JP5498719B2 - 高度に分離された熱検出器 - Google Patents
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Description
‐熱放射を吸収し、及びそれを熱に変換する手段と、
‐熱放射の効果に起因して温度が上昇できるように、前記検出器を熱的に分離する手段と、
‐放射検出器との関連で、抵抗素子を使用する温度測定手段であって、前記抵抗は温度と共に変化する温度測定手段と、
‐及び温度測定手段によって提供された電気的信号を読み取る手段と
を備えている。
‐現行のレッグ上に反射効果を引き起こすための高い反射率を有するいずれかのレッグ。この効果は、不完全でなければならず、及び求められる目的に反しているレッグの熱導電性の増加をもたらす。
‐または、それ自身の固着点でサポートされ、及びレッグと薄膜の間の第3の中間構造上のレベルで求められる目的に再度反しているせん孔が提供されたリフレクターを間に入れることによって、大幅に構造を複雑にすることが必要になる。このタイプの構造は、例えば特許文献4において述べられる。
・初期基板1であって、全ての構造が集合的にその上に形成されている
・並列配置された薄膜2であって、それは熱放射に感応性であり、及びそれらの左端及び右端の中心位置で基板1の上にそれぞれサスペンドされている
・共線構造を有するサポートレッグ3の対
・固着構造4。この特定の場合において、各構造は二つの隣接するピクセルに共通している。前記構造の内部に入れられた四角形は基板に接続するために用いられる柱を示している。
・この特に好ましい場合において、二つの隣接する検出器にそれぞれ共通する固着位置付近でのレッグ3の一部分
・横材4Aと柱15を備えている固着位置
・点線で示され、及び図の明確さのために透明で示された薄膜2の外形
2 薄膜
3,3A サポートレッグ
3B 中間レッグ
3C 共線レッグ
4 固着構造
4A,4B 横材
6 誘電層
7 導電層
8 層
9 反射金属層
10 犠牲層
11A,11B 誘電体層
12,13 金属層
14 アセンブリ
15 柱
20 機械コネクタ
20A,20B コネクタ要素
30 バー
31 フレーム
Claims (14)
- 電磁放射を検出するための装置であって、
基板(1)と、
前記放射に対して感応し、及び前記基板と実質的に対向して及び離れて伸長している薄膜(2)を備えた少なくとも一つのマイクロ構造であって、前記薄膜は、少なくとも二つの細長く、軸が真っすぐなサポートレッグ(3,3B,3C)に直接、または間接的に機械的に取り付けられており、前記少なくとも二つのサポートレッグは互いに同一線上にあり、前記サポートレッグの少なくとも一つが前記基板(1)と一体である柱(15)によって前記基板に機械的に接続されており、前記薄膜(2)は前記基板と電気的導通にもあるマイクロ構造と、を備えており、
前記少なくとも二つの真っすぐなサポートレッグ(3,3B,3C)は、前記少なくとも二つの真っすぐなサポートレッグ(3,3B,3C)の各々の端部に取り付けられる機械的コネクタ(20,20A,20B)によってのみ前記薄膜(2)に取り付けられ、前記機械的コネクタ(20,20A,20B)は前記真っすぐなサポートレッグ及び前記薄膜と必然的に同一平面上にあり、前記真っすぐなサポートレッグの少なくとも一つの他の端部は、前記真っすぐなサポートレッグと必然的に同一平面上にある剛性な横材(4A)と一体であり、前記横材(4A)は、
・前記真っすぐなサポートレッグ及び前記薄膜と実質的に同一平面上にあり、
・前記柱(15)と一体である第1の部分を有しており、
・前記第1の部分及び前記真っすぐなサポートレッグと一体である第2の部分を有しており、
前記第2の部分は、
・細長い形状を有しており、
・前記真っすぐなサポートレッグの真っすぐな軸に実質的に垂直に、第1の部分から伸張していることを特徴とする電磁放射を検出するための装置。 - 前記真っすぐなサポートレッグ(3)は、前記薄膜(2)に直接取り付けられており、前記真っすぐなサポートレッグの少なくとも一つは、前記薄膜、及び前記柱(15)と電気的導通にある前記横材(4A)と電気的導通にもあることを特徴とする請求項1に記載の電磁放射を検出するための装置。
