JPH02234030A - 放射温度計 - Google Patents
放射温度計Info
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- JPH02234030A JPH02234030A JP5571489A JP5571489A JPH02234030A JP H02234030 A JPH02234030 A JP H02234030A JP 5571489 A JP5571489 A JP 5571489A JP 5571489 A JP5571489 A JP 5571489A JP H02234030 A JPH02234030 A JP H02234030A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
く産業上の利用分野〉
本発明は、測定対象から放射される熱放射のエネルギが
その温度に依存する関係を用いて測定対象の温度を測定
する放射温度計に係り、特に測定対象の温度を精度良く
広範囲に測定するように改良した放射温度計に関する． く従来の技術〉 従来の第１の放射温度計として、測定対象から放出され
る測定光を特定の波長の近傍を透過する狭帯域のフィル
タを介して受光素子で受光して電気信号に変換し、この
電気信号を用いて所定の演算を実行して温度信号を出力
する単色放射温度計がある． この単色放射温度計はフィルタの透過波長が限定されて
いるので、広範囲の温度を測定することができない欠点
がある． また、従来の第２の放射温度計として、測定光のうち２
波長を用いてその光強度から温度を求める２色放射温度
計がある．この２色放射温度計でも単色放射温度計と同
様な欠点を有している．この２色放射温度計の１つに、
測定光を異なる波長を透過する狭い帯域のフィルタを２
個取り付けた円板を回転させて波長の異なる２つの測定
光を交互に切り換えて１個の受光素子で２個の測定光を
検出し、これ等の比を演算して測定対象の温度を算出す
るものがある．この種の２色放射温度計は円板を回転す
るための可動部があり、このため信頼性、応答性が悪い
という欠点がある．他のタイプの２色放射温度計として
、それぞれ異なる波長を透過する２つのフィルタを介し
て分光放射輝度を測定することにより測定対象の温度を
演算するものがある． 第４図は従来のこの後者の２色放射温度計の構成を示す
構成図である． ＬＭは測定対象から放出される測定光であり、この測定
光Ｌ．をビームスプリッタＢＳで透過光ＬＴと反射光Ｌ
Ｒとに分光する． 透過光ｔ，ｖは波長λ，を中心として透過する狭帯域の
フィルタＦ，を介して検出器Ｄ１で検出され、電気信号
Ｓ，に変換される．変換された電気信号Ｓ１は増幅器Ｑ
１で増幅され、演算部ＡＲＴに入力される． また、反射光ＬＲは、波長λ２を透過するフィルタＦ２
を介して検出器Ｄ２で検出され、電気信号Ｓ２に変換さ
れる．変換された電気信号Ｓ２は増幅器Ｑ２で増幅され
、演算部ＡＲＴに入力される． 演算部ＡＲＩではこれ等の電気信号Ｓｔ 、８２に対応
した電気信号を用いて所定の演算を実行し、温度信号Ｔ
Ｓ．を出力する．以下に、この場合の演算についてその
概要を説明する． 熱放射のエネルギは測定対象の物体の温度に依存し、こ
の物体が完全放射体《黒木》の場合には、その分光放射
輝度Ｌ《λ、Ｔ》と熱力学温度Ｔとの関係はブランクの
放射則によって次式で表される， Ｌ（λ、Ｔ）＝（２ｃ，／λＳ》 ／［ｅｘｐ（ｃｚ／λ’Ｔ’）−１］ ・・・（１） ここで、λは物体から発散される放射の波長、Ｃｌ 、
Ｃ２は放射の第１定数および第２定数であり、次式で表
される． ＣＩ ＝（’ ｈ ・・・（２）ｃ２＝
ｃｈ／泥 ・・・《３》Ｃは真空中の光の速
