JPH02172808A - βサイアロン微粉末の合成方法 - Google Patents
βサイアロン微粉末の合成方法Info
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- JPH02172808A JPH02172808A JP63323617A JP32361788A JPH02172808A JP H02172808 A JPH02172808 A JP H02172808A JP 63323617 A JP63323617 A JP 63323617A JP 32361788 A JP32361788 A JP 32361788A JP H02172808 A JPH02172808 A JP H02172808A
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- C01—INORGANIC CHEMISTRY
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- C01P2006/80—Compositional purity
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明はβサイアロン微粉末の製造方法に関するもので
ある。
ある。
βサイアロンはβ5izNnのSi位置にAlそしてN
の位置に0が置換した固溶体であり、−数式si、−2
A1.O,N、、 (但し、O<z≦4.2)で表され
る。
の位置に0が置換した固溶体であり、−数式si、−2
A1.O,N、、 (但し、O<z≦4.2)で表され
る。
βサイアロンの焼結体は強度、耐熱性、耐蝕性、耐酸化
性に優れるため、切削工具を始めとして、エンジン、ガ
スタービン部材等への応用が期待されている。
性に優れるため、切削工具を始めとして、エンジン、ガ
スタービン部材等への応用が期待されている。
従来のβサイアロン粉末の合成法としては、天然に産出
するカオリナイトをNi13雰囲気で熱分解する方法(
Journal of Material 5cien
ce IL 1972−1974 (1976))、S
ing、A I (011) :l+71共沈物をN1
1゜雰囲気で熱分解する方法<Arn、 Ceram、
Soc、 Bull。
するカオリナイトをNi13雰囲気で熱分解する方法(
Journal of Material 5cien
ce IL 1972−1974 (1976))、S
ing、A I (011) :l+71共沈物をN1
1゜雰囲気で熱分解する方法<Arn、 Ceram、
Soc、 Bull。
58、191−193(1979))、シラスやケイ砂
等の鉱物に金属アルミニウムを加えて不活性雰囲気に還
元する方法(窯業協会誌88.361−367 (19
80))、Sin。
等の鉱物に金属アルミニウムを加えて不活性雰囲気に還
元する方法(窯業協会誌88.361−367 (19
80))、Sin。
Al2O2系の混合物にCを加え、窒素気流中で焼成す
る還元窒化法(窯業協会誌95.570−574 (1
987))、7 モ/L/ 7 y ス5iJnとA1
..03、AlNを混合しテN、気流中で焼成する方法
(特開昭62−72507号公報)などが知られている
。
る還元窒化法(窯業協会誌95.570−574 (1
987))、7 モ/L/ 7 y ス5iJnとA1
..03、AlNを混合しテN、気流中で焼成する方法
(特開昭62−72507号公報)などが知られている
。
〔発明が解決しようとする課B]
上記の方法のうち、カオリナイト、シラス、ケイ砂等の
天然原料を用いる方法の場合は合成粉中に不純物が7R
人し易く、一方、Sin、とΔ1. (011) 3の
共沈物、Sing Al□03系の混合物、アモルフ
ァスSi、N、とAl、03、AlNの混合物等を焼成
する方法の場合は基本的に固相同志の反応であるため合
成時間が長く、また未反応物も残存するという欠点を有
している。さらに、従来法で得られたβサイアロン粉末
は固相反応であるためAlのSi位置への置換あるいは
0のN位置への置換が不完全で、焼結体を作成した時の
結合強度も不十分となり強度や耐酸化性を劣化させる要
因となっている。
天然原料を用いる方法の場合は合成粉中に不純物が7R
人し易く、一方、Sin、とΔ1. (011) 3の
共沈物、Sing Al□03系の混合物、アモルフ
ァスSi、N、とAl、03、AlNの混合物等を焼成
する方法の場合は基本的に固相同志の反応であるため合
成時間が長く、また未反応物も残存するという欠点を有
している。さらに、従来法で得られたβサイアロン粉末
は固相反応であるためAlのSi位置への置換あるいは
0のN位置への置換が不完全で、焼結体を作成した時の
