JPH02186107A - リニアアクチュエータ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野１ この発明は、空気圧シリンダを用いたリニアアクチュエ
ータに係り、特に、シリンダに形成されたスリット状開
口を介してピストンとデープル等の可動部材を連結する
タイプのリニア７クチユエータに関するものである。

［従来の技術］ 圧縮空気によるピストンの往復運動を利用したリニア７
クチユＩ−夕は、送り速度を高速化できる、騒音の発生
が少ない等の利点を有し′（おり、特にシリンダに形成
されたスリット状開口より頭部を突出させた状態でシリ
ンダ内を運動するピストンを有する、所謂ロッドレスシ
リンダを利用してテーブル等の可動部材を駆動するタイ
プのリニアアクチュエータは、一般の空気圧シリンダを
利用するものに比較して配設スペースが小さくて湾み、
各梯機械装置に多用されている。

従来、この種のロッドレスシリンダを利用したリニアア
クチュエータとしては、第１９図に示すように、エアシ
リンダ本体ａと、このエアシリンダ本体ａ内を圧縮空気
により往復運動するピストン部材すと、上記エアシリン
ダ本体ａの外壁の両端面に上記ピストン部材すの運動方
向と平行に配設された一対の直線案内手段Ｃと、直線案
内手段Ｃに沿って移動するテーブルｄと、このデープル
ｄと上記ピストン部材すを連動ｆる連結手段ｅとからな
るものが提案されている（特開昭６１−２９０２１４号
）。

［発明が解決しようとする課題］ ところで、転動体の転がり運動を利用するタイプの直線
案内手段（ベアリング）、例えば、クロスローラーガイ
ドや直線摺動用ベアリング等によりテーブル移動機構を
構成Ｊる場合には、高精度のテーブル運動、外力に対覆
る高剛性を得るために転動体に予圧を付与するのが一般
的である。この予圧を付与する方法としては直線案内手
段の構成や形状等により各種の方法があるが、軌道台の
側面を主として転走するタイプの直ｓｉｌ摺動用ベアリ
ングやクロスローラーガイドにおいては、通常、第１５
図に示すように、テーブルｄ　（Ｉｌｌ端より垂下する
油部を貫通する押圧ボルトｆを設け、テーブルａ側に取
付けられたローラーガイド（Ｉ線層動用ベアリングにお
いては摺動台）をこの押圧ボルトｆでベツド等の固定部
ａ側に取付けられたローラーガイド（直線袷動用ベアリ
ングにおいては軌道台ンに向けて押圧Ｊ゛ることにより
転動体Ｑに予圧を与える。

しかし、この予圧付与方法を上記した従来のリニアアク
チュエータに適用した場合は次のような問題点が生じて
くる。すなわち、直線案内手段Ｃがエアシリンダ本体ａ
の両側面に直接配設されるので、抑圧ボルトｆにより直
線案内手段Ｃを押圧した場合、その押圧力がエアシリン
ダ本体ａに囲設されたスリット状開口にも作用してしま
い、テーブルｄ位置に対応した開口部には圧縮力が作用
すると共に、それ以外の開口部にはエアシリンダ本体ａ
内の圧縮空気による膨脹力が作用し、結果的にスリット
状開口にはデープルｄの移動により圧縮力及び膨１１力
が繰返し作用することになる。

そのため、エアシリンダ本体ａには金属疲労が生じ易く
、耐久性能が著しく悪化するという問題点を有していた
。

この様な問題点を解決したものとしては、第２０図に示
すように、エアシリンダ本体ａの外側に直線案内手段Ｃ
を配設するためのベース部材りを設けたものが提案され
ている。このリニアアクチュエータによれば、直線案内
手段Ｃがエアシリンダ本体ａと別部材であるベース部祠
りに配設される一方、エアシリンダ本体ａはその側面を
ベース部材りと非接触としているので、抑圧ボルトｒで
直線案内手段Ｃに予圧を付与した際の押圧力がエアシリ
ンダ本体ａに作用することはなく、上記したような耐久
性の悪化という問題点は生じてこない。