度、ｈはブランクの定数、ｋはボルツマンの定数である
． （１〉式で表される分光放射輝度Ｌ《λ、Ｔ》、波長λ
、及び温度Ｔとの関係を表すと第５図に示すようになる
． また、分光放射輝度が最大になる波長をλ重。
その温度に依存する関係を用いて測定対象の温度を測定
する放射温度計に係り、特に測定対象の温度を精度良く
広範囲に測定するように改良した放射温度計に関する． く従来の技術〉 従来の第１の放射温度計として、測定対象から放出され
る測定光を特定の波長の近傍を透過する狭帯域のフィル
タを介して受光素子で受光して電気信号に変換し、この
電気信号を用いて所定の演算を実行して温度信号を出力
する単色放射温度計がある． この単色放射温度計はフィルタの透過波長が限定されて
いるので、広範囲の温度を測定することができない欠点
がある． また、従来の第２の放射温度計として、測定光のうち２
波長を用いてその光強度から温度を求める２色放射温度
計がある．この２色放射温度計でも単色放射温度計と同
様な欠点を有している．この２色放射温度計の１つに、
測定光を異なる波長を透過する狭い帯域のフィルタを２
個取り付けた円板を回転させて波長の異なる２つの測定
光を交互に切り換えて１個の受光素子で２個の測定光を
検出し、これ等の比を演算して測定対象の温度を算出す
るものがある．この種の２色放射温度計は円板を回転す
るための可動部があり、このため信頼性、応答性が悪い
という欠点がある．他のタイプの２色放射温度計として
、それぞれ異なる波長を透過する２つのフィルタを介し
て分光放射輝度を測定することにより測定対象の温度を
演算するものがある． 第４図は従来のこの後者の２色放射温度計の構成を示す
構成図である． ＬＭは測定対象から放出される測定光であり、この測定
光Ｌ．をビームスプリッタＢＳで透過光ＬＴと反射光Ｌ
Ｒとに分光する． 透過光ｔ，ｖは波長λ，を中心として透過する狭帯域の
フィルタＦ，を介して検出器Ｄ１で検出され、電気信号
Ｓ，に変換される．変換された電気信号Ｓ１は増幅器Ｑ
１で増幅され、演算部ＡＲＴに入力される． また、反射光ＬＲは、波長λ２を透過するフィルタＦ２
を介して検出器Ｄ２で検出され、電気信号Ｓ２に変換さ
れる．変換された電気信号Ｓ２は増幅器Ｑ２で増幅され
、演算部ＡＲＴに入力される． 演算部ＡＲＩではこれ等の電気信号Ｓｔ 、８２に対応
した電気信号を用いて所定の演算を実行し、温度信号Ｔ
Ｓ．を出力する．以下に、この場合の演算についてその
概要を説明する． 熱放射のエネルギは測定対象の物体の温度に依存し、こ
の物体が完全放射体《黒木》の場合には、その分光放射
輝度Ｌ《λ、Ｔ》と熱力学温度Ｔとの関係はブランクの
放射則によって次式で表される， Ｌ（λ、Ｔ）＝（２ｃ，／λＳ》 ／［ｅｘｐ（ｃｚ／λ’Ｔ’）−１］ ・・・（１） ここで、λは物体から発散される放射の波長、Ｃｌ 、
Ｃ２は放射の第１定数および第２定数であり、次式で表
される． ＣＩ ＝（’ ｈ ・・・（２）ｃ２＝
ｃｈ／泥 ・・・《３》Ｃは真空中の光の速
度、ｈはブランクの定数、ｋはボルツマンの定数である
． （１〉式で表される分光放射輝度Ｌ《λ、Ｔ》、波長λ
、及び温度Ｔとの関係を表すと第５図に示すようになる
． また、分光放射輝度が最大になる波長をλ重。
とすればλＴくλ１。Ｔの領域では、《１》式で表され
る分光放射輝度は、次のウィーンの公式で示すように近
似できる． Ｌ（λ、Ｔ）＝ （２ｃ，／λＳ） ｅＸＰ（ｃ２／λＴ）・ （４） ところで、（４）式に示すウィーンの公式で近似できる
領域で、異なる２つの波長λ１、λ２に対ずる放射輝度
の比Ｒ（’Ｔ’）を算出すると、Ｃを測定系の構成条件
によって決まる定数として、Ｒ （Ｔ） ＝Ｃ （λ２
／λ，》Ｓ ｅｘｐ ［ （Ｃ２ ／Ｔ）（ １／λ２−１／λ，》