結合強度も不十分となり強度や耐酸化性を劣化させる要
因となっている。
本発明はこれらの欠点を解消するべくなされたものであ
り、StとAl、あるいはOとNとが原子レベルで均一
に混合または結合された高純度βサイアロン粉末の製造
方法を提供することを目的とする。
り、StとAl、あるいはOとNとが原子レベルで均一
に混合または結合された高純度βサイアロン粉末の製造
方法を提供することを目的とする。
本発明者は前記目的を達成するために鋭意研究を重ねた
結果、Si源として一般式SiHxCl,n□(0≦x
≦4)で表されるシラン化合物、At源として塩化アル
ミニウムを使用し、これらを一般弐(ROR(R,R’
=Cyllzy−+)で表されるエーテルを相互溶解が
可能な有機溶媒中に溶解させることによりSi、Al及
び0が原子レベルで均一に混合された溶液を得、これに
Nl+3を導入することによって生成したSiイミドと
A1アミドの共沈物を非酸化性雰囲気中で焼成すること
によってSt、 Al5O,Nが原子レベルで均一に混
合されたβサイアロン粉末が得られることを見い出した
。
結果、Si源として一般式SiHxCl,n□(0≦x
≦4)で表されるシラン化合物、At源として塩化アル
ミニウムを使用し、これらを一般弐(ROR(R,R’
=Cyllzy−+)で表されるエーテルを相互溶解が
可能な有機溶媒中に溶解させることによりSi、Al及
び0が原子レベルで均一に混合された溶液を得、これに
Nl+3を導入することによって生成したSiイミドと
A1アミドの共沈物を非酸化性雰囲気中で焼成すること
によってSt、 Al5O,Nが原子レベルで均一に混
合されたβサイアロン粉末が得られることを見い出した
。
本発明はかかる知見に基づいてなされたものであり、S
i源として一般式5iHXC14−,+(0≦x≦4)
テ表されるシラン化合物、At源として塩化アルミニウ
ム(AlCI:I)、そして酸素源としては一般式RO
R’(R,R’、−C,)1.y、、、 O≦y≦5)
で表されるエーテルを用い、これらを相互溶解の可能な
有機溶媒中に溶解せしめた後、該溶液中にガス状NH,
を導入し、生成した沈澱物を分離して非酸化性雰囲気中
で焼成することを特徴とするβサイアロン粉末の製造方
法に関するものである。
i源として一般式5iHXC14−,+(0≦x≦4)
テ表されるシラン化合物、At源として塩化アルミニウ
ム(AlCI:I)、そして酸素源としては一般式RO
R’(R,R’、−C,)1.y、、、 O≦y≦5)
で表されるエーテルを用い、これらを相互溶解の可能な
有機溶媒中に溶解せしめた後、該溶液中にガス状NH,
を導入し、生成した沈澱物を分離して非酸化性雰囲気中
で焼成することを特徴とするβサイアロン粉末の製造方
法に関するものである。
シラン化合物は一般式5illxC14−X(0≦x≦
4)で表されるものであり、例としてはモノシラン、ジ
クロロシラン、トリクロロシラン、テトラクロシラン等
を挙げることができる。また、エーテルは一般式Rot
?’ (R,R’・CyH2y。1)(但し、yは工な
いし5、好ましくは1ないし3)で表されるものであり
、例としては、ジメチルエーテル、エチルエーテルなど
である。
4)で表されるものであり、例としてはモノシラン、ジ
クロロシラン、トリクロロシラン、テトラクロシラン等
を挙げることができる。また、エーテルは一般式Rot
?’ (R,R’・CyH2y。1)(但し、yは工な
いし5、好ましくは1ないし3)で表されるものであり
、例としては、ジメチルエーテル、エチルエーテルなど
である。
シラン化合物と塩化アルミニウムの混合比はSi/Al
比が0.5〜60の範囲であることが好ましい。
比が0.5〜60の範囲であることが好ましい。
0.5より低いとAlがサイアロンの固溶範囲を越え、
一方、60よりも大きいとStとAlの均一混合が困難
になる。またエーテル量はAlCl3に対してモル比で
1以上であればよい。”Ber、 dtsch、 Ch
em、 G−es、、 75. P4O10(1942
) ”にも示されているようにAlのハロゲン化物をエ
ーテルとはl:1の付加化合物をつくることが知られて
いる。エーテル量が1より小さいとこの付加反応が十分
に起こらず、未反応のAlC11が残ってしまう。
一方、60よりも大きいとStとAlの均一混合が困難
になる。またエーテル量はAlCl3に対してモル比で
1以上であればよい。”Ber、 dtsch、 Ch
em、 G−es、、 75. P4O10(1942
) ”にも示されているようにAlのハロゲン化物をエ
ーテルとはl:1の付加化合物をつくることが知られて
いる。エーテル量が1より小さいとこの付加反応が十分
に起こらず、未反応のAlC11が残ってしまう。
