JPS582479B2 - スクリ−ニング装置 - Google Patents

スクリ−ニング装置

Info

Publication number
JPS582479B2
JPS582479B2 JP56119454A JP11945481A JPS582479B2 JP S582479 B2 JPS582479 B2 JP S582479B2 JP 56119454 A JP56119454 A JP 56119454A JP 11945481 A JP11945481 A JP 11945481A JP S582479 B2 JPS582479 B2 JP S582479B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
green sheet
fixture
screening
sheet support
mask
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired
Application number
JP56119454A
Other languages
English (en)
Other versions
JPS5764992A (en
Inventor
アルフレツド・ストリツカー
ウオルフギヤング・ミユーラー
ゴードン・テイ・デービス
ローレンス・ピー・レムゼン
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
International Business Machines Corp
Original Assignee
International Business Machines Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by International Business Machines Corp filed Critical International Business Machines Corp
Publication of JPS5764992A publication Critical patent/JPS5764992A/ja
Publication of JPS582479B2 publication Critical patent/JPS582479B2/ja
Expired legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41FPRINTING MACHINES OR PRESSES
    • B41F15/00Screen printers
    • B41F15/08Machines
    • B41F15/0804Machines for printing sheets
    • B41F15/0813Machines for printing sheets with flat screens
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K3/00Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
    • H05K3/10Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which conductive material is applied to the insulating support in such a manner as to form the desired conductive pattern
    • H05K3/12Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which conductive material is applied to the insulating support in such a manner as to form the desired conductive pattern using thick film techniques, e.g. printing techniques to apply the conductive material or similar techniques for applying conductive paste or ink patterns
    • H05K3/1216Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which conductive material is applied to the insulating support in such a manner as to form the desired conductive pattern using thick film techniques, e.g. printing techniques to apply the conductive material or similar techniques for applying conductive paste or ink patterns by screen printing or stencil printing
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K1/00Printed circuits
    • H05K1/02Details
    • H05K1/03Use of materials for the substrate
    • H05K1/0306Inorganic insulating substrates, e.g. ceramic, glass
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10STECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10S425/00Plastic article or earthenware shaping or treating: apparatus
    • Y10S425/811Stencil

