JPH02217364A - セラミックス焼成用治具 - Google Patents
セラミックス焼成用治具Info
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- JPH02217364A JPH02217364A JP1036749A JP3674989A JPH02217364A JP H02217364 A JPH02217364 A JP H02217364A JP 1036749 A JP1036749 A JP 1036749A JP 3674989 A JP3674989 A JP 3674989A JP H02217364 A JPH02217364 A JP H02217364A
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Landscapes
- Inorganic Fibers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
【産業上の利用分野〕
本発明は、セラミックス、ガラス、各種酸化物等の焼成
において、棚板およびトレイとして使用することのでき
る焼成治具に関するものである。
において、棚板およびトレイとして使用することのでき
る焼成治具に関するものである。
無機質繊維を主体とする成形体は、軽量多孔質で、耐熱
衝撃性に優れているという特徴から種々の工業分野で利
用されている。特に最近になって、無機質繊維に無機粉
末を複合させることにより、本来の断熱材としての用途
から比較すると高密度な成形体が得られるようになり、
例えば、コンデンサー、センサー、ＩＣ基板等の電子部
品焼成用の内張、棚板、桟体等に使用されている。
衝撃性に優れているという特徴から種々の工業分野で利
用されている。特に最近になって、無機質繊維に無機粉
末を複合させることにより、本来の断熱材としての用途
から比較すると高密度な成形体が得られるようになり、
例えば、コンデンサー、センサー、ＩＣ基板等の電子部
品焼成用の内張、棚板、桟体等に使用されている。
従来のこの種の成形体は、断熱材を高強度化することに
よって、焼成治具等に利用しようとする試みがなされて
いた。
よって、焼成治具等に利用しようとする試みがなされて
いた。
そのために、耐火物を用いて焼成を行っているような炉
に使用すれば、熱容量が小さく、しかも熱伝導率が小さ
いという特徴で焼成費のコストダウンにつながっていた
。ところが、電子部品セラミックスの需要が高まるにつ
れて、迅速焼成がおこなわれるようになってきた、この
ことからすると、従来の軽量成形体では、熱伝導率が小
さいことが、スポーリング抵抗を下げてしまうという欠
点となってきた。
に使用すれば、熱容量が小さく、しかも熱伝導率が小さ
いという特徴で焼成費のコストダウンにつながっていた
。ところが、電子部品セラミックスの需要が高まるにつ
れて、迅速焼成がおこなわれるようになってきた、この
ことからすると、従来の軽量成形体では、熱伝導率が小
さいことが、スポーリング抵抗を下げてしまうという欠
点となってきた。
また、従来の焼成治具は該焼成治具上でセラミックス電
子部品を熱処理した場合、焼成治具と被処理物であるセ
ラミック部分とが反応してしまい、熱処理用治具として
使用できないという問題が発生する。このことは、通常
治具に含まれるＳ ｉ Ｏｘ分が反応種となっているこ
とが多い０例えば、従来の結晶質アルミナ繊維とアルミ
ナ粉末とから構成される場合には粘土、Ｓｉｎ！ゾル、
Ｓｉ０ｇ粉末等のＳｉ０ｇ系の焼結助剤を必要とし、こ
れを焼結助剤なしで焼結させようとすると、結晶質アル
ミナ繊維の結晶化温度以上で熱処理しなければならなく
なってしまい、治具の強度及びスポーリング性が繊維劣
化と共に悪くなってしまうという欠点を有していた。
子部品を熱処理した場合、焼成治具と被処理物であるセ
ラミック部分とが反応してしまい、熱処理用治具として
