JPH02205493A - ロボット関節部の防塵構造 - Google Patents
ロボット関節部の防塵構造Info
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- JPH02205493A JPH02205493A JP2430089A JP2430089A JPH02205493A JP H02205493 A JPH02205493 A JP H02205493A JP 2430089 A JP2430089 A JP 2430089A JP 2430089 A JP2430089 A JP 2430089A JP H02205493 A JPH02205493 A JP H02205493A
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- 239000013013 elastic material Substances 0.000 claims abstract description 5
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 claims description 11
- 239000012530 fluid Substances 0.000 abstract description 2
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 7
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔概 要〕
クリーンルーム等の高清浄環境に設置される多関節形の
ロボットに係り、特に発塵を抑制した関節部に関し、 保護カバ内の空気流の通路に流体抵抗の調整が可能なシ
ール部材を取り付けることによって、各関節部の吸引量
を等しくし、アーム内を一括して真空吸引した際に全関
節部に良好な防塵特性を与えることを目的とし、 相対回転可能に軸受部に支承された軸と、該軸および該
軸受部との周囲に円筒状の隙間を形成するように該軸に
対して固定された保護カバと、外周に歯車状の凹凸を有
するリング状の弾性材料からなり、該隙間を塞ぐように
前記軸の外周に嵌着された複数枚のシール部材とを有し
、前記シール部材の複数枚間で前記軸への嵌着角度を異
ならしめることによって歯の重なり量を調整し、該隙間
をアーム内部へ真空吸引する際の空気抵抗を調整可能と
した構成である。
ロボットに係り、特に発塵を抑制した関節部に関し、 保護カバ内の空気流の通路に流体抵抗の調整が可能なシ
ール部材を取り付けることによって、各関節部の吸引量
を等しくし、アーム内を一括して真空吸引した際に全関
節部に良好な防塵特性を与えることを目的とし、 相対回転可能に軸受部に支承された軸と、該軸および該
軸受部との周囲に円筒状の隙間を形成するように該軸に
対して固定された保護カバと、外周に歯車状の凹凸を有
するリング状の弾性材料からなり、該隙間を塞ぐように
前記軸の外周に嵌着された複数枚のシール部材とを有し
、前記シール部材の複数枚間で前記軸への嵌着角度を異
ならしめることによって歯の重なり量を調整し、該隙間
をアーム内部へ真空吸引する際の空気抵抗を調整可能と
した構成である。
本発明はクリーンルーム等の高清浄環境に設置される多
関節形のロボットに係り、特に発塵を抑制した関節部に
関する。
関節形のロボットに係り、特に発塵を抑制した関節部に
関する。
半導体装置の製造工程等においては、クリーンルーム内
で使用できる産業用ロボットへの要求が高まってきた。
で使用できる産業用ロボットへの要求が高まってきた。
このためには、屈曲・回転するアーム同士が接合される
関節部において接触摺動によって発生する塵埃が高清浄
環境を汚染しないようにする必要がある。
関節部において接触摺動によって発生する塵埃が高清浄
環境を汚染しないようにする必要がある。
産業用ロボットをクリーンルーム内で使用する場合、ロ
ボットの内部の塵埃、金属粉、潤滑剤粒子等の微粒子が
クリーンルーム内に放出されないようにロボットを密閉
構造にしている。
ボットの内部の塵埃、金属粉、潤滑剤粒子等の微粒子が
クリーンルーム内に放出されないようにロボットを密閉
構造にしている。
第２図は本発明が適用される多関節アーム型ロボットの
側面図である。図において２０は基台、２１〜２５はア