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Devices For Post-Treatments, Processing, Supply, Discharge, And Other Processes (AREA)
  • Manufacturing Of Printed Wiring (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 本発明はセラミック・グリーン・シートのペースト・ス
クリーニングのためのスクリーニング装置に係り、更に
具体的には本発明は激しい反復使用に耐えるスクリーニ
ング装置であって、スクリーニング工程においてステン
シル・マスクの下で多層セラミック・グリーン・シート
を歩進的に調整し得る高さに敏速に配置し、スクリーニ
ングに続いて、加速された2ステップのグリーン・シー
ト及びマスクの分離を可能ならしめるスクリーニング装
置に係る。
本発明の主な目的は、遅い初期速度でステンシル・マス
クから分離されるグリーン・シート支持固定治具を用い
、一旦マスク及びグリーン・シート間の初期分離が達成
されるや、上記治具の分離を加速させる事によってスク
リーニング装置のサイクル・タイムが相当に減じられる
改良された多層セラミック(以下MLCという)スクリ
ーニン・グ装置を提供することにある。
本発明の更に他の目的は、スクリーニング位置において
スクリーニングを行なうためにステンシル・マスクに関
してグリーン・シートを非常に正確な、しかも容易に調
整しうる位置に配置しうる改良されたMLCスクリーニ
ング装置を提供する事にある。
本発明の更に他の目的は、2速度分離並びにマシン・サ
イクル・タイムの減縮を促進させるために治具を精密に
制御された垂直スクリーニング位置へ移動させる様に動
作する可動駆動機構の運動を感知するための、続いてグ
リーン・シートのスクリーン印刷後にスクリーニング位
置においてステンシル・マスクからグリーン・シートが
歩進的に分離した事を感知するための光学的感知機構装
置を採用する、改良されたMLCスクリーニング装置を
提供する事にある。
本発明の更に他の目的は、ステンシル・マスクに関して
、グリーン・シート固定治具の垂直高さと、グリーン・
シート固定治具をその下方の位置まで戻す場合の分離速
度における変化とを匍御する為に、共通光学フラグ(f
lag)及び2重エンコーダ装置を用いる改良されたM
LCスクリーニング装置を提供する事にある。
本発明の更に他の目的は、固定治具及びグリーンシ一ト
を上方のマスクから下げる間のその治具の運動速度では
なくて、グリーン・シート支持固定治具の位置を感知す
る事によって、上方のマスクからのグリーン・シートの
分離を制御する改良さN,MLCスクリーニング装置を
提供する事にある。
本発明の自動スクリーニング装置はステンシルマスクの
下のセラミック・グリーン・シートを支持するためのグ
リーン・シート支持固定治具を含む。
グリーン・シート支持固定治具はマスクへ向う方向及び
マスクから離れる方向に垂直に移動できる。
可動駆動機構が作動機構をグリーン・シート支持固定治
具へ作動的に結合する。
駆動機構に結合された位置指示機構が、スクリーニング
位置に関するグリーン・シート支持固定治其の位置を示
す信号を生じる。
作動機構へ結合された制御機構は、グリーン・シート支
持固定治具がスクリーニング位置から離れる方向に移動
しつつある場合に、位置指示信号に応答する第1の手段
を含む。
これは、作動機構をしてステンシル・マスクから最初に
離れる際に第1の相対的に遅い初期速度で上記治具を移
動させ且つグリーン・シートがマスクからある所定距離
だけ離れた後に第2のより速い速度で上記治具を移動さ
せるため用いられる。
更に、制御機構は、グリーン・シートの厚さの変動等を
補償するために、スクリーニング位置に配置されて、ス
テンシル・マスクに直接隣接するグリーン・シート支持
固定治具の垂直高さを可変的に調整するために、固定治
具がスクリーニング位置へ向って移動される場合に、位
置指示信号に応答する第2の手段を含む。
可動駆動機構は、一体的な急勾配の浅い傾斜部分をもつ
水平方向に曲ったカム・スロットを含む滑動部を有する
水平シフトの可能な手段を用いる。
グリーン・シート支持固定治具はカム・スロット内に配
置されたカム・ローラ・ホロワを有する。
滑動部の移動によって、グリーン・シート支持固定治具
は、カム・ホロワがカム・スロットの急峻な傾斜部にあ
る場合に垂直方向に相対的に急速に移動し、カム・ホロ
ワがゆるやかな傾斜カム・スロット部にある場合により
遅い速度で移動する。
2方向のコード化位置フラグが駆動機構に作動的に結合
され、それと共に移動する。
シート支持固定治具がスクリーニング位置へ向って移動
しつつある場合に、上記治具の位置を示す信号を発生す
るために、コード化位置フラグの移動路に隣接して固定
治具高さ位置エンコーダ装置が設けられる。
コード化位置付けフラグの移動路に隣接して固定治具高
さ位置エンコーダ装置から長手方向に離れて、マスク分
離位置エンコーダ装置が設けられる。
マスク分離位置エンコーダ装置は、グリーン・シートが
スクリーニング位置においてステンシル・マスクから分
