JPS582479B2 - スクリ−ニング装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 本発明はセラミック・グリーン・シートのペースト・ス
クリーニングのためのスクリーニング装置に係り、更に
具体的には本発明は激しい反復使用に耐えるスクリーニ
ング装置であって、スクリーニング工程においてステン
シル・マスクの下で多層セラミック・グリーン・シート
を歩進的に調整し得る高さに敏速に配置し、スクリーニ
ングに続いて、加速された２ステップのグリーン・シー
ト及びマスクの分離を可能ならしめるスクリーニング装
置に係る。

本発明の主な目的は、遅い初期速度でステンシル・マス
クから分離されるグリーン・シート支持固定治具を用い
、一旦マスク及びグリーン・シート間の初期分離が達成
されるや、上記治具の分離を加速させる事によってスク
リーニング装置のサイクル・タイムが相当に減じられる
改良された多層セラミック（以下ＭＬＣという）スクリ
ーニン・グ装置を提供することにある。

本発明の更に他の目的は、スクリーニング位置において
スクリーニングを行なうためにステンシル・マスクに関
してグリーン・シートを非常に正確な、しかも容易に調
整しうる位置に配置しうる改良されたＭＬＣスクリーニ
ング装置を提供する事にある。

本発明の更に他の目的は、２速度分離並びにマシン・サ
イクル・タイムの減縮を促進させるために治具を精密に
制御された垂直スクリーニング位置へ移動させる様に動
作する可動駆動機構の運動を感知するための、続いてグ
リーン・シートのスクリーン印刷後にスクリーニング位
置においてステンシル・マスクからグリーン・シートが
歩進的に分離した事を感知するための光学的感知機構装
置を採用する、改良されたＭＬＣスクリーニング装置を
提供する事にある。

本発明の更に他の目的は、ステンシル・マスクに関して
、グリーン・シート固定治具の垂直高さと、グリーン・
シート固定治具をその下方の位置まで戻す場合の分離速
度における変化とを匍御する為に、共通光学フラグ（ｆ
ｌａｇ）及び２重エンコーダ装置を用いる改良されたＭ
ＬＣスクリーニング装置を提供する事にある。

本発明の更に他の目的は、固定治具及びグリーンシ一ト
を上方のマスクから下げる間のその治具の運動速度では
なくて、グリーン・シート支持固定治具の位置を感知す
る事によって、上方のマスクからのグリーン・シートの
分離を制御する改良さＮ，ＭＬＣスクリーニング装置を
提供する事にある。

本発明の自動スクリーニング装置はステンシルマスクの
下のセラミック・グリーン・シートを支持するためのグ
リーン・シート支持固定治具を含む。

グリーン・シート支持固定治具はマスクへ向う方向及び
マスクから離れる方向に垂直に移動できる。

可動駆動機構が作動機構をグリーン・シート支持固定治
具へ作動的に結合する。

駆動機構に結合された位置指示機構が、スクリーニング
位置に関するグリーン・シート支持固定治其の位置を示
す信号を生じる。

作動機構へ結合された制御機構は、グリーン・シート支
持固定治具がスクリーニング位置から離れる方向に移動
しつつある場合に、位置指示信号に応答する第１の手段
を含む。

これは、作動機構をしてステンシル・マスクから最初に
離れる際に第１の相対的に遅い初期速度で上記治具を移
動させ且つグリーン・シートがマスクからある所定距離
だけ離れた後に第２のより速い速度で上記治具を移動さ
せるため用いられる。

更に、制御機構は、グリーン・シートの厚さの変動等を
補償するために、スクリーニング位置に配置されて、ス
テンシル・マスクに直接隣接するグリーン・シート支持
固定治具の垂直高さを可変的に調整するために、固定治
具がスクリーニング位置へ向って移動される場合に、位
置指示信号に応答する第２の手段を含む。

