JPH0219458A

JPH0219458A - 金属蒸発装置

Info

Publication number: JPH0219458A
Application number: JP1129036A
Authority: JP
Inventors: Siegfried Kleyer; ジークフリート・クライヤー
Original assignee: Leybold AG
Current assignee: Balzers und Leybold Deutschland Holding AG
Priority date: 1988-05-24
Filing date: 1989-05-24
Publication date: 1990-01-23
Also published as: DE3817513C2; GB8903255D0; IT1229872B; IT8919421A0; DE3817513A1; US4979468A; GB2219008A; GB2219008B

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】〔産業上の利用分野〕本発明は、蒸発すべき材料用の蒸発源と、蒸発容器全収
容しかつ部分的に包囲する成形体と、好ましくは上側に
開口金偏えている内管と、内管の外側に配置された加熱
装置と、内管の上方に設けられたノズルリップと金有す
る、特に真空中で支持体金被覆するための、金属蒸発装
置に関する。

〔従来の技術〕

帯状物を被覆するための金属蒸発装置において、蒸発容
器の上方に、長手方向にスリットに設けた金属成形体か
らなるノズルリップを取り付けることは公知である。こ
のスリット形のノズル口は、蒸発容器から出る蒸発金属
をノズル口の直前を通過する帯状物または被覆すべきシ
ート上に均一に沈着させるように配慮されるべきである
。しかし、ノズル口の領域の温度が高いため、公知のノ
ズルリップは経験によると被覆工程の過程で変形し、ひ
いてはノズル口の形を変化させる傾向を有する。しかし
不均一な形のノズル口もしくは不均一なノズルスリット
は帯状物またはシート上に均質な沈着を生じさせず、そ
のため不十分な層の品質が生じる。

〔発明が解決しようとする課題〕

従って本発明の課題は、調節可能なまたはスリット幅が
容易に後調節可能なノズルスリット金偏えたノズルリッ
プを有する金属蒸発装置全提供することである。さらに
ノズルリップは迅速に交換可能でありかつまた極限温度
に対して不感応性であるべきである。さらに、ノズルリ
ップは構造的に簡単であり、ひいては容易にかつ快的に
清浄化することができるべきである。

最終的に、この装置、特に蒸発源の閉鎖部は、気密に閉
鎖可能であるべきで、しかも内管との宅ましくない゛鍍
着“または閉鎖部の挟着が生じないように閉鎖可能であ
るべきである。

〔課題を解決するための手段〕

この課題は、冒頭に記載した形式の金属蒸発装置におい
て、内管がその上側で、開口を包囲するフレーム部と強
固に結合しており、ノズルストリップが弾性封止枠で把
持されてておシ、この封止枠がフレーム部の内壁に接し
ており、ひいてはノズルリップとフレーム部との間に存
在する間隙が封鎖されていることにより解決される。内
管または内管と強固に結合しているフレーム部まｆｃは
ノズルリップが、被覆工程中に生じる高い温度の作用下
でゆがむかもしくはその外形が変形した場合、この変形
は高温安定性の弾性材料から製造した封止枠により完全
に受は止められる。

ノズルリップは、２個のＬ字形に曲った成形ストリップ
から構成されており、これらの互いに向き合った、水平
面方向に延びる脚部は互いにスリット状のノズル口を形
成しており、他方の、平行に鉛直方向に延びる脚部は、
成形ストリップの全長にわたり分配されて配置されかつ
調整ナツトと協働する複数の間隔調整ねじにより相互に
一定間隔で保持されているのが好ましい。

一方の成形ストリップの鉛直面方向に延びる一方の脚は
、そのつど第１のねじを用いて間隔調整ねじのねじ付ピ
ンの一方の端部と螺合しており、他方の成形ス）　ＩＪ
ツブの平行面方向に延びる他方の脚部は、第２のねじ金
層いて間隔調整ねじの頭部と螺合しており、その際一方
の成形スｌ−ＩＪツブの脚部は間隔調整ねじのねじ付ビ
ンと螺合された調整ナツトの一方の端面に接しているの
が有利である。

ノズルスリットの幅または形を、被覆工程中に変えたい
場合、間隔調整ねじと所属の調整ナツトとを用いて調節
することができる。

鉛直平面方向に延びる、双方の成形ストリップの脚部を
連結しているねじは、そのねじ頭部が成形ス）　ＩＪツ
ブの脚部を越えて外側に突出ており、ねじ頭部がノズル
リップを把持する弾性制止枠の下側と接しており、ノズ
ルストリップは鉛直方向のずれに対して固定されている
のが有利である。さらに成形ストリップと間隔調整ねじ
とを連結する外側のねじ頭部は、多角形孔金偏えている
円筒状の頭部を有しており、この結果、この頭部はいか
なる段階でも弾性封止枠に均一に接する。