〕・・・（９） となり、第４図に示す放射温度計はこの関係を利用して
いる．つまり、検出器Ｄ， 、Ｉ）２で検出された放射
輝度を用いて放射輝度の比Ｒ （Ｔ）を演算し、《９》
式から演算部ＡＲ，で温度Ｔを求める演五を実行して温
度信号ＴＳ，を出力する．この放射温度計は測定面が灰
色体のときには放射率に関係なく真の温度を示す利点を
持つ．く発明が解決しようとする課題〉 しかしながら、このタイプの２色放射温度計は受光素子
である検出器ＤＩ 、Ｄ２のバラツキが測定温度のバラ
ツキの原因をなすという問題がある．く課題を解決する
ための手段〉 本発明は、以上の課題を解決するために、測定対象から
放射される測定光を受光素子で受光して電気信号に変換
し、変換された前記電気信号を用いて所定の演算をする
ことにより温度信号を得る放射温度計において、測定光
を電気光学効果を有する方向性結合器を介して受光素子
で受光し、比較手段でこの方向性結合器の出力と所定の
基？８電圧と比較し、その結果により方向性結合器に印
加する電圧を変更するようにしたものである．く作 用
〉 測定光は所定の電圧が印加された方向性結合器に入力さ
れ、その出力端にこの電圧に対応した波長の光が出力さ
れる．この波長に対応した光は受光素子で検出され電気
信号に変換されて比較器の一方の入力端に入力される． この比較器の他方の入力端には測定対象が所定の下限温
度になったとしたときに受光素子に発生する電圧に対応
した基準電圧が印加されており、この基準電圧に対応す
る下限温度に達すると比較器は方向性結合器に印加する
電圧を変更して方向性結合器を透過する波長を変えて受
光素子に発生する電気信号の大きさを変更する． 温度信号はこの比較器の入力端の一方から取り出し演算
部で所定の演算式により演算して出力する． く実施例〉 以下、図面を用いて本発明の実施例について説明する．
第１図は本発明の１実施例の構成を示す楕成図である， 測定光ＬＭは所定の波長の間のみ透過するバンドバスフ
ィルタＦ，を透過し、この透過した測定光Ｌｍは方向性
結合器１０に入力される．方向性結合器１０は、例えば
ニオブ酸リチウム（ＬＪ Ｎｂ ０３ ）の矩形状の基
板１１の上にチタン（７４ ）を拡散して一部が互いに
近接した長さ！の近接部！２をもつ光導波路Ｘ３：Ｘ４
として形成され、さらにこの近接部１２の上には導電性
の電極１５、１６が形成されている．そして、この光導
波路１３の入力端は入カボート１３Ａ、光導波路１４の
出力端は出力ボー１− １ ４ Ａとされている． 方向性結合器１０の光導波路１３の入カボート１３Ａに
は測定光Ｌ１ｍが入力され、近接部１２を介して光導波
路１４の出力ボート１４Ａに出力される．この出力ボー
ト１４から出力された測定光Ｌｍ−は受光素子Ｄ３で電
気信号に変換され増幅器１７を介して比較器１８の入力
端の一端に電気信号Ｓ３として出力される，比較器１８
の入力端の他端には基準電圧Ｅｓが印加されている．こ
の基準電圧ＢＳの大きさは、例えば所定の波長における
温度測定範囲の下限に達したときの電気信号Ｓコの大き
さに相当する値に選定されている．この比較器１８は電
気信号Ｓ３と基準電圧Ｆ２ｓとを比較しその比較出力Ｓ
４で電圧発生器１９のスイッチＳＷ１を開閉する．スイ
ッチＳＷ，の２つの切換端にはそれぞれ電圧Ｅ，とＥ２
が印加されており、その共通端に得られる制御電圧Ｓ５
が電１ｉ１５に印加されている．ｔ極１６は共通電位点
ＣＯＭに接続されている． さらに、電気信号Ｓ３は演算部ＡＲ２に入力され（１）
式あるいは《４》式を用いて温度信号ＴＳ２を演算して
出力する． 次に、第１図に示す実施例の動作について第２図を用い
て説明する． 測定対象から放射された測定光Ｌｉは、バンドバスフィ
ルタＦ ３ 、光導波路１３、電極１５に所定の制ｗ電