シラン化合物と塩化アルミニウムの相互溶解が可能な有
機溶媒は特に限定されるものではない。
機溶媒は特に限定されるものではない。
但し、これらはシラン化合物及び塩化アルミニウムを溶
解するが反応して異種の化合物を作る溶媒であってはな
らない。好ましい有機溶媒の例としてはジメチルエーテ
ル、ベンゼン、ニトロベンゼン、四塩化炭素、クロロホ
ルムなどを挙げることができる。これらの溶媒を用いる
ことにより、溶液中にΔ1とSiが均一に分散した溶液
を作成することが可能である。
解するが反応して異種の化合物を作る溶媒であってはな
らない。好ましい有機溶媒の例としてはジメチルエーテ
ル、ベンゼン、ニトロベンゼン、四塩化炭素、クロロホ
ルムなどを挙げることができる。これらの溶媒を用いる
ことにより、溶液中にΔ1とSiが均一に分散した溶液
を作成することが可能である。
この溶液中にガス状のアンモニアを導入する。
この時のNll3との反応は流通式でもバッチ式でもよ
い。また圧力はゲージ圧でO〜10kg/cm”程度の
任意の圧力を選ぶことが可能である。
い。また圧力はゲージ圧でO〜10kg/cm”程度の
任意の圧力を選ぶことが可能である。
反応温度は用いる原料により異なるが、一般にシラン化
合物の蒸気圧は高いので一30゛Cから50℃の範囲が
よく、−20℃から10’C程度の範囲が特に好ましい
。例えばシラン化合物としてテトラクロロシランを用い
た場合、10’Cでも120mmHHの蒸気圧を持つ。
合物の蒸気圧は高いので一30゛Cから50℃の範囲が
よく、−20℃から10’C程度の範囲が特に好ましい
。例えばシラン化合物としてテトラクロロシランを用い
た場合、10’Cでも120mmHHの蒸気圧を持つ。
そこでこれよりも高温になると溶液操作中に、流通式の
場合はさらに反応中にも蒸気により失なわれて組成の変
動を引き起こすため好ましくない。また−30’C以下
ではN11.との反応速度が遅くなり、反応時間が長く
かかったり、未反応物が混入するなどの問題が生ずる。
場合はさらに反応中にも蒸気により失なわれて組成の変
動を引き起こすため好ましくない。また−30’C以下
ではN11.との反応速度が遅くなり、反応時間が長く
かかったり、未反応物が混入するなどの問題が生ずる。
冷却装置も大型のものが必要となり経済的にも不利とな
る。
る。
一方、“J、 Cheap、 Soc、 (A)、 P
1508(1966)”やJ、 Am、 Cheap、
Soc、 1988.110.323”l−3238
”にも示されているように、AlChやシラン化合物は
、ピリジン、ピコリンなどのルイス塩基と反応して常温
付近でも安定な付加化合物をつくることが知られている
。従って、N11.と反応するに先立ゲにのような化合
物を形成させておくことによってシラン化合物の揮発を
防止して組成変化を防ぐことができる。
1508(1966)”やJ、 Am、 Cheap、
Soc、 1988.110.323”l−3238
”にも示されているように、AlChやシラン化合物は
、ピリジン、ピコリンなどのルイス塩基と反応して常温
付近でも安定な付加化合物をつくることが知られている
。従って、N11.と反応するに先立ゲにのような化合
物を形成させておくことによってシラン化合物の揮発を
防止して組成変化を防ぐことができる。
また、AlCl5とエーテルを下記の反応式に従って反
応せしめあらかじめAlとOとが均一に混合した化合物
をつくっておきこれとシラン化合物を共通の溶媒に溶解
して全く同一な手順でアンモニア化反応を行わせること
もできる。
応せしめあらかじめAlとOとが均一に混合した化合物
をつくっておきこれとシラン化合物を共通の溶媒に溶解
して全く同一な手順でアンモニア化反応を行わせること
もできる。
ここで用いる化合物は(A)、(B)、(C)の1種又
は2種以上の混合物でよい。
は2種以上の混合物でよい。
NH,との反応が終了した溶液はSt、 AlO共沈物
副生成N114C1又は溶媒から成っている。そこで、
このうち溶媒、NH4Cl、未反応物等は濾過、乾燥、
昇華などの公知の操作で分離除去する。
副生成N114C1又は溶媒から成っている。そこで、
このうち溶媒、NH4Cl、未反応物等は濾過、乾燥、
昇華などの公知の操作で分離除去する。
次に、非酸化性雰囲気中で焼成する。この焼成は、例え
ばN!、N113中で1200℃から1600℃で行え
ばよい。1200℃より低いと共沈物の熱分解が不完全
となり、不純物CやHあるいはCIが残り易く、−方、
1600℃を越えると生成物の熱分解やSiCの生成が
起こって好ましくない。雰囲気の一部を^r、■2等の
不活性ガスで置換してもよい。
ばN!、N113中で1200℃から1600℃で行え
ばよい。1200℃より低いと共沈物の熱分解が不完全
