JPH02175667A - 高耐熱軽量焼成治具とその製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、セラミックス、ガラス、各種酸化物等の焼成
において、棚板およびトレイとして使用できる高耐熱軽
量焼成治具に関するものである。

〔従来の技術〕

従来、セラミックス焼成用治具の材質としては、酸化雰
囲気下での焼成の場合には、ジルコニア質、アルミナ質
、ムライト質、コージェライト質の耐火物が、また還元
雰囲気下では、炭素、炭化珪素質、窒化珪素質等の耐火
物が用いられてきた。

また、繊維質成形体は特公昭６３−５０３１８号に明示
されるように一般的に嵩密度の低い長所を生かして断熱
材として用いられることが多かった。

〔発明が解決しようとする問題点〕

上記耐火物は、重くて作業性が悪いというばかりでなく
、熱容量が大きいため不経済であり、スポーリングに対
して弱いという欠点を有していた。

また、特公昭６３−５０３１８号に示される繊維質成形
体は、嵩密度が低く軽量であり、熱伝導率が低いという
ことから元来断熱材としての優れた特性を有しているが
、熱処理温度が５００℃と低いために充分焼結が進行し
ておらず、高温下においてその強度不足のため焼成用治
具として使用することは困難であり、繊維が粉化しやす
いという欠点を有していた。

また、前記繊維成形体は焼成用治具としてのむしろ熱伝
導の良好な、そして治具として必要な常温曲げ強度及び
常温圧縮強度を保持することが困難なものである。

すなわち、焼成用治具としては被焼成物であるセンサー
、コンデンサー、ＩＣ基板等の機能部品を直接搭載し焼
成するものであるから、被焼成物との反応はもちろん焼
成時にソリが発生したり多段に積み重ねた場合に崩壊し
てはならず、しかも炉内における温度分布と均一にする
ために良好な熱伝導を必要とするものであり、前記のも
のではこれらを全て満足することができなかった。

〔問題点を解決するための手段〕

上記の問題点を解決するために、本発明においてはアル
ミナ含有率９５％以上の結晶質アルミナ繊維からなる骨
格内にアルミナ粉末及びアルミナバブルが充填されてな
り、前記結晶質アルミナ繊維、アルミナ粉末及びアルミ
ナバブルは溶融シリカ粉末あるいはコロイダルシリカが
熱分解して生成したシリカによって相互に焼結されてな
る高耐熱軽量焼成用治具であって、前記結晶質アルミナ
繊維の含有量が２０〜４０重量％、アルミナ粉末の含有
量が５７〜７６重景％、重量ミナバブルの含有量が０．
５〜３０重景％重量結助剤としてのシリカの含有量が２
〜５重量％であることを特徴とし、嵩密度が１．１以上
１．９ｇ／ｃ＋＋！未満であって常温曲げ強度が１２０
ｋｇｆ／ｃＪ以上である高耐熱軽量焼成用治具を提供す
るものであり、また前記高耐熱軽量焼成用治具の製造方
法としてアルミナ含有率９５％以上の結晶質アルミナ繊
維１００重量部、アルミナ粉末１４０〜３８０重量部、
アルミナバブル１〜１５０重量部およびシリカに換算し
て５〜２５重量部の溶融シリカ粉末あるいはコロイダル
シリカおよび適当量の水を混合した後、加圧成形した生
成形体を前記結晶質アルミナ繊維の結晶化温度以下の１
４５０℃〜１５５０℃の範囲で焼成する高耐熱軽量焼成
用治具の製造方法を提供するものである。

〔作用〕

本発明の基本作用は以下の如くである。

（１）純度９５％以上の結晶質アルミナ繊維を骨格とし
ているので耐熱性にすぐれている。

（２）結晶質アルミナ繊維の結晶化温度以下で熱処理す
るためアルミナ繊維の結晶成長を防止しっつシリカの焼
結により軽量高強度を保持できる。

（３）アルミナバブルは、中空で真球形状であるので、
成型体内部に充填された時に応力集中が生じにくく耐圧
縮強度が向上する。

（４）アルミナバブルは、嵩密度０．５〜０．９ｇ／　
Ｃｔ＆と軽量で、耐圧縮に優れているので、焼成治具の
軽量化に役立つ。

本発明において、アルミナ含有量９５％以上の結晶質ア
ルミナ繊維を用いるのは、熱処理温度と骨格強度に関係
しており、アルミナ含有量が９５％より少ないと後述の
熱処理に対して繊維が結晶化して十分な強度を得ること
が出来なくなるためである。