離されるにつれて、位置指示信号を与える。
好ましくは、コード化位置フラグは、カム・スロットの
急峻な傾斜部及びゆるやかな傾斜部内のカム・ホロワの
運動の程度に対応する滑動組立体の運動の方向に沿う1
5の異なるステップを画成する、4ビット・デイジタル
・コードを与える異なった形態にカットされた窓部を有
する事によって4つの別個のトラックでもってデイジタ
ル・コード化された透明なマスクよりなるエンコーダ組
立体は、位置フラグのデイジタル・コード・パターン部
のトラックと整夕1ル、位置フラグの移動路に並んだ4
つのホトセルの対応する組を備えている。
反対側の光源がエンコーダによって支持されたポトセル
の組を照明する。
更に制御手段は、入力信号をエンコーダから出てくる信
号と比較する制御用プロセッサへの入力手段を構成する
押しボタンで動作するスイッチを有する。
作動機構は、2方向に滑動部を移動させる様に滑動部に
対して作動的に結合された水圧シリンダ部と、水圧シリ
ンダに対して加圧水圧流体を加えるのを制御するソレノ
イド弁手段とを含む。
制御用プロセッサは更に信号の間のその様な比較のため
の、第1及び第2の比較論理素子を含む。
第1図、第2図及び第3図において、自動MLCスクリ
ーニング装置のスクリーニング・ステーションにおける
グリーン・シート支持固定治具の速度及び位置を制御す
るための、本発明の一実施例を構成する主要な成分が示
されている。
参照番号10で全体的に示されるスクリーニング装置は
複数の長手力向に離隔して酬列された処理ステーション
を有する。
個々の作業片すなわちグリーンセラミック・シートのス
クリーニングが多重スクリーニング・ステーションにお
いて実施されるいくつかのスクリーニング・スデーショ
ン12のうちの1つのみが図示される。
本発明はスクリーニング・ステーション12内に設けら
れる速度及び位置制御装置に係る。
スクリーニング・ステーション12に加えて、スクリー
ニング装置10においては、そのスクリーニング・ステ
ーションの各側部において、自動的に行なわれる装置の
機能もしくは動作に対して装荷ステーション及び取り出
しステーションが関連付けられる。
装置の動作手順は装荷ステーションからグリーン・シー
トのスクリーニングが行なわれるスクリーニング・ステ
ーション12への、スクリーニング処理されていないグ
リーン・セラミックの移動を含む。
続いて、それはスクリーニング・ステーションから、ス
クリーニングされたグリーン・シートを手作業によって
もしくは自動的に装置から取り出す取り出しステーショ
ンへと移動される。
スクリーニング装置は長手方向に間を置いて配置された
全体としてU字型の垂直壁部14を含む。
壁部14は柱部16を有し、それに対して一対の基部レ
ール即ちトラック18がのせられている。
トラック18は装置の長手方向に延びている。
長手力向には種々の装荷ステーション、スクリーニング
・ステーション並びに好ましくは装置の中央部に共通の
取り出しステーションが設けられる。
基部レール即ち1・ラック18の上には全体として20
で示される長手方向に移動し得るキャリッジが配置され
る。
これは基部レール18から上方及び下方へ伸びる側壁部
24を対向する側部において支持するシャシ一部22を
有する。
側壁部24の外側に対して、ピン28によって回転する
ローラ26が増りつけられている。
ローラ26は軸まわりに、自由に回転するとともに、組
立体の対向側において基部レール18の上面及び底面と
接触している。
従って、キャリツジ20は横方向において対向する基部
レール18によって画成される水平路に沿って動く事が
できる。
キャリッジ20は平面図で見ると全体として矩形の型を
している。
シャシー22は、30で全体的に示される垂直方向に変
位し得るグリーン・シート支持固定治具を滑動し得る様
な状態で乗せている。
治具も矩形であって、その寸法が全体としてシャシー2
2の寸法となっている。
更に、治具30はグリーン・シhGS及びその下のスペ
ーサー・シートSS(例えば真空圧によって治具30の
上部表面30a上に保持される)の寸法とほぼ同じ寸法
を有する。
表面30aは少なくともその一部部分において、矢印V
によって示されるように供給管32を介して治具30へ
与えられる内部真空圧につながる複数の孔を有する。
グリーン・シ一トGS及びスペーサー・シ一トSSは整
列開口を有し、それを通して治具30の表面30aから
上方に伸びる整列ピン34が貫通している。
整列ピンは34aで示されるような形をしており、スク
リーニング・ステーション12へ運ばれる前にスクリー
ニング・ステーション12から離れた図示されない装荷
ステーションにおいてグリーン・シ一トGS及びスペー
サー・シートSSが固定治具30へ移動される場合にそ
れらのシートの整列孔を通してピンを突出させる動作が
上記のピンの形によって促進される。
キャリツジ20に対してシャシー22の中心部内にブツ
シング36が設けられる。
ブツシング36を通して治具柱状部が可動突出される。
柱状部38はその下端において一対のカム・ホロワ・ロ
ーラ40を支持している。
それらは柱状部の対向する側に設けられ、柱状部38の
軸に対して直角をなす方向に伸びるピン42のまわりに
回転するように取付けられている。