可動駆動機構は、一体的な急勾配の浅い傾斜部分をもつ
水平方向に曲ったカム・スロットを含む滑動部を有する
水平シフトの可能な手段を用いる。

グリーン・シート支持固定治具はカム・スロット内に配
置されたカム・ローラ・ホロワを有する。

滑動部の移動によって、グリーン・シート支持固定治具
は、カム・ホロワがカム・スロットの急峻な傾斜部にあ
る場合に垂直方向に相対的に急速に移動し、カム・ホロ
ワがゆるやかな傾斜カム・スロット部にある場合により
遅い速度で移動する。

２方向のコード化位置フラグが駆動機構に作動的に結合
され、それと共に移動する。

シート支持固定治具がスクリーニング位置へ向って移動
しつつある場合に、上記治具の位置を示す信号を発生す
るために、コード化位置フラグの移動路に隣接して固定
治具高さ位置エンコーダ装置が設けられる。

コード化位置付けフラグの移動路に隣接して固定治具高
さ位置エンコーダ装置から長手方向に離れて、マスク分
離位置エンコーダ装置が設けられる。

マスク分離位置エンコーダ装置は、グリーン・シートが
スクリーニング位置においてステンシル・マスクから分
離されるにつれて、位置指示信号を与える。

好ましくは、コード化位置フラグは、カム・スロットの
急峻な傾斜部及びゆるやかな傾斜部内のカム・ホロワの
運動の程度に対応する滑動組立体の運動の方向に沿う１
５の異なるステップを画成する、４ビット・デイジタル
・コードを与える異なった形態にカットされた窓部を有
する事によって４つの別個のトラックでもってデイジタ
ル・コード化された透明なマスクよりなるエンコーダ組
立体は、位置フラグのデイジタル・コード・パターン部
のトラックと整夕１ル、位置フラグの移動路に並んだ４
つのホトセルの対応する組を備えている。

反対側の光源がエンコーダによって支持されたポトセル
の組を照明する。

更に制御手段は、入力信号をエンコーダから出てくる信
号と比較する制御用プロセッサへの入力手段を構成する
押しボタンで動作するスイッチを有する。

作動機構は、２方向に滑動部を移動させる様に滑動部に
対して作動的に結合された水圧シリンダ部と、水圧シリ
ンダに対して加圧水圧流体を加えるのを制御するソレノ
イド弁手段とを含む。

制御用プロセッサは更に信号の間のその様な比較のため
の、第１及び第２の比較論理素子を含む。

第１図、第２図及び第３図において、自動ＭＬＣスクリ
ーニング装置のスクリーニング・ステーションにおける
グリーン・シート支持固定治具の速度及び位置を制御す
るための、本発明の一実施例を構成する主要な成分が示
されている。

参照番号１０で全体的に示されるスクリーニング装置は
複数の長手力向に離隔して酬列された処理ステーション
を有する。

個々の作業片すなわちグリーンセラミック・シートのス
クリーニングが多重スクリーニング・ステーションにお
いて実施されるいくつかのスクリーニング・スデーショ
ン１２のうちの１つのみが図示される。

本発明はスクリーニング・ステーション１２内に設けら
れる速度及び位置制御装置に係る。

スクリーニング・ステーション１２に加えて、スクリー
ニング装置１０においては、そのスクリーニング・ステ
ーションの各側部において、自動的に行なわれる装置の
機能もしくは動作に対して装荷ステーション及び取り出
しステーションが関連付けられる。

装置の動作手順は装荷ステーションからグリーン・シー
トのスクリーニングが行なわれるスクリーニング・ステ
ーション１２への、スクリーニング処理されていないグ
リーン・セラミックの移動を含む。

続いて、それはスクリーニング・ステーションから、ス
クリーニングされたグリーン・シートを手作業によって
もしくは自動的に装置から取り出す取り出しステーショ
ンへと移動される。