圧Ｓツが印加された光導波路１４を介して受光素子Ｄコ
に受光される。
る分光放射輝度は、次のウィーンの公式で示すように近
似できる． Ｌ（λ、Ｔ）＝ （２ｃ，／λＳ） ｅＸＰ（ｃ２／λＴ）・ （４） ところで、（４）式に示すウィーンの公式で近似できる
領域で、異なる２つの波長λ１、λ２に対ずる放射輝度
の比Ｒ（’Ｔ’）を算出すると、Ｃを測定系の構成条件
によって決まる定数として、Ｒ （Ｔ） ＝Ｃ （λ２
／λ，》Ｓ ｅｘｐ ［ （Ｃ２ ／Ｔ）（ １／λ２−１／λ，》
〕・・・（９） となり、第４図に示す放射温度計はこの関係を利用して
いる．つまり、検出器Ｄ， 、Ｉ）２で検出された放射
輝度を用いて放射輝度の比Ｒ （Ｔ）を演算し、《９》
式から演算部ＡＲ，で温度Ｔを求める演五を実行して温
度信号ＴＳ，を出力する．この放射温度計は測定面が灰
色体のときには放射率に関係なく真の温度を示す利点を
持つ．く発明が解決しようとする課題〉 しかしながら、このタイプの２色放射温度計は受光素子
である検出器ＤＩ 、Ｄ２のバラツキが測定温度のバラ
ツキの原因をなすという問題がある．く課題を解決する
ための手段〉 本発明は、以上の課題を解決するために、測定対象から
放射される測定光を受光素子で受光して電気信号に変換
し、変換された前記電気信号を用いて所定の演算をする
ことにより温度信号を得る放射温度計において、測定光
を電気光学効果を有する方向性結合器を介して受光素子
で受光し、比較手段でこの方向性結合器の出力と所定の
基？８電圧と比較し、その結果により方向性結合器に印
加する電圧を変更するようにしたものである．く作 用
〉 測定光は所定の電圧が印加された方向性結合器に入力さ
れ、その出力端にこの電圧に対応した波長の光が出力さ
れる．この波長に対応した光は受光素子で検出され電気
信号に変換されて比較器の一方の入力端に入力される． この比較器の他方の入力端には測定対象が所定の下限温
度になったとしたときに受光素子に発生する電圧に対応
した基準電圧が印加されており、この基準電圧に対応す
る下限温度に達すると比較器は方向性結合器に印加する
電圧を変更して方向性結合器を透過する波長を変えて受
光素子に発生する電気信号の大きさを変更する． 温度信号はこの比較器の入力端の一方から取り出し演算
部で所定の演算式により演算して出力する． く実施例〉 以下、図面を用いて本発明の実施例について説明する．
第１図は本発明の１実施例の構成を示す楕成図である， 測定光ＬＭは所定の波長の間のみ透過するバンドバスフ
ィルタＦ，を透過し、この透過した測定光Ｌｍは方向性
結合器１０に入力される．方向性結合器１０は、例えば
ニオブ酸リチウム（ＬＪ Ｎｂ ０３ ）の矩形状の基
板１１の上にチタン（７４ ）を拡散して一部が互いに
近接した長さ！の近接部！２をもつ光導波路Ｘ３：Ｘ４
として形成され、さらにこの近接部１２の上には導電性
の電極１５、１６が形成されている．そして、この光導
波路１３の入力端は入カボート１３Ａ、光導波路１４の
出力端は出力ボー１− １ ４ Ａとされている． 方向性結合器１０の光導波路１３の入カボート１３Ａに
は測定光Ｌ１ｍが入力され、近接部１２を介して光導波
路１４の出力ボート１４Ａに出力される．この出力ボー
ト１４から出力された測定光Ｌｍ−は受光素子Ｄ３で電
気信号に変換され増幅器１７を介して比較器１８の入力
端の一端に電気信号Ｓ３として出力される，比較器１８
の入力端の他端には基準電圧Ｅｓが印加されている．こ
の基準電圧ＢＳの大きさは、例えば所定の波長における
温度測定範囲の下限に達したときの電気信号Ｓコの大き
さに相当する値に選定されている．この比較器１８は電
気信号Ｓ３と基準電圧Ｆ２ｓとを比較しその比較出力Ｓ
４で電圧発生器１９のスイッチＳＷ１を開閉する．スイ