となり、不純物CやHあるいはCIが残り易く、−方、
1600℃を越えると生成物の熱分解やSiCの生成が
起こって好ましくない。雰囲気の一部を^r、■2等の
不活性ガスで置換してもよい。
このようにして得られたサイアロン粉末はSi。
Al、 N、0が原子レベルで制御された粒径0.2〜
0.5pmの微細粉である。粉末中のC,Ctはそれぞ
れC≦だと緻密化が阻害されたり、焼結体中の欠陥とな
って強度低下の原因になるからである。
0.5pmの微細粉である。粉末中のC,Ctはそれぞ
れC≦だと緻密化が阻害されたり、焼結体中の欠陥とな
って強度低下の原因になるからである。
この粉末を一部ブレス、CIP等で成形後、N2気流中
1700〜1800℃で焼成することにより高密度、高
強度なβサイアロン焼結体が作成できる。
1700〜1800℃で焼成することにより高密度、高
強度なβサイアロン焼結体が作成できる。
一般式SiHxCla−x(0≦x≦4)のシラン化合
物と塩化アルミニウムと一般式ROR“(R,R’=C
,N2.。1)(1≦y≦5)で表わされるエーテルを
用いることにより、これらを溶解して均一混合状態を作
成することを可能にしている溶液中でエーテルは塩化ア
ルミニウムと1:1の付加化合物を形成しているものと
思われる。この溶液にガス状のアンモニアを導入すると
シラン化合物と塩化アルミニウムのエーテル付加化合物
のアンモニア化が直ちに起こり、シリコンイミドとアル
ミニウムアミドが分子レベルで混合した共沈澱物が生成
する。これを非酸化性雰囲気で熱分解することによりS
tとAlあるいはNとOが均一に混合または結合したβ
サイアロン微粉末の作成が可能である。
物と塩化アルミニウムと一般式ROR“(R,R’=C
,N2.。1)(1≦y≦5)で表わされるエーテルを
用いることにより、これらを溶解して均一混合状態を作
成することを可能にしている溶液中でエーテルは塩化ア
ルミニウムと1:1の付加化合物を形成しているものと
思われる。この溶液にガス状のアンモニアを導入すると
シラン化合物と塩化アルミニウムのエーテル付加化合物
のアンモニア化が直ちに起こり、シリコンイミドとアル
ミニウムアミドが分子レベルで混合した共沈澱物が生成
する。これを非酸化性雰囲気で熱分解することによりS
tとAlあるいはNとOが均一に混合または結合したβ
サイアロン微粉末の作成が可能である。
実施例1
ガスの出入口のコックのついた12のフラスコに5iC
1414,0cc、 AlCh 8.15g(Si/A
l=2.0)及びジメチルエーテル100ccを投入し
てよく撹拌した。
1414,0cc、 AlCh 8.15g(Si/A
l=2.0)及びジメチルエーテル100ccを投入し
てよく撹拌した。
溶液は完全に均一に混合した透明な液体であった。
フラスコを恒温槽の中で一10℃に保ち、コックを開い
て一方からN113を速度で21 /minで導入し2
時間流通させた。フラスコ中には白色の沈澱が生成した
。フラスコの内容物を濾紙で濾過し、得られた沈澱物を
真空排気口をもつ密閉容器に移しかえてホットプレート
上で加熱しながら真空排気して内容物を乾燥させた。
て一方からN113を速度で21 /minで導入し2
時間流通させた。フラスコ中には白色の沈澱が生成した
。フラスコの内容物を濾紙で濾過し、得られた沈澱物を
真空排気口をもつ密閉容器に移しかえてホットプレート
上で加熱しながら真空排気して内容物を乾燥させた。
以上の操作は全て水分1 ppm以下、酸素1 ppm
以下に保たれたグローブボックス内で作った。
以下に保たれたグローブボックス内で作った。
得られた固形分を白金ルツボに入れ、環状炉中に装入し
た。N2をI L/minで流しながら350℃まで1
0°(: /+inで昇温し、その後1時間保持して副
生物NH4Clを除去した。350℃から1450℃ま
で5゛C/minで昇温して2時間保持した。得られた
粉末は白色粉末であった。透過型電子顕微鏡(TEM)
観察の結果粒子は0.2〜0.5μmの等軸状微粉末で
あった。
た。N2をI L/minで流しながら350℃まで1
0°(: /+inで昇温し、その後1時間保持して副
生物NH4Clを除去した。350℃から1450℃ま
で5゛C/minで昇温して2時間保持した。得られた
粉末は白色粉末であった。透過型電子顕微鏡(TEM)
観察の結果粒子は0.2〜0.5μmの等軸状微粉末で
あった。
X線回折の結果βサイアロン単相でありa軸、C軸の値
からZ値を予想すると約1.9であった。粒子をエネル
ギー分散型元素分析(EDS)で線分析した結果Si、
Alは極めて均一に分布していることがわかった。ま
た湿式分析により粉体中のC,C11lを測定したとこ
ろ、Cは0.2賀t%、CIは0.1wt%であった。
からZ値を予想すると約1.9であった。粒子をエネル