前記結晶質アルミナ繊維は、繊維平均径が０．　５〜４
０μｍ１アスペクト比が１０〜１００００であることが
望ましい。その理由は、平均径が０゜５μｍより小さい
と単一繊維の絶対強度が弱く骨格強度を発揮できないと
ともに入手しにくい、また嵩高くなり、嵩密度１．１ｇ
／ｃｍ以上とすることが困難であり、一方平均径が４０
μｍより大きいと１つ１つの空隙が大きくなり繊維によ
る結合が少なくなり、スポーリングに対して弱くなる。

このなかでも平均径が１〜１０μｍのものがより望まし
い。

またアスペクト比が１０より小さいと繊維の絡みがなく
なくリスポーリングに対して弱くなり一方、アスペクト
比が１００００より大きいと成形時に折れやすくなり長
繊維を使用しても効果がなくかえって曲げ強度が弱くな
る。この中でもアスペクト比が５０〜５０００であるこ
とがより望ましい。

本発明において無機充填物としてアルミナ粉末を使用す
る理由は成形体のアルミナ含有率を高くして、耐火度を
高く維持するために添加しているのである。また、無機
充填物として、アルミナバブルを使用する理由は、中空
でしかも真球形状であるから軽量でしかも通常のアルミ
ナ粉末の如く角状でないため充填時に応力集中が生せず
耐圧縮性に優れているので、成形体の耐圧縮強度を下げ
ることなく、軽量化を計ることができるからである。

前記アルミナ中空バブルの含有量が０．５〜３０重量％
であることが望ましい。その理由は、含有量が０．５重
量％より少ないと前記軽量化および耐圧縮性の効果を発
揮しえず、−刃金有量が３０重量％より多いとあまりに
軽量となりすぎ焼成治具としての耐圧縮性が確保できに
くくなるのである。この中でも０．５〜２０重量％がよ
り好適である。また、前記アルミナバブルの平均粒径は
１ｍｍ以下のものを使用することが望ましい。

また、焼結助剤として溶融シリカ粉末又はコロイダルシ
リカを使用する理由は精製された原料であり、少量の添
加において結晶質アルミナ繊維の結晶化温度よりわずか
に低い温度で十分な焼結効果が得られるためである。

前記使用するアルミナ粉末、アルミナバブル、シリカ粉
末、コロイダルシリカの純度は９９％以上が望ましい。

その理由は棚板、もしくはセッター等焼成治具として用
いたときの不純物量を制御するためである。本発明の複
合体の組成としてＡ　ｊ！　２０　ｓ　／　（Ａρ２０
３＋Ｓ　ｉ　Ｏｘ　）≧０．９５とするのが好ましい。

その理由は前記Ａ１．ｚＯ３／ＣＡｌｚＯ＊＋Ｓ　ｉ　
Ｏ□）が０．９５未満であるとＡｊ２２０．の量が少な
くなり、長時間高温にさらされた時のクリープ現象が顕
著に現れるため焼成治具として用を達しえないためであ
る。

また、複合体の嵩密度が１．１ｇ／ｃｎｌより小さいと
十分な強度が得られず、１．９ｇ／ｃ＋ｆｌより大きい
とスポーリングに対して弱くなり、熱容量も大きくなり
、本発明の目的の焼成治具としては好ましくなくなる。

そのため、１．１ｇ／ｃａｌ〜１゜９ｇ／ｃＴｌｌの範
囲が良く更に好ましくは１．２〜１゜７ｇ／ｃ−が良い
。

このような高耐熱軽量焼成治具の製造方法としては、い
わゆる抄造法が一般的である。

すなわち、−船釣な抄造法としてまず、前記原料を水中
に投入し有機結合剤を添加し撹拌し混合するのであるが
、本発明の方法においてはあらかじめ前記アルミナバブ
ルをアニオン系有機結合剤処理することが必要である。

その理由は、前記の如（有機結合剤は結合させるととも
に分散効果すなわち、繊維の分散効果をも期待するもの
であるが、未処理のアルミナバブルはその混合物中にお
いては分散しえず混合物中に浮遊状態となり不均一とな
るのである。