使用できないという問題が発生する。このことは、通常
治具に含まれるＳ ｉ Ｏｘ分が反応種となっているこ
とが多い０例えば、従来の結晶質アルミナ繊維とアルミ
ナ粉末とから構成される場合には粘土、Ｓｉｎ！ゾル、
Ｓｉ０ｇ粉末等のＳｉ０ｇ系の焼結助剤を必要とし、こ
れを焼結助剤なしで焼結させようとすると、結晶質アル
ミナ繊維の結晶化温度以上で熱処理しなければならなく
なってしまい、治具の強度及びスポーリング性が繊維劣
化と共に悪くなってしまうという欠点を有していた。
上記の問題点を解決するために、本発明者らは鋭意研究
した結果焼成物との反応によって悪影響を及ぼす焼結助
剤を使用することなく、軽量でしかもスポーリング性の
優れた焼成治具を提供できるに到ったのである。即ち、
本発明においてはアルミナ含有率９５％以上である結晶
質アルミナ繊維からなる骨格内にチタン酸アルミニウム
粉体が充填されてなり、前記結晶質アルミナ繊維及びチ
タン酸アルミニウムは、チタン酸アルミニウムの焼結に
より結合されるセラミックス焼成用治具であって、前記
結晶質アルミナ繊維の含有量が２０％〜４０重量％、チ
タン酸アルミニウム粉末６０〜８０重量％であることを
特徴とし、嵩密度を１゜０以上２．５ｇ／ｃｊ未満とし
た。
した結果焼成物との反応によって悪影響を及ぼす焼結助
剤を使用することなく、軽量でしかもスポーリング性の
優れた焼成治具を提供できるに到ったのである。即ち、
本発明においてはアルミナ含有率９５％以上である結晶
質アルミナ繊維からなる骨格内にチタン酸アルミニウム
粉体が充填されてなり、前記結晶質アルミナ繊維及びチ
タン酸アルミニウムは、チタン酸アルミニウムの焼結に
より結合されるセラミックス焼成用治具であって、前記
結晶質アルミナ繊維の含有量が２０％〜４０重量％、チ
タン酸アルミニウム粉末６０〜８０重量％であることを
特徴とし、嵩密度を１゜０以上２．５ｇ／ｃｊ未満とし
た。
本発明の作用は以下の如くである。
（１）純度９５％以上の結晶質アルミナ繊維を骨格とし
ているので耐熱性に優れている。
ているので耐熱性に優れている。
（２）チタン酸アルミニウムの熱伝導率が大きいため、
耐スポーリング性に優れている。
耐スポーリング性に優れている。
（３）チタン酸アルミニウムは、助剤を必要とすること
なく、強度を発揮できしかも被焼成物との反応を防止で
きる。
なく、強度を発揮できしかも被焼成物との反応を防止で
きる。
以下本発明の詳細な説明する。
本発明において、アルミナ含有量９５％以上の結晶質ア
ルミナ繊維を用いるのは、熱処理温度と骨格強度に関係
しており、アルミナ含有量が９５％より少ないと熱処理
に際して繊維が結晶化して十分な強度を得ることが出来
なくなるためである。
ルミナ繊維を用いるのは、熱処理温度と骨格強度に関係
しており、アルミナ含有量が９５％より少ないと熱処理
に際して繊維が結晶化して十分な強度を得ることが出来
なくなるためである。
前記結晶質アルミナ繊維は、平均繊維径が０゜５〜４０
μｍ、アスペクト比が１０〜１００００であることが望
ましい。
μｍ、アスペクト比が１０〜１００００であることが望
ましい。
その理由は、前記平均繊維径が０．５μｍより小さいと
入手が困難であるばかりか、単一繊維の絶対強度が弱く
骨格としての強度を充分発揮出来ないとともに嵩高くな
りすぎ嵩密度１．１ｇ／ｃｊ以上とすることが困難であ
る。一方、平均径が４０μｍより大きいと１つ１つの空
隙が大きくなりすぎ繊維による結合が少なくなり、スポ
ーリングに対して弱くなる。なかでも、平均径が１１−
１Ｏｐがより望ましい。
入手が困難であるばかりか、単一繊維の絶対強度が弱く
骨格としての強度を充分発揮出来ないとともに嵩高くな
りすぎ嵩密度１．１ｇ／ｃｊ以上とすることが困難であ
る。一方、平均径が４０μｍより大きいと１つ１つの空
隙が大きくなりすぎ繊維による結合が少なくなり、スポ
ーリングに対して弱くなる。なかでも、平均径が１１−