ッチＳＷ，の２つの切換端にはそれぞれ電圧Ｅ，とＥ２
が印加されており、その共通端に得られる制御電圧Ｓ５
が電１ｉ１５に印加されている．ｔ極１６は共通電位点
ＣＯＭに接続されている． さらに、電気信号Ｓ３は演算部ＡＲ２に入力され（１）
式あるいは《４》式を用いて温度信号ＴＳ２を演算して
出力する． 次に、第１図に示す実施例の動作について第２図を用い
て説明する． 測定対象から放射された測定光Ｌｉは、バンドバスフィ
ルタＦ ３ 、光導波路１３、電極１５に所定の制ｗ電
圧Ｓツが印加された光導波路１４を介して受光素子Ｄコ
に受光される。
光導波路１３から光導波路１４に測定光Ｌ．が伝送され
る際には、結合条件を満たす波長の光のみが近接部１２
で結合されて入力パワーの一部が測定光Ｌｉｔ−とじて
出力される．ところで、この結合条件は先導波路の近接
部１２の長さ！と光導波路の屈折率に依存するが、この
屈折率は制御電圧Ｓ３の大きさに依存する． 従って、この制御電圧Ｓ３の大きさを制御することによ
り出力ボート１４を出斜する測定光ＬＬＩＬ“の波長を
変化させることができる．第２図に測定光し亀に対する
測定光ｔ．，ｔａ−のバワーの比率Ｒが波長に対してど
のように変化するかを示ず。この比率Ｒが０．５である
特定の波長λ０を中心として正弦波状に比率Ｒが変化し
ていることが分かる， 通常は、制御電圧Ｓ５として電圧Ｅ，が＠極に印加され
正のピークを示す波長λｍｌで測定対象の温度を測定し
ているが、温度が低下して電気信号Ｓ，が基準電圧Ｅｓ
まで低下すると比較器１８はこれを検出してその比較出
力Ｓ４を反転し制御電圧Ｓ５を電圧Ｅ２に切り換える．
これによって、光導波路の屈折率が変化して点線で示す
ようにピーク点の波長がλｔ２に移動する． これにより、動作点の波長が＾亀，からλ亀，に大きく
なり第５図から分かるように分光放射輝度Ｌ《λ、Ｔ）
がたとえ同一でもさらに低温までの測温が可能になる。
る際には、結合条件を満たす波長の光のみが近接部１２
で結合されて入力パワーの一部が測定光Ｌｉｔ−とじて
出力される．ところで、この結合条件は先導波路の近接
部１２の長さ！と光導波路の屈折率に依存するが、この
屈折率は制御電圧Ｓ３の大きさに依存する． 従って、この制御電圧Ｓ３の大きさを制御することによ
り出力ボート１４を出斜する測定光ＬＬＩＬ“の波長を
変化させることができる．第２図に測定光し亀に対する
測定光ｔ．，ｔａ−のバワーの比率Ｒが波長に対してど
のように変化するかを示ず。この比率Ｒが０．５である
特定の波長λ０を中心として正弦波状に比率Ｒが変化し
ていることが分かる， 通常は、制御電圧Ｓ５として電圧Ｅ，が＠極に印加され
正のピークを示す波長λｍｌで測定対象の温度を測定し
ているが、温度が低下して電気信号Ｓ，が基準電圧Ｅｓ
まで低下すると比較器１８はこれを検出してその比較出
力Ｓ４を反転し制御電圧Ｓ５を電圧Ｅ２に切り換える．
これによって、光導波路の屈折率が変化して点線で示す
ようにピーク点の波長がλｔ２に移動する． これにより、動作点の波長が＾亀，からλ亀，に大きく
なり第５図から分かるように分光放射輝度Ｌ《λ、Ｔ）
がたとえ同一でもさらに低温までの測温が可能になる。
なお、バンドバスフィルタＦ，ほこの波長λ０の近傍の
みを透過するようなものが選定されており、高調波ノイ
ズを除去する作用をする．第３図は本発明の他の実施例
の要部を示す要部構成図である．これは、方向性結合器
を多重に連結し波長の選択比を上げた場合を示している
．基板２０の上には方向性結合器２１と２２が形成され
ている．測定光Ｌ．は制御電圧Ｅ３が印加された方向性
結合器２１で所定の波長が選択され、その出力光は制ｍ
電圧Ｅ４が印加された方向性結合器２２に入力され、こ
こでさらに波長の選択がなされてその出力ボートから測
