは補充
電極、52は導体、61はプレート、62は凸面、63
は反射凹面である。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1、パイロ電気性物質よりなる層と、この層の一方の主
表面上に担持されて相互接続された電極のアレイと、前
記層の他方の主表面上に担持された個別電極のアレイと
、前記層を支持しかつ前記個別電極と電気信号処理手段
との間で電気信号を伝送させるように作用する複数のピ
ラーを具備し、各ピラーは前記他方の主表面上に形成さ
れた該当する導電性領域に位置決めされ、各個別電極お
よび該当する導電性領域が導電性物質の該当する細長い
ストリップに接続されている熱画像作成装置。 2、前記層がパイロ電気性物質の薄膜である請求項1の
装置。 3、前記細長いストリップが少なくとも5の長さ対幅比
を有している請求項1または2の装置。 4、前記個別電極が行および列で配列されており、かつ
前記導電性領域は隣接した4つの個別電極の中心によっ
て形成された各三角形の中心に配置されている請求項1
〜3の装置。 5、前記個別電極は交互配置された行および交互配置さ
れた列で配列され、かつ前記導電性領域は3つの隣接し
た個別電極の中心によって形成された各三角形の中心に
配置されている請求項1〜3の装置。 6、各補充電極が各個別電極と隣接ピラーとの間の前記
他の主表面の電極なし領域に設けられ、各補充電極は該
当ピラーに接続され、そのピラーは信号処理手段への2
つの独立した導電性通路を有している請求項1〜5の装
置。 7、前記層の電極なし領域に入射した赤外線を電極あり
領域内に転向させる作用をする光学機構を具備している
請求項1〜6の装置。 8、前記光学機構が赤外線発生源と前記層との間に配置
されたレンズ機構である請求項7の装置。 9、前記光学機構が前記層と前記信号処理手段との間に
配置された反射機構である請求項7の装置。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
GB888812957A GB8812957D0 (en) | 1988-06-01 | 1988-06-01 | Thermal imaging |
GB8812957.2 | 1988-06-01 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH02236129A true JPH02236129A (ja) | 1990-09-19 |
JP2806972B2 JP2806972B2 (ja) | 1998-09-30 |
Family
ID=10637883
Family Applications (1)
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