スクリーニング装置は長手方向に間を置いて配置された
全体としてＵ字型の垂直壁部１４を含む。

壁部１４は柱部１６を有し、それに対して一対の基部レ
ール即ちトラック１８がのせられている。

トラック１８は装置の長手方向に延びている。

長手力向には種々の装荷ステーション、スクリーニング
・ステーション並びに好ましくは装置の中央部に共通の
取り出しステーションが設けられる。

基部レール即ち１・ラック１８の上には全体として２０
で示される長手方向に移動し得るキャリッジが配置され
る。

これは基部レール１８から上方及び下方へ伸びる側壁部
２４を対向する側部において支持するシャシ一部２２を
有する。

側壁部２４の外側に対して、ピン２８によって回転する
ローラ２６が増りつけられている。

ローラ２６は軸まわりに、自由に回転するとともに、組
立体の対向側において基部レール１８の上面及び底面と
接触している。

従って、キャリツジ２０は横方向において対向する基部
レール１８によって画成される水平路に沿って動く事が
できる。

キャリッジ２０は平面図で見ると全体として矩形の型を
している。

シャシー２２は、３０で全体的に示される垂直方向に変
位し得るグリーン・シート支持固定治具を滑動し得る様
な状態で乗せている。

治具も矩形であって、その寸法が全体としてシャシー２
２の寸法となっている。

更に、治具３０はグリーン・シｈＧＳ及びその下のスペ
ーサー・シートＳＳ（例えば真空圧によって治具３０の
上部表面３０ａ上に保持される）の寸法とほぼ同じ寸法
を有する。

表面３０ａは少なくともその一部部分において、矢印Ｖ
によって示されるように供給管３２を介して治具３０へ
与えられる内部真空圧につながる複数の孔を有する。

グリーン・シ一トＧＳ及びスペーサー・シ一トＳＳは整
列開口を有し、それを通して治具３０の表面３０ａから
上方に伸びる整列ピン３４が貫通している。

整列ピンは３４ａで示されるような形をしており、スク
リーニング・ステーション１２へ運ばれる前にスクリー
ニング・ステーション１２から離れた図示されない装荷
ステーションにおいてグリーン・シ一トＧＳ及びスペー
サー・シートＳＳが固定治具３０へ移動される場合にそ
れらのシートの整列孔を通してピンを突出させる動作が
上記のピンの形によって促進される。

キャリツジ２０に対してシャシー２２の中心部内にブツ
シング３６が設けられる。

ブツシング３６を通して治具柱状部が可動突出される。

柱状部３８はその下端において一対のカム・ホロワ・ロ
ーラ４０を支持している。

それらは柱状部の対向する側に設けられ、柱状部３８の
軸に対して直角をなす方向に伸びるピン４２のまわりに
回転するように取付けられている。

カム・ホロワ・ローラ４０の１つは通常はカム・レール
４４（装置の全長にわたって長手方向に伸び、基部レー
ル１８に対して平行であり且つそれの下方に位置してい
る）の上方端部４４ａの上にのっている。

柱状部３８及び治具３０の間には全体的に４６で示され
るショック吸収機構が設けられている。

このショック吸収機構は少なくとも１つのバネ４８を有
し、これによって、治具３０がのせられているキャリツ
ジ・シャシー２２に対して治具３０が面を合わせた状態
で接触すること並びにカム・ホロワ・口−ラ４０がカム
・レール４４と接触することが保証される。

第２図において、キャリツジ３０が基部レール１８によ
って画成された通路に沿って長手方向に横切る様子が示
されている。

矢印５０によって示されるように、キャリツジ２０は右
から左へ１駆動されている。

即ちキャリツジは装荷ステーションからスクリーニング
・ステーション１２の右の方へ、スクリーニング・ステ
ーション１２内のある位置にまで、複雑な水圧シリンダ
５２によってそのシリンダに対する水圧流体の印加時に
移動される。

シリンダ５２の一端から突出するシリンダ棒部５４がそ
の反対側の端部において、キャリツジ２０から伸びる駆
動プレート５６に対して接続されている。

即ちシリンダ棒部５４が伸びることによって、キャリツ
ジは基部レール１８に沿って長手力向にシフトされ、そ
れと共に垂直方向にシフトし得るグリーン・シートを支
持固定治具３０が搬送される。