定光Ｌｍ −−として受光素子Ｄコに出力される． 第１図に示す実施例では、単色放射温度計として構成し
た場合について説明したが、方向性結合器に印加する電
圧を変えて、波長の異なる測定光を切換えて受光し、対
応する電気信号を演算部に入力し、ここで《９》式の関
係を用いて２色放射温度計として構成することもできる
． なお、以上の説明では、比較器をデスクリートな回路を
用いて構成したが、これは演算部とともにマイクロコン
ピュータを用いたデジタル演算により構成しても良い． また、基板はニオブ酸リチウムでなくても、電気光学効
果を有する物質であればこれに限られることはない．さ
らに、第１図に示す実施例ではバンドバスフィルタを介
して得た測定光を用いたが、必ずしもこのようにフィル
タリングされた光を用いなくても良い． く発明の効果〉 以上、実施例と共に具体的に説明したように本発明は、
電気光学効果を持つ方向性結合器に印加する電圧を変更
することにより透過波長を変更することができるように
したので、広い温度範囲に亘って測温することができ、
また可動部もなく、受光素子も１個ですむのでこのバラ
ッキの影響も受けず、さらにビームスプリブタ等の光学
部品も少ないので信頼性も良い．
みを透過するようなものが選定されており、高調波ノイ
ズを除去する作用をする．第３図は本発明の他の実施例
の要部を示す要部構成図である．これは、方向性結合器
を多重に連結し波長の選択比を上げた場合を示している
．基板２０の上には方向性結合器２１と２２が形成され
ている．測定光Ｌ．は制御電圧Ｅ３が印加された方向性
結合器２１で所定の波長が選択され、その出力光は制ｍ
電圧Ｅ４が印加された方向性結合器２２に入力され、こ
こでさらに波長の選択がなされてその出力ボートから測
定光Ｌｍ −−として受光素子Ｄコに出力される． 第１図に示す実施例では、単色放射温度計として構成し
た場合について説明したが、方向性結合器に印加する電
圧を変えて、波長の異なる測定光を切換えて受光し、対
応する電気信号を演算部に入力し、ここで《９》式の関
係を用いて２色放射温度計として構成することもできる
． なお、以上の説明では、比較器をデスクリートな回路を
用いて構成したが、これは演算部とともにマイクロコン
ピュータを用いたデジタル演算により構成しても良い． また、基板はニオブ酸リチウムでなくても、電気光学効
果を有する物質であればこれに限られることはない．さ
らに、第１図に示す実施例ではバンドバスフィルタを介
して得た測定光を用いたが、必ずしもこのようにフィル
タリングされた光を用いなくても良い． く発明の効果〉 以上、実施例と共に具体的に説明したように本発明は、
電気光学効果を持つ方向性結合器に印加する電圧を変更
することにより透過波長を変更することができるように
したので、広い温度範囲に亘って測温することができ、
また可動部もなく、受光素子も１個ですむのでこのバラ
ッキの影響も受けず、さらにビームスプリブタ等の光学
部品も少ないので信頼性も良い．
第１図は本発明の１実施例の構成を示す構成図、第２図
は第１図における方向性結合器の動作を説明するための
特性図、第３図は第１図の実施例の要部の変形実施例を
示す要部構成図、第４図は従来の放射温度計の構成を示
す構成図、第５図は第４図に示す放射温度計の動作を説
明する特性図である． １０、２１、２２・・・方向性結合器、１１・・・基板
、１２・・・近接部、１３、１４・・・光導波路、１８
・・・比較器、１９・・・電圧発生器、Ｌｒ１、ＬＭ−
・・・測定光、ＬＴ・・・透過光、ＬＲ・・・反射光、
ＢＳ・・・ビームスプリツタ、Ｔ）．，Ｄ２・・・検出
器、Ｄ３・・・受光素子、ＡＲ１ 、ＡＲ２・・・演算
部． （ε−”． ＝ｊＳ ハ＾ノ （二′マ）７