ギー分散型元素分析(EDS)で線分析した結果Si、
Alは極めて均一に分布していることがわかった。ま
た湿式分析により粉体中のC,C11lを測定したとこ
ろ、Cは0.2賀t%、CIは0.1wt%であった。
実施例2
実施例1と同様に1!のフラスコ中に5iC1゜13.
7CC,AlCl38.Og (St/Al=2.0)
及びジメチルエーテル100ccを投入し、さらにピリ
ジンを200cc加えると直ちに白色の沈澱を生じた。
7CC,AlCl38.Og (St/Al=2.0)
及びジメチルエーテル100ccを投入し、さらにピリ
ジンを200cc加えると直ちに白色の沈澱を生じた。
フラスコを恒温槽に入れて0℃に保ちNH3ガスを2
fl /minの速度で導入して2時間反応させた。こ
の後の操作は実施例1と全く同一の方法で行った。
fl /minの速度で導入して2時間反応させた。こ
の後の操作は実施例1と全く同一の方法で行った。
得られた粉末のX線回折、TEM観察、EDSを行った
結果、粉末は0′相を約15wt%含んだβ′相で2値
は約2.0であり、81% Atが均一に分散した0、
3〜0.6μmの微粉末であることがわかった。
結果、粉末は0′相を約15wt%含んだβ′相で2値
は約2.0であり、81% Atが均一に分散した0、
3〜0.6μmの微粉末であることがわかった。
この粉末50gにエタノール300ccと成形助剤とし
てPVAを1.5wt%になるように加え、ロータリー
エバポレーター中に装入して真空に吸引しながら溶媒を
乾燥させて顆粒を作成した。これを内径2001111
φの金型で一軸プレス後3t/a!でCIPI。
てPVAを1.5wt%になるように加え、ロータリー
エバポレーター中に装入して真空に吸引しながら溶媒を
乾燥させて顆粒を作成した。これを内径2001111
φの金型で一軸プレス後3t/a!でCIPI。
て成形体を得た。この成形体N、、500℃に保持する
ことにより脱脂し、炭素ルツボの中で1750℃C11
atのN2気流中に2時間保持したところ、密度3.1
0の焼結体が得られた。理論密度を3.11とすると相
対密度は99.7%である。焼結体のX線回折の結果、
構成相は○′相を約10wt%含んだβ相であり、Z値
も約2.0と粉末の組成をほぼ維持していた。
ことにより脱脂し、炭素ルツボの中で1750℃C11
atのN2気流中に2時間保持したところ、密度3.1
0の焼結体が得られた。理論密度を3.11とすると相
対密度は99.7%である。焼結体のX線回折の結果、
構成相は○′相を約10wt%含んだβ相であり、Z値
も約2.0と粉末の組成をほぼ維持していた。
実施例3
ガスの出入口コック、真空排気口及び撹拌機をもつタン
タル製圧力容器に5iC1n 15.、OCC,AlC
l31.59g、ジメチルエーテル100ccを投入し
てよく撹拌した。容器を恒温槽で一5℃に保ちガス出口
のコックを閉めた状態でNHiガスの圧力が2kg/c
+11で一定になるように導入して3時間保持した。反
応後N2ガスで容器内をパージしてから温)8中で30
゛Cで真空吸引して溶媒を除去した。得られた粉末をア
ルミナルツボにに入れ横型環状炉で350℃で1時間保
持してNIl、CIを除去した。次に粉末を取り出し、
ウレタン製のポットに装入してアセトンを加えた後5i
J4製ボールで解砕した。この粉末を乾燥後白金ルツボ
に移し、環状炉で1 j2/minのNH,ガス気流中
で1400’C13時間の加熱を行った。
タル製圧力容器に5iC1n 15.、OCC,AlC
l31.59g、ジメチルエーテル100ccを投入し
てよく撹拌した。容器を恒温槽で一5℃に保ちガス出口
のコックを閉めた状態でNHiガスの圧力が2kg/c
+11で一定になるように導入して3時間保持した。反
応後N2ガスで容器内をパージしてから温)8中で30
゛Cで真空吸引して溶媒を除去した。得られた粉末をア
ルミナルツボにに入れ横型環状炉で350℃で1時間保
持してNIl、CIを除去した。次に粉末を取り出し、
ウレタン製のポットに装入してアセトンを加えた後5i
J4製ボールで解砕した。この粉末を乾燥後白金ルツボ
に移し、環状炉で1 j2/minのNH,ガス気流中
で1400’C13時間の加熱を行った。
得られた粉末は粒径0.2〜0.4μmのβサイアロン
粉末でありZ値はほぼ0.5であった。粉末中に残存す
るCは1.2wt%であった。
粉末でありZ値はほぼ0.5であった。粉末中に残存す
るCは1.2wt%であった。
実施例4
ビーカー中でAlCh 8.Ogをジメチルエーテル1
00ccに溶解した後、溶液を加熱していくと約170
℃でやや黄色みがかった多孔体が得られた。
00ccに溶解した後、溶液を加熱していくと約170
℃でやや黄色みがかった多孔体が得られた。
これを乳鉢で軽く粉砕してビーカー中に入れニトロメタ
ン50ccに熔解させた。これにSiC1m 14.1
ccを加えると完全に2相に分離し、さらにベンゼンを
100cc加えると再び1相となった。溶液を12のフ
ラスコに移しかえ実施例1と同様な方法でNH3を21
/minの速度で導入して2時間反応させた。
ン50ccに熔解させた。これにSiC1m 14.1
ccを加えると完全に2相に分離し、さらにベンゼンを
100cc加えると再び1相となった。溶液を12のフ
ラスコに移しかえ実施例1と同様な方法でNH3を21
/minの速度で導入して2時間反応させた。
生成する沈澱物を同様の処理をして加熱まで終了させた
ところ、白色の粉末が得られた。X線回折から構成相は
0′相を5wt%含むβ相でZ=2.1と推定された。
ところ、白色の粉末が得られた。X線回折から構成相は
0′相を5wt%含むβ相でZ=2.1と推定された。
粉末の粒度も同様に0.2〜0.5μmであった。
本発明のように原料として一般式SiH,C1,−〇(
O≦x≦4)で表されるシラン化合物AlC1m、−数
式ROR’ (R,R’・C,H,□1)で表されるエ
ーテル及びNFl、の反応、熱分解によって5iSAl
、 0. Nの各元素が化学的に均一に分布したβサイ
アロン微粉末を得ることができる。そして、このような
粉末を用いることにより、比較的低温でも高密度焼結体
を合成することができる。
O≦x≦4)で表されるシラン化合物AlC1m、−数
式ROR’ (R,R’・C,H,□1)で表されるエ
ーテル及びNFl、の反応、熱分解によって5iSAl
、 0. Nの各元素が化学的に均一に分布したβサイ
アロン微粉末を得ることができる。そして、このような
粉末を用いることにより、比較的低温でも高密度焼結体
を合成することができる。
特許出願人 日本鋼管株式会社
代 理 人 弁理士 出生 政浩
手続補正書(自発)
平成元年2月2日
Claims (6)
- (1)Si源として一般式SiH_xCl_4_−_x
(0≦x≦4)で表されるシラン化合物、Al源として
塩化アルミニウム(AlCl_3)、そして酸素源とし
ては一般式ROR’(R、R’=C_yH_2_y_+
_1、1≦y≦5)で表されるエーテルを用い、これら
を相互溶解の可能な有機溶媒中に溶解せしめた後、該溶
液中にガス状NH_3を導入し、生成した沈澱物を分離
して非酸化性雰囲気中で焼成することを特徴とするβサ
イアロン粉末の製造方法 - (2)エーテルがAlCl_3に対するモル比で1以上
であることを特徴とする請求項(1)に記載のβサイア
ロン粉末の製造方法 - (3)NH_3との反応温度を−30℃から50℃にす
ることを特徴とする請求項(1)に記載のβサイアロン
粉末の製造方法 - (4)焼成温度を1200℃から1600℃にすること
を特徴とする請求項(1)に記載のβサイアロン粉末の
製造方法 - (5)塩化アルミニウムとエーテルをあらかじめ反応さ
せてAlOCl、▲数式、化学式、表等があります▼ C_yH_2_y_+_1−O−AlCl_2の1種又
は2種以上の混合物を得、これとシラン化合物を相互溶
解可能な溶媒に溶解した後ガス状NH_3を導入するこ
とを特徴ととした請求項(1)、(2)、(3)又は(
4)に記載のβサイアロン粉末の製造方法 - (6)シラン化合物と塩化アルミニウムの混合比がSi
/Alの元素比で0.5〜60であることを特徴とする
請求項(1)、(2)、(3)又は(4)に記載のβサ
イアロン粉末の製造方法
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP63323617A JPH02172808A (ja) | 1988-12-23 | 1988-12-23 | βサイアロン微粉末の合成方法 |
DE89123809T DE68908681T2 (de) | 1988-12-23 | 1989-12-22 | Verfahren zur Herstellung von feinpulvrigem beta-Sialon. |
EP89123809A EP0374955B1 (en) | 1988-12-23 | 1989-12-22 | Method of producing beta-sialon fine powder |
US07/455,013 US4983368A (en) | 1988-12-23 | 1989-12-22 | Method of producing β-sialon fine powder |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP63323617A JPH02172808A (ja) | 1988-12-23 | 1988-12-23 | βサイアロン微粉末の合成方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH02172808A true JPH02172808A (ja) | 1990-07-04 |