この移動の間に、カム・ホロワ・ローラ４０はカム・レ
ール４４の上方端部４４ａの上においてころがる。

この移動は、キャリツジ２０及び治具３０、とりわけグ
リーン・シ一トＧＳがスクリーニング・ステーション１
２内の全体的にＭで示されるマスク（第１図）の下方に
おいて、それと整列する位置において終了する。

マスクＭはマスク・クランプ５８によって、グリーン・
シ一トＧＳの上のこのスクリーニング・ステーション内
の固定された位置においてクランプされる。

本発明は６０によって全体的に示される治具高さ調整及
び治具速度制御のための装置に係る。

これはスクリーニング・ステーション１２においてスク
リーニング装置フレームによって保持され、部分的にグ
リーン・シ一トＧＳ及びその固定治具３０をスクリーニ
ング・ステーション１２内において固定された高さのマ
スクＭに対して調整可能な状態で配置する働きをする。

機構６０は長手方向に間隔をおいて配列された垂直壁部
１４において、長手力向に伸びるブロック６２を有する
。

それはその中央部においてレール部６２ａを有する。

基部６２は全体として反対に配置されたＴ字状をなして
いる。

基部６２の上には長いスライド・アセンブリ６５が滑動
する状態でのせられている。

スライド・アセンブリ６５は、ローラ・ベアリング６６
によってレール部６２ａ上に長手力向に滑動し得る様に
のせられたＵ字状のスライド基部６４ａを含むスライド
部６４から成る。

スライド部６４は中央の垂直カム部材を含み、その内部
に全体的に６６で示される長い傾斜したカム・スロット
が形成されている。

それはゆるやかな傾斜のカム・スロット部６６ａ及びよ
り急峻な傾斜を有するカム・スロット部６６ｂを含む。

それらのカム・スロット部は相互の延長部である基部６
２に対してカム・ホロワ・ピボット腕部６８が回転し得
る様に取付けられている。

カム・ホロワ腕部はその一端６８ａにおいてピン７０に
よって基部６２に対して回転される。

即ち、カム・ホロワは第２図の矢印７２によって示され
るように回転する。

カム・ホロワ腕部６８はその端部６８ｂにおいて長い中
央溝部７４を有する。

その溝の内部において、軸７８によって回転し得る様に
カム・ホロワ・ローラ７６が設けられている。

カム・ホロワ・ローラ７６はその軸まわりに回転し、カ
ム・スロット６６の幅よりもわずかに小さい直径を有し
、カム・スロット６６の内部に配置されている。

レール６２ａの上において水平方向にスライド部６４が
移動することによって、カム・ホロワは垂直方向に力が
加えられ、カム・スロット６６の傾斜した形に従って移
動する。

基部６２に対してＺ高さ水圧駆動シリンダ８０がその部
材の一端に固定的に取付けられている。

そのシリンダの一端からシリンダ棒部８２が突出してお
り、スライド部６４に対して直接結合されている。

スライド部６４はシリンダ棒部８２の伸び縮みの程度に
従って水平方向にシフトする。

カム・ホロワ腕部６８の先端の上部に対して及びカム・
ホロワ・ローラ７６と一線上に、上端から突出たシリン
ダ棒部８６を有する初期高さ制御水圧シリンダ８４が固
定的に取付けられている。

シリンダ棒部８６は頭部８６ａを有する。

シリンダ棒部８６の頭部８６ａはスプリング４８に抗し
て上方に垂直に柱状部３８を駆動するように治具柱状部
の底部に接触し、柱状部３８がシリンダ棒部８６と整列
した場合に、マスクＭへ向かって上方へ移動させるよう
にキャリツジ３０に対して力を加える。

この運動はスクリーニング装置１０に対して用いられる
自動化されたプログラムによって制御されることが好ま
しい。

またこの運動は水圧シリンダ８４の内部に設けられ、シ
リンダ棒部に対して固定された図示されないピストンに
対して水圧流体を印加し、これによって棒部８６の端部
８６ａが柱状部３８の底部に接触することによって行な
われる。