しかし、第二の提案におけるリニアアクチュエータにお
いては、新たにベース部材りを設ける必要士、部品数の
増加に伴う生産性の悪化やコストの上背といった新たな
問題点を有している。

本発明はこの様な問題点に鑑みてなされたものであり、
その目的とするところは、直線案内手段に対する予圧の
付与がロッドレスシリンダに悪影響を及ぼすことがなく
、且つ、部品数の少なく生産性の良いリニアアクチュエ
ータを提供することにある。

［課題を解決するための手段〕 上記目的を達成するために第一の発明にＪ３けるリニア
アクチュエータは、長尺方向に沿ってスリットが形成さ
れたエアシリンダ本体と、上記スリットよりエアシリン
ダ本体外へ突出する頭部を有し、圧縮空気により上記エ
アシリンダ本体内を往復運動するピストン部材と、断面
略矩形状に形成され、一方の側面には下向きに傾斜する
ボール転走溝を、他方の側面には上向ぎに傾斜するボー
ル転走溝を夫々長尺方向に泊って有し、上記エアシリン
ダ本体の両肩部に上記ピストン部材の運動方向と平行に
配設された一対の軌道台と、上記各ボール転走溝に相対
面して上向きに傾斜する負荷ボール溝あるいは下向ぎに
傾斜する負荷ボール溝を有する負荷域とこの負荷域の両
端を連通連結する無負荷域とからなる無限軌道を備え、
上記軌道台に沿って移動するＩＩ仙台と、上記無限軌道
内を循環して摺動台の負荷ボール溝と軌道台のボール転
走溝との間で荷重を負荷する多数のボールと、上記一対
の軌Ｉｎに組込まれた摺動台囚に架設され結合ボルトに
より摺動台に固定されると共に上記ピストン部材の頭部
に係合され、ピストン部材に連動して往復運動！ｌ−る
可動部材とからなり、上記結合ボルトの締結により各摺
動台と軌道台との間に上記負荷ボール溝とボール転走溝
との間隙を減縮させる方向のモーメント荷重を生じさせ
、この作用力により上記ボールに予圧を付与することを
特徴とするものである。

又、第二の発明におけるリニアアクチュエータは、エア
シリンダ本体肩部に配設するベアリングを、左右両側面
に上向きあるいは下向きに傾斜するボール転走溝を夫々
長尺方向に沿って有し、断面が左右対称の略矩形状に形
成された軌道台と、上記ボール転走溝に相対面する負荷
ボール溝を有する負荷域とこの負荷域の両端を連通連結
する無負荷域とからなる無限軌道を備え、軌道台の長尺
方向に直角な四方向の荷重を負荷しながら軌道台に沿っ
て移動可能な摺動台と、上記無限軌道内を循環して摺動
台の負荷ボール溝と軌道台のボール転走溝との間で荷重
を負荷する多数のボールとから構成し、上記ボールの直
径を、上記負荷ボール溝とボール転走溝との間隙より大
きくとることにより上記ボールに予圧を付与することを
特徴とケるものである。

この様な技術的手段において、上記エアシリンダ本体と
しては、ピストンが往復運動するシリンダを備えると共
に、両肩部に直線案内手段の軌道台を配設するための取
付面を有するものであれば、その形状や構成等適宜設計
変更して差支えない。

又、上記ピストン部材としては、その両端に作用する空
気圧力によりシリンダ内を往復運動すると共に、エアシ
リンダ本体に形成されたスリットよりエアシリンダ本体
外へ突出する頭部が可動部材に係合可能なものぐあれば
、その構成や形状等適宜設計変更して差支えない。

更に、第一の発明に係る軌道台としては、上向きに傾斜
するボール転走溝と下向きに傾斜するボール転走溝とを
有し、摺動台と可動部材とを結合ボルトで締結した際に
生じるモーメント荷重を負荷可能であれば、その形状や
ボール転走溝の傾斜角度等適宜設計変更して差支えない
。

