JPH02202448A - マスクからの衝撃吸収装置 - Google Patents

マスクからの衝撃吸収装置

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JPH02202448A
JPH02202448A JP1320698A JP32069889A JPH02202448A JP H02202448 A JPH02202448 A JP H02202448A JP 1320698 A JP1320698 A JP 1320698A JP 32069889 A JP32069889 A JP 32069889A JP H02202448 A JPH02202448 A JP H02202448A
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 Ａ、産業上の利用分野 本発明は、全般的には、スクリーニング工程における新
しい装置及び方法に関し、より詳しくは、スクリーニン
グ動作後にグリーンシート及びその他の構造体の収率を
増加させる装置及び方法に関する。スクリーニング動作
後に、グリーンシートをマスクから分離しているときに
、制動パッドがマスクと一緒に自由に、あるいは制御さ
れた方式で浮動することは許される。グリーンシートを
マスクから分離する間、及び分離した後に、制動パッド
・アセンブリがマスクの動きを制御する。
Ｂ、従来の技術 構造体の一部への材料付着パターンを制御するために、
個別のマスク、型板、型紙を使用することは、周知であ
る。マスク材料のシートに、構造体上に付与しようとす
る所望のパターンに対応するパターンで、開口を設ける
。多くの場合、それを通して材料付着を行なおうとする
ように選定されたマスクの部分に、開口が設けられる。
このようなマスクを構造体表面に置き、マスク開口を通
して、選定個所に付着を行なう。構造体上に付着する材
料は、はぼ所望の形状配置を呈する。構造体自体は、付
着した材料が通過するか、材料がその中で付着するよう
な開口を備えていてもよい。
しかしながら、この付着に続く構造体に付着した材料の
最終形状パターンは、所望の形状パターンとやや相違し
ている。これは、付着中に付着材料の一部がマスクの下
に、及びマスク開口の縁部に沿って付着するためである
。これは、マスク材料のシートが構造体表面に一様に接
触していないことがあり、そのため、マスクと構造体表
面の間にすきまが残るために生ずる。また、これは、過
剰量の付着材料がマスク上に注がれ、過剰材料が構造体
上にあふれる場合にも起こる。後で論じるように、たと
えば、構造体とマスクの間に生じていることがある吸引
力のため、または付着材料がグルーのように作用するた
めに、マスクが構造体上に固着している場合にも、最終
形状パターンが相違することがあり、分離すると変形や
不連続が生じる。材料を構造体上に付着させる方法を変
更しても、付着材料によっては所望の形状パターンを作
成しない、という結果を大きく変える新しい方法は期待
できない。
材料の付着を実施しようと希望する典型的な構造体は、
様々な種類の電子デバイスの実装に用いられる集積回路
ウェハ、グリーンシート、及び基板である。マスクを当
てて配置しようとするこれらの構造体の表面は、通常、
非常に平坦である。
このために−様な接触を実現し、空隙が生じないように
したい場合には、マスクがこの表面に応じて非常に平坦
であることと、及び所望の形状パターンを得られること
が必要となる。
構造体表面とマスクを互いに押し付けあう場合、構造体
表面とマスクの間に空隙が生じることがある。マスク上
に作用する力が一様でない場合には、構造体とマスクが
互いに対称に位置合わせされたとしても、さらにマスク
と構造体表面がともに平坦かつ平行であったとしても、
マスクに対する「弓状化」効果が存在する。これらの空
隙は、また、マスクに働く合力により、構造体表面がマ
スクを押すことにより、マスク・ホルダがマスクの端部
