JPH0222322A - 封止用樹脂組成物 - Google Patents
封止用樹脂組成物Info
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- JPH0222322A JPH0222322A JP17184388A JP17184388A JPH0222322A JP H0222322 A JPH0222322 A JP H0222322A JP 17184388 A JP17184388 A JP 17184388A JP 17184388 A JP17184388 A JP 17184388A JP H0222322 A JPH0222322 A JP H0222322A
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Landscapes
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- Compositions Of Macromolecular Compounds (AREA)
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
[発明の目的]
(産業上の利用分野ン
本発明は、耐湿性、半田耐熱性、成形性に優れた、電子
・電気部品等の封止用樹脂組成物に関する。
・電気部品等の封止用樹脂組成物に関する。
(従来の技術)
近年、半導体、集積回路の分野における高集積化、高信
顆性化の技術開発と同時に、半導体装置の実装工程の自
動化が推進されている。 例えば、フラットパッケージ
型の半導体装置を回路基板に取り付ける場合、従来はリ
ードビン毎に半田付けを行っていたが、最近は半導体装
置全体を250℃に加熱した半田浴に浸漬して、半田付
けを行う方法が採用されている。
顆性化の技術開発と同時に、半導体装置の実装工程の自
動化が推進されている。 例えば、フラットパッケージ
型の半導体装置を回路基板に取り付ける場合、従来はリ
ードビン毎に半田付けを行っていたが、最近は半導体装
置全体を250℃に加熱した半田浴に浸漬して、半田付
けを行う方法が採用されている。
従来のエポキシ樹脂、ノボラック型フェノール樹脂およ
び無機質充填剤からなる樹脂組成物で封止した半導体装
置では、装置全体の半田浴浸漬を行うと耐湿性が低下す
るという欠点がある。 特に吸湿した半導体装置を半田
浸漬すると樹脂封止と半導体チップおよびフレームとの
間に剥がれが生じ、著しい耐湿劣化をおこし、電極の腐
蝕による断線や水分によるリーク電流を生じ、長期間の
信頼性を保証することができないという欠点がある。
また、第三成分を配合し改良する方法も試みられている
が、配合することによる離型性等成形性が悪くなる欠点
があった。 このため、耐湿性の影響が少なく、半導体
装置全体の半田浴浸漬をしても耐湿劣化の少ない成形性
のよい封止用樹脂の開発が強く要望されていた。
び無機質充填剤からなる樹脂組成物で封止した半導体装
置では、装置全体の半田浴浸漬を行うと耐湿性が低下す
るという欠点がある。 特に吸湿した半導体装置を半田
浸漬すると樹脂封止と半導体チップおよびフレームとの
間に剥がれが生じ、著しい耐湿劣化をおこし、電極の腐
蝕による断線や水分によるリーク電流を生じ、長期間の
信頼性を保証することができないという欠点がある。
また、第三成分を配合し改良する方法も試みられている
が、配合することによる離型性等成形性が悪くなる欠点
があった。 このため、耐湿性の影響が少なく、半導体
装置全体の半田浴浸漬をしても耐湿劣化の少ない成形性
のよい封止用樹脂の開発が強く要望されていた。
(発明が解決しようとする問題点)
本発明は、上記の欠点を解消し、要望に応えるためにな
されたもので、吸湿の影響が少なく、特に半田浴浸漬後
の耐湿性および半田耐熱性に優れた成形性のよい封止用
樹脂組成物を提供しようとするものである。
されたもので、吸湿の影響が少なく、特に半田浴浸漬後
の耐湿性および半田耐熱性に優れた成形性のよい封止用
樹脂組成物を提供しようとするものである。
[発明の構成]
(問題点を解決するための手段)
本発明者は、上記の目的を達成しようと鋭意研究を重ね
た結果、軟化温度が1間℃以上の接着剤を配合した樹脂
組成物によって、半田浴浸漬後の耐湿性および半田耐熱
