JPH02210271A - 多ピンプローブの短絡チェック装置 - Google Patents

多ピンプローブの短絡チェック装置

Info

Publication number
JPH02210271A
JPH02210271A JP1032345A JP3234589A JPH02210271A JP H02210271 A JPH02210271 A JP H02210271A JP 1032345 A JP1032345 A JP 1032345A JP 3234589 A JP3234589 A JP 3234589A JP H02210271 A JPH02210271 A JP H02210271A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
circuit
pin
probe
relay
short
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP1032345A
Other languages
English (en)
Inventor
Hidemitsu Saito
斎藤 秀光
Shuichi Kameyama
修一 亀山
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Fujitsu Ltd
Original Assignee
Fujitsu Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Fujitsu Ltd filed Critical Fujitsu Ltd
Priority to JP1032345A priority Critical patent/JPH02210271A/ja
Publication of JPH02210271A publication Critical patent/JPH02210271A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Measuring Leads Or Probes (AREA)
  • Testing Of Short-Circuits, Discontinuities, Leakage, Or Incorrect Line Connections (AREA)
  • Measuring Instrument Details And Bridges, And Automatic Balancing Devices (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 [概要] 本発明はプローブを電子デバイスに接触させて動作試験
を行うシステムのプローブにおけるピン短絡をチェック
する装置に関し、 プローブのビン数が増大してもリレーと抵抗素子のより
少ない数を使用して試験のできるチェック装置を提供す
ることを目的とし、 定電流発生器・電圧測定器・リレー回路とそれらを制御
する制御回路を具備し、多ピンプローブ選択用リレー接
点を多ピンプローブとそれぞれ接続し、該プローブを介
して被試験体をチェックする装置において、該多ピンプ
ローブ選択用リレー接点の偶数番目・奇数番目を互いに
一括してリレー接点と抵抗素子とを各々直列接続し、電
圧測定器により該プローブピンの電圧を測定することで
構成する。
[産業上の利用分野] 本発明はプローブを電子デバイスに接触させて動作試験
を行うシステムのプローブにおけるピン短絡をチェック
する装置に関する。
半導体集積回路をプリント基板上に載置する前に、集積
回路についてチェックするため集積回路の端子ピンと接
触するためのプローブを具備するテスタを使用するが、
プローブの先端はピン状となっている。また近年の集積
回路の端子ビン数が数百に達するため、前記プローブも
対応するピン数が必要となった。そのためプローブにつ
いてピン同士の短絡を起こすことが発生し、集積回路の
チェック前にプローブピンの短絡チェックを行う装置が
必要となった。従来のそのようなチェック装置はリレー
と抵抗素子とを多数組必要とするため、簡易な構成のチ
ェック装置を開発することが要望された。
[従来の技術] 集積回路をプリント基板に搭載する前に動作チェックを
行うとき、集積回路のピン数・密度は増大する一方であ
るから、プローブのピン数・密度も増大した。プローブ
ピンについて短絡チェックを行う装置の回路構成は第4
図に示すようになっている。第4図において、端子1,
2.・−nの先にプローブピンを接続して、プローブピ
ン同士の短絡チェックを行う。プローブピンに短絡がな
いとき、プローブと信号発生器・直流電源・測定計器な
どを接続して集積回路の動作チェックを行う。
プローブピンについて短絡チェックを行うため、第4図
において、10は制御回路、11は定電流発生器、12
は電圧測定器を示し、13はリレー回路を全体的に示す
。リレー回路13において、RLI、RL2−RLnと
、CRLI、CEl2−CRLnはそれぞれリードリレ
ーの接点、R1,R2・−・Rnは抵抗素子を示し、ピ
ン数と同数の素子を接続している。
そしてプローブ端子1,2・−nと対応するリードリレ
ーについてリレーRLにより個別的に接続可能としてお
く。端子1についてチェックするとき、定電流発生器1
1を接続し、RLIを閉じCRLIは開いたとき、RL
Iと接地間の電圧を電圧測定器12により測定する。端
子1がオープン状態であれば電圧は測定されず、端子1
は地絡がないと判断する。端子2について同様にチェッ
クし異常ないと判断したとき、次に端子lと2との間を
短絡するバー20を使用して、ピン1と2との間を短絡
する。そしてRLl、CEl2を開き、RL2. CR
LIを閉じて見る。R1から接地の方にはRL2と短絡
バー20を介して電流が流れ、R1には(定電流値×抵
抗素子R1)の電圧が発生する。その値を確認して後、
短絡バー20を開き、抵抗R1と接地間に電圧が発生す
ると、端子1.2間が短絡していることが判る。そして
電圧が発生しなくなれば、端子1゜2間の短絡はないこ
とが判る。
短絡バー20を他の端子との間に接続させたり、離せば