よって、有機結合剤をあらかじめアルミナバブルのみを
浸漬し添着させておくのである。

すなわち、水中に、結晶質アルミナ繊維、アルミナ粉末
、シリカ粉末もしくはコロイダルシリカのうち１種また
は２種を分散させた後、有機結合剤を表面に添着したア
ルミナバブルを添加後さらによく撹拌するのである。こ
うすることによって、前記結晶質アルミナ繊維等はもち
ろんのことアルミナバブルも均一分散するのである。

その後、凝集剤を用いて、繊維に粉末をよく絡ませた後
、型を用いて真空吸引することにより成形体を得る。さ
らにこの成形体を所望の嵩密度になるようにプレス圧縮
し、脱水、乾燥後、結晶質アルミナ繊維の結晶化温度以
下の範囲である１４５０〜１５５０℃で焼成することに
より得られる。

前記アニオン系結合剤としてはポリアクリルアマイド、
ポリアクリル酸エステル等が使用でき好適にはポリアク
リルアマイドがよい。

前記熱処理温度として１４５０℃〜１５５０℃が必要な
理由は、焼結助剤として添加しているシリカの焼結効果
により焼成治具として必要な強度を得るためであり、１
４５０℃未満であるとシリカの焼結効果が得られず、強
度不足のため焼成用治具としては用いることが出来ず、
また一方１５５０℃以上においては骨格をなしている結
晶質アルミナ繊維のα結晶粒子の成長に伴い繊維強度が
劣化し、複合体中の繊維のつながりがなくなり、もろく
なりスポーリングに対しても弱くなるからである。

また、本発明の高耐熱軽量焼成治具は、混練プレス法に
て製造することも可能である。

すなわち、ワックス系成形助剤とアルミナ繊維、アルミ
ナ粉末、アルミナバブル、シリカ粉末及びまたはコロイ
ダルシリカを万能混練機にてよく混ぜ合わせた後、真空
土練機にかけ、脱泡した土練物をプレス乾燥後１４５０
〜１５５０℃の温度で焼成することにより得ることも出
来る。

〔実施例〕

実施例Ｉ ＡＮ、０３９５重量％、（以下ｗｔ％）３４０ｇ５ｗｔ
％の結晶質アルミナ繊維２３８ｇとアルミナ粉末５９０
ｇとコロイダルシリカ（ＳｉＯ□３０ｗｔ％）１５８ｄ
とアニオン系の有機結合剤を表面に添着した３５６ｇの
アルミナバブルを４０１の水中に投入、撹拌後、硫酸ア
ルミニウム２０％溶液を４２５ｄ添加し、さらにカチオ
ン系の凝ｆｉ　剤ヲ添加後にアンモニア２．５％溶液に
てスラリーをＰＨ７に調整した。このスラリーを３００
ｍｍ角の抄造型に流し込み、真空吸引後厚さ１２ｍｍに
プレスしたウェット状の成形体を乾燥し、１５００℃で
６時間の熱処理をすることにより、本発明の実施例とし
た。

実施例２ ＡｆｉｚＯ３９５ｗ　ｔ％、５１０７５ｗｔ％の結晶質
アルミナ繊維２８１ｇとアルミナ粉末７８６ｇとコロイ
ダルシリカ（ＳｉＯ□３０ｗｔ％）１８７　ｍｆｌとア
ニオン系の有機結合剤を表面に添着した２８１ｇのアル
ミナバブルを４０１の水中に投入、撹拌後、硫酸アルミ
ニウム２０％溶液を５０２ｍｆｆ１添加し、さらにカチ
オン系の凝集剤を添加後にアンモニア２．５％溶液にて
スラリーをＰＨ７に調整した。このスラリーを３００ｍ
ｍ角の抄造型に流し込み、真空吸引後厚さ１２ｍｍにプ
レスしたウェット状の成形体を乾燥し、１５００℃で６
時間の熱処理をすることにより、本発明の実施例をした
。

実施例３ Ａｌｌ！２０３９５ｗｔ％、ＳｉＯ□５ｗｔ％の結晶質
アルミナ繊維４８６ｇとアルミナ粉末８３４ｇとコロイ
ダルシリカ（ＳｉＯｚ３０ｗｔ％）９５滅とシリカ粉末
２８．５ｇとアニオン系の有機結合剤を表面に添着した
２４３ｇのアルミナバブルを４０ｆｆｉの水中に投入、
撹拌後、硫酸アルミニウム２０％溶液を５８０ｍ１添加
し、さらにカチオン系の凝集剤を添加後にアンモニア２
．５％溶液にてスラリーをＰＨ７に調整した。このスラ
リーを３００ｍｍ角の抄造型に流し込み、真空吸引後厚
さ１２ｍｍにプレスしたウェット状の成形体を乾燥し、
１４５０℃で６時間の熱処理をすることにより、本発明
の実施例とした。