１Ｏｐがより望ましい。
また、前記結晶質アルミナ繊維のアスペクト比を１０〜
ｔｏｏｏｏとする理由はアスペクト比が１０より小さい
と繊維のからみがなくなり、スポーリングに対して弱く
なり、一方アスペクト比が１００００より大きいと成形
時に折れやすくなり長繊維を使用しても効果がなくかえ
って曲げ強度が弱くなる。なかでもちアスペクト比が５
０〜５０００であることが望ましい。
ｔｏｏｏｏとする理由はアスペクト比が１０より小さい
と繊維のからみがなくなり、スポーリングに対して弱く
なり、一方アスペクト比が１００００より大きいと成形
時に折れやすくなり長繊維を使用しても効果がなくかえ
って曲げ強度が弱くなる。なかでもちアスペクト比が５
０〜５０００であることが望ましい。
本発明において、無機耐火粉末としてチタン酸アルミニ
ウム粉末を使用する理由は、成形体の耐火度を高く維持
しつつ、耐スポーリング性と反応性を向上させることが
できるからである。
ウム粉末を使用する理由は、成形体の耐火度を高く維持
しつつ、耐スポーリング性と反応性を向上させることが
できるからである。
即ち、チタン酸アルミニウム粉末はＳ ｉ Ｏｚを含ん
でいる焼結助剤を用いなくても１４５０〜１５５０°Ｃ
の温度で充分に自己焼結が促進されるため、反応性に悪
影響を及ぼす助剤等を使用することなく充分に強度を発
揮しえるからである。
でいる焼結助剤を用いなくても１４５０〜１５５０°Ｃ
の温度で充分に自己焼結が促進されるため、反応性に悪
影響を及ぼす助剤等を使用することなく充分に強度を発
揮しえるからである。
また、前記チタン酸アルミニウム粉末の添加量は、６０
〜８０重量％であることが望ましい、その理由は、６０
重量％より少ないとチタン酸アルミニラム粉末の熱伝導
率の効果が十分に発揮できないとともにクリープ特性が
劣化してしまう。
〜８０重量％であることが望ましい、その理由は、６０
重量％より少ないとチタン酸アルミニラム粉末の熱伝導
率の効果が十分に発揮できないとともにクリープ特性が
劣化してしまう。
一方８０重量％より多いと繊維の混入量が少なくなるた
め軽量化には向かなくなる。
め軽量化には向かなくなる。
なかでも６５〜７５％が望ましい、また、前記チタン酸
アミニウム粉末の平均粒径は、０．５μｍ〜２００μｍ
であることが望ましい、その理由は、平均粒径が０．５
μｍより小さいと入手が困難であり、２００μｍを越え
ると焼結の効果が期待できなくなるためである。なかで
も４〜７５μｍがより望ましい。
アミニウム粉末の平均粒径は、０．５μｍ〜２００μｍ
であることが望ましい、その理由は、平均粒径が０．５
μｍより小さいと入手が困難であり、２００μｍを越え
ると焼結の効果が期待できなくなるためである。なかで
も４〜７５μｍがより望ましい。
実施例Ｉ
Ａｊ！ｘ０３９５重量％、５ｉＯ１５重量％の結晶質ア
ルミナ繊維４３２ｇとチタン酸アルミニウム粉末６４８
ｇを４０１の水中に投入、撹拌後アニオン系の有機結合
剤７．５％溶液１０８ｍを添加分散後、硫酸アルミニウ
ム２０％溶液を７２１ｍ添加し、さらにカチオン系の凝
集剤を添加後にアンモニア２．５％溶液にてＰＨ７に調
整した。
ルミナ繊維４３２ｇとチタン酸アルミニウム粉末６４８
ｇを４０１の水中に投入、撹拌後アニオン系の有機結合
剤７．５％溶液１０８ｍを添加分散後、硫酸アルミニウ
ム２０％溶液を７２１ｍ添加し、さらにカチオン系の凝
集剤を添加後にアンモニア２．５％溶液にてＰＨ７に調
整した。
このスラリーを３００ｍｍ’の抄造型に流し込み、真空
吸引後、厚さ１２ｍｍにプレスしたウェット状の成形体
とし、乾燥後１４５０°Ｃで６時間の熱処理をすること
により本発明の実施例とした。
吸引後、厚さ１２ｍｍにプレスしたウェット状の成形体
とし、乾燥後１４５０°Ｃで６時間の熱処理をすること
により本発明の実施例とした。
実施例２
１４＊０ｓ９５重量％、５ｉＯｉ５重量％の結晶質アル
ミナ繊維５１８ｇとチタン酸アルミニウム粉末ｔ２１０