ームである。アーム２１〜２５はその関節部３１〜３３
で屈曲可能にまた関節部３１”〜３３°で回転可能に接
続されている。これらのアームは中空に形成され、関節
部を介して各アームの中空部が連結され、アームや関節
部が内蔵するモータや歯車等の発塵源からの塵埃を基台
２０の吸引口２０ａから一括して真空吸引している。
側面図である。図において２０は基台、２１〜２５はア
ームである。アーム２１〜２５はその関節部３１〜３３
で屈曲可能にまた関節部３１”〜３３°で回転可能に接
続されている。これらのアームは中空に形成され、関節
部を介して各アームの中空部が連結され、アームや関節
部が内蔵するモータや歯車等の発塵源からの塵埃を基台
２０の吸引口２０ａから一括して真空吸引している。
第３図は、第２図のＩ−１断面の拡大して表した屈曲関
節部である。図において、２２ａ 、 ２２ｂは紙面裏
側から延伸してきたアーム２２の端部の両側に、対向す
る筒状に形成されている軸受部であり、図面下方に延伸
するアーム２３の端部の両側に形成されている円筒状の
軸２３ａ 、 ２３ｂを、ベアリング２３ｃ。
節部である。図において、２２ａ 、 ２２ｂは紙面裏
側から延伸してきたアーム２２の端部の両側に、対向す
る筒状に形成されている軸受部であり、図面下方に延伸
するアーム２３の端部の両側に形成されている円筒状の
軸２３ａ 、 ２３ｂを、ベアリング２３ｃ。
２３ｄを介して相対回転自在に軸支している。そしてア
ームに内蔵された駆動機構（図示省略）により駆動され
てアーム２３に対してアーム２２が軸線Ｂを軸として相
対回転する屈折関節部が構成されている。アーム２２の
他方の端部は基台側に、またアーム２３の他方の端部は
別の関節部によって第三のアームに接続している。そし
てこれらのアームは中空になっており、この中空部は関
節部を介して全アームが連通しておりロボットの内部に
密閉された気密室が構成され、基台の吸引口に接続され
た吸引配管から真空吸引して内部での発塵を外に漏れな
いようにしている。
ームに内蔵された駆動機構（図示省略）により駆動され
てアーム２３に対してアーム２２が軸線Ｂを軸として相
対回転する屈折関節部が構成されている。アーム２２の
他方の端部は基台側に、またアーム２３の他方の端部は
別の関節部によって第三のアームに接続している。そし
てこれらのアームは中空になっており、この中空部は関
節部を介して全アームが連通しておりロボットの内部に
密閉された気密室が構成され、基台の吸引口に接続され
た吸引配管から真空吸引して内部での発塵を外に漏れな
いようにしている。
そしてこの場合、関節部の密閉性を保つため相手アーム
を軸支するベアリング２３ｃ、 ２３ｄ等は全てシール
付ベアリイグを用いている。・シール付ベアリングは例
えば外輪に固定されたリング状のゴム等の弾性シール部
材が内輪に対して密着摺動しながら回転するので、この
摺動部分から微小な塵埃４が密閉室の外側に向けて発生
する。そこでこの発塵を除去するため保護カバ２３ｅを
アーム２３に取り付けて、該保護カバ２３ｅにより軸受
部２２ａ、ｂおよび軸２３ａ、ｂの周囲に円筒状の隙間
ｇを形成し、該隙間ｇをアーム内部の中空部に連通させ
てアームの内部に向かう空気流４１を発生させ、ベアリ
ングで発生した塵埃４を空気流４２によりロボット内部
に吸引している。
を軸支するベアリング２３ｃ、 ２３ｄ等は全てシール
付ベアリイグを用いている。・シール付ベアリングは例
えば外輪に固定されたリング状のゴム等の弾性シール部
材が内輪に対して密着摺動しながら回転するので、この
摺動部分から微小な塵埃４が密閉室の外側に向けて発生
する。そこでこの発塵を除去するため保護カバ２３ｅを
アーム２３に取り付けて、該保護カバ２３ｅにより軸受
部２２ａ、ｂおよび軸２３ａ、ｂの周囲に円筒状の隙間
ｇを形成し、該隙間ｇをアーム内部の中空部に連通させ
てアームの内部に向かう空気流４１を発生させ、ベアリ
ングで発生した塵埃４を空気流４２によりロボット内部
に吸引している。
多関節ロボットの複数の関節部、例えば６自由度の多関
節ロボットではそれぞれの関節部に形状、構造の異なる
ベアリングが少なくとも６箇以上あり、これに対応した
複数箇所から一括して真空吸引を行うが、関節部の形状
が異なるためそれぞれのベアリングの周囲に設けられた
円筒状の隙間に関して真空吸引に対する空気抵抗を揃え