性が向上し、かつ成形性がよくなることを見いだし、本
発明を完成したものである。 すなわち、本発明は、 (A>エポキシ樹脂、 (B)ノボラック型フェノール樹脂、 (C)軟化温度が170℃以上のホットメルト接着剤お
よび (D)無機質充填剤 を必須成分とし、全体の樹脂組成物に対して、前記(C
)の軟化温度が170°C以上の接着剤を0.1〜10
重量%、また前記(D)の無機質充填剤を25〜90重
量%含有することを特徴とする封止用樹脂組成物である
。 そして、エポキシ基(a )とフェノール性水酸基
(b )との当量比[(a)/(b)]が0.1〜10
の範囲内にある封止用樹脂組成物である。
た結果、軟化温度が1間℃以上の接着剤を配合した樹脂
組成物によって、半田浴浸漬後の耐湿性および半田耐熱
性が向上し、かつ成形性がよくなることを見いだし、本
発明を完成したものである。 すなわち、本発明は、 (A>エポキシ樹脂、 (B)ノボラック型フェノール樹脂、 (C)軟化温度が170℃以上のホットメルト接着剤お
よび (D)無機質充填剤 を必須成分とし、全体の樹脂組成物に対して、前記(C
)の軟化温度が170°C以上の接着剤を0.1〜10
重量%、また前記(D)の無機質充填剤を25〜90重
量%含有することを特徴とする封止用樹脂組成物である
。 そして、エポキシ基(a )とフェノール性水酸基
(b )との当量比[(a)/(b)]が0.1〜10
の範囲内にある封止用樹脂組成物である。
本発明に用いる(A)エポキシ樹脂としては、その分子
中にエポキシ基を少なくとも2個有する化合物である限
り、分子構造、分子量など特に制限はなく、一般に封止
用材料として使用されているらのを広く包含することが
できる。 例えば、ビスフェノール型の芳香族系、シク
ロヘキサン誘導体等の脂環族系、さらに次の一般式で示
されるエポキシノボラック系の樹脂が挙げられる。
中にエポキシ基を少なくとも2個有する化合物である限
り、分子構造、分子量など特に制限はなく、一般に封止
用材料として使用されているらのを広く包含することが
できる。 例えば、ビスフェノール型の芳香族系、シク
ロヘキサン誘導体等の脂環族系、さらに次の一般式で示
されるエポキシノボラック系の樹脂が挙げられる。
(但し、式中R′は水素原子、ハロゲン原子又はアルキ
ル基を、R2は水素原子又はアルキル基を、nは1以上
の整数をそれぞれ表す) これらのエポキシ樹脂は単独もしくは2種以上混合して
用いる。
ル基を、R2は水素原子又はアルキル基を、nは1以上
の整数をそれぞれ表す) これらのエポキシ樹脂は単独もしくは2種以上混合して
用いる。
本発明に用いる(B)ノボラック型フェノール樹脂とし
ては、フェノール、アルキフェノール等のフェノール類
とホルムアルデヒドあるいはパラホルムアルデヒドとを
反応させて得られるノボラック型フェノール樹脂および
これらの変性樹脂、例えばエポキシ化もしくはブチル化
ノボラック型フェノール樹脂等が挙げられ、これらの樹
脂は単独もしくは2種以上混合して用いる。 ノボラッ
ク型フェノール樹脂の配合割合は、前述したエポキシ樹
脂のエポキシ基<a >とノボラック型フェノール樹脂
のフェノール性水酸基(b)との当量比[(a)/(b
)]が0.1〜10ノ範囲内であることが望ましい、
当量比が0.1未満もしくは10を超えると、耐湿性、
成形作業性および硬化物の電気特性が悪くなり、いずれ
の場合も好ましくない。 従って、上記の範囲内に限定
される。
ては、フェノール、アルキフェノール等のフェノール類
とホルムアルデヒドあるいはパラホルムアルデヒドとを
反応させて得られるノボラック型フェノール樹脂および
これらの変性樹脂、例えばエポキシ化もしくはブチル化
ノボラック型フェノール樹脂等が挙げられ、これらの樹
脂は単独もしくは2種以上混合して用いる。 ノボラッ
ク型フェノール樹脂の配合割合は、前述したエポキシ樹
脂のエポキシ基<a >とノボラック型フェノール樹脂
のフェノール性水酸基(b)との当量比[(a)/(b
)]が0.1〜10ノ範囲内であることが望ましい、
当量比が0.1未満もしくは10を超えると、耐湿性、
成形作業性および硬化物の電気特性が悪くなり、いずれ
の場合も好ましくない。 従って、上記の範囲内に限定
される。
本発明に用いる(C)軟化温度が170℃以上のホット
