JPH02213209A - 振動素子 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は振動素子に関し、特に圧電基板上に設けられた
共振子を有する振動素子に関する。

〔従来の技術〕

従来の振動素子は、弾性表面波共振素子であると、第２
図に示すように、弾性表面波の振動モードのみを使用し
た弾性表面波共振子１１を金属ステム９上に取付けた圧
電基板１０上に形成し、厚み振動を利用した厚み振動共
振素子は、第３図に示すように、厚み振動のみを使用し
た所定形状の電極１６を金属ステム１４上に支持した圧
電基板１５上に形成して、それぞれ単独の振動素子とし
て構成されていた。

〔発明が解決しようとする課題〕

上述した従来の振動素子は、弾性表面波モードを利用し
た周波数（特に高周波）の信号と、厚み振動モードを使
用した周波数（特に低周波）の信号を同一の装置内で使
用するとき、弾性表面波振動子と厚み振動子を別々に実
装する必要があり、実装スペースが大きくなるばかりで
なく、コストが上昇するという欠点がある。

〔課題を解決するための手段〕

本発明の振動素子は、金属板上に支持された圧電基板と
、該圧電基板上に形成された交叉指状電極と該交叉指状
電極の左右に配置された反射器から構成された弾性表面
波共振子と、前記圧電基板上に設けた厚み振動を励振す
る所定形状の電極とを有している。

〔実施例〕

次に、本発明について図面を参照して説明する。

第１図は本発明の一実施例の斜視図である。

第１図に示すように、金属ステム１上に支持された圧電
基板２と、圧電基板２上に形成した弾性表面波共振子３
のパターンと、厚み振動子の矩形上の電極４と、外部取
出端子５〜８とを含んで構成される。

弾性表面波共振子３は交叉指状電極と反射器によって構
成されており、共振周波数は交叉指状電極の周期によっ
て決定される。

また、厚み振動子の共振周波数は圧電基板２の厚さｔに
よって決定され、電極４と金属ステム１の間に電界がか
かり振動が励振される。

外部取出端子５．６で弾性表面波共振子３の振動による
信号を取出し、金属ステム１の接地用の外部取出端子７
と外部取出端子８とで厚み振動による信号を取出す構造
となっている。

複合形の振動素子の製造は、チップ片面のパターンのみ
作成すればよく、通常の弾性表面波共振素子の製造プロ
セスと同等であり、本実施例の適用により製造工程が複
雑になることはない。

〔発明の効果〕

以上説明したように本発明は、弾性表面波共振子と厚み
振動共振子を同一の圧電基板上に構成することにより、
発振器の小型化がはかれるばかりでなく、各々独立に発
振器を構成する場合に比較し、大幅なコストダウンが可
能になるという効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例の斜視図、第２図は従来の振
動素子の第１の例の斜視図、第３図は従来の振動素子の
第２の例の斜視図である。 １・・・金属ステム、２・・・圧電基板、３・・・弾性
表面波共振子、４・・・厚み振動子の電極、５〜８・・
・外部取出端子、９・・・金属ステム、１０・・・圧電
基板、１１・・・弾性表面波共振子、１２．１３・・・
外部取出端子、１４・・・金属ステム、１５・・・圧電
基板、１６・・・電極、１７．１８・・・外部取出端子
。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 　金属板上に支持された圧電基板と、該圧電基板上に形
   成された交叉指状電極と該交叉指状電極の左右に配置さ
   れた反射器から構成された弾性表面波共振子と、前記圧
   電基板上に設けた厚み振動を励振する所定形状の電極と
   を有することを特徴とする振動素子。