を押さえ付けることにより生じるマスクの屈曲によって
も、発生する。さらに、対称的または平行的あるいはそ
の両方の位置揃えが不十分であること、またはマスク・
シート自体における平坦度に偏差があること、すべてを
避けるのは困難であり、このことは、この空隙を悪化さ
せる源である。この空隙がホルダで保持された平坦なシ
ートマスクで発生する場合、付着材料すなわちペースト
がマスクの開口を通過して、マスクの下側に入り込むこ
とがある。
また、所望の材料が構造体の上に付着し、構造体がマス
クから離れている場合、マスク及び構造体の下側に固着
している材料は、マスクを構造体に粘着させ、構造体が
マスクから分離、すなわち引き離しているときには、マ
スクを構造体とともに動くようにさせる。マスクの縁部
の方が先に構造体から分離し、マスクの中央域は通常最
後に分離するマスク表面である。完全に分離する前に、
マスクの中心域は、その他残りのマスク表面がすでに構
造体から分離しているのに反し、まだ構造体の表面に粘
着しているので、弓状形状を呈する。
付着させようとする材料は、通常、非常に高い粘性を有
する。構造体の表面に付着した材料は、マスクの開口を
介してマスク上の付着材料との連続接触を形成し、その
結果粘着型の接触となる。
付着材料の持つ高い粘性と粘着性により、通常は金属か
らなるマスクが、分離の際に構造体から急激に離れて、
そのため付着物質をい（らが構造体から引き離す。この
「急離れ（ｓｎａｐｐｉｎｇ）　Ｊ過程が、不連続や変
形を生じさせる。マスクが構造体から分離するとき、ス
パイクをパターンに残しておき、そのため、これらのス
パイクが短絡の原因となり得るので、欠陥のある構造体
を生成することがある。これは、スパイクが、通常、側
部に倒れて、隣接する線相互間または形状パターン相互
間に短絡を生成するので、発生するのである。また、構
造体の中心部でのスパイクのレベルが、構造体の周縁部
におけるレベルよりも著しく高いこともわかっている。
スパイクや変形は、また、どのような後続の付着にも、
または、その上に配置され得るどのような追加層にも、
悪影響を及ぼす可能性がある。したがって、このような
空隙またはスパイクあるいはその両方の形成を最小限に
し、マスクからの構造体の分離を制御するようにして、
マスクと構造体表面を互いに接触させて配置することが
望ましい。
マスク、すなわち典型的には、銅、アルミニウム、モリ
ブデンのシートまたはそれらの合金で作られた金属マス
クを、ホルダに取り付ける。現在使用されているマスク
は、非常に薄い金属シートから作られている。通常、マ
スク及びホルダは定位置に保たれ、一方、構造体は動け
るようにしておく。構造体からマスクに加える力により
、マスクは、突出した形状にたわみ、密封を形成しよう
とする構造体すなわちウェハの表面から離れた方向を向
く実質的に凸面状の主面を得る結果となる。
マスクの突出形状は、構造体とマスクを合体させるとき
の両者の間に生じる力により、ある程度まで修正される
。
はめ込む合成物または材料をマスクの開口を介して付着
させるとき、マスクを持ち上げる際に、ペーストまたは
同様な合成物がマスクに接着する傾向があり、合成物が
マスクの開口中に増加形成し、結果的に欠陥構造体を作
成することがある。したがって、マスクを清潔に保って
、この増加形成が、マスクの構造体からの分離中に生じ
る変形や不連続性への惑い寄与にならないようにすべき
である。
構造体をマスクから分離する一方法として、中心近くに
鋭い一撃を与えることが好ましい。これが、マスク中に
衝撃波を誘起し、この波がマスクに沿って移動し、構造
体がマスクから離れることとなる。この作用を、各マス
キング動作の終了するごとに、マスクに分与する場合に
は、構造体がマスクに接着する傾向はなり、シたがって
、欠陥構造体は製造されない。構造体からマスクを分離
するこの方法は、マスクに損害を与えることがあり、ま
た、付着材料のいくらかを構造体上に落とさせるか、構
造体内の開口中に押し入れることに、もなり、そのため