双方の互いに平行に保持された、Ｌ字形に曲がった成形
ストリップは、双方の末端がウェブまたは端板全弁して
連結されており、これらのウェブは外側に突き出ている
突出部で箱状のフレーム部の上側に載置されているのが
有利である。このように双方の成形ストリップは、これ
全横切って配置された端板と一緒に１個の箱状のユニッ
トを形成しており、このユニットは蒸発源のケーシング
のふた部を取り除いた後に容易に取り付けもしくは取り
はずし可能である。

蒸発容器を挿入もしくは取り出した後に内管を気密にす
るために、内管の端面の開口部は、端面と封鎖板との間
に断熱材を有する封鎖板により側鎖可能であり、この場
合、封鎖板は抑圧はねによりリング状の内管の端面に向
って押しつけられかつ封鎖板と反対側の押圧ばね端部は
定置の支承部材、たとえばかんぬきで支持されており、
この支持部材に蒸発源の突出部またはアームに接してい
る。

〔実施例〕

本発明は多様な構成が可能であるが、次にこの１構成に
つき添附図面を参照して本発明全詳説する。

帯状物の被覆装置は、主として、２枚の側板３．４の間
に支承された変向ローラ、引張力測定ローラ、ストレッ
チローラ／緊張ローラ５〜１γ、ならびに冷却される被
覆ローラ１８゜５３、繰出ロール３７、巻取ロール３５
、および中空シリンダ３２により形成された被覆室２８
中に配置されかつ蒸発容器２１を備えた蒸発源１９．１
９’から構成されている。支持台５２に固定された双方
の側板３，４は、巻取装置２９を形成するロール５〜１
７および被覆ロール１８．５３と一緒に、レール２４．
２５上をローラ２６．２７を介して矢印Ｒ方向で巻取室
４５中へ押し込むことができかつ巻取室から引き出すこ
とができる。巻取装置２９が押し込まれた状態では、支
持台５２に固定配置された円板状のふた３０はその周辺
部で中空シリンダ３２の７ランジ形の端面３１に当接し
、かつここでは祥脱されていないクランプにより中空シ
リンダ３２に固定されるか、もしくは運転期間中に巻取
室４５もしくは被覆室２８中に存在する減圧のため大気
圧により端面３１に引きつけられる。

さらに帯状物の被覆装置は、装置側の末端にノズル３４
を有する導管３３を備えており、この導管はガスボンベ
３６に接続されており、中空シリンダケーシング３２の
壁全巻取ロール３５の領域に貫通案内されている。この
導管には弁３８が挿入されており、この弁を介して、導
管３３もしくはそのノズル３４からなる出口全通過する
ガスの流量全調節することができる。

帯状物の被覆装置を運転開始するには、まず操出物３Ｔ
すなわち繰出ロール３７′ヲ側板３゜４の軸受アイ３９
，３９’に掛け、被覆すべき帯状物を第２図に示したよ
うにローラ５〜１７ならびに被覆ローラ１８，５３’に
介して巻取ロール３５′マで案内し、この巻取ロールに
固定する。

その後、全ての巻取装置２９全矢印Ｒ方向に中空シリン
ダケーシング３２中へ、ふｉ３０が端面３１に密に当接
するまで押し込む。支持台５２を運転位置に錠止した後
に、室２８．４５は排気ポンプの接続管４０．４０”ｋ
介して真空に排気することができる。所定の作業圧力全
達成した後に、蒸発源１９．１９’等の加熱装置４１を
作動させ、蒸発容器２１から蒸発金属（たとえば亜鉛）
全放出させ、巻帯５０上に冷却被覆ローラ１８，５３の
領域で凝着させることができる。同時に多様なローラお
よび特に巻取ロール３５′ヲ、詳しく図示されていない
モータにより回転させ、帯状物を繰出ロール３７′から
蒸発源１９および５４の領域全通過させ、巻取ロール３
５′まで走行させる。その間均等に両面被覆される。巻
取ロール３５上で巻帯５０が様々な位置で付着するのを
避けるために、ガス、たとえば窒素を、弁３８を開放す
ることでノズル３４會介して巻帯５０に吹き付ける。本
来の被覆室２８はデフレクタ４２，４３．４４によって
、帯状物を搬送、巻取、操出する装置の部分と隔てられ
ている。