更に、付加的垂直運動は水圧シリンダ８０の付勢による
スライド部６４の横方向シフトに応答して軸７０まわり
にカム・ホロワ・ピボット腕部６８が回転することによ
って棒部８６において加えられる。

初期高さ制御水圧シリンダ８４の動作による柱状部３８
及び治具３０の運動はカム・スロット６６及びカム・ホ
ロワ・ローラ７６のカム・スロット及びホロワ動作によ
って治具３０に与えられる付加的な立上りの前に行なわ
れることが好ましい。

シリンダ８０に対して加圧された水圧流体を印加するこ
とによって、シリンダ棒部８２が左ヘシフトされる。

この運動は第２図の矢印８８によって示されている。

治具３０はマスクＭを保持するマスク保持クランプ・ア
センブリ５９へ向って更に持ち上げられる。

そのような垂直運動の程度はカム・スロット部６６ａ及
び６６ｂの形によって制御される。

即ちそれはスライド部６４の水平運動の程度によって制
．御される。

最初に、カム・ホロワ・ローラ７６はこのカム・スロッ
トの急峻な部分６６ｂを登り、次いでカム・スロット６
６のゆるやかな立上り部分６６ａにおいて優先プログラ
ムによってその運動を終了する。

第１図、第２図及び第３図においては、グＩＪ一ン・シ
ートのスクリーニングに続いて、カム・ホロワ・ローラ
４０がカム・レール４４の上部端部４４ａと接触するよ
うに治具３０が下方へ移動されることを保証するための
機械的な構造が示されている。

これは一体的棒部１２４によって支持バ一部１２２にお
いて垂直運動するように取付けられているＣ字型の引張
ブロック１２０を用いることによって達成される。

棒部１２４はＣ字型のブロック１２０の基部１２０ａか
ら突出しており、ブツシング１２６によってバ一部１２
２内に滑動し得るように受入れられている。

更に、Ｃ字状のブロック１２０は、シリンダ棒部８６が
縮む際に、頭部８６ａがＣブロックを下方へ押しやるよ
うに下方腕部１２０ａにおいてシリンダ棒部８６の頭部
８６ａを支持している。

更にブロック１２０は上部腕部１２０ｂを含む。

これはカム・ホロワ・ローラ４０の周辺と接触しており
、他のローラ４０はカム・レール４０と接触している。

これによって、シリンダ棒部８６がＣブロックを下方へ
駆動する場合に、それが柱状部３８及びその柱状部３８
に固定された治具３０を下方に引き下げることが保証さ
れる。

もちろんこれは、スライド部６４のカム・スロット６６
内に配置されるカム・ホロワ７６による柱状部３８の更
に下方への移動に影響を与えない。

更に第１図及び第２図に示されるように、基部６２の拡
大された足部６２ｂは、垂直取付けプレート９８によっ
て１００によって全体的に示されたＺ高さデイジタル位
置エンコーダ・アセンブリ及び全体的に１００で示され
るマスク分離エンコーダ・アセンブリを支持している。

エンコーダ・アセンブリ１００は水平方向に移動し得る
位置付けフラグ９０に対して並置され、マスク分離エン
コーダ・アセンブリ１０２から長手力向に離れて配置さ
れている。

エンコーダ・アセンブリの各々は、例えばエンコーダ・
アセンブリ１００に関して１０４（第４図）によって全
体的に示されるような横方向に配置された４つの静止し
たホトセルを含む。

マスク分離エンコーダ・アセンブリ１０２の２組の４つ
の静止したホトセル１０６を有する。

ホトセルは第５図に示されるように、フラグ・コードを
形成するようにカットされた窓部９２、９４及び９６を
有する位置付けフラグにおける４つのトラックに対応す
る垂直高さの位置に配置されている。