、再び構造体に欠陥をもたらす可能性がある。
以前は、問題を解決する一方法は、マスクと構造体の分
離工程全体について機械速度を制御することであった。
これは、−様な機械速度を設けるか、分離速度を下げる
かにより実行される。両方法とも、スパイクの数を減少
させる結果にはなるが、スパイクの問題は除去しない。
また、分離速度を下げることはスクリーニング装置の処
理能力に不利な影響を及ぼす。
この種のスパイク問題を補正するもう１つの方法は、ペ
ーストの変化を評価することである。実施した研究から
、ペースト公式化の変更はスパイク問題への解答ではな
い、と判定した。
Ｃ０発明が解決しようとする課題 本発明は、構造体から分離する前後のマスクの動きは制
御されているので、スクリーニング工程のサイクル時間
を短縮する。マスク衝撃吸収システムは、マスクと構造
体との分離中のマスク「急離れ」をなくする。マスクと
構造体との分離中の、このようなマスクの制御は、マス
クの「急離れ」により生じるスパイク及びペースト池も
なくする。
これは、もちろん、マスクの「急離れ」動作による欠陥
のない構造体すなわちグリーンシートの分率を、著しく
増大する。
０６課題を解決するための手段 構造体から分離されつつあるマスクからの衝撃を吸収す
るための、少なくとも１つの衝撃吸収手段、ならびに、
構造体をマスクから分離する前に、衝撃吸収手段をマス
クと接触して配置するための少なくとも１つの手段から
構成される装置。この装置では、マスクから構造体を分
離する場合に、衝撃吸収手段が、マスクから構造体が分
離する際に生じる衝撃を吸収することにより、マスクが
急に離れて戻るのを防止する。
マスクを構造体から制御しながら分離する方法は、 （ａ）少なくとも１つの開口を有するマスクを構造体の
上方に配置する段階、 （ｂ）少なくとも流体媒剤の一部がマスク中の開口を通
過して少なくとも構造体の一部を覆うように、流体媒剤
をマスクの上に塗布する段階、（ｃ）マスクが構造体か
ら制御されながら分離するように、構造体をマスクから
分離すると同時に、対抗する力をマスクの上に加える段
階、から構成されている。
Ｅ、実施例 簡単には、本発明は、マスクの中心部上方に装着される
機械的デバイスである。このデバイスは、マスクと構造
体との分離中に、マスクの中心部に力を加える。この力
が、分離の最終段階でマスクが中心部で「急離れ」する
のを防止することになる。
マスクの中心部と構造体とが分離する過程で力を加える
と、マスク及び構造体を、構造体表面全体を横断して−
様な速度で分離できる。デバイスによってマスク上に加
えられる力または圧力は、マスクにいかなるへこみも傷
も生じさせないものであるべきである。当業者であれば
、マスクを損傷することなく、マスクと構造体との制御
分離を達成するために必要な最小な力を計算することが
できる。もちろん、必要最小な力は、スクリーニング条
件ならびにマスクの材料によって決まる。
本発明を使用する分野の１つは、多層セラミック（ＭＬ
Ｃ）グリーンシートまたは基板のスクリーニング中であ
る。グリーンシートは、ガラスまたはセラミック、ある
いはその両者の組合せから製作することができる。
ＭＬＣスクリーニングにおける重要な工程は、ペースト
をグリーンシートに塗布した後のマスク／グリーンシー
ト分離である。前記のように、制御された分離工程はパ
ターンの寸法及び質に対して重要である。
スクリーニングしようとする所望パターンの寸法は、だ
んだん小さくなっている。新しいＭＬＣ製品上のパター
ンが小さいほど、スクリーニング・マスクとグリーンシ
ートの間の粘着力はより高度となる。前記のように、こ
の粘着は、グリーンシートの品質に関するいくつかの問
題を引き起こす可能性がある。マスクとグリーンシート
との分離中に様々の欠陥が生じる。これらの欠陥のうち
、いくつかは修復されることがある。これらの欠陥が間
隔の基準に違反する場合、グリーンシートを廃棄しなけ
ればならない。
マスク／グリーンシート分離工程では、マスクの「急離
