JP3325700B2 - 光ファイバ放射温度計 - Google Patents
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J5/00—Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry
- G01J5/02—Constructional details
- G01J5/08—Optical arrangements
-
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、光ファイバを用いて
測温する放射温度計に関するものである。
測温する放射温度計に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】光ファイバを光導体とした放射温度計
は、たとえば「新編温度計測」（計測自動制御学会、平
成４年１０月２５日初版発行）第２３１頁の図４．２９
に記載の通り、種々の利用形態がある。光ファイバを利
用すると、狭隘で折曲した箇所の測温が可能となるばか
りか、測定光路上に放射光を阻害するような媒体があっ
たとしても、これを回避することができる。しかも、光
ファイバの外形が小さいことから、装置への組み込みが
容易になるなど数々の優れた特性を有する。
は、たとえば「新編温度計測」（計測自動制御学会、平
成４年１０月２５日初版発行）第２３１頁の図４．２９
に記載の通り、種々の利用形態がある。光ファイバを利
用すると、狭隘で折曲した箇所の測温が可能となるばか
りか、測定光路上に放射光を阻害するような媒体があっ
たとしても、これを回避することができる。しかも、光
ファイバの外形が小さいことから、装置への組み込みが
容易になるなど数々の優れた特性を有する。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、光ファ
イバは高純度石英を素材としているため、たとえ外形を
１ｍｍ以下に細くしても、可撓性に自ずから限界があ
り、強く折曲したとき、あるいは強い衝撃を与えたと
き、破断するおそれがあり、高い温度に晒された場合も
同様である。もちろん、光ファイバの外周を、ゴム、プ
ラスチックあるいは波形管などの弾性体で外装すること
で、この欠点を補えるが、外形が太くなり、かつコスト
を押し上げてしまう。
イバは高純度石英を素材としているため、たとえ外形を
１ｍｍ以下に細くしても、可撓性に自ずから限界があ
り、強く折曲したとき、あるいは強い衝撃を与えたと
き、破断するおそれがあり、高い温度に晒された場合も
同様である。もちろん、光ファイバの外周を、ゴム、プ
ラスチックあるいは波形管などの弾性体で外装すること
で、この欠点を補えるが、外形が太くなり、かつコスト
を押し上げてしまう。
【０００４】一方、光ファイバが破断すると、その端面
はギザツキ、光の表面反射が増大するので、光学的に研
磨する必要がある。測定中、応急の処置として、この作
業を行うのは、研磨に用いる用具が一般に普及していな
いこともあって容易ではない。しかも、光ファイバの長
さが変化することによる透過率の変化を補正するため、
再度目盛校正を行わなければならず、これも応急には難
しい。
はギザツキ、光の表面反射が増大するので、光学的に研
磨する必要がある。測定中、応急の処置として、この作
業を行うのは、研磨に用いる用具が一般に普及していな
いこともあって容易ではない。しかも、光ファイバの長
さが変化することによる透過率の変化を補正するため、
再度目盛校正を行わなければならず、これも応急には難
しい。
【０００５】そこで、本願発明の目的は、放射温度計の
光路長の影響を受けにくい２色温度計を用い、光ファイ
バ固有の光学特性をあらかじめ補正し、以後ファイバ長