メルト接着剤としては、飽和ポリエステル系(テレフタ
レート、インフタレートを主成分とするもの)やナイロ
ン系(ナイロン6.66.6・to、11.12を主成
分とするもの)のホットメルトタイプ ポリエチレンテレフタレートにロジン系樹脂等の粘着付
与剤を含有させたものなどがあり、これらは屯独らしく
は2種以上の混合系として用いる。
メルト接着剤としては、飽和ポリエステル系(テレフタ
レート、インフタレートを主成分とするもの)やナイロ
ン系(ナイロン6.66.6・to、11.12を主成
分とするもの)のホットメルトタイプ ポリエチレンテレフタレートにロジン系樹脂等の粘着付
与剤を含有させたものなどがあり、これらは屯独らしく
は2種以上の混合系として用いる。
軟化温度が170℃以上のホットメルト接着剤の配合割
合は、全体の樹脂組成物に対して、0.1〜10f!量
%含有することが好ましい。 その割合か0゜1重量%
未溝では半田耐熱性に効果なく、また10重量%を超え
ると離・型性が悪く成形性に悪影響を与え、実用に適さ
ず好ましくない。 なお、軟化温度は、JIS K6
844によって測定される。
合は、全体の樹脂組成物に対して、0.1〜10f!量
%含有することが好ましい。 その割合か0゜1重量%
未溝では半田耐熱性に効果なく、また10重量%を超え
ると離・型性が悪く成形性に悪影響を与え、実用に適さ
ず好ましくない。 なお、軟化温度は、JIS K6
844によって測定される。
本発明に用いる(D>無機質充填剤としては、シリカ粉
末、アルミナ、三酸化アンチモン、タルク、炭酸カルシ
ウム、チタンホワイト、クレーマイカ、ベンガラ、ガラ
ス繊維等が挙げられこれらは単独もしくは2種以上混合
して使用する。
末、アルミナ、三酸化アンチモン、タルク、炭酸カルシ
ウム、チタンホワイト、クレーマイカ、ベンガラ、ガラ
ス繊維等が挙げられこれらは単独もしくは2種以上混合
して使用する。
これらの中でも特にシリカ粉末やアルミナ粉末が好まし
く、よく使用される。 無機質充填剤の配合割合は、全
体の樹脂組成物に対して25〜90重量%含有すること
が好ましい。 その割合が25重量%未満では、耐湿性
、半田耐熱性、機械的特性および成形性が悪くなり、ま
た90重社%を超えるとカサバリが大きくなり成形性が
悪く実用に適さない。
く、よく使用される。 無機質充填剤の配合割合は、全
体の樹脂組成物に対して25〜90重量%含有すること
が好ましい。 その割合が25重量%未満では、耐湿性
、半田耐熱性、機械的特性および成形性が悪くなり、ま
た90重社%を超えるとカサバリが大きくなり成形性が
悪く実用に適さない。
本発明の封止用樹脂組成物は、エポキシ樹脂、ノボラッ
ク型フェノール樹脂、軟化温度が170℃以上のホット
メルト接着剤および無機質充填剤を必須成分とするが、
本発明の目的を損なわないかぎり、必要に応じて天然ワ
ックス類、合成ワックス類、直鎖脂肪酸の金属塩、酸ア
ミド、エステル類、パラフィン類などの離型剤、塩素化
パラフィン、ブロム化トルエン、ヘキサブロムベンゼン
、二酸化アンチモンなどの難燃剤、カーボンブラック、
ベンガラなどの着色剤、シランカップリング剤、種々の
硬化促進剤等を適宜添加配合することかできる。
ク型フェノール樹脂、軟化温度が170℃以上のホット
メルト接着剤および無機質充填剤を必須成分とするが、
本発明の目的を損なわないかぎり、必要に応じて天然ワ
ックス類、合成ワックス類、直鎖脂肪酸の金属塩、酸ア
ミド、エステル類、パラフィン類などの離型剤、塩素化
パラフィン、ブロム化トルエン、ヘキサブロムベンゼン
、二酸化アンチモンなどの難燃剤、カーボンブラック、
ベンガラなどの着色剤、シランカップリング剤、種々の
硬化促進剤等を適宜添加配合することかできる。
本発明の封止用樹脂組成物を成形材料として製造する場
合の一般的な方法は、エポキシ樹脂、ノボラック型フェ
ノール樹脂、軟化温度が170℃以上のボットメルト接
着剤、無機質充填剤、その他の原料成分を所定の組成比
に選んで、ミキサー等によって十分均一に混合した後、
更に熱ロールによる溶融混合処理、またはニーダ等によ
る混合処理を行い、次いで冷却固化させ、適当な大きさ
に粉砕して成形材料とする。 こうして製造した成形材
料は、電子部品或いは電気部品の封止、被覆、絶縁等に
適用することができる。