ることが困難である。このためそれぞれの関節部で空気
吸引量が異なり、吸引量が小さいところでは充分な空気
流が発生せずベアリングでの発塵の吸引が充分行われな
いという問題点があった。
節ロボットではそれぞれの関節部に形状、構造の異なる
ベアリングが少なくとも６箇以上あり、これに対応した
複数箇所から一括して真空吸引を行うが、関節部の形状
が異なるためそれぞれのベアリングの周囲に設けられた
円筒状の隙間に関して真空吸引に対する空気抵抗を揃え
ることが困難である。このためそれぞれの関節部で空気
吸引量が異なり、吸引量が小さいところでは充分な空気
流が発生せずベアリングでの発塵の吸引が充分行われな
いという問題点があった。
本発明は、上記問題点に鑑み創出さたもので、ベアリン
グからの発塵をアーム内部に吸引して、発塵防止を行う
クリーンルーム用ロボットにおいて、保護カバ内の空気
流の通路に流体抵抗の調整が可能なシール部材を取り付
けることによって、各関節部の吸引量を等しくし、アー
ム内を一括して真空吸引した際に各関節部が良好な防塵
特性を持つようにすることを目的とする。
グからの発塵をアーム内部に吸引して、発塵防止を行う
クリーンルーム用ロボットにおいて、保護カバ内の空気
流の通路に流体抵抗の調整が可能なシール部材を取り付
けることによって、各関節部の吸引量を等しくし、アー
ム内を一括して真空吸引した際に各関節部が良好な防塵
特性を持つようにすることを目的とする。
上記問題点は、
アーム内部を真空吸引して発塵を防止する多関節型ロボ
ットにおいて、 相対回転可能に軸受部に支承された軸と、該軸および該
軸受部との周囲に円筒状の隙間を形成するように該軸に
対して固定された保護カバと、外周に歯車状の凹凸を有
するリング状の弾性材料からなり、該隙間を塞ぐように
前記軸の外周に嵌着された複数枚のシール部材とを有し
、前記シール部材の複数枚間で前記軸への嵌着角度を異
ならしめることによって歯の重なり量を調整し、該隙間
をアーム内部へ真空吸引する際の空気抵抗を調整可能と
したことを特徴とする本発明のロボット関節部の防塵構
造により解決される。
ットにおいて、 相対回転可能に軸受部に支承された軸と、該軸および該
軸受部との周囲に円筒状の隙間を形成するように該軸に
対して固定された保護カバと、外周に歯車状の凹凸を有
するリング状の弾性材料からなり、該隙間を塞ぐように
前記軸の外周に嵌着された複数枚のシール部材とを有し
、前記シール部材の複数枚間で前記軸への嵌着角度を異
ならしめることによって歯の重なり量を調整し、該隙間
をアーム内部へ真空吸引する際の空気抵抗を調整可能と
したことを特徴とする本発明のロボット関節部の防塵構
造により解決される。
各関節部の空気吸引量が調整可能なので保護カバが形成
する円筒状空隙の大小、形状に関係なく各関節部の空気
吸引量を所望に調整することができ一括して負圧吸引し
ても全関節部に対して良好な発塵防止が可能となる。
する円筒状空隙の大小、形状に関係なく各関節部の空気
吸引量を所望に調整することができ一括して負圧吸引し
ても全関節部に対して良好な発塵防止が可能となる。
即ち、円筒状の隙間にはアーム内方に向かう空気流が発
生しているのでエアカーテンと同様な作用よりベアリン
グで発生した塵埃はロボットの外側に放出されることな
くアーム内部に吸引される。
生しているのでエアカーテンと同様な作用よりベアリン
グで発生した塵埃はロボットの外側に放出されることな
くアーム内部に吸引される。
そして複数のシール部材の嵌入角度を変えて歯の重なり
を調整することにより、真空側と外部との開口面積を調
整して空気抵抗を制御することが簡単にできるので、複
数の関節からの吸引量を等しくすることが容易になり、
−括してアーム内部を真空吸引した場合の各関節部の防
塵性能の揃えることが可能となる。
を調整することにより、真空側と外部との開口面積を調
整して空気抵抗を制御することが簡単にできるので、複
数の関節からの吸引量を等しくすることが容易になり、
−括してアーム内部を真空吸引した場合の各関節部の防
塵性能の揃えることが可能となる。
以下添付図により本発明の詳細な説明する。
第１図は本発明の防塵構造を示す図である。
本発明の特徴は、第３図で前述した従来例の軸受部の円
筒状隙間を空気抵抗の調節可能なシール部材で塞ぐこと
にあり、その他は第３図と同じであるので、第１図では