JPH055761B2 JPH055761B2 (ja) | 1993-01-25 |
Family
ID=18156732
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP63323617A Granted JPH02172808A (ja) | 1988-12-23 | 1988-12-23 | βサイアロン微粉末の合成方法 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US4983368A (ja) |
EP (1) | EP0374955B1 (ja) |
JP (1) | JPH02172808A (ja) |
DE (1) | DE68908681T2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5053965A (en) * | 1988-08-26 | 1991-10-01 | Nissan Motor Company, Limited | Attitude change suppressive vehicular height regulation system |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5075265A (en) * | 1990-12-10 | 1991-12-24 | Ford Motor Company | Preparation of aluminum oxynitride from organosiloxydihaloalanes |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5377209A (en) * | 1976-12-20 | 1978-07-08 | Sumitomo Chemical Co | Method of manufacturing *saiaron* *solid solution of silicon nitride and alumina* fine powder and its moldings |
JPS5520239A (en) * | 1978-07-28 | 1980-02-13 | Denki Kagaku Kogyo Kk | Production of polycrystalline alumina silica fiber |
JPS60118615A (ja) * | 1983-11-28 | 1985-06-26 | Mitsui Toatsu Chem Inc | 含炭素組成物の製造方法 |
-
1988
- 1988-12-23 JP JP63323617A patent/JPH02172808A/ja active Granted
-
1989
- 1989-12-22 EP EP89123809A patent/EP0374955B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1989-12-22 DE DE89123809T patent/DE68908681T2/de not_active Expired - Fee Related
- 1989-12-22 US US07/455,013 patent/US4983368A/en not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5053965A (en) * | 1988-08-26 | 1991-10-01 | Nissan Motor Company, Limited | Attitude change suppressive vehicular height regulation system |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
EP0374955A1 (en) | 1990-06-27 |
US4983368A (en) | 1991-01-08 |
DE68908681D1 (de) | 1993-09-30 |
DE68908681T2 (de) | 1993-12-23 |
EP0374955B1 (en) | 1993-08-25 |
JPH055761B2 (ja) | 1993-01-25 |
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