ｇを４０２の水中に投入、撹拌後アニオン系の有機結合
剤７．５％溶液１３０ｄを添加分散後、硫酸アルミニウ
ム２０％溶液を８６５ｄ添加し、さらにカチオン系の凝
集剤を添加後にアンモニア２．５％溶液にてＰＨ７に調
整した。
ミナ繊維５１８ｇとチタン酸アルミニウム粉末ｔ２１０
ｇを４０２の水中に投入、撹拌後アニオン系の有機結合
剤７．５％溶液１３０ｄを添加分散後、硫酸アルミニウ
ム２０％溶液を８６５ｄ添加し、さらにカチオン系の凝
集剤を添加後にアンモニア２．５％溶液にてＰＨ７に調
整した。
このスラリーを３００ｍｍ”の抄造型に流し込み、真空
吸引後、厚さ１２ｍｍにプレスしたウェット状の成形体
とし、乾燥後１４５０℃で６時間の熱処理をすることに
より本発明の実施例とした。
吸引後、厚さ１２ｍｍにプレスしたウェット状の成形体
とし、乾燥後１４５０℃で６時間の熱処理をすることに
より本発明の実施例とした。
実施例３
ＡｌｚＯａｅ５重量％、Ｓｉ０．５重量％の結晶質アル
ミナ繊維５４０ｇとチタン酸アルミニウム粉末２１６０
ｇを４０１の水中に投入、撹拌後アニオン系の有機結合
剤７．５％溶液１３５ｄを添加分散後、硫酸アルミニウ
ム２０％溶液を９０１ｄ添加し、さらにカチオン系の凝
集剤を添加後にアンモニア２．５％溶液にてＰＨ７に調
整した。
ミナ繊維５４０ｇとチタン酸アルミニウム粉末２１６０
ｇを４０１の水中に投入、撹拌後アニオン系の有機結合
剤７．５％溶液１３５ｄを添加分散後、硫酸アルミニウ
ム２０％溶液を９０１ｄ添加し、さらにカチオン系の凝
集剤を添加後にアンモニア２．５％溶液にてＰＨ７に調
整した。
このスラリーを３００ｍｍ°の抄造型に流し込み、真空
吸引後、厚さ１２ｍｍにプレスしたウェット状の成形体
とし、乾燥後１４５０°Ｃで６時間の熱処理をすること
により本発明の実施例とした。
吸引後、厚さ１２ｍｍにプレスしたウェット状の成形体
とし、乾燥後１４５０°Ｃで６時間の熱処理をすること
により本発明の実施例とした。
比較例Ｉ
Ａｌｔｏｓ ９５重量％、５ｉＯｘ５重量％の結晶質ア
ルミナ繊維３２４ｇとアルミナ粉末６９１ｇと蛙目粘±
６５ｇを４０１の水中に投入、撹拌後アニオン系の有機
結合剤７．５％溶液８１ｍＪ！を添加分散後、硫酸アル
ミニウム２０％溶液を５４１ｄ添加し、さらにカチオン
系の凝集剤を添加後にアンモニア２．５％溶液にてＰＨ
７に調整した。
ルミナ繊維３２４ｇとアルミナ粉末６９１ｇと蛙目粘±
６５ｇを４０１の水中に投入、撹拌後アニオン系の有機
結合剤７．５％溶液８１ｍＪ！を添加分散後、硫酸アル
ミニウム２０％溶液を５４１ｄ添加し、さらにカチオン
系の凝集剤を添加後にアンモニア２．５％溶液にてＰＨ
７に調整した。
このスラリーを３００ｍｍ＠の抄造型に流し込み、真空
吸引後、厚さ１２ｍｍにプレスしたウェット状の成形体
とし、乾燥後１４５０°Ｃで６時間の熱処理をすること
により本発明の比較例とした。
吸引後、厚さ１２ｍｍにプレスしたウェット状の成形体
とし、乾燥後１４５０°Ｃで６時間の熱処理をすること
により本発明の比較例とした。
比較例２
／ｌ！、０ｆｆ９５重量％、５ｉ０１５重量％の結晶質
アルミナ繊維５１８ｇとアルミナ粉末１１０６ｇと末節
粘土１０４ｇを４０ｊ！の水中に投入、撹拌後アニオン
系の有機結合剤７．５％溶液１３〇−を添加分散後、硫
酸アルミニウム２０％溶液を８６５ｊｄ添加し、さらに
カチオン系の凝集剤を添加後にアンモニア２．５％溶液
にてＰＨ７に調整した。このスラリーを３００ｍｍ’の
抄造型に流し込み、真空吸引後、厚さ１２ｍｍにプレス
したウェット状の成形体とし、乾燥後１４５０ ’Ｃで
６時間の熱処理をすることにより本発明の比較例とした
。
アルミナ繊維５１８ｇとアルミナ粉末１１０６ｇと末節
粘土１０４ｇを４０ｊ！の水中に投入、撹拌後アニオン
系の有機結合剤７．５％溶液１３〇−を添加分散後、硫
酸アルミニウム２０％溶液を８６５ｊｄ添加し、さらに