シール部材が適用される第３図のへ領域に相当する部分
のみを示す。従って、図中の番号は第３図と同一物を表
す。
筒状隙間を空気抵抗の調節可能なシール部材で塞ぐこと
にあり、その他は第３図と同じであるので、第１図では
シール部材が適用される第３図のへ領域に相当する部分
のみを示す。従って、図中の番号は第３図と同一物を表
す。
図において２２ａは相手側アームの端部に形成された円
筒状の軸受部の一方で、その端部にはシール付のベアリ
ング２３ｃの外輪が嵌入されている。
筒状の軸受部の一方で、その端部にはシール付のベアリ
ング２３ｃの外輪が嵌入されている。
２３ａは他方のアームの側面に突出するように形成され
た中空の軸で、軸受部２２ａと略同−外径の大径部と、
その先端にはベアリング２３ｃの内輪を嵌入する外径の
小さい軸部２３ａを有する。そして軸部２３ａはベアリ
ング２３ｃを介して軸受部２２ａに回転自在に支承され
、ベアリングの右側の端面ば軸２３ａの大径部の端面と
、軸受部２３ｆの端面とで形成されるリング状の隙間２
２ｃに露呈している。
た中空の軸で、軸受部２２ａと略同−外径の大径部と、
その先端にはベアリング２３ｃの内輪を嵌入する外径の
小さい軸部２３ａを有する。そして軸部２３ａはベアリ
ング２３ｃを介して軸受部２２ａに回転自在に支承され
、ベアリングの右側の端面ば軸２３ａの大径部の端面と
、軸受部２３ｆの端面とで形成されるリング状の隙間２
２ｃに露呈している。
保護カバ２３ｅはリング状隙間２２ｃを覆うように、軸
２３ａの大径部と軸受部２２ａの先端の周囲を取り囲み
、これらとの間に円筒状の隙間ｇを形成している。この
隙間はアームのケーシングの貫通孔を介してアーム内部
に連通し真空吸引されるので、保護カバ２３ｅの端面か
らアーム内部へ向かう空気流４１が発生し、ベアリング
の摺動で発生する塵埃を空気流４２でアーム内部へ吸引
する。５ａ、５ｂはゴム等の弾性材料からなるリング状
のシール部材で、円筒状隙間ｇを塞ぐように複数枚が重
ねられて軸２３ａの大径部の外周に嵌着されている。こ
のシール部材５ａ、５ｂは保護カバ２３ｅの内径に嵌入
される外径を有するとともに、その外周は複数の凹部が
均等に分布して歯車状に形成されており、保護カバ２３
ｅの内壁との間で複数の開口部を形成するようになって
いる。そして複数のシール部材の軸への嵌着角度を異な
らしめると、歯の重なり量が変わるので、スリットの開
口面積を変えることができる。これによって円筒状隙間
の空気抵抗の調整が簡単にできるので、外径が異なる種
々の軸を有する複数の関節部のそれぞれに対して、アー
ム内部に真空吸引される際の空気流入量を調節すること
が可能になる。
２３ａの大径部と軸受部２２ａの先端の周囲を取り囲み
、これらとの間に円筒状の隙間ｇを形成している。この
隙間はアームのケーシングの貫通孔を介してアーム内部
に連通し真空吸引されるので、保護カバ２３ｅの端面か
らアーム内部へ向かう空気流４１が発生し、ベアリング
の摺動で発生する塵埃を空気流４２でアーム内部へ吸引
する。５ａ、５ｂはゴム等の弾性材料からなるリング状
のシール部材で、円筒状隙間ｇを塞ぐように複数枚が重
ねられて軸２３ａの大径部の外周に嵌着されている。こ
のシール部材５ａ、５ｂは保護カバ２３ｅの内径に嵌入
される外径を有するとともに、その外周は複数の凹部が
均等に分布して歯車状に形成されており、保護カバ２３
ｅの内壁との間で複数の開口部を形成するようになって
いる。そして複数のシール部材の軸への嵌着角度を異な
らしめると、歯の重なり量が変わるので、スリットの開
口面積を変えることができる。これによって円筒状隙間
の空気抵抗の調整が簡単にできるので、外径が異なる種
々の軸を有する複数の関節部のそれぞれに対して、アー
ム内部に真空吸引される際の空気流入量を調節すること
が可能になる。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 アーム内部を真空吸引して発塵を防止する多関節型ロボ
ットにおいて、 相対回転可能に軸受部（２２ａ）に支承された軸（２３
ａ）と、 該軸（２３ａ）および該軸受部（２２ａ）との周囲に円
筒状の隙間（ｇ）を形成するように該軸（２３ａ）に対
して固定された保護カバ（２３ｅ）と、 外周に歯車状の凹凸を有するリング状の弾性材料からな
り、該隙間（ｇ）を塞ぐように前記軸（２３ａ）の外周