前記した作業法はコントロールボックス５１から監視な
らびに制御することができる。第４図の断面図に拡大し
て図示した蒸発源１９は、ふた部２０を備えたケーシン
グ２２と、ケーシング２２中で支柱２３により支持され
た、はぼＵ字形の断面を有する二重壁中空成形体５４゜
５４′（この場合双方の成形壁によって形成された空間
には断熱材５５が充填されている）と、加熱コイル５８
．５８′、５８“を有しかつ内管５６の周囲に分割され
て配置された４個の絶縁体５７．５７′、５７“　５７
／／／と、内管５６に固定配置されたフレーム部５９と
、フレーム部５９に上からはめ込まれた、弾性封止枠６
１を有するノズルリップ６０と、蒸発すべき金属溶融物
６２を収容する蒸発容器２１とから構成されている。内
管５６は一連の連続する開口６９゜６９′・・・　全備
えておシ、これらの開口？通して金属蒸発物は上方のノ
ズルリップ６０の方向へ流動することができる。

第６図に拡大して示されているように、ノズルリップ６
０は、平行な側面部に間隔を置いて配列されている一連
の孔金偏えた２個のＬ字形に曲りた成形ストリップから
なり、上記孔にはそれぞれ間隔調整ねじ６５と１対とな
って螺合されたねじ６４．６４’が挿入されている。各
間隔調整ねじ６５は調整ナツト６６と螺合されており、
この調整ナツトの端面の一方はＬ字形の成形ストリップ
６３の内側に接している。成形ストリップ６３．６３’
の水平脚部７７．７７’が相互に示す間隔ａは、間隔す
全調整することによって調節可能なノズル口６７を形成
する。つまりたとえば、ノズル口６Ｔの設定寸法ａが広
がったと認められる場合、これに応じて設定寸法ａは、
調整ナット６６．６６’・・・　を所属する間隔調整ね
じ６５．６５’・・・のそれぞれのねじ付ピン６８．６
８’・・・　に回動させて近づけるか、もしくは狭（な
った場合、これから回動させて遠ざけることによって再
調節することができる。

双方のＬ字形の成形ス）　ＩＪツブ６３．６３’はその
双方の末端部が端板８０．８０’と互いに強固に結合し
ており、双方の端板８０．８０’の外面は弾性制止枠６
１と接しており、この反対側は内管５６のフレーム部５
９の端壁の内壁で気密に支持されている。

内管５６の端部はそれぞれ断熱層７１を有する封鎖板７
０により閉鎖されておυ、この封鎖板は、間隔調整ねじ
７２，７２’ｉ介して内管５６のリング状の端面に押し
つけられている。

スペーサボルト７２．７２’は端板７３と螺合されてお
り、この端板７３は押圧ばね７４ｅ介してかんぬき７５
に支持されており、このかんぬき自体はケーシング２２
と強固に結合された２本のアーム７６．７６’により保
持されている。

内管５６を開くためにはかんぬき７５を矢印方向（第５
図）に旅回させる。それにより断熱層７１もしくは封鎖
板は開放される。

【図面の簡単な説明】

添付図面は本発明による金属蒸発装置の１実施例であり
、第１図は、装填工程の念めに、中空シリンダとして構
成されている被覆室から巻取装置を引き出した状態の帯
状物の被覆装置の上から見た部分図、第２図は第１図の
装置の正面図、つまり第１図のＡ−Ｂ線の破断面図（こ
の図面において第１図で表された若干の変向ロールおよ
び緊張ロールはより見やすくするために詳しく図示され
ていない）、第６図は、第１図および第２図による帯状
物の被覆装置中に取り付けられているような蒸発源の部
分縦断面図（ここではノズルスリットヲ支持する台座部
分は、より見やすくするために詳しく図示されていない
）、第４図は第６図の蒸発装置のＣ−Ｄ線破断面図、第
５図は第３図の蒸発装置のＸ方向から見た側面図、およ
び第６図は第３図の蒸発装置のノズルリップの拡大し；
１Ｅ−Ｆ線横断面図である。３．４・・・側板、５．７，８．１０．１４゜１７・・
・変向ローラ、６・・・緊張ローラ、９．１５・・・ス
トレッチローラ、１１．１６・・・引張力測定ロー５．
１２・・・引張ローラ、１３・・・測定ローラ、１８．
５３・・・冷却被覆ローラ、１９．１９’・・・蒸発源
、２０・・・ふた部、２１・・・蒸発容器、２２・・・
ケーシング、２３・・・支柱、２４，２５・・・レール
、２６．２７・・・ローラ、２８・・・被覆室、２９・
・・巻取装置、３０・・・ふた、３１・・・端面、３２
・・・中容シリンダ（ケーシング）、３３・・・４Ｗ、
３４・・・ノズル、３５・・・巻取物、３５′・・・巻
取ロール、３６・・・ガスボンベ、３７・・・繰出物、
３７′・・・繰出ロール、３８・・・弁、３９．３９’
・・・軸受アイ、４０．４０’・・・排気ポンプ接続管
、４１・・・加熱装置、４２．４３，４４．４７・・・
デフレクタ、４５・・・室１巻取室、４６・・・隔室、
５０・・・巻帯、５１・・・コントロールボックス、５
２・・・支持台、５４．５４’・・・中空成形体、５５
・・・断熱材、５６・・・内管、５７．５７′、５７“
　５７ｔｔｔ・・・絶縁体、５８．５８’・・・加熱コ
イル、５９・・・フレーム部、６０・・・ノズルリップ
、６１・・・弾性封止枠、６２・・・金属溶融物、６３
．６３’・・・成形ストリップ、６４．６４’・・・ね
じ、６５．６５’・・・間隔調整ねじ、６６．６６’・
・・調整ナツト、６７・・・ノズル口（ノズルスリット
）、６８・・・ねじ付ビン、６９゜６９′・・・開口、
７０・・・封鎖板、７１・・・断熱材、７２．７２’・
・・スペーサボルト、１３・・・端板、７４・・・押圧
ばね、７５・・・かんぬｉ、７６．７６’・・・アーム
、７７．７７’・・・脚（水平）、７８゜７８′・・・
突出部、７９．７９’・・・脚（鉛直）、８０・・・ウ
ェブ（端板）