は第１図における方向性結合器の動作を説明するための
特性図、第３図は第１図の実施例の要部の変形実施例を
示す要部構成図、第４図は従来の放射温度計の構成を示
す構成図、第５図は第４図に示す放射温度計の動作を説
明する特性図である． １０、２１、２２・・・方向性結合器、１１・・・基板
、１２・・・近接部、１３、１４・・・光導波路、１８
・・・比較器、１９・・・電圧発生器、Ｌｒ１、ＬＭ−
・・・測定光、ＬＴ・・・透過光、ＬＲ・・・反射光、
ＢＳ・・・ビームスプリツタ、Ｔ）．，Ｄ２・・・検出
器、Ｄ３・・・受光素子、ＡＲ１ 、ＡＲ２・・・演算
部． （ε−”． ＝ｊＳ ハ＾ノ （二′マ）７
Claims (1)
- 測定対象から放射される測定光を受光素子で受光して
電気信号に変換し、変換された前記電気信号を用いて所
定の演算をすることにより温度信号を得る放射温度計に
おいて、前記測定光を電気光学効果を有する方向性結合
器を介して前記受光素子で受光し、比較手段でこの方向
性結合器の出力と所定の基準電圧と比較し、その結果に
より前記方向性結合器に印加する電圧を変更することを
特徴とする放射温度計。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5571489A JPH02234030A (ja) | 1989-03-08 | 1989-03-08 | 放射温度計 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5571489A JPH02234030A (ja) | 1989-03-08 | 1989-03-08 | 放射温度計 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02234030A true JPH02234030A (ja) | 1990-09-17 |
Family
ID=13006547
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5571489A Pending JPH02234030A (ja) | 1989-03-08 | 1989-03-08 | 放射温度計 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02234030A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012501548A (ja) * | 2008-08-29 | 2012-01-19 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド | 拡張温度高温測定のための方法および装置 |
| JP2021139708A (ja) * | 2020-03-04 | 2021-09-16 | 日本製鉄株式会社 | 温度測定装置及び温度測定方法 |
-
1989
- 1989-03-08 JP JP5571489A patent/JPH02234030A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012501548A (ja) * | 2008-08-29 | 2012-01-19 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド | 拡張温度高温測定のための方法および装置 |
| JP2021139708A (ja) * | 2020-03-04 | 2021-09-16 | 日本製鉄株式会社 | 温度測定装置及び温度測定方法 |
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