れ」動作は生来のものである。マスクの「急離れ」は、
マスクとグリーンシートが最終的に互いに分離する瞬間
に発生する。スクリーニング・マスクの弾力性によって
、分離工程のための実際の機械分離速度設定に未知の速
度成分を追加されるため、より高い分離速度がグリーン
シ一トの中心部に存在する。テープ録画は分離工程から
なっている。テープ録画によって、マスクの「急離れ」
が分離速度へ余分な成分を加えることが確証される。
第１図は、固定フレーム１０に確実に取り付けられたマ
スク１２を有するマスク／フレーム・アセンブリを明示
している。第１図には、また、グリーンシート１６、す
なわちスクリーニングしようとする構造体が可動テーブ
ル１４によって確実に保持された、グリーンシート／テ
ーブル・アセンブリも示されている。テーブル１４は通
常、上下動するが、横方向に動くように修正でき、また
回転することもできる。典型的には、テーブル１４は、
マスク／フレーム・アセンブリまで滑って上がり、グリ
ーンシート１６はマスク１２に隣合する。マスク１２は
通常、柔軟な金属材料から製造されており、モリブデン
、銅、アルミニウムまたはそれらの合金が好ましい材料
である。マスクも、高張力金属、プラスチック、複合材
料などの、その他の柔軟材料、または非柔軟材料から製
造できる。スクリーニングしようとする所望のパターン
を、当技術分野で周知の工程によって、マスク１２の上
にエツチングする。ペースト状材料、すなわちスクリー
ニングしようとする材料を、マスク１２の上に注ぐ。通
常の手段、すなわち当技術分野で既知の手段を用いて、
ペースト（図示せず）をマスク１２中の開口を介してグ
リーンシート１６上に強制降下させ、これにより、パタ
ーン付けされたデザインをグリーンシート１６上に作成
する。デザインをグリーンシート１６上にスクリーニン
グした後、テーブル１４をゆっくり動かして、マスク／
フレーム・アセンブリから離す。グリーンシート１６も
動かして、マスク１２から離す。
マスク１２を介してグリーンシート１６上に注いだペー
ストは、マスク１２とグリーンシート１６とを、ともに
「接着」した形で保つ。したがって、テーブル１４を動
かしてマスク／フレーム・アセンブリから離すと、マス
ク１２がグリーンシート１６に固着する傾向があり、グ
リーンシート１６とともに動く傾向がある。この現象を
第２図に示す。
テーブル１４が動いてマスク１２から離れるとき、グリ
ーンシート１６はマスク１２に接着する傾向がある。グ
リーンシート１６の中心面が持ち上がって、テーブル１
４から離れ、空域１８を生じ、方グリーンシート１６の
縁部は、クランプ手段（図示せず）によりテーブル１４
によって確実に保持されている。通常、マスク１２の縁
部は先にグリーンシート１６から分離するが、マスク１
２の中心部はグリーンシート１６に「吸引された」まま
である。グリーンシート１６の中心とマスク１２は、接
着力に打ち勝つのに十分な力が現われるまで、互いに固
着している。グリーンシートはテーブル１４に向かって
下がり、テーブル１４に衝突しても、グリーンシート１
６には動きがまったくないかほとんどない。一方、マス
ク１２は、縁部のみで保持されており、したがって、自
由に振動する。
第２図に示すように、テーブル１４の動きが、マスク１
２に凸面状の張力を発生させる。グリーンシート１６の
中心部も、前記のように、マスク１２の中心部に固着し
ており、グリーンシート１６に凸面状の張力が生じる。
グリーンシート１６の中心部は、マスク１２から分離す
る前に、持ち上がってテーブル１４から離れる。この持
ち上がって離れることによって、ペーストがグリーンシ
ート１６の下方にしみ込むことがある。したがって、こ
のペーストしみ込みが、欠陥グリーンシートの原因とな
る。
テーブル１４はグリーンシート１６とともにゆっくりと
動いて、マスク１２から離れる。マスク１２は、どこま
でも先に進むことはできず、第３図に示すように、ある
点でかなりの上向き速度で、グリーンシート１６から「
急離れ」して遊離する。