実施例４ Ａ４２ｚＣ）＋９５ｗｔ％、ＳｉＯｚ５ｗｔ％の結晶質
アルミナ繊維５１８ｇとアルミナ粉末９７６ｇとコロイ
ダルシリカ（ＳｉＣｈ３０ｗｔ％）１００ｄとシリカ粉
末３１ｇとアニオン系の有機結合剤を表面に添着した１
７３ｇのアルミナバブルを４０ｆｆｉの水中に投入、撹
拌後、硫酸アルミニウム２０％溶液を６１８　ｍｌ添加
し、さらにカチオン系の凝集剤を添加後にアンモニア２
．５％溶液にてスラリーをＰＨ７に調整した。このスラ
リーを３００ｍｍ角の抄造型に流し込み、真空吸引後厚
さ１２ｍｍにプレスしたウェット状の成形体を乾燥し、
１４５０℃で６時間の熱処理をすることにより、本発明
の実施例とした。

実施例５ Ａｊ！ｚ０３９５　ｗ　ｔ％、ＳｉＯｚ５ｗｔ％の結晶
質アルミナ繊維７３４ｇとアルミナ粉末９５４ｇとシリ
カ粉末５５．２ｇとアニオン系の有機結合剤を表面に添
着した９２ｇのアルミナバブルを４０！の水中に投入、
撹拌後、硫酸アルミニウム２０％溶液を６５７ｄ添加し
、さらにカチオン系の凝集剤を添加後にアンモニア２．
５％溶液にてスラリーをＰＨ７に８周整した。このスラ
リーを３００ｍｍ角の抄造型に流し込み、真空吸引後厚
さ１２ｍｍにプレスしたウェット状の成形体を乾燥し、
１５５０℃で６時間の熱処理をすることにより、本発明
の実施例とした。

実施例６ ＡｆｉｚＯ：＋９５　ｗ　ｔ％、ＳｉＯｚ５ｗｔ％の結
晶質アルミナ繊維８２１ｇとアルミナ粉末５５４ｇとシ
リカ粉末６１．５ｇとアニオン系の有機結合剤を表面に
添着した６ｇのアルミナバブルを４０！の水中に投入、
撹拌後、硫酸アルミニウム２０％溶液を７３４７添加し
、さらにカチオン系の凝集剤を添加後にアンモニア２．
５％溶液にてスラリーをＰＨ７に調整した。このスラリ
ーを３００ｍｍ角の抄造型に流し込み、真空吸引後厚さ
１２ｍｍにプレスしたウェット状の成形体を乾燥し、１
５５０℃で６時間で熱処理をすることにより、本発明の
実施例とした。

比較例Ｉ ＡＬＯａ９５ｗｔ％、ＳｉＯｚ５ｗｔ％の結晶質アルミ
ナ繊維２５９ｇとアルミナ粉末５７５ｇとコロイダルシ
リカ（Ｓｉ０□３０ｗｔ％）１００　ｄを４０ｆｆｉの
水中に投入、撹拌後、硫酸アルミニウム２０％溶液を３
０９　ｍｆｌ添加し、さらにカチオン系の凝集剤を添加
後にアンモニア２．５％溶液にてスラリーをＰＨ７に調
整した。このスラリーを３００ｍｍ角の抄造型に流し込
み、真空吸引後厚さ１２ｍｍにプレスしたウェット状の
成形体を乾燥し、１５００℃で６時間で熱処理をするこ
とにより、本発明の比較例とした。

比較例２ Ａ／！ｚｏ３９５ｗｔ％、ＳｉＯｚ５ｗｔ％の結晶質ア
ルミナ繊維６８０ｇとアルミナ粉末１４４０ｇとコロイ
ダルシリカ２６３　ｍｆｌとアニオン系の有機結合剤を
表面に添着したアルミナバブルを４０！の水中に投入、
撹拌後、硫酸アルミニウム２０％溶液を８１１ｍｊ！添
加し、さらにカチオン系の凝集剤を添加後にアンモニア
２．５％溶液にてスラリーをＰＨ７に８周整した。この
スラリーを３００ｍｍ角の抄造型に流し込み、真空吸引
後厚さ１２ｍｍにプレスしたウェット状の成形体を乾燥
し、１５００℃で６時間で熱処理をすることにより、本
発明の比較例とした。