合の一般的な方法は、エポキシ樹脂、ノボラック型フェ
ノール樹脂、軟化温度が170℃以上のボットメルト接
着剤、無機質充填剤、その他の原料成分を所定の組成比
に選んで、ミキサー等によって十分均一に混合した後、
更に熱ロールによる溶融混合処理、またはニーダ等によ
る混合処理を行い、次いで冷却固化させ、適当な大きさ
に粉砕して成形材料とする。 こうして製造した成形材
料は、電子部品或いは電気部品の封止、被覆、絶縁等に
適用することができる。
(作用)
本発明において、軟化温度が170℃以上のポ゛ットメ
ルト接着剤を用いたことによって目的とする特性が得ら
れるものである。 軟化温度か170℃以上のホットメ
ルト接着剤は、封止用樹脂組成物と半導体チップとの密
着性、また封止用樹脂組成物とリードフレームとの密着
性を向上させ、半田浴に浸漬しても耐湿性の劣化を少な
くする。 また成形性に悪影響がなくなる。
ルト接着剤を用いたことによって目的とする特性が得ら
れるものである。 軟化温度か170℃以上のホットメ
ルト接着剤は、封止用樹脂組成物と半導体チップとの密
着性、また封止用樹脂組成物とリードフレームとの密着
性を向上させ、半田浴に浸漬しても耐湿性の劣化を少な
くする。 また成形性に悪影響がなくなる。
(実施例)
次に本発明を実施例によって具体的に説明するが、本発
明はこれらの実施例によって限定されるものではない、
以下の実施例および比教例において「%Jとあるのは
「重量%」を意味する。
明はこれらの実施例によって限定されるものではない、
以下の実施例および比教例において「%Jとあるのは
「重量%」を意味する。
実施例 l
クレゾールノボラックエポキシ樹脂(エポキシ当121
5) 18%にノボラック型フェノール樹脂(フェノー
ル当量107) 8%、ポリエステル系ホットメルト
型接着剤(軟化点170℃)2%、硬化促進剤0.3%
、溶融シリカ粉末11%、エステル系ワックス0.3%
およびシラン系カップリング剤0.4%を配合し、常温
で混合し更に90〜95℃で混練冷却した後、粉砕して
成形材料を製造した。
5) 18%にノボラック型フェノール樹脂(フェノー
ル当量107) 8%、ポリエステル系ホットメルト
型接着剤(軟化点170℃)2%、硬化促進剤0.3%
、溶融シリカ粉末11%、エステル系ワックス0.3%
およびシラン系カップリング剤0.4%を配合し、常温
で混合し更に90〜95℃で混練冷却した後、粉砕して
成形材料を製造した。
この成形材料を170℃に加熱した金型内にトランスフ
ァー注入し硬化させて成形品(封止孔)をつくった、
この成形品について耐湿性等の特性を試験したのでその
結果を第1表に示した。 特に耐湿性において本発明の
m著な効果が認められた。
ァー注入し硬化させて成形品(封止孔)をつくった、
この成形品について耐湿性等の特性を試験したのでその
結果を第1表に示した。 特に耐湿性において本発明の
m著な効果が認められた。
実施例 2
クレゾールノボラックエポキシ樹脂(エポキシ当量21
5) 18%に、ノボラック型フェノール樹脂(フェノ
ール当11107) 8%、ポリエステル系ホットメ
ルト型接着剤(軟化温度200℃) 2%、硬化促進剤
0.3%、シリカ粉末71%、エステル系ワックス0,
3%およびシラン系カップリング剤0.4%を実施例1
と同様に混合、混練、粉砕して成形材料を製造した。
また実施例1と同様にして成形孔をつくり耐湿性等の特
性試験を行ったので、その結果を第1表に示しな。 耐
湿性において本発明の顕著な効果が認められた。
5) 18%に、ノボラック型フェノール樹脂(フェノ
ール当11107) 8%、ポリエステル系ホットメ
ルト型接着剤(軟化温度200℃) 2%、硬化促進剤
0.3%、シリカ粉末71%、エステル系ワックス0,
3%およびシラン系カップリング剤0.4%を実施例1
と同様に混合、混練、粉砕して成形材料を製造した。
また実施例1と同様にして成形孔をつくり耐湿性等の特
性試験を行ったので、その結果を第1表に示しな。 耐
湿性において本発明の顕著な効果が認められた。
比較例
クレゾールノボラックエポキシ樹脂(エポキシ当量21
5) 19%にノボラック型フェノール樹脂(フェノー
ル当量107) 9%、シリカ粉末71%、トリフェ
ニルホスフィン0.3%、エステル系ワックス0.3%