更に第４図から理解されるように、４つの静止したホト
セル１０４のうちの第１の組のホトセルは、治具３０に
よって運ばれるグリーン・シートＧＳがスクリーニング
位置にあり、その上方運動の終了点にある（上方のマス
クＭに対して並置される）場合に、位置フラグ・スロッ
ト即ち窓部９２、９４及び９６を通して到来する光のパ
ターンを検出するために用いられる。

ホトセル１０４から発生される信号によって、Ｚ高さ位
置制御が行なわれる。

即ち治具３０が与め選択されたＺ高さ位置に達すると治
具の上方向運動を停止するようにその信号が用いられる
。

更に第４図において、システムが全体的に１０８で示さ
れる制御パネルを含む様子が示されている。

押ボタンマトリックス１０９は制御プロセッサ１１０へ
接続された押ボタンによって動作されるスイッチ１１１
もしくに他の手動スイッチ入力手段から成る。

プロセッサ１１０はエンコーダ・アセンブリ１００を含
むシステム６０のＺ高さ位置制御のための並びにエンコ
ーダ・アセンブリ１０２を含むマスク分離位置制御のた
めの２つの比較論理素子１１２及び１１４を含む。

更に第４図は、スライド部６４、急峻な傾斜部６６ｂ及
びわずかに傾斜した即ちゆるやかなカム・スロット部６
６ａを含む２重セクション・カム・スロット、カム・ホ
ロワ・ローラ７６、柱状部３８、治具３０及び位置付け
フラグ９０を示している。

第４図において、スライド６４はシリンダ棒部８２を介
し７て水圧シリンダ８０によって移動することができる
様子を示す。

矢印８８によって示されるスライド部の運動は水圧シリ
ンダ８０に対して圧力の加えられた水圧流体を制御印加
することによって与えられる。

水圧シリンダ８０内のシリンダ棒部８２に取付けられた
図示されないピストンに対して供給される水圧流体を制
御するために接続部１１８を介して水圧シリンダへ接続
された電磁弁１１６が用いられる。

システム内において電気的に発生された制御信号及び押
しボタン・マトリックス１０９によって制御パネル１０
８から発牛された制御信号は一連のもしくは１つの制御
プロセッサ１１０を動作させるために別々に作用するか
もしくは信号によって取出されたプログラムに関連して
動作する。

第４図に簡略化して示すように、制御パネル１０８から
の制御信号は比較論理素子１１２及び１１４によって、
Ｚ高さ位置及びマスク分離エンコーダ・アセンブリ１０
０及び１０２から発生された信号と比較するためにプロ
セツザ１１０へ与えられる。

比較論理素子１１２はＺ高さデイジタル位置エンコーダ
・アセンブリ１００のホトセル１０４から直接信号を受
取り、論理素子１１４はマスク分離エンコーダ・アセン
ブリ１０２のホドセルからの信号を受取る。

エンコーダ・アセンブリ１００及び１０２のホトセルへ
の光の光学的通過は各々破線１２０及び１２２で示され
ている。

光はカム・スロット６６を有するスライド部６４及び位
置付けフラグ９０が横切る際に共通位置付けフラグ９０
のコード・スロットを通過する。

位置付けフラグ９０はカム・スロット６６の位置に関連
付けられ、スライド部６４に対して長手力向に配置され
ている。

これによって、グリーン・シート固定治具３０及びグリ
ーン・シートＧＳの初期高さ位置の所望の制御並びにマ
スクから、グリーン・シート固定治具の加速された降下
が電磁弁１１６を介して水圧シリンダ８０の動作の速度
を増加させることによって達成される位置までのグリー
ン・シートの初期の遅速分離位置を示す信号の制御プロ
セッサへの印加のための所望の制御が達成される。

これらのエンコーダ・アセンブリを間隔をおいて配置す
ることによって、エンコーダ・アセンブリ１００のホト
セル１０４がコード・スロットを介して照明されるとき
にエンコーダ・アセンブリ１０２のホトセル１０６はカ
ットされる。

