JPH02170445A - 半導体素子の実装方法 - Google Patents
半導体素子の実装方法Info
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- JPH02170445A JPH02170445A JP32402888A JP32402888A JPH02170445A JP H02170445 A JPH02170445 A JP H02170445A JP 32402888 A JP32402888 A JP 32402888A JP 32402888 A JP32402888 A JP 32402888A JP H02170445 A JPH02170445 A JP H02170445A
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/73—Means for bonding being of different types provided for in two or more of groups H01L2224/10, H01L2224/18, H01L2224/26, H01L2224/34, H01L2224/42, H01L2224/50, H01L2224/63, H01L2224/71
- H01L2224/732—Location after the connecting process
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- H01L2224/73253—Bump and layer connectors
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K3/00—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
- H05K3/30—Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistor
- H05K3/301—Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistor by means of a mounting structure
-
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- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
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- H05K3/30—Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistor
- H05K3/32—Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistor electrically connecting electric components or wires to printed circuits
- H05K3/34—Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistor electrically connecting electric components or wires to printed circuits by soldering
- H05K3/341—Surface mounted components
- H05K3/3431—Leadless components
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
[産業上の利用分野]
本発明は、半導体素子の実装方法に関するものである。
[従来の技術]
バンプを介して半導体素子と基板を接続するギヤングボ
ンディング法としては、熱圧着法や加圧圧接法が知られ
ている。第3図及び第4図はそれぞれ加圧圧接法の一例
を示すもので、基it上に形成された導体パターン2と
半導体素子3に形成されたバンプ4とをバネ等の圧接具
5を介して接合するのであるが、かかる実装においては
、圧接具5を装着するための加圧装置が不可欠で、かか
る加圧装置は、高い精度が要求されるため高価であり、
設備費が高くなるという欠点があった。また、加圧時に
半導体素子3に機械的ストレスが加わるという欠点があ
った。さらに、圧接のみ行なうため、樹脂封止して防水
することができなかった。
ンディング法としては、熱圧着法や加圧圧接法が知られ
ている。第3図及び第4図はそれぞれ加圧圧接法の一例
を示すもので、基it上に形成された導体パターン2と
半導体素子3に形成されたバンプ4とをバネ等の圧接具
5を介して接合するのであるが、かかる実装においては
、圧接具5を装着するための加圧装置が不可欠で、かか
る加圧装置は、高い精度が要求されるため高価であり、
設備費が高くなるという欠点があった。また、加圧時に
半導体素子3に機械的ストレスが加わるという欠点があ
った。さらに、圧接のみ行なうため、樹脂封止して防水
することができなかった。
[発明が解決しようとする課題]
本発明は上記欠点に鑑みなされたもので、その目的とす
るところは、半導体素子と基板との圧接が加圧装置を用
いることなく行え、且つ、・封止も可能な実装方法を提
供するにある。
るところは、半導体素子と基板との圧接が加圧装置を用
いることなく行え、且つ、・封止も可能な実装方法を提
供するにある。
[課題を解決するための手段〕
本発明は上記課題を解決するため、半導体素子と、表面
に導体パターンが形成された基板とをバンプを介して接
合して成る半導体素子の実装において、前記基板上の所
定位置に半導体素子を位置決めして搭載すると共に、形
状記憶合金で形成された圧接具を高温下で拡形した状態
で装着し、しかる後圧接具を冷却し、圧接具の復帰応力
により半導体素子に荷重を加え、半導体素子−バンプ−
基板の電気的コンタクトを得るようにしたことを特徴と
する。
に導体パターンが形成された基板とをバンプを介して接
合して成る半導体素子の実装において、前記基板上の所
定位置に半導体素子を位置決めして搭載すると共に、形
状記憶合金で形成された圧接具を高温下で拡形した状態
で装着し、しかる後圧接具を冷却し、圧接具の復帰応力
により半導体素子に荷重を加え、半導体素子−バンプ−
基板の電気的コンタクトを得るようにしたことを特徴と
する。
[実施例]
第1図は本発明の一実施例を示すもので、表面に導体パ
ターン2が形成された基板l上の所定位置に、バンプ4
を有する半導体素子3を位置決めして搭載し、この上か
ら形状記憶合金で形成された圧接具としての封止用キャ
ップ6を高温下で拡形した状態で装着する。その後、封
止用キャップ6を冷却することにより、その元の形状に
戻ろうとする応力(復帰応力)により、半導体素子3に
荷重をかけ、半導体素子3−バンプ4一基板1の電気的
コンタクトを得ると共に、キャンプ6内の気密性を保持
する。
ターン2が形成された基板l上の所定位置に、バンプ4
を有する半導体素子3を位置決めして搭載し、この上か
ら形状記憶合金で形成された圧接具としての封止用キャ
ップ6を高温下で拡形した状態で装着する。その後、封
止用キャップ6を冷却することにより、その元の形状に
戻ろうとする応力(復帰応力)により、半導体素子3に