更に、上記摺動台としては、軌道台のボール転走溝に相
対面する負荷ボール溝を有し、且つ、ボールの循環する
無限軌道を備えたちのあればその構成等適宜設計変更し
て差支えなく、ボール無限軌道を構成する無負荷域の形
成方法としも、摺動台に無負荷転走孔を形成するものや
、外部から摺動台に取付けられるボール保持器により無
負荷転走軌道を形成するもの等適宜選択設計し一〇差支
えない。

又、上記結合ボルトの緊締によりボールに予圧を付Ｌｊ
する方法としては、摺動台を若干の角度を持たせた状態
で可動ｓ１祠に取付は摺動台と４！／１道台との間に七
−メント荷重を作用させて予圧を付与するものであれば
、摺動台の上面を水平より若干傾斜させて形成する方法
や楔形状の部材を摺動台の上面と可動部材下面との闇に
介装する方法等適宜選択して差支えないが、特別な構造
や部材を設ける必要がなく、可動部材の使用用途に応じ
てことなる予圧値にも柔軟に対応するという観点からす
れば、摺動台の幅方向の一端と可動部材との間に予圧値
に応じた厚さのシムを介装しボールに予圧を与えるのが
好ましい。

更に、第二の発明に係る軌道台のボール転走溝及び摺動
台の負荷ボール溝としでは、摺動台が四方向の荷重を負
向可能なようにその傾斜角度が決定されると共に、大径
ボールを摺動台の負荷域に送り込んだ際にボールに弾性
変形が生じると共にその復元が阻害され、ボールに予圧
が付与されるものであるならば、その傾斜角度や溝形状
等適宜段Ｊ１変更して差支えない。又、このときのボー
ル直径としては、可動部材の移動に要求される精度や剛
性に応じて、その予圧ｍを適宜選択して差支えない。

［作用］ ピストンは圧縮空気の圧力を受けてエアシリンダ本体内
を往復運動する。又、可動部材はエアシリンダ本体に配
設された軌道台に沿って移動する摺動台上に架設される
と共にピストン頭部に係合しており、ピストンの往復運
動に合せて軌道台上を往復運動する。第一の発明におい
ては、摺動台に【よモーメン］・荷重を負荷可能なよう
に負荷ボール溝が形成されているので、摺動台と軌道台
との間に若干のモーメント荷重が生じるように摺動台を
可動部材に締結するのみで負荷域を転走するボールに予
圧を付与可能であり、予圧付与による作用力がエアシリ
ンダ本体のスリットを狭める方向に働くことはない。

又、第二の発明においては、摺動台が軌道台長尺方向に
直角な四方向の荷重を負荷可能なので、ボール転走溝と
負荷ボール満との間隙よりも大きい直径を有する大径ボ
ールを摺動台のイ１荷域に送り込むことによりボールに
予圧を付与することができ、予圧付与のための外力をベ
アリングに加える必要がない。

［実施例］ 以下、添附図面に基いて本発明のリニアアクチュエータ
を詳細に説明する。

Ｏ第−実施例 第１図乃至第１４図は第一の発明におけるリニアアクチ
ュエータを示すものであり、ベツド等の固定部に配設さ
れるエアシリンダ本体１と、エアシリンダ本体１内に送
り込まれる圧縮空気によりエアシリンダ本体１内を往復
運動するピストン部材２と、エアシリンダ本体１の両肩
部に配設される一対の軌道台３及びこの軌道台３上を摺
動する摺動台４とからなる一対のベアリングと、各摺動
台間に架設されるテーブル５とから構成されている。

まず、上記エアシリンダ本体１は、アルミニウムの押出
加工により形成されて断面略矩形状をしており、軸方向
に沿ってスリット１１が設けられたエアシリンダ１２を
その略中火に有すると共に、両側面上方の肩部には上記
軌道台３を取付けるための取付面３が形成されている。

そして、この取付面１３の下方には軌道台３の固定ボル
ト３１が係合するナツト３２を配設するための貫通孔１
４が取付面１３に沿って設けられる一方、エアシリンダ
１２の周囲には本体型開の軽減化を図るために中空′Ｆ
Ｊ（１５が形成されている。尚、符号１６はテーブル５
に取付けられたマグネット５１の位置を検出するための
検出器である。