ピン間の短絡について有無が判断できる。
[発明が解決しようとする課題] 多ピンの素子を試験するためプローブが多ビンとなると
き、プローブのチェック装置を構成するためのリレー・
抵抗素子が多数となって、益々大規模化する欠点があっ
た。
本発明の目的は前述の欠点を改善し、プローブのピン数
が増大しても、リレーと抵抗素子のより少ない数を使用
して試験のできるチェック装置を提供することにある。
[課題を解決するための手段] 第1図は本発明の原理構成を示す図である。第1図にお
いて、10は制御回路、11は定電流発、主罪、12は
電圧測定器を示し、14はリレー回路を全体的に示す。
リレー回路14において、RLI。
RL2・−RLnはリードリレーの接点、T01は奇数
ピンを選択するためのリレー(接点)、TElは偶数ピ
ンを選択するためのリレー(接点)、C01は奇数ビン
をチェックするためのリレー(接点) 、CEIは偶数
ピンをチェックするためのリレー(接点) 、R01は
奇tビンをチェックするための抵抗素子、REIは偶数
ピンをチェックするための抵抗素子、RLI〜nはプロ
ーブピン対応のリードリレー接点を示す。
定電流発生器11・電圧測定器12・リレー回路14と
それらを制御する制御回路10を具備し、多ピンプロー
ブ選択用リレー接点14aを多ピンプローブとそれぞれ
接続し、該プローブを介して被試験体をチェックする装
置において、本発明は下記の構成としている。即ち、 該多ピンプローブ選択用リレー接点14aの偶数番目・
奇数番目を互いに一括してリレー接点C01、 CEl
・・−と抵抗素子RO1,REI 、−とを各々直列接
続し、電圧測定器12により該プローブピンの電圧を測
定することで構成する。
[作用] リレー回路14をチェックすべき多ピンプローブと接触
させてから、端子ビン1,2の短絡をチェックするとき
、T01、RLI、RL2.CEIを閉じ、TEIは開
いたままで、REIと接地間の電圧を電圧測定器12に
より測定する。(REI X定電流)の電圧が発生して
いるとき、端子1,2間は短絡していることが判る。電
圧が発生していないときは、オープン状態即ち短絡して
いないことが判る。
端子ビン2を基準として端子3との間の短絡をチェック
するとき、TEl、RL2.C01、RL3を閉じ、T
01は開いて、Rotと接地間の電圧を測定する。電圧
が発生しているときは短絡、いないときは正常と判断す
る。なお、このとき上述のRL3を開き、代わりにRL
Iを閉じてR01と接地間の電圧を測定するとき、端子
ビン2から見て1との間の短絡のチェックができる。端
子ビン3について以下同様に短絡のチェックができる。
[実施例] 第2図は本発明の実施例としてプローブの16ビンを1
ブロツク(14−1)とし、複数のブロックの1ブロツ
ク内に奇数・偶数対応の各1組のリレー・抵抗素子の直
列回路を有することを示している。
L、りがってビン番号1〜16の次にブロック14−2
ニおいてピン番号17〜32のチェックを行う。同一ブ
ロック内における短絡チェックは、奇数同士・偶数同士
例えば1番と3番の間では出来ないが、通常はそのピン
の中間に偶数の2番を設けているがら、問題はない。
しかし第2図では、異なるブロックの間では偶数同士或
いは奇数同士でもチェックすることができる。即ち、リ
レー回路14−1・−14−mは定電流発生器11に対
し全て並列接続されているがら、TOmRLm、RLI
、C01を閉じ、T01を開いて、電圧測定器12によ
りTonと接地間の電圧を測定する。ブロックmの端子
ビン例えば285番とブロック1の端子ビン1番とが短
絡しているとき、電圧が発生するので短絡が判る。第3
図は17龍四方に460本のビンを設けたプローブに順
次番号を付したことと、329番ピンを中心としてその
周辺の285番ピンなどとの短絡チェックを行うことの
説明図である。329番ピンの周囲には奇数の285番
、369番ピンがあるが、これらはそれぞれ異なるブロ
ックに属するようにブロック番号を定めれば、奇数同士
であっても短絡チェックを行うことができる。ビンの配
列から見て順次番号285番ピンが286番ピンと短絡
を起こす可能性は、329番ピンとで起こす可能性より
低いという認識に基づき、可能性の高い方を重要視して
チェックすれば良い。以上の考え方による自動チェック
プログラムを共通制御回路(図示しない)に具備してお
けば、短絡チェックの自動処理が可能である。このとき
例えばプローブピンの最外周のピンはチェック対象が2
個、内周は4〜5個となることをプログラムして置く。
次に前述の短絡チェック装置によりプローブピンの短絡
発生の有無を調査する以外に、正常のプローブを使用し
て集積回路などの動作試験体に対し、プローブピンが正
常に接触できるかどうかを検出することも出来る。即ち
、動作試験体において、1番ピンの接触する場所と、2
番ピンの接触する場所との間を短絡バーで結ぶこと、3
番ピンと4番ビンを短絡することのように、前記短絡チ
ェックを行う番号ピンの接触する所を予め短絡させて置
く。次にリレー回路の接点開閉を行い、電圧を測定すれ
ば、プローブピンの接触状態を検出することができる。
なお、本発明はローボードまたは実装プリント基板に接
触させてインサーキット試験や動作試験を行う装置など
多ピンプローブを有するあらゆる装置に適用可能である
[発明の効果] このようにして本発明によると、リレーと抵抗素子の数
を少な(しても、多ピンプローブの短絡チェックを有効
確実に行うことができる。したがってチェック装置の規
模を小さく安価にできるから、チェック装置自体の不良
率も小さくできる。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の原理構成を示す図、 第2図は本発明の実施例の構成を示す図、第3図はピン
番号と短絡チェックの説明図、第4図は従来の短絡チェ
ック装置の回路図である。 1.2.−・・n・・−ピン 10−・−制御回路 11・一定電流発生器 12−・・電圧測定器 13.14−・リレー回路 C01、CEI−−−リレー接点 R01、REI・−・抵抗素子 特許出願人    富士通株式会社 代 理 人   弁理士 鈴木栄祐 第3図