カム・ホロワ・ローラ40の1つは通常はカム・レール
44(装置の全長にわたって長手方向に伸び、基部レー
ル18に対して平行であり且つそれの下方に位置してい
る)の上方端部44aの上にのっている。
柱状部38及び治具30の間には全体的に46で示され
るショック吸収機構が設けられている。
このショック吸収機構は少なくとも1つのバネ48を有
し、これによって、治具30がのせられているキャリツ
ジ・シャシー22に対して治具30が面を合わせた状態
で接触すること並びにカム・ホロワ・口−ラ40がカム
・レール44と接触することが保証される。
第2図において、キャリツジ30が基部レール18によ
って画成された通路に沿って長手方向に横切る様子が示
されている。
矢印50によって示されるように、キャリツジ20は右
から左へ1駆動されている。
即ちキャリツジは装荷ステーションからスクリーニング
・ステーション12の右の方へ、スクリーニング・ステ
ーション12内のある位置にまで、複雑な水圧シリンダ
52によってそのシリンダに対する水圧流体の印加時に
移動される。
シリンダ52の一端から突出するシリンダ棒部54がそ
の反対側の端部において、キャリツジ20から伸びる駆
動プレート56に対して接続されている。
即ちシリンダ棒部54が伸びることによって、キャリツ
ジは基部レール18に沿って長手力向にシフトされ、そ
れと共に垂直方向にシフトし得るグリーン・シートを支
持固定治具30が搬送される。
この移動の間に、カム・ホロワ・ローラ40はカム・レ
ール44の上方端部44aの上においてころがる。
この移動は、キャリツジ20及び治具30、とりわけグ
リーン・シ一トGSがスクリーニング・ステーション1
2内の全体的にMで示されるマスク(第1図)の下方に
おいて、それと整列する位置において終了する。
マスクMはマスク・クランプ58によって、グリーン・
シ一トGSの上のこのスクリーニング・ステーション内
の固定された位置においてクランプされる。
本発明は60によって全体的に示される治具高さ調整及
び治具速度制御のための装置に係る。
これはスクリーニング・ステーション12においてスク
リーニング装置フレームによって保持され、部分的にグ
リーン・シ一トGS及びその固定治具30をスクリーニ
ング・ステーション12内において固定された高さのマ
スクMに対して調整可能な状態で配置する働きをする。
機構60は長手方向に間隔をおいて配列された垂直壁部
14において、長手力向に伸びるブロック62を有する
それはその中央部においてレール部62aを有する。
基部62は全体として反対に配置されたT字状をなして
いる。
基部62の上には長いスライド・アセンブリ65が滑動
する状態でのせられている。
スライド・アセンブリ65は、ローラ・ベアリング66
によってレール部62a上に長手力向に滑動し得る様に
のせられたU字状のスライド基部64aを含むスライド
部64から成る。
スライド部64は中央の垂直カム部材を含み、その内部
に全体的に66で示される長い傾斜したカム・スロット
が形成されている。
それはゆるやかな傾斜のカム・スロット部66a及びよ
り急峻な傾斜を有するカム・スロット部66bを含む。
それらのカム・スロット部は相互の延長部である基部6
2に対してカム・ホロワ・ピボット腕部68が回転し得
る様に取付けられている。
カム・ホロワ腕部はその一端68aにおいてピン70に
よって基部62に対して回転される。
即ち、カム・ホロワは第2図の矢印72によって示され
るように回転する。
カム・ホロワ腕部68はその端部68bにおいて長い中
央溝部74を有する。
その溝の内部において、軸78によって回転し得る様に
カム・ホロワ・ローラ76が設けられている。
カム・ホロワ・ローラ76はその軸まわりに回転し、カ
ム・スロット66の幅よりもわずかに小さい直径を有し
、カム・スロット66の内部に配置されている。
レール62aの上において水平方向にスライド部64が
移動することによって、カム・ホロワは垂直方向に力が
加えられ、カム・スロット66の傾斜した形に従って移
動する。
基部62に対してZ高さ水圧駆動シリンダ80がその部
材の一端に固定的に取付けられている。
そのシリンダの一端からシリンダ棒部82が突出してお
り、スライド部64に対して直接結合されている。
スライド部64はシリンダ棒部82の伸び縮みの程度に
従って水平方向にシフトする。
カム・ホロワ腕部68の先端の上部に対して及びカム・
ホロワ・ローラ76と一線上に、上端から突出たシリン
ダ棒部86を有する初期高さ制御水圧シリンダ84が固
定的に取付けられている。
シリンダ棒部86は頭部86aを有する。
シリンダ棒部86の頭部86aはスプリング48に抗し
て上方に垂直に柱状部38を駆動するように治具柱状部
の底部に接触し、柱状部38がシリンダ棒部86と整列
した場合に、マスクMへ向かって上方へ移動させるよう
にキャリツジ30に対して力を加える。
この運動はスクリーニング装置10に対して用いられる
自動化されたプログラムによって制御されることが好ま
しい。
またこの運動は水圧シリンダ84の内部に設けられ、シ
リンダ棒部に対して固定された図示されないピストンに
対して水圧流体を印加し、これによって棒部86の端部
86aが柱状部38の底部に接触することによって行な
われる。