一方、上記ピストン部材２は、前端及び後端にピストン
パツキン２１を有し上記エアシリンダ１２内を往復運動
するピストンアクスル２２と、エアシリンダ１２に形成
されたスリット１１を介してエアシリンダ１２内とエア
シリンダ本体１外に跨がって配設され、上記ピストンア
クスル２２の長尺方向の中央部に固定ボルト２３により
係合してピストンアクスル２２に作用した出力を外部に
伝達するピストン］−り２４と、このピストンヨーク２
４とテーブル５とを連結１′るビスｉ・ンマウント２５
とにより構成されている。

次に、エアシリンダ１２に設けられたスリット１１から
の空気漏れを防ぐシール機構とピストン部材２の動作と
の関係について説明する。エアシリンダ１２のスリット
１１には、その内側に空気漏れをシールするためのイン
ナーシールバンド２６が、その外側には外部よりのゴミ
の侵入を防ぐ７ウターシールバンド２７が夫々設けられ
ており、これらシールバンド２６．２７はピストン部材
内では、第１図及び第２図に示すように、ピストンヨー
ク２４に形成された凹状溝内に位置している。そして、
エアシリンダ１２内に圧縮空気が供給されてピストンア
クスル２２が運動を開始すると、インナーシールバンド
２６とアウターシールバンド２７はピストンヨーク２４
に押し分けられてスリット１１より剥がされ、ピストン
ヨーク２４内を通過した後にふたたびスリット１１に張
付ぎ、スリット１１内側は空気圧力によりシールされる
。尚、符号２８はアウターシールバンド２１に付着した
ゴミを取り除くためのスクレーパである。

次に、テーブルを直線案内するベアリングについて説明
する。

本実施例のベアリングは、第３図乃至第１４図に示すよ
うに、水平部４ａとその両端より垂下する油部４ｂ、　
４Ｃを有して斜め下方に向けて開口する凹部が形成され
た断面略倒り字形状の明動台４と、この摺動台４の長尺
方向の前後端面に取付けられる一対の蓋体６と、上記画
油部４ｂ、　４ｃの下端に取付けられるボール保持プレ
ート７と、少なくとも上部の横断面形状が摺動台４の凹
部形状と略同−形状に形成された軌道台３と、摺動台４
と軌道台３との間で荷重を負荷でる多数のボール８とで
構成されている。

上記摺動台４は、剛性を有する焼入れ可能な鋼材等て゛
構成されており、第６図及び第７図に示すように、その
凹部が斜め下方に向けて拡開する形状になっている。そ
して、この四部を形成する油部４ｂにはその内面側に上
向ぎに傾斜する所面円弧状の負荷ボール汎４１を右する
負荷域４２が長尺方向全長にｍって形成されている一方
、他方の油部４Ｃにはその内面側に下向きに傾斜する断
面円弧条の負荷ボール溝４３を有する負荷域４４が同じ
く長尺方向全長に亘って形成されている。又、上記各油
部４ｂ、　４ｃには、負荷域４２．４４に隣接した位置
に油部４ｂ、４Ｃの長尺方向に沿って無負荷ボール孔４
５が穿設されている。尚、符号４６は摺動台４の長尺方
向の前後両端面に蓋体６を取付ける際に第５図に示すよ
うな六角孔付きボルト６１が螺合する蓋体取付孔であり
、又、符号４１は摺動台４上面に“ｊ−プル５を取付Ｇ
ノる際に結合ボルト５１が螺合する取付孔である。