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 定電流発生器(11)・電圧測定器(12)・リレー回
    路(14)とそれらを制御する制御回路(10)を具備
    し、多ピンプローブ選択用リレー接点(14a)を多ピ
    ンプローブとそれぞれ接続し、該プローブを介して被試
    験体をチェックする装置において、 該多ピンプローブ選択用リレー接点(14a)の偶数番
    目・奇数番目を互いに一括してリレー接点(C01)(
    CE1)…‥と抵抗素子(R01)(RE1)…‥とを
    各々直列接続し、 電圧測定器(12)により該プローブピンの電圧を測定
    すること を特徴とする多ピンプローブの短絡チェック装置。
JP1032345A 1989-02-10 1989-02-10 多ピンプローブの短絡チェック装置 Pending JPH02210271A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP1032345A JPH02210271A (ja) 1989-02-10 1989-02-10 多ピンプローブの短絡チェック装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP1032345A JPH02210271A (ja) 1989-02-10 1989-02-10 多ピンプローブの短絡チェック装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH02210271A true JPH02210271A (ja) 1990-08-21

Family

ID=12356372

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP1032345A Pending JPH02210271A (ja) 1989-02-10 1989-02-10 多ピンプローブの短絡チェック装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH02210271A (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2009244077A (ja) * 2008-03-31 2009-10-22 Nidec-Read Corp 基板検査装置及びその方法

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2009244077A (ja) * 2008-03-31 2009-10-22 Nidec-Read Corp 基板検査装置及びその方法

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US5502396A (en) Measuring device with connection for a removable sensor
KR19980702943A (ko) 검출범위가 개선된 제조결함분석기
JP4987862B2 (ja) フィンガーテスターを用いて、コンポーネント化されていない大型印刷回路基板を検査する方法
CN111239585A (zh) 开尔文检测电路和测试方法
JP2019523412A (ja) 圧力検知センサで技術設備をモニタリングするための安全デバイス
CN108254671B (zh) 基于内插器的测试程序评估
US4290015A (en) Electrical validator for a printed circuit board test fixture and a method of validation thereof
US5432460A (en) Apparatus and method for opens and shorts testing of a circuit board
JPH02210271A (ja) 多ピンプローブの短絡チェック装置
JPH045576A (ja) 接触抵抗の試験装置
JP4314096B2 (ja) 半導体集積回路検査装置および半導体集積回路検査方法
JP6961385B2 (ja) 検査装置
KR100788501B1 (ko) 키패드 검사 장치 및 검사 방법
JPH10142281A (ja) 回路基板検査方法
JPS63252271A (ja) 半導体検査装置
CN219957790U (zh) 一种sf6气体密度继电器的试验装置
JP2018194377A (ja) 測定装置
CN107064719A (zh) 一种开尔文连接故障检测电路及方法
CN211905585U (zh) 开尔文检测电路和芯片测试系统
JP2002131365A (ja) 検査方法及び検査装置
JP3588221B2 (ja) 回路基板検査装置の計測部自己診断装置
KR100718457B1 (ko) 반도체 테스트 장치와 이를 이용한 반도체 소자 검사방법
JPH03185744A (ja) 半導体素子
KR200302441Y1 (ko) 소켓 테스트 장치
JPH0412468Y2 (ja)