逆の場合の同様なことが言える。システムの制御された
動作は以下の説明から容易に理解されるような方法に達
成される。

簡単に説明すると、スライド部６４が右から左へと横切
る場合に、カム・ホロワ７６がカム・スロット６６の内
部においてころがり、これによってカムホロワ７６はカ
ム・スロットの急峻な傾斜のスロット部６６ｂにおける
初期位置からゆるやかな傾斜の部分６６ａヘシフトする
。

この運動の際に、第１の組のホトセル１０４は位置フラ
グ・スロット即ち窓部９２、９４及び９６を通過する光
のパターンを検出する。

グリーン・シ一ト治具がスクリーニング位置の付近に来
ると、グリーン・シ一ト治具３０の上方運動が終了する
。

比較論理素子１１２は、制御パネル１０８からの信号が
エンコーダ・アセンブリ１００から送られたＺ高さ位置
信号と比較されることによって、水圧シリンダ８０への
水圧流体の供給を終了させる適当な電気的信号を電磁弁
１６へ供給する。

これによって、グリーン・シートＧＳをマスクＭに対面
させるようにグリーン・シート支持固定治具３０がスク
リーニング・ステーション内の適当な高さに位置付けら
れた状態の位置にスライド部６４がロックされる。

スクリーニング動作に続いてキャリツジ２０及び治具３
０がスクリーニング・ステーション１２から取出しステ
ーション（図示されない）までレール２０に沿って移動
する前に下方に即ちマスクＭから離れるようにグリーン
・シ一トＧｓを移動させねばならない。

最初にプログラムの制御によって、左から右へのスライ
ド部６４のゆっくりした運動を生ぜしめるように水圧シ
リンダに対して水圧流体が印加される。

カム・ホロワ・ローラ７６がカムのゆるい傾斜部分６６
ａにあることによって、マスクからのグリーン・シート
の初期的分離は非常にゆっくりとしている。

実際に、カム・スロット部６６ａの勾配はわずか０．０
２３ｃｍ（０．００９インチ）であることが好ましい。

これによって、グリーン・シ一ト治具の垂直運動及びス
ライド・アセンブリの水平運動の間のおよそ１０００対
１の比率によって高度の位置付け精度が達成されるのみ
ならず、それによってグリーンシ一ト及び治具の間の非
常にゆっくりとした分離が保証され、その治具によって
支持された可撓性の、こわれやすい薄いセラミック・グ
リーン・シ一トＧｓに対する損傷が阻止される。

左から右へのスライド部６４の復帰運動の間に、マスク
分離エンコーダ１０２の第２の組のホトセル検出器１０
６が位置付けフラグのスロット９２、９４及び９６′を
通過した光のパターンの検出時に制御信号を発生する。

グリーン・シ一トＧＳがステンシル・マスクＭから十分
に分離されたマシン・サイクルにおける時刻に、エンコ
ーダ・アセンブリ１０２からの信号及び制御パネル１０
８からの信号の比較によって比較論理素子１１４は電磁
弁１１６へ制御信号を与える。

これによって水圧シリンダ８０は右へスライド部６４を
急速に駆動するための増大された比率の水圧流体を受取
り、よりずっと急速な速度でグリーン・シート治具３０
の下方運動の残部が行なわれる。

本発明は、グリーン・シ一ト治具の垂直運動及びスライ
ド・アセンブリの水平運動の間の１０００対１の比によ
って高度の位置付け精度を与え、グリーン・シ一ト治具
よりも１０００倍も速くスライド・アセンブリを移動さ
せるものである。

一旦グリーン・シ一トＧＳがマスクから初期分離される
と、固定治具３０が急速に下方に移動されることによっ
て全体的なサイクル・タイムが短縮される。

Ｚ高さ及びマスク分離位置の選択及び調整は制御パネル
押しボタン１１１によって容易に達成される。

その代りに、前述のようにその位置が比較論理素子１１
２及び１１４を有ずる一連のもしくは１個の制薗プロセ
ッサ１１０におけるソフトウエアによって選択すること
ができる。