又、上記蓋体６は、剛性を有する＆１質合成樹脂で形成
されており、第１０図及び第１１図に示ずように、この
蓋体６を上記摺動台４の’ＮＪ後両後面端面付（プた際
に摺動台４の各油部４ｂ、　４ｃに形成された負荷域４
２．４４及び無負荷ボール孔４５に対応する略ｌＴＪ弧
状の案内１Ｍ６１が形成されており、この案内１か６１
に半円形状に形成された案内片６２を嵌込むことにより
負荷域４２．４４と無負荷ボール孔４５とを連通連結す
るボール旋回路６３が構成され、負荷域４２．４４ある
いは無負荷ボール孔４５を転走する各ボール８をこのボ
ール旋回路６３で方向転換しく無負荷ボール孔４５ある
いは負荷域４２．４４に案内するようになっている。又
、摺動台４に取付けた際に負荷域４２、４４側に位置す
る上記案内溝６１の一端には先端に向けて先細り形状の
突起６４が設けられでおり、負荷域４２．４４を転走し
てきたボール８を円滑にボール旋回路６３内に掬い１げ
ると共に、ボール旋回路６３から負荷域４２．４４に円
滑にボール８を送り込める構造をとっている。更に、上
記蓋体６には、上記六角孔付ボルト６１が貫通する貫通
孔６５が穿設されると共に、蓋体６内側面の貫通孔６５
周囲には摺動台４側に形成された凹状溝に嵌合する凸部
６６が設けられており、各蓋体６を摺動台４の前接両端
面に取付けた際に各蓋体６の位買決めを容易に行うこと
ができるようになっている。

更に、上記ボール保持プレート７ａ、７ｂは、第１３図
及び第１４図に示すように、剛性を有する鋼板等をプレ
ス成形により形成され、摺動台４の各油部４ｂ、　４Ｃ
下面側に螺合する取付けねじ７１が貫通する貫通孔７２
が形成されている。そして、各ボール保持プレート？ａ
、７ｂは、摺動台４の油部に取付けた際に長尺方向に沿
った一方の側端１３が囮動台４下面側に形成された凹部
に突出して、ボール８が転走する負荷域４２．４４の開
口幅をボール８の直径よりも小さく形成し、摺動台４を
軌道台３から取外した際のボール８の脱落を防止するよ
うになつ【いる。

一方、上記軌道台３は、第８図及び第９図に示すように
、矩形の一方の側面を台形状に切欠いた断面形状であり
、この台形状切欠部３３の下向き傾斜面には摺動台油部
４ｂの内面側に形成された負荷ボール溝４１に相対面す
るボール転走ｆｌ！３４が形成される一方、反対側の側
面上方の肩部にはＷＪ動動台郡部４Ｃ内面側に形成され
た負荷ボール溝４３に相対面するボール転走溝３５が形
成されている。更に、軌道台３の中央部にはエアシリン
ダ本体１にねじ結合する固定ボルト３１が貫通する取付
孔３６が軌道台３上面に垂直に、且つ、軌道台３の長尺
方向に適宜間隔をおいて穿設されている。

このように構成される本実施例のリニアアクヂュエータ
はその組立てに当たつ゛く、まず、上記軌道台３をエア
シリンダ本体１の取付駐準面１３に取付けた後に、油部
４ｂを外側にしｔ摺動台４を軌道台３に組込み、摺動台
４の上面にテーブル５を結合ボルト５１で結合づる一方
、ピストンマウン１へ２５をテーブル５中央部の下面側
に係合し、最後にエアシリンダ本体１をブラクット１１
を介して固定部上にボルト固定すると共に、エアシリン
ダ本体１の両端に夫々一対で設けられた圧縮空気の供給
バルブ及び排出バルブ（図示Ｕ−ず）に圧力制御手段（
図示せず）に繋がる供給管及び排出管（図示せず）を接
続して使用されるものである。

このとき、本実施例のリニアアクチコエータにおいては
、摺動台４に形成された負荷ボール満４１４３及び軌道
台３に形成されたボール転走溝３４．３５が、油部４ｂ
側から油部４Ｃ側へ反時計回りに作用するモーメン１〜
荷重を負荷可能なように配置されている。そのため、摺
動台４をＴ−プル５に取付ける際に油部４Ｃの上方の摺
動台４上面とテーブル５下面との間にシム９を介装し結
合ボルト５１を締結することにより、シム９の厚みに応
じたモーメント荷重が摺動台４と軌道台３との間に生じ
、両者の間で荷重を負荷しているボール８に予圧が付与
される。

従って、ボール８に予圧を付与する際には軌道台３にモ
ーメント荷重が作用するのみであり、軌道台３が配設さ
れているエアシリンダ本体１にスリット１１を狭める方
向の作用力が働くことはなく、エアシリンダ本体１に形
成されたスリット１１がボール８に対する予圧の付与を
基因として変形づることはない。

Ｏ第二実施例 第１５図乃至第１８図は第二の発明に係るリニアアクヂ
ゴエータの実施例を示すものであり、テーブル５を直線
案内するベアリングを変更した以外は第−実施例に係る
リニアアクチュ１−夕と路間−である。

本実施例においてベアリングの摺動台４は、第１６図に
示すように、水平部４ａとその両端より垂下する左右袖
部４ｂ、４Ｃを有して断面路側Ｃ形状に形成され下面部
に四部を備えており、水平部４ａの下面側と左右袖部４
ｂ、４ｃの内面側とに夫々長尺方向に沿って上部無限軌
道及び下部無限軌道の負荷域が構成され、この負荷域に
はボール８が転走する負荷ボール満が形成されている。

又、左右袖部４ｂ、４ｃには上部無限軌道及び下部無限
軌道の負荷域に対応した無負荷ボール孔４５が形成され
ている。

又、軌道台３は、矩形の両側面を台形状に切欠くと共に
左右の両肩部を切欠いた断面形状であり、これら台形状
切欠部の下向き傾斜面は摺動台油部４ｂ、　４ｃの内面
側に設けられる下部無限軌道に対応した下部ボール転走
溝３４となる一方、両肩切欠部の上向き傾斜面は摺動台
水平部４ａの下面側に設けられた上部ＩＮ限軌道に対応
した上Ｂｓボール転走溝３５となっている。更に、軌道
台３の中央部にはエアシリンダ本体１に軌道台３を固定
するだめの固定ボルト３１が貫通する取付孔３６が軌道
台３上面に垂直に、且つ、軌道台３の長尺方向に適宜間
隔をおいて穿設されている。

史に、上記ｆ２１勤台４の長尺方向各端部には、第一実
施例と同様に、摺動台４に形成された負荷域とこれに対
応する無負荷ボール孔４５とを連通連結するボール旋回
路を有する蓋体６が取付けられる一方、各油部４ｂ、４
Ｃの内面側には、ボール８が突出する長孔が形成され負
荷ボール溝と相俟って負荷域を形成するボール保持Ｖａ
７が組込まれている。

このように構成される本実施例のベアリングは、摺動台
４と軌道台３に接触するボール８の接触角が軌道台３長
尺方向に直交する四方面の荷重を負荷可能なように配置
されているので、負荷ボール溝とボール転走溝との間隙
よりも大きい直径を有するボール８を負荷域に送り込ん
だ際には、ボール８に弾性変形が生じると共にその復元
が阻害され、ボール８に予圧が付与される。

従って、ボール８に予圧を付与するに当たっては摺動台
４又は軌道台３に何等外力を作用させる必要はなく、軌
道台３が配設されたエアシリンダ本体１に予圧付与に赫
囚した作用力が働くことはない。

［発明の効果］ 以上説明してきたように、本発明のリニアアクチュエー
タによれば、摺動台の負荷域を転走するボールに予圧を
付与するための作用力がエアシリンダ本体に影響を及ぼ
すことはなく、テーブルを案内するためのベアリングを
直接にエアシリンダ本体に配設した場合にもエアシリン
ダ本体の耐久性を維持することが可能〔゛あると共に、
ベアリングを配設するためのベースをエアシリンダ本体
と別個に設ける必要がなくなるので、生産性の向上及び
コストダウンを図ることが可能ぐある。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明にお１）るリニアアクチュエータの第一
実施例を示す正面断面図、第２図は第１図のｌ−１１１
面図、第３図は第一実施例に係るリニアアクチュエータ
のベアリング組付は状態を示す拡大図、第４図及び第５
図は第一・実施例に係るリニアアクチュエータのベアリ
ングを示す平面図及び側面図、第６図及び第７図はベア
リングの摺動台を示す正面図及び側面図、第８図及び第
９図はベアリングの軌道台を示す斜視図及び断面図、第
１０図−（ａ）及び（ｂ）はベアリングの蓋体を示す正
面図及び一部を断面とした側面図、第１１図は第１０図
−（ａ）のｆｆ−４断面図、９Ｉ１１２図は蓋体に嵌合
する案内片を示す斜視図、第１３図−（ａ）、　（ｂ）
及び第１４図−（ａ）、（ｂ）はベアリングのボール保
持器を示す平面図及び正面図、第１５図は本発明におけ
るリニアアクチュエータの第二実施例を示す正面断面図
、第１６図は第二実施例に係るリニアアクチュエータの
ベアリング組付１Ｊ状態を示す拡大図、第１１図及び第
１８図は第二実施例に係るリニアアクチュエータのベア
リングを示す側面図及び平面図、第１９図及び第２０図
は従来のリニアアクチュエータを示１正面断面図である
。 ［符号の説明１ １：エアシリンダ本体 ３：軌道台 ５：テーブル ９：シム