が変化しても、全く影響なく温度計測ができる光ファイ
バ放射温度計を提供することである。
光路長の影響を受けにくい２色温度計を用い、光ファイ
バ固有の光学特性をあらかじめ補正し、以後ファイバ長
が変化しても、全く影響なく温度計測ができる光ファイ
バ放射温度計を提供することである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】この発明は、測定対象か
ら光ファイバを介して入射する放射エネルギーを分光す
る分光手段と、この分光手段で分光されたれた光のうち
２つの異なる測定波長帯についての光を検出する検出素
子と、この検出素子の２つの測定波長帯についての出力
信号の比率を求め温度を演算する演算手段と、前記分光
手段で分光され検出素子に入射する２つの測定波長帯の
一方又は両方を調整とし両波長についての光ファイバの
透過率が等しくなるようにするための調整手段とを備え
るようにした光ファイバ放射温度計である。
ら光ファイバを介して入射する放射エネルギーを分光す
る分光手段と、この分光手段で分光されたれた光のうち
２つの異なる測定波長帯についての光を検出する検出素
子と、この検出素子の２つの測定波長帯についての出力
信号の比率を求め温度を演算する演算手段と、前記分光
手段で分光され検出素子に入射する２つの測定波長帯の
一方又は両方を調整とし両波長についての光ファイバの
透過率が等しくなるようにするための調整手段とを備え
るようにした光ファイバ放射温度計である。
【０００７】
【実施例】図１は、この発明の一実施例を示す構成説明
図で、図において、１は光ファイバで、その集光部とし
ての先端部１ａは、レンズ３等により測定対象２からの
放射エネルギーを集光する。この光ファイバ１の他端部
１ｂは光コネクタ等とされ、先端部１ａからの放射エネ
ルギーを集光し、放射温度計４に導く。そして、この放
射エネルギーは、ハーフミラー５を介し、２方に分岐
し、互いに異なった測定波長帯λ１、λ２の光を透過す
る分光手段としてのフィルタ６１、６２を介し、検出素
子７１、７２で検出される。各検出素子７１、７２の各
出力は増幅手段Ａ１、Ａ２で増幅処理され、増幅手段Ａ
１、Ａ２の出力は比率演算手段８０で比率がとられ、こ
の比率信号に基いて、演算手段８は演算を行い温度信号
を得るようにする。このとき、フィルタ６１は、入射す
る光に対して調整手段９により所望の角度θ傾けること
ができ、透過する波長を可変として調整することがで
き、波長λ１、λ２における光ファイバ１の吸収係数が
等しくなるように選定し、光ファイバ１の長さの影響を
受けずに温度信号を得るようにすることができる。な
お、比率演算手段８０や演算手段８等にマイクロコンピ
ュータを用い、デジタル的に２色演算等の処理をしても
よい。
図で、図において、１は光ファイバで、その集光部とし
ての先端部１ａは、レンズ３等により測定対象２からの
放射エネルギーを集光する。この光ファイバ１の他端部
１ｂは光コネクタ等とされ、先端部１ａからの放射エネ
ルギーを集光し、放射温度計４に導く。そして、この放
射エネルギーは、ハーフミラー５を介し、２方に分岐
し、互いに異なった測定波長帯λ１、λ２の光を透過す
る分光手段としてのフィルタ６１、６２を介し、検出素
子７１、７２で検出される。各検出素子７１、７２の各
出力は増幅手段Ａ１、Ａ２で増幅処理され、増幅手段Ａ
１、Ａ２の出力は比率演算手段８０で比率がとられ、こ
の比率信号に基いて、演算手段８は演算を行い温度信号
を得るようにする。このとき、フィルタ６１は、入射す
る光に対して調整手段９により所望の角度θ傾けること
ができ、透過する波長を可変として調整することがで
き、波長λ１、λ２における光ファイバ１の吸収係数が
等しくなるように選定し、光ファイバ１の長さの影響を