およびシラン系カップリング剤0.4%を実施例1と同
様にして成形材料を製造した。
5) 19%にノボラック型フェノール樹脂(フェノー
ル当量107) 9%、シリカ粉末71%、トリフェ
ニルホスフィン0.3%、エステル系ワックス0.3%
およびシラン系カップリング剤0.4%を実施例1と同
様にして成形材料を製造した。
この成形材料を用いて成形品とし、成形品の緒特性につ
いて実施例1と同様にして試験を行い、その結果を第1
表に示した。
いて実施例1と同様にして試験を行い、その結果を第1
表に示した。
第1表
(単位)
ネ1 ニドランスファー成形によって直径5011、厚
さ31mの成形品をつくり、これを 127℃、2気圧
の飽和水蒸気中に24時間放置し、増加したfi量によ
って求めた。
さ31mの成形品をつくり、これを 127℃、2気圧
の飽和水蒸気中に24時間放置し、増加したfi量によ
って求めた。
ネ2 :吸水率の試験と同じ成形品をつくり、これを
175℃で8時間の後硬化を行い、適当な大きさのテス
トピースとし、熱機器分析装置を用いて測定した。
175℃で8時間の後硬化を行い、適当な大きさのテス
トピースとし、熱機器分析装置を用いて測定した。
*3:成形材料を用いて2本以上のアルミニウム配線を
有するシリコン製チップ(テスト用素子)を通常の42
70イフレームに接着し、115℃で2分間!・ランス
ファー成形して5x 10x 1.51nのフラット
バラゲージ型成形品をつくり、その後175℃で8時間
後硬化を行った。 この成形品を予め40°C190%
RH,100時間の吸湿処理をした後、250°Cの半
田浴に10秒間浸漬した。 その後127°C,2,5
気圧の飽和水蒸気中でPCTを行い、アルミニウムの腐
食による断線を不良として評価した。
有するシリコン製チップ(テスト用素子)を通常の42
70イフレームに接着し、115℃で2分間!・ランス
ファー成形して5x 10x 1.51nのフラット
バラゲージ型成形品をつくり、その後175℃で8時間
後硬化を行った。 この成形品を予め40°C190%
RH,100時間の吸湿処理をした後、250°Cの半
田浴に10秒間浸漬した。 その後127°C,2,5
気圧の飽和水蒸気中でPCTを行い、アルミニウムの腐
食による断線を不良として評価した。
[発明の効果]
以上の説明および第1表から明らかなように、本発明の
封止用樹脂組成物は、配合したホットメルト接着剤によ
って半導体チップやリードフレームに対する密着性が良
いために、吸湿の影響が少なく、半田浴に浸漬した後で
も耐湿性に優れ、また離型性や成形性にも悪影響がなく
、その結果電極の腐食による断線や水分によるリーク電
流の発生などを著しく低減することができ、しかも長時
間に渡って信頼性を保証することができる。 また、2
50℃の半田浴浸漬にもかかわらず優れた半田耐熱性を
示した。
封止用樹脂組成物は、配合したホットメルト接着剤によ
って半導体チップやリードフレームに対する密着性が良
いために、吸湿の影響が少なく、半田浴に浸漬した後で
も耐湿性に優れ、また離型性や成形性にも悪影響がなく
、その結果電極の腐食による断線や水分によるリーク電
流の発生などを著しく低減することができ、しかも長時
間に渡って信頼性を保証することができる。 また、2
50℃の半田浴浸漬にもかかわらず優れた半田耐熱性を
示した。
特許出願人 東芝ケミカル株式会社
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1(A)エポキシ樹脂、 (B)ノボラック型フェノール樹脂、 (C)軟化温度が170℃以上のホットメルト接着剤お
よび (D)無機質充填剤 を必須成分とし、全体の樹脂組成物に対して、前記(C
)の軟化温度が170℃以上のホットメルト接着剤を0
.1〜10重量%、また前記(D)の無機質充填剤を2
5〜90重量%含有することを特徴とする封止用樹脂組
成物。 2エポキシ樹脂のエポキシ基(a)と、ノボラック型フ
ェノール樹脂のフェノール性水酸基(b)との当量比[
(a)/(b)]が 0.1〜10の範囲内にある特許請求の範囲第1項記載