更に、付加的垂直運動は水圧シリンダ80の付勢による
スライド部64の横方向シフトに応答して軸70まわり
にカム・ホロワ・ピボット腕部68が回転することによ
って棒部86において加えられる。
初期高さ制御水圧シリンダ84の動作による柱状部38
及び治具30の運動はカム・スロット66及びカム・ホ
ロワ・ローラ76のカム・スロット及びホロワ動作によ
って治具30に与えられる付加的な立上りの前に行なわ
れることが好ましい。
シリンダ80に対して加圧された水圧流体を印加するこ
とによって、シリンダ棒部82が左ヘシフトされる。
この運動は第2図の矢印88によって示されている。
治具30はマスクMを保持するマスク保持クランプ・ア
センブリ59へ向って更に持ち上げられる。
そのような垂直運動の程度はカム・スロット部66a及
び66bの形によって制御される。
即ちそれはスライド部64の水平運動の程度によって制
.御される。
最初に、カム・ホロワ・ローラ76はこのカム・スロッ
トの急峻な部分66bを登り、次いでカム・スロット6
6のゆるやかな立上り部分66aにおいて優先プログラ
ムによってその運動を終了する。
第1図、第2図及び第3図においては、グIJ一ン・シ
ートのスクリーニングに続いて、カム・ホロワ・ローラ
40がカム・レール44の上部端部44aと接触するよ
うに治具30が下方へ移動されることを保証するための
機械的な構造が示されている。
これは一体的棒部124によって支持バ一部122にお
いて垂直運動するように取付けられているC字型の引張
ブロック120を用いることによって達成される。
棒部124はC字型のブロック120の基部120aか
ら突出しており、ブツシング126によってバ一部12
2内に滑動し得るように受入れられている。
更に、C字状のブロック120は、シリンダ棒部86が
縮む際に、頭部86aがCブロックを下方へ押しやるよ
うに下方腕部120aにおいてシリンダ棒部86の頭部
86aを支持している。
更にブロック120は上部腕部120bを含む。
これはカム・ホロワ・ローラ40の周辺と接触しており
、他のローラ40はカム・レール40と接触している。
これによって、シリンダ棒部86がCブロックを下方へ
駆動する場合に、それが柱状部38及びその柱状部38
に固定された治具30を下方に引き下げることが保証さ
れる。
もちろんこれは、スライド部64のカム・スロット66
内に配置されるカム・ホロワ76による柱状部38の更
に下方への移動に影響を与えない。
更に第1図及び第2図に示されるように、基部62の拡
大された足部62bは、垂直取付けプレート98によっ
て100によって全体的に示されたZ高さデイジタル位
置エンコーダ・アセンブリ及び全体的に100で示され
るマスク分離エンコーダ・アセンブリを支持している。
エンコーダ・アセンブリ100は水平方向に移動し得る
位置付けフラグ90に対して並置され、マスク分離エン
コーダ・アセンブリ102から長手力向に離れて配置さ
れている。
エンコーダ・アセンブリの各々は、例えばエンコーダ・
アセンブリ100に関して104(第4図)によって全
体的に示されるような横方向に配置された4つの静止し
たホトセルを含む。
マスク分離エンコーダ・アセンブリ102の2組の4つ
の静止したホトセル106を有する。
ホトセルは第5図に示されるように、フラグ・コードを
形成するようにカットされた窓部92、94及び96を
有する位置付けフラグにおける4つのトラックに対応す
る垂直高さの位置に配置されている。
更に第4図から理解されるように、4つの静止したホト
セル104のうちの第1の組のホトセルは、治具30に
よって運ばれるグリーン・シートGSがスクリーニング
位置にあり、その上方運動の終了点にある(上方のマス
クMに対して並置される)場合に、位置フラグ・スロッ
ト即ち窓部92、94及び96を通して到来する光のパ
ターンを検出するために用いられる。
ホトセル104から発生される信号によって、Z高さ位
置制御が行なわれる。
即ち治具30が与め選択されたZ高さ位置に達すると治
具の上方向運動を停止するようにその信号が用いられる
更に第4図において、システムが全体的に108で示さ
れる制御パネルを含む様子が示されている。
押ボタンマトリックス109は制御プロセッサ110へ
接続された押ボタンによって動作されるスイッチ111
もしくに他の手動スイッチ入力手段から成る。
プロセッサ110はエンコーダ・アセンブリ100を含
むシステム60のZ高さ位置制御のための並びにエンコ
ーダ・アセンブリ102を含むマスク分離位置制御のた
めの2つの比較論理素子112及び114を含む。
更に第4図は、スライド部64、急峻な傾斜部66b及
びわずかに傾斜した即ちゆるやかなカム・スロット部6
6aを含む2重セクション・カム・スロット、カム・ホ
ロワ・ローラ76、柱状部38、治具30及び位置付け
フラグ90を示している。
第4図において、スライド64はシリンダ棒部82を介
し7て水圧シリンダ80によって移動することができる
様子を示す。
矢印88によって示されるスライド部の運動は水圧シリ
ンダ80に対して圧力の加えられた水圧流体を制御印加
することによって与えられる。
水圧シリンダ80内のシリンダ棒部82に取付けられた
図示されないピストンに対して供給される水圧流体を制