受けずに温度信号を得るようにすることができる。な
お、比率演算手段８０や演算手段８等にマイクロコンピ
ュータを用い、デジタル的に２色演算等の処理をしても
よい。
【０００８】ここで、互いに異なる２個の測定波長帯λ
１、λ２の放射輝度比を求める２色温度計について考え
ると、波長λ、温度Ｔの分光放射輝度Ｌ（λ、Ｔ）は、
ウィーンの公式より Ｌ（λ、Ｔ）＝２Ｃ１λ5 ｅｘｐ（−Ｃ２／λＴ） （１） で与えられるので、その比率出力Ｒ（Ｔ）は次式とな
る。
１、λ２の放射輝度比を求める２色温度計について考え
ると、波長λ、温度Ｔの分光放射輝度Ｌ（λ、Ｔ）は、
ウィーンの公式より Ｌ（λ、Ｔ）＝２Ｃ１λ5 ｅｘｐ（−Ｃ２／λＴ） （１） で与えられるので、その比率出力Ｒ（Ｔ）は次式とな
る。
【０００９】 Ｒ（Ｔ）＝（λ２／λ１）5 ｅｘｐ｛（１／λ２−１／λ１）・Ｃ２／Ｔ｝ （２） ここで、Ｃ２＝０．０１４３８８ｍＫである。
【００１０】光ファイバの分光吸収係数に注目すると、
吸収係数がα、長さがｘのとき、透過率はｅｘｐ（−α
ｘ）で表されるから、測定波長帯λ１、λ２における吸
収係数が夫々α１、α２で、長さｘなる光ファイバを介
して温度Ｔ（Ｋ）の黒体を計測したときＳ（Ｋ）なる示
度を得たとすると、 Ｒ（Ｓ）＝［ｅｘｐ（−α１ｘ）／ｅｘｐ（−α２ｘ）］・Ｒ（Ｔ） （３） なる関係が成立する。Ｒ（Ｓ1,2 ）とＲ（Ｔ）にウィー
ンの公式を適用して整理すれば次式を得る。
吸収係数がα、長さがｘのとき、透過率はｅｘｐ（−α
ｘ）で表されるから、測定波長帯λ１、λ２における吸
収係数が夫々α１、α２で、長さｘなる光ファイバを介
して温度Ｔ（Ｋ）の黒体を計測したときＳ（Ｋ）なる示
度を得たとすると、 Ｒ（Ｓ）＝［ｅｘｐ（−α１ｘ）／ｅｘｐ（−α２ｘ）］・Ｒ（Ｔ） （３） なる関係が成立する。Ｒ（Ｓ1,2 ）とＲ（Ｔ）にウィー
ンの公式を適用して整理すれば次式を得る。
【００１１】 （１／λ２−１／λ１）Ｃ２／Ｓ ＝（α２−α１）ｘ＋（１／λ２−１／λ１）Ｃ２／Ｔ （４） これを温度ＳおよびＴについて求めると、 １／Ｓ−１／Ｔ＝（α２−α１）ｘ／｛（１／λ２−１／λ１）Ｃ２｝ （５） を得る。これによれば、α２＝α１、すなわち光ファイ
バの分光吸収係数、したがって、分光透過率が互いに等
しいとき、Ｔ＝Ｓとなって光フアイバの長さｘに関係な
く測定誤差は発生しないことになる。
バの分光吸収係数、したがって、分光透過率が互いに等
しいとき、Ｔ＝Ｓとなって光フアイバの長さｘに関係な
く測定誤差は発生しないことになる。
【００１２】光フアイバの分光吸収特性を、「光通信要
覧」（１９８４年８月科学新聞社発行）第３４頁の図
２．３．１（超高感度光ファイバの損失特性）から引用
して図２に示す。これによると、分光吸収としての損失
（ｄＢ）は、測定波長が０．６μｍより長くなるにつれ
て減少し、１．４〜１．６μｍ帯で最低となって、１．
６μｍ以上では再び増加する。しかも、（２）式より理
解されるように、２色温度計の感度は、２つの測定波長
λ２、λ１が互いに離れているほうが大きくなる。それ
ゆえ、図２を参考に、互いに離れた波長帯で、かつ、損
失の等しい波長帯を選定することが望ましい。このよう
な観点から、たとえば、λ１＝１．３０μｍ、λ２＝
１．６２μｍ、又は、λ１＝１．４０μｍ、λ２＝１．
６０μｍなど種々の組み合わせが選定できる。このよう
に選定し、α１＝α２が実現できれば、基本的には、光
ファイバ長の変化による指示誤差は生じない。
覧」（１９８４年８月科学新聞社発行）第３４頁の図
２．３．１（超高感度光ファイバの損失特性）から引用
して図２に示す。これによると、分光吸収としての損失
（ｄＢ）は、測定波長が０．６μｍより長くなるにつれ
て減少し、１．４〜１．６μｍ帯で最低となって、１．