Claims

【特許請求の範囲】１、蒸発すべき材料用の蒸発源（１９、１９′）と、蒸
発容器（２１）を収容しかつ部分的に包囲する成形体と
、開口（６９、６９′、・・・）を備えた内管（５６）
と、内管（５６）の外側に配置された加熱装置（４１）
と、内管（５６）の上方に設けられてたノズルリップ（
６０）とを有する金属蒸発装置において、内管（５６）
がその上面でフレーム部（５９）と強固に結合しており
、このフレーム部が開口（６９、６９′・・・）を包囲
しており、ノズルリップ（６０）が弾性封止枠（６１）
で把持されており、この封止枠がフレーム部（５９）の
内壁に強固に接しており、ひいてはノズルリップ（６０
）とフレーム部（５９）との間にある間隙（Ｓ）を封鎖
していることを特徴とする金属蒸発装置。２、ノズルリップ（６０）が２個のＬ字形に曲つた成形
ストリップ（６３、６３′）からなつており、これらの
互いに向合つた、水平面方向に延びる脚部（７７、７７
′）が相互にスリット状のノズル口（６７）を形成して
おり、それぞれ他方の、平行に鉛直面方向に延びる脚部
（７９、７９′）が、成形ストリップ（６３、６３′）
の全長にわたり分配されて配置されかつ調整ナット（６
６、６６′・・・）と協働する複数の間隔調整ねじ（６
５、６５′・・・）により相互に一定間隔（ｂ）で保持
されている請求項１記載の装置。３、一方の成形ストリ
ップ（６３）の鉛直面方向に延びる一方の脚部（７９）
が、そのつど第１のねじ（６４）を用いて間隔調整ねじ
（６５）のねじ付ピン（６８）の一方の端部と螺合して
おり、他方の成形ストリップ（６３′）の平行面方向に
延びる他方の脚部（７９′）が、第２のねじ（６４′）
を用いて間隔調整ねじ（６５）の頭部と螺合しており、
その際一方の成形ストリップ（６３）の脚部（７９）が
間隔調整ねじ（６５）のねじ付ピン（６８）と螺合され
た調整ナット（６６）の一方の端面に接している請求項
１または２記載の装置。４、鉛直平面方向に延びる、双方の成形ストリップ（６
３、６３′）の脚部（７９、７９′）を間隔調整ねじ（
６５、６５′）と連結するねじ（６４、６４′）の頭部
が成形ストリップ（６３、６３′）の脚部（７９、７９
′）を越えて外側に突出しており、かつねじの頭部がノ
ズルリップ（６０）を把持する弾性封止枠（６１）の下
側と接しており、それによりノズルリップ（６０）が鉛
直方向のずれに対して固定されている請求項１から３ま
でのいずれか１項記載の装置。５、一連のねじ（６５）とナット（６６）とで一定間隔
（ｂ）に保持された、Ｌ字形に曲つた、互いに平行な双
方の成形ストリップ（６３、６３′）のそれぞれ末端が
、ウェブまたは端板（８０）を介して連結されており、
これらのウェブが外側に突き出ている突出部（７８）で
箱状のフレーム部（５９）の上側に載置されている請求
項１から４までのいずれか１項記載の装置。６、内管（５６）の開口した端部が、内管（５６）のリ
ング状の端面と封鎖板（７０）との間に配置された断熱
層（７１）を有する封鎖板（７０）により封鎖されてお
り、封鎖板（７０）が押圧ばね（７４）により内管（５
６）のリング状の端面に向つて押しつけられており、か
つ封鎖板（７０）と反対側の押圧ばね端部が定置の支承
部材で支持されており、この支承部材が定置の突出部ま
たはアーム（７６、７６′）で保持されている請求項１
から５までのいずれか１項記載の装置。