御するために接続部118を介して水圧シリンダへ接続
された電磁弁116が用いられる。
システム内において電気的に発生された制御信号及び押
しボタン・マトリックス109によって制御パネル10
8から発牛された制御信号は一連のもしくは1つの制御
プロセッサ110を動作させるために別々に作用するか
もしくは信号によって取出されたプログラムに関連して
動作する。
第4図に簡略化して示すように、制御パネル108から
の制御信号は比較論理素子112及び114によって、
Z高さ位置及びマスク分離エンコーダ・アセンブリ10
0及び102から発生された信号と比較するためにプロ
セツザ110へ与えられる。
比較論理素子112はZ高さデイジタル位置エンコーダ
・アセンブリ100のホトセル104から直接信号を受
取り、論理素子114はマスク分離エンコーダ・アセン
ブリ102のホドセルからの信号を受取る。
エンコーダ・アセンブリ100及び102のホトセルへ
の光の光学的通過は各々破線120及び122で示され
ている。
光はカム・スロット66を有するスライド部64及び位
置付けフラグ90が横切る際に共通位置付けフラグ90
のコード・スロットを通過する。
位置付けフラグ90はカム・スロット66の位置に関連
付けられ、スライド部64に対して長手力向に配置され
ている。
これによって、グリーン・シート固定治具30及びグリ
ーン・シートGSの初期高さ位置の所望の制御並びにマ
スクから、グリーン・シート固定治具の加速された降下
が電磁弁116を介して水圧シリンダ80の動作の速度
を増加させることによって達成される位置までのグリー
ン・シートの初期の遅速分離位置を示す信号の制御プロ
セッサへの印加のための所望の制御が達成される。
これらのエンコーダ・アセンブリを間隔をおいて配置す
ることによって、エンコーダ・アセンブリ100のホト
セル104がコード・スロットを介して照明されるとき
にエンコーダ・アセンブリ102のホトセル106はカ
ットされる。
逆の場合の同様なことが言える。システムの制御された
動作は以下の説明から容易に理解されるような方法に達
成される。
簡単に説明すると、スライド部64が右から左へと横切
る場合に、カム・ホロワ76がカム・スロット66の内
部においてころがり、これによってカムホロワ76はカ
ム・スロットの急峻な傾斜のスロット部66bにおける
初期位置からゆるやかな傾斜の部分66aヘシフトする
この運動の際に、第1の組のホトセル104は位置フラ
グ・スロット即ち窓部92、94及び96を通過する光
のパターンを検出する。
グリーン・シ一ト治具がスクリーニング位置の付近に来
ると、グリーン・シ一ト治具30の上方運動が終了する
比較論理素子112は、制御パネル108からの信号が
エンコーダ・アセンブリ100から送られたZ高さ位置
信号と比較されることによって、水圧シリンダ80への
水圧流体の供給を終了させる適当な電気的信号を電磁弁
16へ供給する。
これによって、グリーン・シートGSをマスクMに対面
させるようにグリーン・シート支持固定治具30がスク
リーニング・ステーション内の適当な高さに位置付けら
れた状態の位置にスライド部64がロックされる。
スクリーニング動作に続いてキャリツジ20及び治具3
0がスクリーニング・ステーション12から取出しステ
ーション(図示されない)までレール20に沿って移動
する前に下方に即ちマスクMから離れるようにグリーン
・シ一トGsを移動させねばならない。
最初にプログラムの制御によって、左から右へのスライ
ド部64のゆっくりした運動を生ぜしめるように水圧シ
リンダに対して水圧流体が印加される。
カム・ホロワ・ローラ76がカムのゆるい傾斜部分66
aにあることによって、マスクからのグリーン・シート
の初期的分離は非常にゆっくりとしている。
実際に、カム・スロット部66aの勾配はわずか0.0
23cm(0.009インチ)であることが好ましい。
これによって、グリーン・シ一ト治具の垂直運動及びス
ライド・アセンブリの水平運動の間のおよそ1000対
1の比率によって高度の位置付け精度が達成されるのみ
ならず、それによってグリーンシ一ト及び治具の間の非
常にゆっくりとした分離が保証され、その治具によって
支持された可撓性の、こわれやすい薄いセラミック・グ
リーン・シ一トGsに対する損傷が阻止される。
左から右へのスライド部64の復帰運動の間に、マスク
分離エンコーダ102の第2の組のホトセル検出器10
6が位置付けフラグのスロット92、94及び96′を
通過した光のパターンの検出時に制御信号を発生する。
グリーン・シ一トGSがステンシル・マスクMから十分
に分離されたマシン・サイクルにおける時刻に、エンコ
ーダ・アセンブリ102からの信号及び制御パネル10
8からの信号の比較によって比較論理素子114は電磁
弁116へ制御信号を与える。
これによって水圧シリンダ80は右へスライド部64を
急速に駆動するための増大された比率の水圧流体を受取
り、よりずっと急速な速度でグリーン・シート治具30
の下方運動の残部が行なわれる。
本発明は、グリーン・シ一ト治具の垂直運動及びスライ
ド・アセンブリの水平運動の間の1000対1の比によ
って高度の位置付け精度を与え、グリーン・シ一ト治具
よりも1000倍も速くスライド・アセンブリを移動さ
せるものである。