比較例３ 界面活性剤を全混合後添加したもの、アルミナ粉末１６
０４ｇとアルミナ骨材１６６０ｇとケイ石１４６ｇをイ
ソプロピルアルコール９　ｍｆｌを添加した３ｐ、の水
中に投じよく混合した後、鋳込み成形型に流し込み充分
固まってから乾燥し１５００℃で６時間の焼成をして本
発明の比較例とした。

比較例４ Ａ１２ｏ：＋９５ｗｔ％、Ｓｉ０．５ｗｔ％の結晶質ア
ルミナ繊維４８６ｇとアルミナ粉末９９６ｇとコロイダ
ルシリカ４６０　ｍｌとアニオン系の有機結合剤と共に
４０２の水中に投入、撹拌後、硫酸アルミニウム２０％
溶液を５７９　ｒｒｄｌ添加し、さらにカチオン系の凝
集剤を添加後にアンモニア２゜５％溶液にてスラリーを
ＰＨ７に調整した。このスラリーを３００ｍｍ角の抄造
型に流し込み、真空吸引後厚さ１２ｍｍにプレスしたウ
ェット状の成形体を乾燥し、１５００℃で６時間で熱処
理をすることにより、本発明の比較例とした。

比較例５ ＡＩ！、ｚｏａ９５ｗｔ％、５１０２５ｗｔ％の結晶質
アルミナ繊維２７０ｇとアルミナ粉末２５７ｇとコロイ
ダルシリカ４４−とアニオン系の有機結合剤を水中に投
入、撹拌後、硫酸アルミニウム２０％溶液を１９３ｍ！
添加し、さらにカチオン系の凝集剤を添加後にアンモニ
ア２．５％溶液にてスフ ラリ−をＰ　’Ｈ７に調整した。このスラリーを３００
ｍｍ角の抄造型に流し込み、真空吸引後厚さ１２ｍｍに
プレスしたウェット状の成形体を乾燥し、５００℃で６
時間で熱処理をすることにより、本発明の比較例とした
。

比較例６ Ａｊ２ｚＯｓ９５ｗｔ％、ＳｉＯ□５ｗｔ％の結晶質ア
ルミナ繊維６１６ｇとアルミナ粉末１１５９ｇとコロイ
ダルシリカ２４０ｄとアニオン系の有機結合剤を４０ｆ
ｆｉの水中に投入、撹拌後、硫酸アルミニウム２０％溶
液を７３４１１１１！添加し、さらにカチオン系の凝集
剤を添加後にアンモニア２゜５％溶液にてスラリーをＰ
Ｈ７に調整した。このスラリーを３００ｍｍ角の抄造型
に流し込み、真空吸引後厚さ１２ｍｍにプレスしたウェ
ット状の成形体を乾燥し、１６００℃で６時間で熱処理
をすることにより、本発明の比較例とした。

比較例７ 実施例１と同様の組成配合ではあるが、アルミナバブル
をアニオン系有機結合剤で処理せず、未処理の状態で混
合した後、アニオン系有機結合剤を添加して実施例１と
同様な成形、乾燥、熱処理を行い本発明の比較例とした
。

参考例 実施例１と同様の原料であるが、結晶質アルミナ繊維２
６００ｇアルミナ粉末６５００ｇ、コロイダルシリカ（
ＳｉＯｔ３０ｗｔ％）１７４０ｍｊ！とアニオン系の有
機結合剤を表面に添着した３９００ｇのアルミナバブル
を８．５１の水およびワックスエマルジョン３ｋｇ、界
面活性剤１．１ｋｇとともに混練機に投入し、１０分間
混練した。

次いで、この混練物を真空土練機にて７３０ｍｍＨｇで
約３分間脱泡処理を行った。

次いで、この上練物より所望する量を抜き出し型プレス
を行い実施例１と同様の３００ｍｍ角厚さ１２ｍｍに成
形し、乾燥を行い１５００℃で６時間の熱処理を行って
参考例とした。