６μｍ以上では再び増加する。しかも、（２）式より理
解されるように、２色温度計の感度は、２つの測定波長
λ２、λ１が互いに離れているほうが大きくなる。それ
ゆえ、図２を参考に、互いに離れた波長帯で、かつ、損
失の等しい波長帯を選定することが望ましい。このよう
な観点から、たとえば、λ１＝１．３０μｍ、λ２＝
１．６２μｍ、又は、λ１＝１．４０μｍ、λ２＝１．
６０μｍなど種々の組み合わせが選定できる。このよう
に選定し、α１＝α２が実現できれば、基本的には、光
ファイバ長の変化による指示誤差は生じない。
【００１３】しかしながら、実際上、光ファイバのロッ
ト間の微妙なバラツキ、あるいは、測定波長帯を制御す
る光フィルタのロット間のバラツキは避けられず、必ず
しもα１＝α２は成立しない。α１≠α２のとき、
（５）式から明らかなように、光ファイバ長ｘによる指
示変化を発生する。たとえば、長さ１Ｋｍの光ファイバ
を用いてＴ＝１３００Ｋの場合、互いの損失の差異が±
１％でも（５）式から、λ１＝１．３０μｍ、λ２＝
１．６２μｍのとき、ＴとＳの差は±７．２Ｋ、同じ
く、λ１＝１．４０μｍ、λ２＝１．６０μｍのとき、
ＴとＳの差は±１２．４Ｋとなり、しかも、これらの誤
差は、（５）式から明らかなごとく長さに比例するか
ら、精密な温度計測を実現するため、この誤差は無視で
きない。
ト間の微妙なバラツキ、あるいは、測定波長帯を制御す
る光フィルタのロット間のバラツキは避けられず、必ず
しもα１＝α２は成立しない。α１≠α２のとき、
（５）式から明らかなように、光ファイバ長ｘによる指
示変化を発生する。たとえば、長さ１Ｋｍの光ファイバ
を用いてＴ＝１３００Ｋの場合、互いの損失の差異が±
１％でも（５）式から、λ１＝１．３０μｍ、λ２＝
１．６２μｍのとき、ＴとＳの差は±７．２Ｋ、同じ
く、λ１＝１．４０μｍ、λ２＝１．６０μｍのとき、
ＴとＳの差は±１２．４Ｋとなり、しかも、これらの誤
差は、（５）式から明らかなごとく長さに比例するか
ら、精密な温度計測を実現するため、この誤差は無視で
きない。
【００１４】そこで測定波長帯λ１、λ２の一方もしく
は双方の波長帯を調整できる構成とし、測定を行う前
に、あらかじめ、各測定波長帯λ１、λ２の光ファイバ
１における吸収係数α１、α２について、α１＝α２が
成立するように測定波長帯を調整することを本願発明の
目的としている。
は双方の波長帯を調整できる構成とし、測定を行う前
に、あらかじめ、各測定波長帯λ１、λ２の光ファイバ
１における吸収係数α１、α２について、α１＝α２が
成立するように測定波長帯を調整することを本願発明の
目的としている。
【００１５】つまり、図１において、フィルタ６１を干
渉膜フィルタとし、調整手段９により角度θ傾けると、
その透過中心波長λｍは λｍ＝２ｎｈ・［１−（sin θ／ｎ）2 ］1/2 ／ｍ （６） で与えられる。ここで、厚みｈ，屈折率ｎ，次数ｍとし
た。これによれば、透過中心波長λｍは光軸の傾きθの
関数ゆえ、この傾きを調整することにより、透過中心波
長λｍを変えることができる。たとえば、ｎが１．５〜
２のとき、θを±４５度調整すると、透過中心波長λｍ
は、１２〜６％変動する。このことは、θが０度のと
き、たとえば波長λｍ＝１．６μｍとすれば、０．１９
〜０．１μｍまで変化することができることになり、図
２から明らかなごとく、透過率の調整が実用的に可能と
なる。
渉膜フィルタとし、調整手段９により角度θ傾けると、
その透過中心波長λｍは λｍ＝２ｎｈ・［１−（sin θ／ｎ）2 ］1/2 ／ｍ （６） で与えられる。ここで、厚みｈ，屈折率ｎ，次数ｍとし
た。これによれば、透過中心波長λｍは光軸の傾きθの
関数ゆえ、この傾きを調整することにより、透過中心波