カチオン系の凝集剤を添加後にアンモニア２．５％溶液
にてＰＨ７に調整した。このスラリーを３００ｍｍ’の
抄造型に流し込み、真空吸引後、厚さ１２ｍｍにプレス
したウェット状の成形体とし、乾燥後１４５０ ’Ｃで
６時間の熱処理をすることにより本発明の比較例とした
。
比較例３
Ａｊ２ｚｏｚ９５重量％、５ｔＯｘ５重量％の結晶質ア
ルミナ繊維２５９ｇとチタン酸アルミニウム粉末１４６
９ｇを４０２の水中に投入、撹拌後アニオン系の有機結
合剤７．５％溶液６５ｍを添加分散後、硫酸アルミニウ
ム２０％溶液を４３２ｊｄ添加し、さらにカチオン系の
凝集剤を添加後にアンモニ７２．５％溶液にてＰＨ７に
調整した。このスラリーを３００ｍｍ”の抄造型に流し
込み、真空吸引後、厚さ１２ｍｍにプレスしたつエツト
状の成形体とし、乾燥後１４５０″Ｃで６時間の熱処理
をすることにより本発明の比較例とした。
ルミナ繊維２５９ｇとチタン酸アルミニウム粉末１４６
９ｇを４０２の水中に投入、撹拌後アニオン系の有機結
合剤７．５％溶液６５ｍを添加分散後、硫酸アルミニウ
ム２０％溶液を４３２ｊｄ添加し、さらにカチオン系の
凝集剤を添加後にアンモニ７２．５％溶液にてＰＨ７に
調整した。このスラリーを３００ｍｍ”の抄造型に流し
込み、真空吸引後、厚さ１２ｍｍにプレスしたつエツト
状の成形体とし、乾燥後１４５０″Ｃで６時間の熱処理
をすることにより本発明の比較例とした。
比較例、４
Ａｆ、０．９５重量％、８１０８５重量％の結晶質アル
ミナ繊維４３２ｇとチタン酸アルミニウム粉末４３２ｇ
を４０１の水中に投入、撹拌後アニオン系の有機結合剤
７．５％溶液１０Ｅｌｄを添加分散後、硫酸アルミニウ
ム２０％溶液を７２１ｍ添加し、さらにカチオン系の凝
集剤を添加後にアンモニア２．５％溶液にてＰＨ７に調
整した。このスラリーを３００ｍｍ’の抄造型に流し込
み、真空吸引後、厚さ１２ｍｍにプレスしたウェット状
の成形体とし、乾燥後１４５０°Ｃ６時間の熱処理をす
ることにより本発明の比較例とした。
ミナ繊維４３２ｇとチタン酸アルミニウム粉末４３２ｇ
を４０１の水中に投入、撹拌後アニオン系の有機結合剤
７．５％溶液１０Ｅｌｄを添加分散後、硫酸アルミニウ
ム２０％溶液を７２１ｍ添加し、さらにカチオン系の凝
集剤を添加後にアンモニア２．５％溶液にてＰＨ７に調
整した。このスラリーを３００ｍｍ’の抄造型に流し込
み、真空吸引後、厚さ１２ｍｍにプレスしたウェット状
の成形体とし、乾燥後１４５０°Ｃ６時間の熱処理をす
ることにより本発明の比較例とした。
これらの諸物性について表にまとめた。
スポーリング性については、３点支持方法で７５ｍｍＸ
１５０ｍｍＸ ｌ １）ｍｍ’の平板を３枚用いて１
２００℃−室温のヒートサイクルで各平板（上・中・下
）を調べた。クリープ特性については、７５Ｘ１５０Ｘ
１０ｍｍ’の平板を１００ｍｍスパンとなるように支持
した中央部に２５０ｇのアルミナ磁器を載せて１４００
℃×６時間の熱処理を行った後のたわみ量を測定したも
のである。
１５０ｍｍＸ ｌ １）ｍｍ’の平板を３枚用いて１
２００℃−室温のヒートサイクルで各平板（上・中・下
）を調べた。クリープ特性については、７５Ｘ１５０Ｘ
１０ｍｍ’の平板を１００ｍｍスパンとなるように支持
した中央部に２５０ｇのアルミナ磁器を載せて１４００
℃×６時間の熱処理を行った後のたわみ量を測定したも
のである。
表から明らかなように比較例１．２はアルミナ粉体と焼
結助剤を用いているためにスポーリング性に劣っており
、比較例３は嵩密度が２．７と高いために熱容量が大き
くなりスポーリングに対して弱く、比較例４は嵩密度が
０．８と低いために空隙量が多く繊維が動きやすい状態
にあるのでクリープ特性が悪くなってしまっている。
結助剤を用いているためにスポーリング性に劣っており
、比較例３は嵩密度が２．７と高いために熱容量が大き
くなりスポーリングに対して弱く、比較例４は嵩密度が
０．８と低いために空隙量が多く繊維が動きやすい状態