本発明は、改良された位置付け精度、ステンシル・マス
クからのグリーン・シートのより信頼し得る剥離並びに
グリーン・シートのスクリーニング動作のための短縮さ
れたサイクル・タイムを保証するものである。

これによって、生産性が増大され、満足すべき状態にス
クリーニングされたグリーン・シートの歩どまりを増大
させることができる。

更に、第４図の簡略化された図及び第１図、第２図及び
第３図のグリーン・シート固定治具、高さ及び位置制御
システム６０における機械的な成分を比較することによ
って、スライド部６４の水平運動の程度によって治具３
０の垂直高さが決定されるだけではなく、水圧シリンダ
８４のストロークによって付加的な垂直方向の上昇かも
たらされることを理解されたい。

【図面の簡単な説明】

第１図及び第２図は改良されたＭＬＣスクリーニング装
置の断面図である。 第３図は第２図に示される装置の一部分の断面図である
。 第４図は本発明のグリーン・シート支持固定治具速度及
び位置制御システムを説明する図である。 第５図は位置付けフラグのコード化された部分を示す図
である。 ３８……柱状部、６４……スライド部、６６……カム・
スロット、６６ａ……ゆるい傾斜のカムスロット部、６
６ｂ……急峻な傾斜のカム・スロット部、７６……カム
・ホロワ・ローラ、８ｏ……水圧シリンダ、８２……シ
リンダ棒部、９ｏ……位置付けフラグ、１００，１０２
……エンコーダ・アセンブリ、１０４，１０６……ホト
セル、１０８……制御パネル、１１０……プロセッサ、
１１２，１１４……比較論理素子、１１５……電磁弁。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １ ステンシル・マスクを通して下方のセラミック・グ
   リーン・シートへ導電材をスクリーニングするためのス
   クリーニング装置において、上記ステンシル・マスクに
   関して上記セラミック・グリーン・シートを垂直方向に
   移動する様に上記セラミック・グリーン・シートを支持
   するためのグリーン・シート支持固定治具と、 機械的移動を生せしめるための付勢機構と、上記ステン
   シル・マスク直下のスクリーニング位置内へ及び該位置
   から外へ上記グリーン・シート支持固定治具を移動する
   ために上記グリーン・シート支持固定治具に対して上記
   付勢機構を動作的に結合する可動な駆動機構と、 上記スクリーニング位置に関する、上記グリーン・シー
   ト支持固定治具の位置を示す信号を発生するための、上
   記駆動機構へ結合された位置指示機構と、 上記付勢機構に結合された制御機構であって、上記グリ
   ーン・シート支持固定治具が上記ステンシル・マスクか
   ら離れるにつれて、上記付勢機構をして上記固定治具を
   第１の初期速度で移動させるため並びに上記固定治具が
   上記ステンシル・マスクから所定の距離の位置に達した
   後に、上記付勢機構をして第２のより速い速度で上記固
   定治具を移動させるための、上記グリーン・シート支持
   固定治具が上記スクリーニング位置から離れる方向に移
   動しつつある時に、位置指示信号に応答する手段を有す
   る上記制御機構とを含む事を特徴とするスクリーニング
   装置。 ２ 上記可動な駆動機構が水平にシフトしうるスライド
   部からなり、該スライド部が水平方向に傾いた、急峻な
   傾斜部及びゆるやかな傾斜部よりなるカム・スロットを
   有し、上記グリーン・シート支持固定治具が上記水平方
   向に移動しうるスライド部の上で垂直運動し得る様に配
   置され、上記固定治具に結合されたカム・ホロワ・ロー
   ラが上記カム・スロット内に配置されており、上記スラ
   イド部の水平運動によって、上記カム・ホロワが上記カ
   ム・スロットの上記急峻な傾斜部内にある時に、上記固
   定治具をして相対的に速い速度で垂直方向に移動させ、
   上記カム・ホロワが上記ゆるやかな傾斜部内にある時に
   、上記固定治具をしてより遅い速度で移動させる様構成
   されてなる特許請求の範囲第１項記載のスクリーニング
   装置。