に嵌着された複数枚のシール部材（５ａ，５ｂ）とを有
し、 前記シール部材（５ａ，５ｂ））の複数枚間で前記軸（
２３ａ）への嵌着角度を異ならしめることによって歯の
重なり量を調整し、該隙間（ｇ）をアーム内部へ真空吸
引する際の空気抵抗を調整可能としたことを特徴とする
ロボット関節部の防塵構造。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2430089A JP2513823B2 (ja) | 1989-02-02 | 1989-02-02 | ロボット関節部の防塵構造 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2430089A JP2513823B2 (ja) | 1989-02-02 | 1989-02-02 | ロボット関節部の防塵構造 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02205493A true JPH02205493A (ja) | 1990-08-15 |
| JP2513823B2 JP2513823B2 (ja) | 1996-07-03 |
Family
ID=12134320
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2430089A Expired - Fee Related JP2513823B2 (ja) | 1989-02-02 | 1989-02-02 | ロボット関節部の防塵構造 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2513823B2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0624839U (ja) * | 1992-08-31 | 1994-04-05 | 共立精機株式会社 | 工作機械の加工ヘッド |
| WO2018102965A1 (en) * | 2016-12-05 | 2018-06-14 | Abb Schweiz Ag | Sealing arrangement for use in robot joint |
| WO2022047787A1 (en) * | 2020-09-07 | 2022-03-10 | Abb Schweiz Ag | Apparatus for improving cleanliness of robot and associated robot |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2023136368A1 (ko) * | 2022-01-11 | 2023-07-20 | 엘지전자 주식회사 | 로봇 |
-
1989
- 1989-02-02 JP JP2430089A patent/JP2513823B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0624839U (ja) * | 1992-08-31 | 1994-04-05 | 共立精機株式会社 | 工作機械の加工ヘッド |
| WO2018102965A1 (en) * | 2016-12-05 | 2018-06-14 | Abb Schweiz Ag | Sealing arrangement for use in robot joint |
| US10913167B2 (en) | 2016-12-05 | 2021-02-09 | Abb Schweiz Ag | Sealing arrangement for use in robot joint |
| WO2022047787A1 (en) * | 2020-09-07 | 2022-03-10 | Abb Schweiz Ag | Apparatus for improving cleanliness of robot and associated robot |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2513823B2 (ja) | 1996-07-03 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |