JPH02173483A - 高速流量制御弁 - Google Patents
高速流量制御弁Info
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- JPH02173483A JPH02173483A JP63325540A JP32554088A JPH02173483A JP H02173483 A JPH02173483 A JP H02173483A JP 63325540 A JP63325540 A JP 63325540A JP 32554088 A JP32554088 A JP 32554088A JP H02173483 A JPH02173483 A JP H02173483A
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- flow control
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- piezoelectric actuator
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- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims description 20
- 239000012530 fluid Substances 0.000 abstract description 8
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 8
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 description 2
- 101000794560 Arbacia punctulata Calmodulin-beta Proteins 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K31/00—Actuating devices; Operating means; Releasing devices
- F16K31/004—Actuating devices; Operating means; Releasing devices actuated by piezoelectric means
- F16K31/007—Piezoelectric stacks
- F16K31/008—Piezoelectric stacks for sliding valves
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T137/00—Fluid handling
- Y10T137/8593—Systems
- Y10T137/86493—Multi-way valve unit
- Y10T137/86574—Supply and exhaust
- Y10T137/86622—Motor-operated
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
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- Electrically Driven Valve-Operating Means (AREA)
- Servomotors (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、ロボット等に使用される流量制御弁に係わり
、特に中高圧用として高速応答性に優れ、かつ、連続制
御を容易に行い得る高速流量制御弁に関する。
、特に中高圧用として高速応答性に優れ、かつ、連続制
御を容易に行い得る高速流量制御弁に関する。
従来、圧電体を駆動源とする、この種の流量制御弁とし
て、特開昭６２−２８３２７３号及び特開昭６：２−２
８３２７４号で開示されたものがある。これを第７図及
び第８図を参照し説明すると、前者流量制御弁は、第７
図に示す通り、高範囲、かつ、高精度の流量制御を達成
するため、弁室内Ｃ１に、中央部に弁座Ｃ２を備えたバ
イモルフ構造の圧電磁気板Ｃ３を横架し、この圧電磁気
板Ｃ３の撓みを利用して前記弁座Ｃ２と、弁室壁に設け
た気体流通孔Ｃ４とを開閉するようにした構成のもので
ある。後者流量制御弁は、第８図に示す通り、高速、か
つ、安定的な流量制御を達成するため、弁室内Ｄ１に、
■側に弁の閉め方向に付勢したバネＤ２を備えた弁座Ｄ
３を設けることにより、かつ、他側に回動せしめるため
の支点Ｄ４と、この支点Ｄ４の近傍位置に備えた電歪素
子Ｄ５とを備えたアームＤ６を設けることにより、前記
電歪素子Ｄ５の直動変位量△χを前記アームＤ６により
拡大して前記弁座Ｄ３と、弁室壁に設けた気体流通孔Ｄ
７とを開閉するようにした構成のものである。これらい
ずれの流量制御弁も、空圧等、低圧用の流量制御弁とし
て使用するに便利と考えられる。
て、特開昭６２−２８３２７３号及び特開昭６：２−２
８３２７４号で開示されたものがある。これを第７図及
び第８図を参照し説明すると、前者流量制御弁は、第７
図に示す通り、高範囲、かつ、高精度の流量制御を達成
するため、弁室内Ｃ１に、中央部に弁座Ｃ２を備えたバ
イモルフ構造の圧電磁気板Ｃ３を横架し、この圧電磁気
板Ｃ３の撓みを利用して前記弁座Ｃ２と、弁室壁に設け
た気体流通孔Ｃ４とを開閉するようにした構成のもので
ある。後者流量制御弁は、第８図に示す通り、高速、か
つ、安定的な流量制御を達成するため、弁室内Ｄ１に、
■側に弁の閉め方向に付勢したバネＤ２を備えた弁座Ｄ
３を設けることにより、かつ、他側に回動せしめるため
の支点Ｄ４と、この支点Ｄ４の近傍位置に備えた電歪素
子Ｄ５とを備えたアームＤ６を設けることにより、前記
電歪素子Ｄ５の直動変位量△χを前記アームＤ６により
拡大して前記弁座Ｄ３と、弁室壁に設けた気体流通孔Ｄ
７とを開閉するようにした構成のものである。これらい
ずれの流量制御弁も、空圧等、低圧用の流量制御弁とし
て使用するに便利と考えられる。
本発明者は、圧電体を駆動源とする流量制御弁について
、中高圧用として高速応答性に優れ、かつ、連続的な流
量制御が可能な流量制御弁の提供を目的としている。か
かる目的において上記従来の流量制御弁についてみれば
、これら流量制御弁を中高圧用として使用するには下記
するような不都合が考えられる。
、中高圧用として高速応答性に優れ、かつ、連続的な流
量制御が可能な流量制御弁の提供を目的としている。か
かる目的において上記従来の流量制御弁についてみれば
、これら流量制御弁を中高圧用として使用するには下記
するような不都合が考えられる。
（１）前者流量制御弁にあっては、高速時、圧電磁気板
Ｃ３に撓み振動を起こせしめて、弁座Ｃ２と気体流通孔
Ｃ４とを開閉せしめることになる。
Ｃ３に撓み振動を起こせしめて、弁座Ｃ２と気体流通孔
Ｃ４とを開閉せしめることになる。
本流量制御弁はこのように容易に高速制御を行えるが、
弁の開閉力が、最大でも約１００ｇが限度と思われるた
め、これを中高圧用として使用することに困難がある。
弁の開閉力が、最大でも約１００ｇが限度と思われるた
め、これを中高圧用として使用することに困難がある。
（２）後者流量制御弁にあっては、バネＤ２はアムＤ６
に影響を与えない範囲のバネ定数のものにしなければな
らないという制限がある。このため、大きなバネ定数を
必要とする中高圧用の流量制御弁には不適当ということ
になる。仮に現状のままで中高圧用の流量制御として使
用すると、バネ定数が低いため、流体圧の反力によって
弁座の変位ロスが大きくなり、流体制御を高精度に行う
ことができないという不都合が生ずる。
に影響を与えない範囲のバネ定数のものにしなければな
らないという制限がある。このため、大きなバネ定数を
必要とする中高圧用の流量制御弁には不適当ということ
になる。仮に現状のままで中高圧用の流量制御として使
用すると、バネ定数が低いため、流体圧の反力によって
弁座の変位ロスが大きくなり、流体制御を高精度に行う
ことができないという不都合が生ずる。
本発明は、上記従来の問題点に鑑み、圧電体を駆動源と
する流量＠御弁について、従来と別構成の、中高圧用と
しての、高速応答性に優れ、かつ、連続的な流量制御が
可能な高速流量制御弁の提供を目的とする。
する流量＠御弁について、従来と別構成の、中高圧用と
しての、高速応答性に優れ、かつ、連続的な流量制御が
可能な高速流量制御弁の提供を目的とする。
上記目的を達成するため、本発明に係わる高速流量制御
弁は、駆動源である積層型圧電アクチｊ。
弁は、駆動源である積層型圧電アクチｊ。
エータと、この積層型圧電アクチュエータの直動変位量
を回転変位量に変換する第１変換手段と、前記回転変位
量を直動変位量に戻す第２変換手段と、この第２変換手
段に連動する流量制御弁とからなる構成とした。
を回転変位量に変換する第１変換手段と、前記回転変位
量を直動変位量に戻す第２変換手段と、この第２変換手
段に連動する流量制御弁とからなる構成とした。
かかる構成であれば、積層型圧電アクチュエタの直動変
位量は、第１変換手段により一旦回転変位量に変換され
、更に第２変換手段により直動変位量に戻される。その
後、この第２変換手段に連動する流量制御弁を作動せし
める。尚、この流量制御弁いわゆるスプール型、ポペッ
ト型その他流量制御機能を備えた弁をいう。かかる作用
により、積層型圧電アクチュエータの直動変位量を第１
変換手段及び／又は第２変換手段で変更することが可能
となる。また第２変換手段では回転変位量を直動変位量
に再度戻しているため、この直動変位量は、元の積層型
圧電アクチュエータの直動変位量に対し、比例量（リニ
ア量）となり得る。
位量は、第１変換手段により一旦回転変位量に変換され
、更に第２変換手段により直動変位量に戻される。その
後、この第２変換手段に連動する流量制御弁を作動せし
める。尚、この流量制御弁いわゆるスプール型、ポペッ
ト型その他流量制御機能を備えた弁をいう。かかる作用
により、積層型圧電アクチュエータの直動変位量を第１
変換手段及び／又は第２変換手段で変更することが可能
となる。また第２変換手段では回転変位量を直動変位量
に再度戻しているため、この直動変位量は、元の積層型
圧電アクチュエータの直動変位量に対し、比例量（リニ
ア量）となり得る。
また、第１変換手段及び／又は第２変換手段を機械的強
度のある手段とした場合、流体圧の高低に係わりな（、
流量を制御することが可能となり、この結果、これを中
高圧用として使用することができるようになる。更に、
積層型圧電アクチュエタの駆動は扱い易い電気制御によ
り生じているため、かつ、前述の通り、例えその直動変
位が僅かであっても又如何なる位置であっても、これら
に係わりなく元の積層型圧電アクチュエータの直動変位
に比例したリニア量を出力するため、高速応答性に優れ
、かつ、連続制御が可能な流量制御弁となり得る。
度のある手段とした場合、流体圧の高低に係わりな（、
流量を制御することが可能となり、この結果、これを中
高圧用として使用することができるようになる。更に、
積層型圧電アクチュエタの駆動は扱い易い電気制御によ
り生じているため、かつ、前述の通り、例えその直動変
位が僅かであっても又如何なる位置であっても、これら
に係わりなく元の積層型圧電アクチュエータの直動変位
に比例したリニア量を出力するため、高速応答性に優れ
、かつ、連続制御が可能な流量制御弁となり得る。
以下図面を参照し、本発明に係わる高速流量制御弁の実
施例及びその使用例を述べる。第１図（ａ）は本発明に
係わる高速流量制御弁の第１実施例図、同図（ｂ）は前
記第１図の部分断面図（ＸＸ視図）、第２図は本発明に
係わる高速流量制御弁の第２実施例図、第３図及び第４
図は上記第１実施例の使用例図、第５図及び第６図は上
記第２実施例の使用例図である。
施例及びその使用例を述べる。第１図（ａ）は本発明に
係わる高速流量制御弁の第１実施例図、同図（ｂ）は前
記第１図の部分断面図（ＸＸ視図）、第２図は本発明に
係わる高速流量制御弁の第２実施例図、第３図及び第４
図は上記第１実施例の使用例図、第５図及び第６図は上
記第２実施例の使用例図である。
第１実施例の高速流量制御弁は、第１図に示す通り、積
層型圧電アクチュエータＡｌｌの直動変位量Δχをカム
及び歯車機構により回転変位量に拡大し、更にランク機
構によりこれを直動変位量に戻し、流量制御弁Ａ２のス
プールＡ２３を直動せしめる構成である。詳しくは、同
図（ａ）、（ｂ）において、高速流量制御弁は流量制御
弁Ａ２と変換部ＡＩとに別れ、前者Ａ２は流体の人出孔
Ａ２］を前記スプールＡ２３で調節しつつ開閉し、流量
を制御するという戻しバネＡ２２付きスプル型の方向流
量切替弁であり、後者Ａ１は、そのケース内に、積層型
圧電アクチュエータＡｌｌと、カム及びレバー付きシャ
フトＡ１４と、歯車及びランク付きシャフトＡ１８とか
らなる変換部である。前記シャフトＡ１４は回転自在と
なるように軸受Ａ１３によりケースに支持されると共に
、同シャフトの軸心に対して偏心（偏心量ｅ）するカム
Ａ１２と、先端に歯車Ａ１６ （歯数Ｚｌ）を備えたレ
バーＡ １．５とを備えた構成となっている。他方シャ
フトＡ１Ｂもまた回転自在となるように軸受Ａ１３によ
りケースに支持されており、更に、前記レバーＡ１５の
歯車Ａ１６に噛み合う歯車Ａ１７（歯数２２）を備える
と共に、ケース外に突出した該シャフトＡ１８の端部に
ビニオンギアＡ１９を備えた構成となっている。また、
積層型圧電アクチュエータＡｌｌの端面とカムＡ１２の
表面とは、スプール戻しバネＡ２２により、ビニオンギ
アＡ１９及び歯車Ａ１６．Ａ１７（７）バックラッシュ
が常時零補正されているため、常時接触し、歯車Ａ１６
と歯車Ａ１７とは常時噛み合い、かつ、ビニオンギアＡ
１９は流量制御弁Ａ２のスプール端部に備えられたラン
クに常時噛み合っている。つまり、かかる構成では、第
１変換手段はカムＡ１２からシャフトＡ１８までを指し
、他方第１変換手段はビニオンギアＡ１９を指す。
層型圧電アクチュエータＡｌｌの直動変位量Δχをカム
及び歯車機構により回転変位量に拡大し、更にランク機
構によりこれを直動変位量に戻し、流量制御弁Ａ２のス
プールＡ２３を直動せしめる構成である。詳しくは、同
図（ａ）、（ｂ）において、高速流量制御弁は流量制御
弁Ａ２と変換部ＡＩとに別れ、前者Ａ２は流体の人出孔
Ａ２］を前記スプールＡ２３で調節しつつ開閉し、流量
を制御するという戻しバネＡ２２付きスプル型の方向流
量切替弁であり、後者Ａ１は、そのケース内に、積層型
圧電アクチュエータＡｌｌと、カム及びレバー付きシャ
フトＡ１４と、歯車及びランク付きシャフトＡ１８とか
らなる変換部である。前記シャフトＡ１４は回転自在と
なるように軸受Ａ１３によりケースに支持されると共に
、同シャフトの軸心に対して偏心（偏心量ｅ）するカム
Ａ１２と、先端に歯車Ａ１６ （歯数Ｚｌ）を備えたレ
バーＡ １．５とを備えた構成となっている。他方シャ
フトＡ１Ｂもまた回転自在となるように軸受Ａ１３によ
りケースに支持されており、更に、前記レバーＡ１５の
歯車Ａ１６に噛み合う歯車Ａ１７（歯数２２）を備える
と共に、ケース外に突出した該シャフトＡ１８の端部に
ビニオンギアＡ１９を備えた構成となっている。また、
積層型圧電アクチュエータＡｌｌの端面とカムＡ１２の
表面とは、スプール戻しバネＡ２２により、ビニオンギ
アＡ１９及び歯車Ａ１６．Ａ１７（７）バックラッシュ
が常時零補正されているため、常時接触し、歯車Ａ１６
と歯車Ａ１７とは常時噛み合い、かつ、ビニオンギアＡ
１９は流量制御弁Ａ２のスプール端部に備えられたラン
クに常時噛み合っている。つまり、かかる構成では、第
１変換手段はカムＡ１２からシャフトＡ１８までを指し
、他方第１変換手段はビニオンギアＡ１９を指す。
作用を述べれば、積層型圧電アクチュエータＡ１１が駆
動し、これに直動変位量△χが生ずると、この直動変位
量△χは、偏心カムＡ１２とシャフトＡ１８とを介して
レバーＡ１５を拡大回転（回転角−ｔａｎ−’（△χ／
ｅ））せしめ、更に、このレバーＡ１５端の歯車Ａ１６
と、シャフトＡ１８の歯車Ａ１７及びビニオンギアＡ１
９とを介し、流量制御弁Ａ２のスプールＡ２３を直動せ
しめる。そこで、このスプールＡ２３の直動変位１ｓは
（ｊａｎ−’（△χ／ｅ））・（Ｚ１／Ｚ２）ｒ）＃（
△χ／ｅ）・ （Ｚ工／Ｚ２）・ｒ （尚、ｒはビニオ
ンギアＡ１９のピッチ円半径）となり、スプールＡ２３
の直動変位量Ｓは積層型圧電アクチュエータＡｌｌの駆
動直動変位量△χに対し常時比例拡大する。従って、積
層型圧電アクチュエータＡｌｌの微小駆動変位も連続的
に、かつ、高速に拡大制御することができる。更に、本
実施例の変換部Ａ１は機械的構成としであるため、高強
度であり、このため、流体圧の高低に左右されることな
くスプールＡ２３を変位せしめることができる。
動し、これに直動変位量△χが生ずると、この直動変位
量△χは、偏心カムＡ１２とシャフトＡ１８とを介して
レバーＡ１５を拡大回転（回転角−ｔａｎ−’（△χ／
ｅ））せしめ、更に、このレバーＡ１５端の歯車Ａ１６
と、シャフトＡ１８の歯車Ａ１７及びビニオンギアＡ１
９とを介し、流量制御弁Ａ２のスプールＡ２３を直動せ
しめる。そこで、このスプールＡ２３の直動変位１ｓは
（ｊａｎ−’（△χ／ｅ））・（Ｚ１／Ｚ２）ｒ）＃（
△χ／ｅ）・ （Ｚ工／Ｚ２）・ｒ （尚、ｒはビニオ
ンギアＡ１９のピッチ円半径）となり、スプールＡ２３
の直動変位量Ｓは積層型圧電アクチュエータＡｌｌの駆
動直動変位量△χに対し常時比例拡大する。従って、積
層型圧電アクチュエータＡｌｌの微小駆動変位も連続的
に、かつ、高速に拡大制御することができる。更に、本
実施例の変換部Ａ１は機械的構成としであるため、高強
度であり、このため、流体圧の高低に左右されることな
くスプールＡ２３を変位せしめることができる。
第２実施例の高速流量制御弁は、第２図に示す通り、並
列の積層型圧電アクチュエータＢｌｌの直動変位量△χ
をリードネジ機構により拡大し、流量制御弁Ｂ２のスプ
ールＢ２３を直動せしめる構成である。詳しくは、同図
において、本実施例の高速流量制御弁もまた流量制御弁
Ｂ２と変換部Ｂ１とに別れ、前者Ｂ２は流体の人出孔Ｂ
２１を前記スプールＢ２３で調節しつつ開閉し流量制御
するという戻しバネＢ２２及びＢ２４付きスプル型の方
向流量切替弁であり、後者Ｂ１はそのケス内に、並列す
る２個の積層型圧電アクチュエタ８１．１と、これらの
端面に横架したリードめねじＢ１３付きプレートＢ１２
と、リードおねじＢ１４及びカムＢ１７付きシャフトＢ
１６とからなる変換部である。前記プレートＢ１２は２
個の積層型圧電アクチュエータＢｌｌの端面に常時圧着
するように、ケースに備えられたバネＢ１８１の反力を
受けている。またケースにはリードシャフト８１Ｂが植
えつけられると共に、プレートＢ１２のリードホールに
案内されることにより、このプレートＢ１２はシャフト
Ｂ１６の軸心に平行移動し得るようになっている。前記
シャツ）Ｂ１６は回転自在となるように軸受Ｂ１５によ
りケスに支持されると共に、そのオネジＢ１４が前記プ
レートＢ１２のメネジＢ１３に噛み合うようになってお
り、更に、ケース外に突出した該シャフト端部にカムＢ
１７を備えている。このカムＢ１７の表面は前記流量制
御弁Ｂ２のスプールＢ２３の端面と接している。作用を
述べれば、積層型圧電アクチュエータＢｌｌが駆動し、
これに直動変位量△χが生ずると、この直動変位量△χ
はブレトＢ１２を図示上下に平行移動せしめ、プレトＢ
１２内のメネジＢ１３と、おねしＢ１４とを介してシャ
フトＢ１６を回転せしめる。このとき、ネジピッチによ
り回転角が拡大する。更に、この拡大回転はカムＢ１７
を介し、流量制御弁Ｂ２のスプールＢ２３を直動せしめ
る。かかる構成において、第１変換手段はプレートＢ１
２からシャツ）Ｂ１６までを指し、他方第２変換手段は
カムＢ１７を指す。本実施例の効果を説明すれば、スプ
ール戻しバネＢ２２、Ｂ２４、Ｂ１８１によりネジＢ１
３、Ｂ１４のバックラッシュは常時零補正されているた
め、スプールＢ２３の直動変位量Ｓは積層型圧電アクチ
ュエータＢｌｌの駆動直動変位量△χに対し連続的に作
動することができると共に、積層型圧電アクチュエータ
Ｂｌｌの微小駆動変位でも正確に、かつ、高速に拡大す
ることができる。更に、本実施例の変換部Ｂ１は機械的
構成としであるため、高強度であり、このため、流体圧
の高低に左右されることなくスプールＢ２３を変位せし
め、流量を制御することができる。
列の積層型圧電アクチュエータＢｌｌの直動変位量△χ
をリードネジ機構により拡大し、流量制御弁Ｂ２のスプ
ールＢ２３を直動せしめる構成である。詳しくは、同図
において、本実施例の高速流量制御弁もまた流量制御弁
Ｂ２と変換部Ｂ１とに別れ、前者Ｂ２は流体の人出孔Ｂ
２１を前記スプールＢ２３で調節しつつ開閉し流量制御
するという戻しバネＢ２２及びＢ２４付きスプル型の方
向流量切替弁であり、後者Ｂ１はそのケス内に、並列す
る２個の積層型圧電アクチュエタ８１．１と、これらの
端面に横架したリードめねじＢ１３付きプレートＢ１２
と、リードおねじＢ１４及びカムＢ１７付きシャフトＢ
１６とからなる変換部である。前記プレートＢ１２は２
個の積層型圧電アクチュエータＢｌｌの端面に常時圧着
するように、ケースに備えられたバネＢ１８１の反力を
受けている。またケースにはリードシャフト８１Ｂが植
えつけられると共に、プレートＢ１２のリードホールに
案内されることにより、このプレートＢ１２はシャフト
Ｂ１６の軸心に平行移動し得るようになっている。前記
シャツ）Ｂ１６は回転自在となるように軸受Ｂ１５によ
りケスに支持されると共に、そのオネジＢ１４が前記プ
レートＢ１２のメネジＢ１３に噛み合うようになってお
り、更に、ケース外に突出した該シャフト端部にカムＢ
１７を備えている。このカムＢ１７の表面は前記流量制
御弁Ｂ２のスプールＢ２３の端面と接している。作用を
述べれば、積層型圧電アクチュエータＢｌｌが駆動し、
これに直動変位量△χが生ずると、この直動変位量△χ
はブレトＢ１２を図示上下に平行移動せしめ、プレトＢ
１２内のメネジＢ１３と、おねしＢ１４とを介してシャ
フトＢ１６を回転せしめる。このとき、ネジピッチによ
り回転角が拡大する。更に、この拡大回転はカムＢ１７
を介し、流量制御弁Ｂ２のスプールＢ２３を直動せしめ
る。かかる構成において、第１変換手段はプレートＢ１
２からシャツ）Ｂ１６までを指し、他方第２変換手段は
カムＢ１７を指す。本実施例の効果を説明すれば、スプ
ール戻しバネＢ２２、Ｂ２４、Ｂ１８１によりネジＢ１
３、Ｂ１４のバックラッシュは常時零補正されているた
め、スプールＢ２３の直動変位量Ｓは積層型圧電アクチ
ュエータＢｌｌの駆動直動変位量△χに対し連続的に作
動することができると共に、積層型圧電アクチュエータ
Ｂｌｌの微小駆動変位でも正確に、かつ、高速に拡大す
ることができる。更に、本実施例の変換部Ｂ１は機械的
構成としであるため、高強度であり、このため、流体圧
の高低に左右されることなくスプールＢ２３を変位せし
め、流量を制御することができる。
次に、上記各々の使用例について説明すれば、上記各々
の実施例に位置センサ５を連装した上、外部制御機器と
して、指令発信器１、比較器２、演算回路３、アンプ４
及びデイザ発信回路６（但し、デイザ発信回路６は第２
実施例の使用例のみに装着してみた）を用いて構成した
ものである。
の実施例に位置センサ５を連装した上、外部制御機器と
して、指令発信器１、比較器２、演算回路３、アンプ４
及びデイザ発信回路６（但し、デイザ発信回路６は第２
実施例の使用例のみに装着してみた）を用いて構成した
ものである。
即ち、指令発信器１から発信された指令値ｖＯは、比較
器２において、位置センサ５で検出された積層型圧電ア
クチュエータの変位量Ｖｏｕｔと比較（Ｖｏ −Ｖｏｕ
ｔ ）され、この結果を、必要に応じては更にデイザを
与えた後、アンプ４を介して積層型圧電アクチュエータ
に与えこれを駆動するものである。尚、上記使用例の詳
細はフローチャトと共に図面（第１実施例の使用例の構
成は第３図に、またそのフローチャートは第４図に示し
、他方第２実施例の使用例の構成は第５図に、またその
フローチャートは第６図に示しである）に示したので詳
細説明を省略する。かかる使用例からも分かるように、
本実施例の周辺制御もまた容易に構成することができる
。
器２において、位置センサ５で検出された積層型圧電ア
クチュエータの変位量Ｖｏｕｔと比較（Ｖｏ −Ｖｏｕ
ｔ ）され、この結果を、必要に応じては更にデイザを
与えた後、アンプ４を介して積層型圧電アクチュエータ
に与えこれを駆動するものである。尚、上記使用例の詳
細はフローチャトと共に図面（第１実施例の使用例の構
成は第３図に、またそのフローチャートは第４図に示し
、他方第２実施例の使用例の構成は第５図に、またその
フローチャートは第６図に示しである）に示したので詳
細説明を省略する。かかる使用例からも分かるように、
本実施例の周辺制御もまた容易に構成することができる
。
以上説明したように、本発明に係わる高速流量制御弁は
、駆動源である積層型圧電アクチュエタと、この積層型
圧電アクチュエータの直動変位量を回転変位量に変換す
る第１変換手段と、前記回転変位量を直動変位量に戻す
第２変換手段と、この第２変換手段に連動する流量制御
弁とからなる構成としであるため、中高圧用として高速
応答性に優れ、かつ、連続制御を容易に行い得る高速流
量制御弁となることができる。
、駆動源である積層型圧電アクチュエタと、この積層型
圧電アクチュエータの直動変位量を回転変位量に変換す
る第１変換手段と、前記回転変位量を直動変位量に戻す
第２変換手段と、この第２変換手段に連動する流量制御
弁とからなる構成としであるため、中高圧用として高速
応答性に優れ、かつ、連続制御を容易に行い得る高速流
量制御弁となることができる。
第１図（ａ）は本発明に係わる高速流量制御弁の第１実
施例図、同図（ｂ）は前記第１図の部分断面図＜Ｘ−Ｘ
視図）、第２図は第２実施例図、第３図及び第４図は上
記第１実施例の使用例図であって、第３図はその構成図
、第４図はそのフロチャート図、第５図及び第６図は上
記第２実施例の使用例図であって、第５図はその構成図
、第６図はそのフローチャート図である。 Ａ１２ 、 Ａ１３ 、 Ａ１４ １ 、Ａ １５ Ａ１６ 、 Ａ１９ ・ Ａ２２ 、 Ａ２３ 、 △χ 、 ・カム ・軸受 Ｂ１６、Ｂ１０・・シャフト ・レバ ・歯車 ・ビニオンギア Ｂ２２、Ｂ２４・ ・バネ ・スプール ・プレート ・リードめねじ ・リードおねじ ・偏心量 ・直動変位量 Ｂ１７ ・ Ｂ１５ ・ ＡｌＢ 、 Ａ１７ ・ Ｂ １８１ 、 Ｂ２３ ・ Ｓ ・ ・
施例図、同図（ｂ）は前記第１図の部分断面図＜Ｘ−Ｘ
視図）、第２図は第２実施例図、第３図及び第４図は上
記第１実施例の使用例図であって、第３図はその構成図
、第４図はそのフロチャート図、第５図及び第６図は上
記第２実施例の使用例図であって、第５図はその構成図
、第６図はそのフローチャート図である。 Ａ１２ 、 Ａ１３ 、 Ａ１４ １ 、Ａ １５ Ａ１６ 、 Ａ１９ ・ Ａ２２ 、 Ａ２３ 、 △χ 、 ・カム ・軸受 Ｂ１６、Ｂ１０・・シャフト ・レバ ・歯車 ・ビニオンギア Ｂ２２、Ｂ２４・ ・バネ ・スプール ・プレート ・リードめねじ ・リードおねじ ・偏心量 ・直動変位量 Ｂ１７ ・ Ｂ１５ ・ ＡｌＢ 、 Ａ１７ ・ Ｂ １８１ 、 Ｂ２３ ・ Ｓ ・ ・
Claims (1)
- 駆動源である積層型圧電アクチュエータと、この積層型
圧電アクチュエータの直動変位量を回転変位量に変換す
る第１変換手段と、前記回転変位量を直動変位量に戻す
第２変換手段と、この第２変換手段に連動する流量制御
弁とからなる構成を特徴とする高速流量制御弁。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63325540A JPH02173483A (ja) | 1988-12-23 | 1988-12-23 | 高速流量制御弁 |
| PCT/JP1989/001272 WO1990007667A1 (en) | 1988-12-23 | 1989-12-18 | High-speed flow rate control valve |
| US07/691,025 US5148833A (en) | 1988-12-23 | 1989-12-18 | High-speed flow control valve |
| EP19900901014 EP0450078A4 (en) | 1988-12-23 | 1989-12-18 | High-speed flow rate control valve |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63325540A JPH02173483A (ja) | 1988-12-23 | 1988-12-23 | 高速流量制御弁 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02173483A true JPH02173483A (ja) | 1990-07-04 |
Family
ID=18178024
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63325540A Pending JPH02173483A (ja) | 1988-12-23 | 1988-12-23 | 高速流量制御弁 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5148833A (ja) |
| EP (1) | EP0450078A4 (ja) |
| JP (1) | JPH02173483A (ja) |
| WO (1) | WO1990007667A1 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| JP2009531624A (ja) * | 2006-03-23 | 2009-09-03 | シーメンス アクチエンゲゼルシヤフト | 流体調量装置並びに流体調量のためのシステム |
| KR101408071B1 (ko) * | 2013-01-18 | 2014-06-17 | 국방과학연구소 | 고온용 압전 구동식 밸브 시스템 |
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| DE10103426A1 (de) * | 2001-01-26 | 2002-08-01 | Hydraulik Ring Gmbh | Ansteuereinrichtung für hydraulische und/oder mechanische Komponenten |
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| US20090208421A1 (en) | 2008-02-19 | 2009-08-20 | Dominique Meyer | Process for preparing a pharmaceutical formulation of contrast agents |
| FR2945448B1 (fr) | 2009-05-13 | 2012-08-31 | Guerbet Sa | Procede de preparation d'une formulation pharmaceutique de chelate de lanthanide sous forme de poudre. |
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| US20220243827A1 (en) * | 2019-06-28 | 2022-08-04 | Leggett & Platt Canada Co. | Fluid management system |
| US11808374B2 (en) | 2020-12-30 | 2023-11-07 | Leggett & Platt Canada Co. | Fluid management system |
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| US20230235833A1 (en) * | 2022-01-21 | 2023-07-27 | Hamilton Sundstrand Corporation | Flow control devices |
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| DE3342951C2 (de) * | 1983-11-26 | 1986-12-18 | Daimler-Benz Ag, 7000 Stuttgart | Betätigungseinrichtung für zwei abhängig voneinander betätigbare Ventile |
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| JPS62283274A (ja) * | 1986-06-02 | 1987-12-09 | Koganei Seisakusho:Kk | 電歪素子を用いた弁 |
| JPS62283273A (ja) * | 1986-06-02 | 1987-12-09 | Hitachi Metals Ltd | 圧電式ガス流量制御弁 |
| US4929859A (en) * | 1987-12-25 | 1990-05-29 | Toyota Jidosha Kabushiki Kaisha | Piezoelectric actuator having parallel arrangement of a single piezoelectric element and a pair of displacement magnification arms |
| US4825894A (en) * | 1988-06-08 | 1989-05-02 | Moog, Inc. | Piezoelectric torque motor |
| JPH02125101A (ja) * | 1988-11-02 | 1990-05-14 | Agency Of Ind Science & Technol | 流体制御弁 |
-
1988
- 1988-12-23 JP JP63325540A patent/JPH02173483A/ja active Pending
-
1989
- 1989-12-18 EP EP19900901014 patent/EP0450078A4/en not_active Withdrawn
- 1989-12-18 US US07/691,025 patent/US5148833A/en not_active Expired - Fee Related
- 1989-12-18 WO PCT/JP1989/001272 patent/WO1990007667A1/ja not_active Application Discontinuation
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Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| EP0450078A1 (en) | 1991-10-09 |
| US5148833A (en) | 1992-09-22 |
| EP0450078A4 (en) | 1991-11-13 |
| WO1990007667A1 (en) | 1990-07-12 |
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