一旦グリーン・シ一トGSがマスクから初期分離される
と、固定治具30が急速に下方に移動されることによっ
て全体的なサイクル・タイムが短縮される。
Z高さ及びマスク分離位置の選択及び調整は制御パネル
押しボタン111によって容易に達成される。
その代りに、前述のようにその位置が比較論理素子11
2及び114を有ずる一連のもしくは1個の制薗プロセ
ッサ110におけるソフトウエアによって選択すること
ができる。
本発明は、改良された位置付け精度、ステンシル・マス
クからのグリーン・シートのより信頼し得る剥離並びに
グリーン・シートのスクリーニング動作のための短縮さ
れたサイクル・タイムを保証するものである。
これによって、生産性が増大され、満足すべき状態にス
クリーニングされたグリーン・シートの歩どまりを増大
させることができる。
更に、第4図の簡略化された図及び第1図、第2図及び
第3図のグリーン・シート固定治具、高さ及び位置制御
システム60における機械的な成分を比較することによ
って、スライド部64の水平運動の程度によって治具3
0の垂直高さが決定されるだけではなく、水圧シリンダ
84のストロークによって付加的な垂直方向の上昇かも
たらされることを理解されたい。
【図面の簡単な説明】
第1図及び第2図は改良されたMLCスクリーニング装
置の断面図である。 第3図は第2図に示される装置の一部分の断面図である
。 第4図は本発明のグリーン・シート支持固定治具速度及
び位置制御システムを説明する図である。 第5図は位置付けフラグのコード化された部分を示す図
である。 38……柱状部、64……スライド部、66……カム・
スロット、66a……ゆるい傾斜のカムスロット部、6
6b……急峻な傾斜のカム・スロット部、76……カム
・ホロワ・ローラ、8o……水圧シリンダ、82……シ
リンダ棒部、9o……位置付けフラグ、100,102
……エンコーダ・アセンブリ、104,106……ホト
セル、108……制御パネル、110……プロセッサ、
112,114……比較論理素子、115……電磁弁。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1 ステンシル・マスクを通して下方のセラミック・グ
    リーン・シートへ導電材をスクリーニングするためのス
    クリーニング装置において、上記ステンシル・マスクに
    関して上記セラミック・グリーン・シートを垂直方向に
    移動する様に上記セラミック・グリーン・シートを支持
    するためのグリーン・シート支持固定治具と、 機械的移動を生せしめるための付勢機構と、上記ステン
    シル・マスク直下のスクリーニング位置内へ及び該位置
    から外へ上記グリーン・シート支持固定治具を移動する
    ために上記グリーン・シート支持固定治具に対して上記
    付勢機構を動作的に結合する可動な駆動機構と、 上記スクリーニング位置に関する、上記グリーン・シー
    ト支持固定治具の位置を示す信号を発生するための、上
    記駆動機構へ結合された位置指示機構と、 上記付勢機構に結合された制御機構であって、上記グリ
    ーン・シート支持固定治具が上記ステンシル・マスクか
    ら離れるにつれて、上記付勢機構をして上記固定治具を
    第1の初期速度で移動させるため並びに上記固定治具が
    上記ステンシル・マスクから所定の距離の位置に達した
    後に、上記付勢機構をして第2のより速い速度で上記固
    定治具を移動させるための、上記グリーン・シート支持
    固定治具が上記スクリーニング位置から離れる方向に移
    動しつつある時に、位置指示信号に応答する手段を有す
    る上記制御機構とを含む事を特徴とするスクリーニング
    装置。 2 上記可動な駆動機構が水平にシフトしうるスライド
    部からなり、該スライド部が水平方向に傾いた、急峻な
    傾斜部及びゆるやかな傾斜部よりなるカム・スロットを
    有し、上記グリーン・シート支持固定治具が上記水平方
    向に移動しうるスライド部の上で垂直運動し得る様に配
    置され、上記固定治具に結合されたカム・ホロワ・ロー
    ラが上記カム・スロット内に配置されており、上記スラ
    イド部の水平運動によって、上記カム・ホロワが上記カ
    ム・スロットの上記急峻な傾斜部内にある時に、上記固
    定治具をして相対的に速い速度で垂直方向に移動させ、
    上記カム・ホロワが上記ゆるやかな傾斜部内にある時に
    、上記固定治具をしてより遅い速度で移動させる様構成
    されてなる特許請求の範囲第1項記載のスクリーニング
    装置。
JP56119454A 1980-10-07 1981-07-31 スクリ−ニング装置 Expired JPS582479B2 (ja)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US06/194,727 US4304536A (en) 1980-10-07 1980-10-07 Green sheet support fixture speed and position control system for a screening machine

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS5764992A JPS5764992A (en) 1982-04-20
JPS582479B2 true JPS582479B2 (ja) 1983-01-17

Family

ID=22718697

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP56119454A Expired JPS582479B2 (ja) 1980-10-07 1981-07-31 スクリ−ニング装置

Country Status (4)

Country Link
US (1) US4304536A (ja)
EP (1) EP0049350B1 (ja)
JP (1) JPS582479B2 (ja)
DE (1) DE3168782D1 (ja)

Families Citing this family (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4453984A (en) * 1982-06-30 1984-06-12 International Business Machines Corporation Method for removing electrically conductive paste from a screening mask
US4902371A (en) * 1988-12-12 1990-02-20 International Business Machines Corporation Mask shock absorbing system and method of using the same
JPH0770875B2 (ja) * 1990-04-27 1995-07-31 ジューキ株式会社 チップ部品装着装置の装着ヘッド制御方法及びその装置
US5174201A (en) * 1991-06-07 1992-12-29 International Business Machines Corporation Thick film mask separation detection system
US5410806A (en) * 1993-09-15 1995-05-02 Lsi Logic Corporation Method for fabricating conductive epoxy grid array semiconductors packages
US5695473A (en) * 1994-07-27 1997-12-09 Sims Deltec, Inc. Occlusion detection system for an infusion pump
JP3862697B2 (ja) * 2003-12-26 2006-12-27 株式会社ジャムコ 熱硬化複合材料の成形装置

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3751204A (en) * 1969-03-12 1973-08-07 Rayette Faberge Apparatus for screen molding three-dimensional objects
US4068994A (en) * 1976-11-11 1978-01-17 International Business Machines Corporation Apparatus for the printing of ceramic green sheets
US4186918A (en) * 1977-12-12 1980-02-05 International Business Machines Corporation Method and apparatus for locating and aligning flimsy sheets

Also Published As

Publication number Publication date
EP0049350B1 (en) 1985-02-06
JPS5764992A (en) 1982-04-20
US4304536A (en) 1981-12-08
DE3168782D1 (en) 1985-03-21
EP0049350A3 (en) 1982-12-01
EP0049350A2 (en) 1982-04-14

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US4405276A (en) Apparatus for unstacking planks
US4905592A (en) Screen-printing machine
JPS5853332B2 (ja) プリント用スクリ−ンの塗布方法及びその装置
US5181646A (en) Lead frame holding apparatus for use in wire bonders
JPS582479B2 (ja) スクリ−ニング装置
US4950128A (en) Automatic loading unit for sheet units onto machines equipped with a conveyor
US5302077A (en) Magazine conveying apparatus
US5086907A (en) Glass sheet transferring device
JP2507741B2 (ja) 板材の原点位置決め装置
JPH08301428A (ja) ワーク搬送装置
KR100367907B1 (ko) 반도체 마킹 장비의 스트립 취출 장치
US3672250A (en) Cutting press having improved means for handling cut product
JPH0570529B2 (ja)
JP2714300B2 (ja) プリント基板の支持装置
JP2784940B2 (ja) マーキング方法
CN117589688B (zh) 一种桥梁伸缩缝钢结构检测装置及其方法
CN212658766U (zh) 一种全自动多工序加工装置
JPS6045018B2 (ja) 被加工物の自動送り装置
SU725901A1 (ru) Устройство дл установки и сн ти прессформ со стола пресса
SU953042A1 (ru) Устройство дл разрезани настила полотен на закройном столе
JPH05208226A (ja) 板条材の連続加工装置
US4987762A (en) Individually variable multi-station drawing apparatus
SU719751A1 (ru) Устройство дл ротационного выдавливани полых изделий
US3537344A (en) Cutting glass
JPH0134954Y2 (ja)