の封止用樹脂組成物。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP17184388A JPH0222322A (ja) | 1988-07-12 | 1988-07-12 | 封止用樹脂組成物 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP17184388A JPH0222322A (ja) | 1988-07-12 | 1988-07-12 | 封止用樹脂組成物 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0222322A true JPH0222322A (ja) | 1990-01-25 |
Family
ID=15930797
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP17184388A Pending JPH0222322A (ja) | 1988-07-12 | 1988-07-12 | 封止用樹脂組成物 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0222322A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0496929A (ja) * | 1990-08-14 | 1992-03-30 | Shin Etsu Chem Co Ltd | エポキシ樹脂組成物及び半導体装置 |
WO1997004037A1 (de) * | 1995-07-17 | 1997-02-06 | Dr. Kuhn Ag | Brandhemmendes dichtungssystem auf basis von schmelzklebstoffen und verfahren zur flammfesten abdichtung von gegenständen oder öffnungen |
JP2002180032A (ja) * | 2000-12-18 | 2002-06-26 | Nhk Spring Co Ltd | 電子部品のシーリング方法 |
Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS58184204A (ja) * | 1982-04-20 | 1983-10-27 | 三菱瓦斯化学株式会社 | 半導体封止用エポキシ樹脂組成物 |
JPS6222823A (ja) * | 1985-07-23 | 1987-01-31 | Toshiba Chem Corp | 封止用樹脂組成物 |
JPS6222822A (ja) * | 1985-07-23 | 1987-01-31 | Toshiba Chem Corp | 封止用樹脂組成物 |
JPS6234949A (ja) * | 1985-08-08 | 1987-02-14 | Sumitomo Bakelite Co Ltd | 半導体封止用エポキシ樹脂組成物 |
JPS6272713A (ja) * | 1985-09-27 | 1987-04-03 | Toshiba Corp | 半導体装置封止用エポキシ樹脂組成物 |
JPH01144440A (ja) * | 1987-11-30 | 1989-06-06 | Toshiba Chem Corp | 封止用樹脂組成物およびその製造方法 |
JPH01144439A (ja) * | 1987-11-30 | 1989-06-06 | Toshiba Chem Corp | 封止用樹脂組成物およびその製造方法 |
JPH021724A (ja) * | 1988-06-09 | 1990-01-08 | Toshiba Corp | エポキシ樹脂組成物及び樹脂封止型半導体装置 |
-
1988
- 1988-07-12 JP JP17184388A patent/JPH0222322A/ja active Pending
Patent Citations (8)
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JP2002180032A (ja) * | 2000-12-18 | 2002-06-26 | Nhk Spring Co Ltd | 電子部品のシーリング方法 |
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