にあるのでクリープ特性が悪くなってしまっている。
以上のように、本発明によれば以下の如く効果がある。
■ 純度９５％以上の結晶質アルミナ繊維を骨格として
いるので、スポーリング性に優れており、焼成時間迅速
化がはかられる。
いるので、スポーリング性に優れており、焼成時間迅速
化がはかられる。
■ チタン酸アルミニウムの熱伝導の良好性を利用して
いるため、スポーリングに対して強くなった。
いるため、スポーリングに対して強くなった。
■ 高温安定酸化物であるチタン酸アルミニウムの焼結
により強固に結合しているために、高温下での変形が少
ない。
により強固に結合しているために、高温下での変形が少
ない。
■ チタン酸アルミニウムを耐火性粉末として使用して
いる為、被焼成物との反応に悪影響を及ぼす助剤を添加
しなくても充分な強度を保持するとともに反応性を改善
できる。
いる為、被焼成物との反応に悪影響を及ぼす助剤を添加
しなくても充分な強度を保持するとともに反応性を改善
できる。
このように本発明は、この産業界において極めて有用な
ものである。
ものである。
以上
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １）アルミナ含有率が９５％以上である結晶質アルミナ
繊維により骨格組がなされている空隙内に、無機耐火粉
末であるチタン酸アルミニウム粉末を配した複合体であ
って、嵩密度が１．０〜２．５ｇ／ｃｍ＾３の範囲にあ
ることを特許とするセラミックス焼成用治具。 ２）前記結晶質アルミナ繊維は、アルミナ含有率が９５
％以上でその平均繊維径が０．５μｍ〜４０μｍである
ことを特徴とする請求項１に記載のセラミックス焼成用
治具。 ３）前記チタン酸アルミニウム粉末は、その粒径が０．
５μｍ〜２００μｍであることを特徴とする請求項１に
記載のセラミックス焼成用治具。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1036749A JPH02217364A (ja) | 1989-02-15 | 1989-02-15 | セラミックス焼成用治具 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1036749A JPH02217364A (ja) | 1989-02-15 | 1989-02-15 | セラミックス焼成用治具 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02217364A true JPH02217364A (ja) | 1990-08-30 |
Family
ID=12478383
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1036749A Pending JPH02217364A (ja) | 1989-02-15 | 1989-02-15 | セラミックス焼成用治具 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02217364A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN110451938A (zh) * | 2019-08-01 | 2019-11-15 | 辽宁科技大学 | 一种钛酸铝晶须增强铝钛质耐火材料 |
-
1989
- 1989-02-15 JP JP1036749A patent/JPH02217364A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN110451938A (zh) * | 2019-08-01 | 2019-11-15 | 辽宁科技大学 | 一种钛酸铝晶须增强铝钛质耐火材料 |
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