この急離れ戻り動作が、グリーンシート１６の表面の欠
陥、変形、不連続の原因となる。これは、前記のように
、スクリーニング工程によって生成されたパターンまた
は線が、マスク１２の「急離れ」動作で生成されるスパ
イクによって短絡されることがある、という事実による
ものである。
このことは、現在の技術では、線間隔が狭くなりつつあ
り、わずかなゆがみさえ構造体に欠陥をもたらすような
短絡や不連続を生成する可能性があるので、特に重要で
ある。
この応用例の発明は、急離れして戻り、グリーンシート
１６に不連続とゆがみを生じるマスク１２の問題を解決
する。
本発明の一実施例を第４図に示す。制動パッド２０を、
滑動可能に制動スリーブ２２のリップまたはフランジ２
１に装着することができる。たとえば、ポリテトラフル
オロエチレンは、制動パッド２０の製造に適した材料に
なり得る。制動パッド２０は、凸面状表面を有すること
が好ましいが、表面の形状は、半球面、平坦面、円錐面
、放物面、多面体状、立方体状、直方体状にして、当技
術分野で周知のいくつかの形状やその他任意の形状をあ
げることもできる。制動パッド２０は、制動スリーブ２
２の一体構造部分であってもよい。制動スリーブ２２は
、特別なばねアセンブリによって、制動シャフト３４に
組み合わされる。制動シャフト３４は、制動スリーブ２
２の一体構造部分にすることが可能で、または当業者に
とって周知の他の方法によって配置することもできる。
軸受２４を有する制動ブロック２６によって、制動スリ
ーブ２２は滑動可能である。カラー２８はピンばね３０
に結合され、これにセンサ・ターゲット３２が取り付け
である。カラー２８を、締付は装置（図示せず）を介し
て、制動スリーブに確実に取り付ける。制動おもり３６
を、センサ・ターゲット３２の最上部に滑動できるよう
に配置できる。
所望の重量制御をするために、追加のおもり３８を、制
動おもり３６の最上部上方に滑動できるように配置でき
る。制動おもり３６、あるいはまた追加のおもり３８は
、当技術分野で周知の方法によって、制動シャフト３４
に確実にクランプする。
第５図に示すように、この制動アセンブリはマスク１２
の最上部に配置され、マスク１２の上面に接触している
。制動アセンブリがマスク１２のその他の表面に接触す
ることも、本発明の範囲内である。マスクの材料によっ
ては、追加のおもり３８を制動おもり３６上方に配置す
ることもできる。追加のおもり３８によって加えられた
力を増減して、制御された分離、ならびにマスク／グリ
ーンシート分離によるペースト・スパイク生成の防止の
ために必要な最小限の力を供給できる。制動パッド２０
または制動スリーブ２２の位置は、垂直方向に調節でき
るアセンブリに接続した制動おもり３６により、変更し
得る。当技術分野で周知の方法によってグリーンシート
１６をスクリーニングするためには、別の装置（図示せ
ず）を使用する。グリーンシート１６にスクリーニング
した後、ただしテーブル１４を下げる前に、制動パッド
２０をマスク１２の表面に接触させる。制動スリーブ２
２を、滑動可能に制動シャフト３４に係合させ、これら
がマスク１２の動きとともに動くようにする。
テーブル１４をグリーンシート１６とともに動かして遠
ざけると、制動パッド２ｏは、これに加えられる力のた
め、第６図に示すように、マスク１２とともに下方に浮
動する。最初のマスク／グリーンシート分離中は、制動
パッド２０は、ただマスク１２のたわみに追随して、マ
スク１２と同期して動くべきである。制動パッド２０に
加わるおもりの力またはその他の力は、グリーンシート
１６からの分離直後に、マスク１２によってもたらされ
る「急離れ」力に等しくなるように、正確に整調するこ
とができる。これによって、マスク１２の急離れからの
衝撃を、制動パッド２０及びその付属部分により十分に
吸収できるようになる。
これは、グリーンシート中心部におけるペーストのスパ
イク発生や線の高さの変動のどのような問題も防止する
ことになる。