- 前記剛性な横材(4A)は二つの、または四つの隣接する薄膜(2)に共通であることを特徴とする請求項1または2に記載の電磁放射を検出するための装置。
- 前記剛性な横材(4A)の一端部は、前記柱(15)と一体であり、及び前記剛性な横材の他端部は、他の柱と一体であることを特徴とする請求項1または2に記載の電磁放射を検出するための装置。
- 前記横材(4A)は、前記真っすぐなサポートレッグの構成層と接触している剛性材料の少なくとも一つの層によって形成されていることを特徴とする請求項1または2に記載の電磁放射を検出するための装置。
- 前記横材(4A)は前記柱(15)と電気的導通にあり、前記柱は導電性であり、それによって前記基板の表面上のコンタクトと前記薄膜内の電気的機能との間の全体の電気的連続性を保証していることを特徴とする請求項1または2に記載の電磁放射を検出するための装置。
- 前記真っすぐなサポートレッグ(3,3A)の各々は、互いに同一線上にあり、且つ前記真っすぐなサポートレッグ及び前記薄膜と実質的に同一平面にある中間レッグ(3B)により前記薄膜(2)に間接的に取り付けられ、前記中間レッグの各々は前記まっすぐなサポートレッグに平行であり、前記中間レッグの一端部は前記薄膜と一体である第2の剛性な横材(4B)に取り付けられており、前記中間レッグの他端部は、機械的なコネクタ要素(20,20A)によって前記真っすぐなサポートレッグに取り付けられていることを特徴とする請求項1に記載の電磁放射を検出するための装置。
- 前記第2の横材(4B)は前記薄膜(2)と一体であり、同様に前記薄膜と一体であり、及び同一平面にある剛性要素(30)によって取り付けられていることを特徴とする請求項7に記載の電磁放射を検出するための装置。
- 薄膜(2)は、連続的な剛性フレームを備えており、前記フレームの二つの対向する側面は延長部を有しており、前記延長部の一つは、前記中間レッグ(3B)への取り付けを提供することのできる前記第2の横材(4B)を形成していることを特徴とする請求項7に記載の電磁放射を検出するための装置。
- 前記真っすぐなサポートレッグ(3,3A)の各々は、互いに同一線上にあり、且つ前記真っすぐなサポートレッグ及び前記薄膜と実質的に同一平面にある中間レッグ(3B)により前記薄膜(2)に間接的に取り付けられ、前記中間レッグの各々は前記まっすぐなサポートレッグと平行であり、前記中間レッグの一端部は第2の剛性な横材(4B)に取り付けられており、前記中間レッグの他端部は機械的なコネクタ要素(20,20A)によって前記真っすぐなサポートレッグに取り付けられており、前記第2の横材(4B)は、前記真っすぐなサポートレッグ(3,3A)及び前記中間レッグ(3B)に平行である第3のレッグ(3C)を経由して前記薄膜に接続されており、前記第3のレッグの一端部は前記第2の横材に取り付けられており、及び前記第3のレッグの他端部は、第2の機械的なコネクタ要素(20B)の位置で前記薄膜と一体であることを特徴とする請求項1に記載の電磁放射を検出するための装置。
- 前記横材の幅は、それらが取り付けられるレッグの長さと比較して無視できることを特徴とする請求項1または2に記載の電磁放射を検出するための装置。
- 前記横材の幅は、少なくとも前記真っすぐなサポートレッグに結合される端部で、前記真っすぐなサポートレッグの幅と同じオーダであることを特徴とする請求項1または2に記載の電磁放射を検出するための装置。
- 前記横材の前記第2の部分の幅は、0.3から1μmであることを特徴とする請求項1に記載の電磁放射を検出するための装置。
- 前記横材の前記第2の部分の幅は、それらの間で一体となる重なり合ったアンカーポイントで前記サポートレッグの幅と実質的に等しいことを特徴とする請求項1に記載の電磁放射を検出するための装置。
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