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. （１）長尺方向に沿つてスリットが形成されたエアシリ
   ンダ本体と、上記スリットよりエアシリンダ本体外へ突
   出する頭部を有し、圧縮空気により上記エアシリンダ本
   体内を往復運動するピストン部材と、断面略矩形状に形
   成され、一方の側面には下向きに傾斜するボール転走溝
   を、他方の側面には上向きに傾斜するボール転走溝を夫
   々長尺方向に沿つて有し、上記エアシリンダ本体の両肩
   部に上記ピストン部材の運動方向と平行に配設された一
   対の軌道台と、上記各ボール転走溝に相対面して上向き
   に傾斜する負荷ボール溝あるいは下向きに傾斜する負荷
   ボール溝を有する負荷域とこの負荷域の両端を連通連結
   する無負荷域とからなる無限軌道を備え、上記軌道台に
   沿って移動する摺動台と、上記無限軌道内を循環して摺
   動台の負荷ボール溝と軌道台のボール転走溝との間で荷
   重を負荷する多数のボールと、上記一対の軌道台に組込
   まれた摺動台間に架設され結合ボルトにより摺動台に固
   定されると共に上記ピストン部材の頭部に係合され、ピ
   ストン部材に連動して往復運動する可動部材とからなり
   、上記結合ボルトの締結により軌道台と各摺動台との間
   に上記負荷ボール溝とボール転走溝との間隙を減縮させ
   る方向のモーメント荷重を生じさせ、この作用力により
   上記ボールに予圧を付与することを特徴とするリニアア
   クチュエータ。
2. （２）下向きに傾斜する負荷ボール溝上方の摺動台上面
   と可動部材下面との間にシムを介装し結合ボルトを締結
   することにより、摺動台と軌道台との間にモーメント荷
   重が生じることを特徴とする請求項１記載のリニアアク
   チュエータ。
3. （３）長尺方向に沿つてスリットが形成されたエアシリ
   ンダ本体と、上記スリットよりエアシリンダ本体外へ突
   出する頭部を有し、圧縮空気により上記エアシリンダ本
   体内を往復運動するピストン部材と、左右両側面に上向
   きあるいは下向きに傾斜するボール転走溝を夫々長尺方
   向に沿って有し、断面が左右対称の略矩形状に形成され
   た軌道台と、上記ボール転走溝に相対面する負荷ボール
   溝を有する負荷域とこの負荷域の両端を連通連結する無
   負荷域とからなる無限軌道を備え、軌道台の長尺方向に
   直角な四方向の荷重を負荷しながら軌道台に沿って移動
   可能な摺動台と、上記無限軌道内を循環して摺動台の負
   荷ボール溝と軌道台のボール転走溝との間で荷重を負荷
   する多数のボールと、上記一対の軌道台に組込まれた摺
   動台間に架設されると共に上記ピストン部材の頭部に係
   合され、ピストン部材に連動して往復運動する可動部材
   とからなり、上記ボールの直径を、上記負荷ボール溝と
   ボール転走溝との間隙より大きくとることにより上記ボ
   ールに予圧を付与することを特徴とするリニアアクチュ
   エータ。