長λｍを変えることができる。たとえば、ｎが１．５〜
２のとき、θを±４５度調整すると、透過中心波長λｍ
は、１２〜６％変動する。このことは、θが０度のと
き、たとえば波長λｍ＝１．６μｍとすれば、０．１９
〜０．１μｍまで変化することができることになり、図
２から明らかなごとく、透過率の調整が実用的に可能と
なる。
【００１６】このように、（６）式の関係を利用して、
両波長の透過率を等しくするように調整する。つまり、
この波長λｍが、図１におけるフィルタ６１の波長λ１
であり、この波長λ１の光ファイバ１における透過率α
１と、フィルタ６２の波長λ２の光ファイバ１における
透過率α２の関係がα１＝α２となるように、あらかじ
め測定開始前に、測定波長帯を調整すれば、光ファイバ
１の長さによる影響はなくなる。なお、フィルタ６２の
角度も同様に調整するようにし、両波長とも調整するよ
うにしてもよい。
両波長の透過率を等しくするように調整する。つまり、
この波長λｍが、図１におけるフィルタ６１の波長λ１
であり、この波長λ１の光ファイバ１における透過率α
１と、フィルタ６２の波長λ２の光ファイバ１における
透過率α２の関係がα１＝α２となるように、あらかじ
め測定開始前に、測定波長帯を調整すれば、光ファイバ
１の長さによる影響はなくなる。なお、フィルタ６２の
角度も同様に調整するようにし、両波長とも調整するよ
うにしてもよい。
【００１７】次に、図３（ａ）に他の一実施例の要部を
示す。図示しない光ファイバから入射する放射エネルギ
ーをハーフミラー５を介して２方に分岐し、一方の光は
波長λ２の光を透過するフィルタ６２を介して検出素子
７２に入射させ、他方の光は、プリズム、グレーティン
グ（回折格子）等の連続スペクトルを発生する分光手段
６０で分光し、この分光手段６０の角度を可変とし調整
手段９１で傾けることで、所定の波長λ１の光をスリッ
ト１０ａを介し検出素子７１に入射させる。この分光手
段６０による波長λ１の光ファイバ１における透過率α
１と、フィルタ６２の波長λ２の光ファイバ１における
透過率α２の関係がα１＝α２となるように測定波長帯
を調整すれば、光ファイバ１の長さによる影響はなくな
る。
示す。図示しない光ファイバから入射する放射エネルギ
ーをハーフミラー５を介して２方に分岐し、一方の光は
波長λ２の光を透過するフィルタ６２を介して検出素子
７２に入射させ、他方の光は、プリズム、グレーティン
グ（回折格子）等の連続スペクトルを発生する分光手段
６０で分光し、この分光手段６０の角度を可変とし調整
手段９１で傾けることで、所定の波長λ１の光をスリッ
ト１０ａを介し検出素子７１に入射させる。この分光手
段６０による波長λ１の光ファイバ１における透過率α
１と、フィルタ６２の波長λ２の光ファイバ１における
透過率α２の関係がα１＝α２となるように測定波長帯
を調整すれば、光ファイバ１の長さによる影響はなくな
る。
【００１８】また、図３（ｂ）で変形例を示すように、
入射する放射エネルギーの光を、プリズム、グレーティ
ング（回折格子）等の連続スペクトルを発生する分光手
段６０で分光し、所定位置の検出素子７１にスリット１
０ａを介し波長λ１の光を入射させ、また、別の所定位
置の検出素子７２にスリット１０ｂを介し波長λ２の光
を入射させる。これら検出素子７１，７２の位置を調整
手段９２で可変とし調整することにより、分光手段６０
で分光された光の特定波長λ１、λ２の光を検出素子７
１、７２に入射する。この分光手段６０による波長λ１
の光ファイバ１における透過率α１と、波長λ２の光フ
ァイバ１における透過率α２の関係がα１＝α２となる
ように測定波長帯を調整すれば、光ファイバ１の長さに
よる影響はなくなる。
入射する放射エネルギーの光を、プリズム、グレーティ
ング（回折格子）等の連続スペクトルを発生する分光手