グリーンシート１６とマスク１２とが最終的に分離する
と、制動ブロック２６とカラー２８の間の空隙は閉じる
。空隙の閉鎖は、センサ・ターゲット３２によって記録
される。次いで、センサ・ターゲット３２は信号を制御
機構（図示せず）に送り、制動ブロック２６は制動パッ
ド２０とともに引き上げられ、マスク１２から離される
。それから、マスク１２はその正常な水平位置に復帰で
きるようになる。グリーンシート１６から最終的に分離
した後のマスク１２の動きも、制動パッド２０によって
制御することができる。−旦グリーンシート１６がマス
ク１２から完全に分離されると、マスク１２は非常にゆ
っくりと、しかも制御されながら元の位置に復帰できる
。これは、おもり３８を除去したり、または空気式、油
圧式または電動式手段を使用して制動機構アセンブリを
移動してマスク１２から遠ざけることにより、実施でき
る。
次いでマスク１２を、次のグリーンシート１６のスクリ
ーニングができるようにする。
マスク１２の急離れは防止されているため、前記の欠陥
は除去される。
第７図は本発明の第２実施例を示す。放物面状の制動パ
ッド４２が、制動スリーブ２２とともに、ブロック制動
具２６に取り付けられている。空気圧導管または油圧導
管４４が、当技術分野で周知の空気式または油圧式手段
を用いて制御する方法で制動パッド４２を動かす手段を
、ピストン／シリンダ・アセンブリ４０に付与する。追
加のおもり３８を、制動シャフト３４を介してアセンブ
リ４０の最上部に装着できる。こうして、制動パッド４
２の動きを空気式または油圧式手段を用いて制御できる
ようになる。
前記のように、制御ブロック２６の動きを、制動パッド
２０とともに、電動機を介して制御することも可能であ
る。制動ブロック２８は電動機に連結でき、所望に応じ
て電動機は制動パッド２゜を駆動することもできる。
同様に、制動パッド２０の動きは、制動制御機構にフィ
ードバックを与え、それに応じて制動パッド２ｏが動く
ようにするセンサをテーブル１４上に配置できる、閉じ
たループ・システムを介して制御し得る。制御機構は、
前記の制動手段のいずれにすることもできる。
第８図は、制動パッドのもう１つの実施例を示す。制動
スリーブ２２上に滑動可能に装着できる制動パッド５０
は、制動パッド５０の外面上にある複数のスタブすなわ
ち突起部５２を示している。
図に示すスタブ５２を用いて、マスク上にあるペースト
が、マスク１２を介して押し戻されずに、スタブ５２間
の開放域５４中に、さらにグリーンシート１６中に、ま
たはグリーンシート１６内の開口中に入り込むようにす
ることができる。
第９図は、この制動パッドのさらに他の実施例を示す。
制動パッド６０は、突起部すなわちスタブ６２、及び開
放域６４を有する。突出部６２は、丸みのある、または
球形の表面を存する。突出部６２の表面６８は、いくつ
か名を挙げると、立方体状、円錐体状、半球体状、多面
体状、放物体状、凸面状、平坦面状、直方体状、正方錐
体状など任意の幾何学的形状、または当技術分野で周知
のその他任意の表面形状にすることができる。リップ６
６を用いて、制動パッド６０を制動スリーブ２２に滑動
可能に装着する。突出部６２によって作られる空間６４
によって、過剰のスクリーニング材料は、前記のように
、制動パッド６ｏにより、グリ−ノン−１１６中に入る
ようには強いられず、開放域６４中に入り込むようにな
る。
制動パッドの形状は、マスクがグリーンシートから分離
する間に真空が生じないようにすべきである。これも、
マスク／グリーンシート分離中に表面域接触を最小に保
ち、したがって分離中に生じるいかなる真空も防止する
ことにより、達成できる。好ましくは、制動パッドがマ
スクの中央部でマスクに接触すべきであるが、マスクの
摩耗さえ許容するように、マスク上の接触点を可動にす
ることができる。制動シャフトは、また複数の制動パッ
ドを備えてもよい。これらの複数の制動パッドは、−緒
に連結しても、しな（でもよい。もちろん、デバイスに
は、複数の制動シャフトすなわち複数の駆動機構を備え