これらの物性を第１表にまとめた。

表から明らかなように比較例１のザンプルは嵩密度が０
．８ｇ／ｃＩＩｌと低いために圧縮強度が５０ｋｇ　／
　ｃ＋ｆｌと低いうえにクリープ試験においても１００
０ｍｍスパン２５０ｇ荷重において３ｍｍの変形が生じ
た。

比較例２では、嵩密度が２．１ｇ／ｃｍと高いために熱
容量が大きくなりスポーリングに対して弱いことを示し
ている。

比較例３は、−船釣に用いられているアルミナ耐火物で
あるがやはり熱容量が大きいためスポーリングに対して
弱い。

比較例４は、アルミナ：シリカ比が９０：１０と本発明
の実施例よりシリカ比が高いためにクリープに対して弱
いことを示している。

比較例５は、アルミナ繊維量を５０％、嵩密度０．５ｇ
／ｃ＋ｆｌの断熱材で焼成温度も有機バインダーと酸化
させた程度で焼結していないので、曲げ強度、圧縮強度
も弱くクリープに対しても弱いので焼成治具として用い
ることはできない。

比較例６は、熱処理温度を１６００℃で６時間で行なっ
たものである。嵩密度も上がり強度も十分であるが、結
晶質アルミナ繊維が結晶化して繊維強度が劣化して構造
がしっかりしていないためにスポーリングに対してもろ
くなってしまうことがわかる。

比較例７は表に示していないが、アルミナバブルが浮遊
し、混合時に均一分散なしえず、抄造成形においてアル
ミナバブル層が形成され治具としての物を得ることがで
きなかった。

また、参考例は混練−プレス法を用いて行ったものであ
るが、実施例と同等のものが得られた。

〔発明の効果］ 以上のように本発明によれば以下の如く効果がある。

■純度９５％以上の結晶質アルミナ繊維を骨格としてい
るので、耐スポーリングに優れており、焼成時間迅速化
がはかられる。

■使用しているアルミナバブルが真球形状をしており成
形体内部に充填された時に応力集中が生じにくく耐圧縮
強度が向上するため、焼成治具の積み重ねに対して強く
なり、重量物の焼成も可能となった。

■高温下で変形が少ないので精密なセラミ・ンクスの焼
成に適している。

このように、本発明は前記に示す効果を有するものであ
′るので、この産業界において極めて有用なものである
。

以上

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. １．アルミナ含有率９５％以上の結晶質アルミナ繊維か
   らなる骨格内にアルミナ粉末及びアルミナバブルが充填
   されてなり、前記結晶質アルミナ繊維、アルミナ粉末及
   びアルミナバブルは溶融シリカ粉末あるいはコロイダル
   シリカが熱分解して生成したシリカによって相互に焼結
   されてなる高耐熱軽量焼成用治具であって、前記結晶質
   アルミナ繊維の含有量が２０〜４０重量％、アルミナ粉
   末の含有量が５７〜７６重量％、アルミナバブルの含有
   量が０．５〜３０重量％、焼結助剤としてのシリカの含
   有量が２〜５重量％であることを特徴とする高耐熱軽量
   焼成用治具。
2. ２．前記結晶質アルミナ繊維は、平均径が０．５〜４０
   μｍ、アスペクト比が１０〜１００００である請求項１
   記載の高耐熱軽量焼成用治具。
3. ３．前記高耐熱軽量焼成用治具は、嵩密度が１．１以上
   １．９ｇ／ｃｍ＾２未満であって常温曲げ強度が１２０
   ｋｇｆ／ｃｍ＾２以上の複合体である請求項１記載の高
   耐熱軽量焼成用治具。
4. ４．アルミナ含有率９５％以上の結晶質アルミナ繊維１
   ００重量部、アルミナ粉末１４０〜３８０重量部、アル
   ミナバブル１〜１５０重量部およびシリカに換算して５
   〜２５重量部の溶融シリカ粉末あるいはコロイダルシリ
   カおよび適当量の水を混合した後、加圧成形した生成形
   体を前記結晶質アルミナ繊維の結晶化温度以下の１４５
   ０℃〜１５５０℃の範囲で焼成する高耐熱軽量焼成用治
   具の製造方法において、 前記アルミナバブルを混合する前に、アニオン系有機結
   合剤処理することを特徴とする高耐熱軽量焼成用治具の
   製造方法。