段６０で分光し、所定位置の検出素子７１にスリット１
０ａを介し波長λ１の光を入射させ、また、別の所定位
置の検出素子７２にスリット１０ｂを介し波長λ２の光
を入射させる。これら検出素子７１，７２の位置を調整
手段９２で可変とし調整することにより、分光手段６０
で分光された光の特定波長λ１、λ２の光を検出素子７
１、７２に入射する。この分光手段６０による波長λ１
の光ファイバ１における透過率α１と、波長λ２の光フ
ァイバ１における透過率α２の関係がα１＝α２となる
ように測定波長帯を調整すれば、光ファイバ１の長さに
よる影響はなくなる。
【００１９】ところで、測定開始前に、あらかじめ理論
で求めた測定波長帯が実現されるように調整する必要が
あるが、実際に調整を行うには、図４で示すように、た
とえば図１で示した光ファイバ１の先端部１ａを所定温
度Ｔ（Ｋ）の黒体炉１１の空洞部に挿入し、黒体炉１１
の温度を熱電対等の温度センサ１２で検出し、測定手段
１３で温度Ｔを測定し、指示手段１３ａで表示する。ま
た、光ファイバ１からの放射エネルギーは、たとえば図
１で示すハーフミラー５、フィルタ６１、６２、検出素
子７１、７２、増幅手段Ａ１、Ａ２、比率演算手段８
０、演算手段８等を含む放射温度計４に相当する測定手
段１４で測定され、温度Ｓを指示手段１４ａに表示す
る。そして、調整手段９を調整して、各測定手段１３、
１４の指示手段１３ａ，１４ａの指示温度Ｔ、Ｓが一致
するうにし、その後、光ファイバ１を測定に用いれば、
正しい温度Ｔが、光ファイバ１の長さに関係なく測定す
ることができる。
で求めた測定波長帯が実現されるように調整する必要が
あるが、実際に調整を行うには、図４で示すように、た
とえば図１で示した光ファイバ１の先端部１ａを所定温
度Ｔ（Ｋ）の黒体炉１１の空洞部に挿入し、黒体炉１１
の温度を熱電対等の温度センサ１２で検出し、測定手段
１３で温度Ｔを測定し、指示手段１３ａで表示する。ま
た、光ファイバ１からの放射エネルギーは、たとえば図
１で示すハーフミラー５、フィルタ６１、６２、検出素
子７１、７２、増幅手段Ａ１、Ａ２、比率演算手段８
０、演算手段８等を含む放射温度計４に相当する測定手
段１４で測定され、温度Ｓを指示手段１４ａに表示す
る。そして、調整手段９を調整して、各測定手段１３、
１４の指示手段１３ａ，１４ａの指示温度Ｔ、Ｓが一致
するうにし、その後、光ファイバ１を測定に用いれば、
正しい温度Ｔが、光ファイバ１の長さに関係なく測定す
ることができる。
【００２０】なお、以上２波長の放射温度計について説
明したが、３波長以上を利用した放射温度計についても
同様に適用して、光ファイバの長さに関係なく正しい温
度測定を行うことができる。
明したが、３波長以上を利用した放射温度計についても
同様に適用して、光ファイバの長さに関係なく正しい温
度測定を行うことができる。
【００２１】
【発明の効果】以上述べたように、この発明は、光ファ
イバを介し、２つの異なる測定波長帯の検出出力から２
色演算を行うとともに、測定を行う前に、測定波長帯の
一方もしくは双方の測定波長帯を調整し、各測定波長帯
の光ファイバにおける透過率が等しくなるようにしたも
のである。このように、透過率が等しい測定波長帯を用
いて２色演算を行っているので、光ファイバの透過率の
影響を受けることなく高精度の測温を行うことができ、
しかも、長さについての考慮は不要で、ファイバ長の変
化の影響を受けずに、連続的に長い時間測定が安定的、
高精度に可能となる。
イバを介し、２つの異なる測定波長帯の検出出力から２
色演算を行うとともに、測定を行う前に、測定波長帯の
一方もしくは双方の測定波長帯を調整し、各測定波長帯
の光ファイバにおける透過率が等しくなるようにしたも
のである。このように、透過率が等しい測定波長帯を用