ることができる。
Ｆ３発明の効果 本発明によれば、スクリーニング工程での構造体の欠陥
の発生を防止することができる。
【図面の簡単な説明】
第１図は、現在使用されているスクリーニング・アセン
ブリの説明図である。 第２図は、スクリーニング・アセンブリ及びマスクから
分離しつつあるグリーンシートの説明図である。 第３図は、グリーンシートが一旦分離し終わったときの
、マスクの「急離れ」の説明図である。 第４図は、制動パッドの実施例とともに本発明の一実施
例を示す説明図である。 第５図は、本発明がスクリーニング・アセンブリで使用
されている様子を示す説明図である。 第６図は、本発明がマスクの動きを制御する様子を示す
説明図である。 第７図は、制動パッドの他の実施例とともに本発明の他
の実施例を示す説明図である。 第８図は、さらに他の制動パッドの実施例を示す説明図
である。 第９図は、さらに他の制動パッドの実施例の断面図であ
る。 １０・・・・固定フレーム、１２・・・・マスク、１４
・・・・テーブル、１６・・・・グリーンシート、２０
．４２．５０．６０・・・・制動パッド、２２・・・・
制動スリーブ、２４・・・・軸受、２６・・・・制動ブ
ロック、２８・・・・カラー、３０・・・・ピンばね、
３２・・・・センサ・ターゲット、３４・・・・制動シ
ャフト、３６・・・・制動おもり、３８・・・・追加の
おもり、４０・・・・アセンブリ、５２．６２・・・・
突起部、スタブ、Ｓ４．６４・・・・空間、開放域。

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. （１）構造体から分離中のマスクからの衝撃を吸収する
    ための装置で、少なくとも１つの衝撃吸収手段と、前記
    構造体を前記マスクから分離する前に前記の衝撃吸収手
    段を前記マスクに接触させる、少なくとも１つの手段か
    ら構成され、前記構造体を前記マスクから分離する際に
    、前記衝撃吸収手段が、そのときに生じる衝撃を吸収す
    ることにより前記マスクが急に戻るのを防止する、装置
    。
  2. （２）構造体から分離中のマスクからの衝撃を吸収する
    ための装置で、少なくとも１つの制動手段と協同して働
    く、少なくとも１つの制動パッドから構成され、前記構
    造体を前記マスクから分離する際に、前記制動パッドが
    、そのときに生じる衝撃を吸収することにより、前記マ
    スクが急に戻るのを防止する、装置。
  3. （３）マスクを構造体から制御しながら分離するための
    方法で、 （ａ）少なくとも１つの開口を有するマスクを前記構造
    体上方に配置するステップと、 （ｂ）流体媒剤を前記マスクの上に塗布して、前記流体
    媒剤の少なくとも一部が前記マスクの前記開口を通過し
    、前記構造体の少なくとも一部を覆うようにするステッ
    プと、 （ｃ）前記マスクが前記構造体から制御されながら分離
    されるように、前記構造体を前記マスクから分離すると
    同時に、対抗する力を前記マスクの上に加えるステップ を含む方法。
  4. （４）マスクを構造体から制御しながら分離するための
    方法で、 （ａ）少なくとも１つの開口を有するマスクを、前記構
    造体上方に配置するステップと、 （ｂ）流体媒剤をマスクの上に塗布し、少なくとも流体
    媒剤の一部が前記マスクの前記開口を通過して、少なく
    とも前記構造体の一部を覆うようにするステップと、 （ｃ）前記マスクを前記構造体から分離する前に、あら
    かじめ対抗力を前記マスクの上に加えておくステップと
    、 （ｄ）前記マスクが前記構造体から制御されながら分離
    されるように、前記構造体を前記マスクから分離すると
    同時に、前記対抗力を前記マスクの上に加えるステップ を含む方法。
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