JPH02213128A - 膜の端部のエッチング除去方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ この発明は、基板上に形成された膜をエツチングによっ
て除去する方法に関するものであり、特に膜の端部をエ
ツチングによって除去する方法に関するものである。

［従来の技術］ 従来は基板上に形成された膜の端部をエツチングによっ
て除去するのに、写真製版技術を用いていた。第５Ａ図
から第５Ｄ図はこの方法を工程順に示した断面図である
。従来の膜の端部をエツチングによって除去する方法を
第５Ａ図から第５Ｄ図を用いて説明する。

まず、第５Ａ図に示すように基板１の上に膜２が形成さ
れ、膜２の上にレジスト３が塗布されたものを用意する
。

次に、第５Ｂ図に示すようにレジスト３の端部を露光、
現像することにより、レジスト３の端部を除去する。

次に、第５Ｃ図に示すようにレジスト３が除去されてい
る膜２の端部をエツチングによって除去する。

そして、第５Ｄ図に示すように残ったレジスト３を膜２
から除去する。

以上の工程を踏むことにより膜の端部をエッチングによ
って除去している。

［発明が解決しようとする課題］ 従来は膜の端部をエツチングして除去するのに以上のよ
うな方法によって行なっていたので、手間がかかってい
た。

したがって、この発明は上記のような問題点を解決する
ためになされたもので、その目的は膜の端部のエツチン
グ除去を簡単に行なうことができる方法を提供すること
である。

〔課題を解決するための手段］ この発明は基板上に形成された膜の端部をエツチングに
よって除去する方法である。

この発明は膜の上に保護板を置く工程と、基板と保護板
とを互いに近づけるように加圧することによって、膜の
うちエツチングすべき端部の内側に位置する領域にエツ
チングの進行を阻止し得る大きさの圧縮応力を生じさせ
る工程と、基板と保護板との間の隙間から膜の端部をエ
ツチングによって除去する工程と、によって膜の端部の
エツチング除去を行なう。

膜の上に保護板を置くのは、端部以外の膜がエツチング
除去されないようにするためである。

〔作用］ この発明は以上のような工程で基板上に形成された膜の
端部をエツチングし、除去するので、従来よりも工程数
を減少させることができる。したがって従来より簡単に
膜の端部をエツチング除去することができる。

〔実施例〕

この発明である膜の端部のエツチング除去方法の一実施
例を第１図、第２図、第３図および第４図を用いて説明
する。

まず、第３図に示すように、その表面上に膜１２が形成
された２枚の太陽電池基板１１を膜１２同士が接触する
ようにして重ね合わせる。このようなものを数組作り、
これらを積重ねていく。

次に、第１図に示すように、積重ねられた太陽電池基板
１１の上と下にステンレス製のセル押え治具１３を挾む
。セル押え治具１３は中抜きの四角形であり、新たに膜
の端部となる部分にセル押え治具１３の端部が来るよう
にする。そしてセル押え治具１３の４つの端部のすべて
をクランブエ具１４で加圧する。第１図では正面に来る
クランブ工具と背面にくるクランブ工具とを省略してい
る。この状態の平面図が第２図である。

このようにすると、第４図に示すように新たに膜の端部
となる部分１５より外側にある膜と膜との間に隙間１６
ができる。

このような状態にしてから、ＣＦ４でプラズマエツチン
グを行なうと、Ｆラジカルは隙間１６に入り、新たに膜
の端部となる部分１５より外側にある膜】２をエツチン
グし除去する。

太陽電池基板上に形成された膜の端部をエツチングによ
って除去するのは次の理由からである。

膜は中央部に比べ端部の方が不均一となっている。

この不均一な膜が太陽電池の性能低下の原因となるので
ある。

この実施例によれば、太陽電池基板上に形成された膜の
端部のエツチング除去を従来の写真製版技術よりも少な
い工程で行なうことができるとともに、１度に大量の膜
の端部をエツチング除去できる。

この実施例においては、除去する膜の端部と端部との間
に隙間ができるほど、クランブ工具で太陽電池基板を加
圧しているが、この発明においてはこれに限定されるわ
けではなく、新たに膜の端部となる部分がエツチング除
去されない程度の加圧でよい。

この実施例によれば、その表面に膜が形成された２枚の
太陽電池基板同士を膜と膜とが接触するようにして重ね
合わせることにより、膜の上に保護板を置く工程を省い
ているが、この発明においてはこれに限定されるわけで
はなく、第１の太陽電池基板に形成された膜の上に第２
の太陽電池基板を置き、第２の太陽電池基板に形成され
た膜の上にステンレス製の保護板を載せてもよい。

この実施例によれば、太陽電池基板上の膜の端部のエツ
チング除去を複数の太陽電池基板について行なっている
がこの発明においてはこれに限定されるわけではなく、
１枚の太陽電池基板であってもよい。

この実施例によれば、エツチングはプラズマエツチング
を用いているが、この発明はこれに限定されるわけでは
なく他のドライエツチングやウェットエツチングを用い
てもよい。

この実施例によれば、太陽電池基板上に形成された膜の
端部をエツチング除去しているが、この発明においては
これに限定されるわけではなく、基板上に形成された膜
の端部のエツチング除去ならこの発明を適用することが
できる。

この実施例によれば太陽電池基板の加圧をクランプ工具
で行なっているが、この発明においてはこれに限定され
るわけではなく、太陽電池基板を加圧できるものであれ
ばいがなるものでもよい。

［発明の効果〕 この発明は従来の写真製版技術よりも基板表面に形成さ
れた膜の端部のエツチング除去を少ない工程で行なうこ
とができる。したがって従来より簡単に膜の端部をエツ
チング除去することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は複数の太陽電池基板をクランプ工具で加圧して
いる状態を示す正面図である。第２図はこの状態の平面
図である。第３図は膜同士が接触するように２枚の太陽
電池基板を重ね合わせている状態を示す図である。第４
図は太陽電池基板をクランプで加圧しているときの、太
陽電池基板の端部の状態を示す図である。 第５Ａ図、第５Ｂ図、第５Ｃ図および第５Ｄ図は従来の
基板上に形成された膜の端部をエツチングによって除去
する方法を工程順に示す断面図である。 図に示すように１１は太陽電池基板、１２は膜、１４は
クランプ工具を示す。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 基板上に形成された膜の端部をエッチングによって除去
   する方法であって、 前記膜の上に保護板を置く工程と、 前記基板と前記保護板とを互いに近づけるように加圧す
   ることによって、前記膜のうちエッチングすべき端部の
   内側に位置する領域にエッチングの進行を阻止し得る大
   きさの圧縮応力を生じさせる工程と、 前記基板と前記保護板との間の隙間から前記膜の端部を
   エッチングによって除去する工程と、を備える、膜の端
   部のエッチング除去方法。