いて２色演算を行っているので、光ファイバの透過率の
影響を受けることなく高精度の測温を行うことができ、
しかも、長さについての考慮は不要で、ファイバ長の変
化の影響を受けずに、連続的に長い時間測定が安定的、
高精度に可能となる。
【図１】この発明の一実施例を示す構成説明図である。
【図２】この発明の一実施例を示す特性説明図である。
【図３】この発明の一実施例を示す構成説明図である。
【図４】この発明の一実施例を示す構成説明図である。
１ 光ファイバ １ａ 先端部 ２ 測定対象 ３ 繰り出し装置 ４ 放射温度計 ５ ハーフミラー ６０、６１、６２ 分光手段 ７１、７２ 検出素子 ８０ 比率演算手段 ８ 演算手段 ９、９１、９２ 調整手段 １０ａ、１０ｂ スリット １１ 黒体炉 １２ 温度センサ １３、１４ 測定手段 Ａ１、Ａ２ 増幅手段
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G01J 5/00 - 5/62 G01N 21/00 - 21/61
Claims (1)
- 【請求項１】測定対象から光ファイバを介して入射する
放射エネルギーを分光する分光手段と、この分光手段で
分光されたれた光のうち２つの異なる測定波長帯につい
ての光を検出する検出素子と、この検出素子の２つの測
定波長帯についての出力信号の比率を求め温度を演算す
る演算手段と、前記分光手段で分光され検出素子に入射
する２つの測定波長帯の一方又は両方を調整し両波長に
ついての光ファイバの透過率が等しくなるようにするた
めの調整手段とを備えたことを特徴とする光ファイバ放
射温度計。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP08555494A JP3325700B2 (ja) | 1994-03-31 | 1994-03-31 | 光ファイバ放射温度計 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP08555494A JP3325700B2 (ja) | 1994-03-31 | 1994-03-31 | 光ファイバ放射温度計 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07270242A JPH07270242A (ja) | 1995-10-20 |
| JP3325700B2 true JP3325700B2 (ja) | 2002-09-17 |
Family
ID=13862051
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP08555494A Expired - Lifetime JP3325700B2 (ja) | 1994-03-31 | 1994-03-31 | 光ファイバ放射温度計 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3325700B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP7024644B2 (ja) * | 2017-07-21 | 2022-02-24 | 日本製鉄株式会社 | 温度測定装置、温度測定方法及びプログラム |
-
1994
- 1994-03-31 JP JP08555494A patent/JP3325700B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH07270242A (ja) | 1995-10-20 |
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