荷重をかけ、半導体素子3−バンプ4一基板1の電気的
コンタクトを得ると共に、キャンプ6内の気密性を保持
する。
なお、本実施例においては、半導体素子3と封止用キャ
ップ6の間に、弾力性を有する非導電性のシート材7が
介在されているが無くてもよい。
ップ6の間に、弾力性を有する非導電性のシート材7が
介在されているが無くてもよい。
また、前記キャップ6は、装着が容易な程度に高温下で
拡形すればよい。さらに、用いる形状記憶合金の転移温
度は半導体素子3に影響を与えず、かつ、半導体素子3
に熱的ストレスが加わると考えられる温度よりも高いも
のを選択すればよい。
拡形すればよい。さらに、用いる形状記憶合金の転移温
度は半導体素子3に影響を与えず、かつ、半導体素子3
に熱的ストレスが加わると考えられる温度よりも高いも
のを選択すればよい。
かかる形状記憶合金はTi−Ni系、Cu−Zn−X系
、Cu−Al−3t系等から任意のものを選択する。
、Cu−Al−3t系等から任意のものを選択する。
次に、第2図は本発明の異なる実施例を示すもので、表
面に導体パターン2が形成された基板I上の所定位置に
、バンプ4を有する半導体素子3を位置決めして搭載し
、この上から封止用キャップ8をかぶせ、その封止用キ
ャップ8と基板1間を弾力性を有する接着剤9等で接着
し、この状態で、形状記憶合金で形成された圧接具とし
てのクリップ10を高温下で拡形した状態で装着する。
面に導体パターン2が形成された基板I上の所定位置に
、バンプ4を有する半導体素子3を位置決めして搭載し
、この上から封止用キャップ8をかぶせ、その封止用キ
ャップ8と基板1間を弾力性を有する接着剤9等で接着
し、この状態で、形状記憶合金で形成された圧接具とし
てのクリップ10を高温下で拡形した状態で装着する。
その後、冷却することにより、その元の形状に戻ろうと
する応力(復帰応力)により、半導体素子3に荷重をか
け、半導体素子3−バンプ4一基板1の電気的コンタク
トを得る。従って、本実施例によれば、封止用キャップ
8の封止と電気的コンタクトが同時に行える。なお、半
導体素子3と封止用キャップ80間に、ゴムシート11
または接着剤等を介在させてもよい。
する応力(復帰応力)により、半導体素子3に荷重をか
け、半導体素子3−バンプ4一基板1の電気的コンタク
トを得る。従って、本実施例によれば、封止用キャップ
8の封止と電気的コンタクトが同時に行える。なお、半
導体素子3と封止用キャップ80間に、ゴムシート11
または接着剤等を介在させてもよい。
なお、本発明は前記各実施例に19定されるものではな
く、例えば、バンプ4は基i i til+に形成して
もよく、また、バンプ材料は金が好ましいが、他の合金
でもよい。
く、例えば、バンプ4は基i i til+に形成して
もよく、また、バンプ材料は金が好ましいが、他の合金
でもよい。
[発明の効果]
本発明は上記のように構成したことにより、下記のよう
な効果を奏する。
な効果を奏する。
■ 半導体素子の接合と封止が同時に行え、工程の合理
化が図れる。
化が図れる。
■ 精度の高い加圧装置を必要としないため、低コスト
化が図れる。また、接合時に半導体素子に機械的ストレ
スがかからないので、素子の信頼性が向上する。
化が図れる。また、接合時に半導体素子に機械的ストレ
スがかからないので、素子の信頼性が向上する。
■ バンプー基板間は圧接されているため、ヒートサイ
クルのような熱的ストレスによる半導体素子と基板の膨
張差により、バンプが基板上のパターン上を摺動し、基
板や素子に応力がかからない構造となり、信頼性が向上
する。
クルのような熱的ストレスによる半導体素子と基板の膨
張差により、バンプが基板上のパターン上を摺動し、基
板や素子に応力がかからない構造となり、信頼性が向上
する。
第1図は本発明の一実施例を示す断面図、第2図は本発
明の異なる実施例を示す断面図、第3図及び第4図はそ
れぞれ従来例を示す断面図である。 l・・・基板、2・・・導体パターン、3・・・半導体
素子、4・・・バンプ、6.10・・・圧接具。
明の異なる実施例を示す断面図、第3図及び第4図はそ
れぞれ従来例を示す断面図である。 l・・・基板、2・・・導体パターン、3・・・半導体
素子、4・・・バンプ、6.10・・・圧接具。
Claims (3)
- (1)半導体素子と、表面に導体パターンが形成された
基板とをバンプを介して接合して成る半導体素子の実装
において、前記基板上の所定位置に半導体素子を位置決
めして搭載すると共に、形状記憶合金で形成された圧接
具を高温下で拡形した状態で装着し、しかる後圧接具を
冷却し、圧接具の復帰応力により半導体素子に荷重を加
え、半導体素子−バンプ−基板の電気的コンタクトを得
るようにしたことを特徴とする半導体素子の実装方法。 - (2)前記圧接具が封止用キャップである請求項1記載
の半導体素子の実装方法。 - (3)前記圧接具と半導体素子間に封止用キャップを介
在させた請求項1記載の半導体素子の実装方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP32402888A JPH02170445A (ja) | 1988-12-22 | 1988-12-22 | 半導体素子の実装方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP32402888A JPH02170445A (ja) | 1988-12-22 | 1988-12-22 | 半導体素子の実装方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH02170445A true JPH02170445A (ja) | 1990-07-02 |
Family
ID=18161345
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP32402888A Pending JPH02170445A (ja) | 1988-12-22 | 1988-12-22 | 半導体素子の実装方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH02170445A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH07240597A (ja) * | 1994-02-28 | 1995-09-12 | Nec Corp | 表面実装部品の調整取付装置 |
JP2015056466A (ja) * | 2013-09-11 | 2015-03-23 | 三菱電機株式会社 | 電子部品およびその実装方法 |
-
1988
- 1988-12-22 JP JP32402888A patent/JPH02170445A/ja active Pending
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH07240597A (ja) * | 1994-02-28 | 1995-09-12 | Nec Corp | 表面実装部品の調整取付装置 |
JP2015056466A (ja) * | 2013-09-11 | 2015-03-23 | 三菱電機株式会社 | 電子部品およびその実装方法 |
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