JPH02160475A - パイプ砥石 - Google Patents
パイプ砥石Info
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- JPH02160475A JPH02160475A JP31415688A JP31415688A JPH02160475A JP H02160475 A JPH02160475 A JP H02160475A JP 31415688 A JP31415688 A JP 31415688A JP 31415688 A JP31415688 A JP 31415688A JP H02160475 A JPH02160475 A JP H02160475A
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Landscapes
- Polishing Bodies And Polishing Tools (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
本発明はシリコン、セラミックス、ガラス又はウェーハ
等の硬脆材料の表面を平滑に研削するために使用される
パイプ砥石に関するものである。
等の硬脆材料の表面を平滑に研削するために使用される
パイプ砥石に関するものである。
この種の砥石としては、例えば特公昭６３−３９３８５
号公報に開示されたダイヤモンド砥石が従来例として周
知である。 この従来例のダイヤモンド砥石においては、ホイールベ
ースの下端外周縁から中心側に突出したフランジ部を設
け、該フランジ部の上面と下面間を貫通して多数の通孔
を設け、各通孔に筒状のダイヤモンド砥石セグメントを
Ｖ！着し、各ダイヤモンド砥石セグメントの下端部をフ
ランジ部の下面から突出させた構成を有している。そし
て、研削液の供給はホイールベースの内側に別途の研削
液供給パイプを配設し、該研削液供給パイプから前記フ
ランジ部の上面に研削液を供給し、そのフランジ部の上
面側から研削液通路を経てダイヤモンド砥石セグメント
の中心孔に流入して流通し、そのダイヤモンド砥石セグ
メントの下端面の中心孔から流出するようになっている
。
号公報に開示されたダイヤモンド砥石が従来例として周
知である。 この従来例のダイヤモンド砥石においては、ホイールベ
ースの下端外周縁から中心側に突出したフランジ部を設
け、該フランジ部の上面と下面間を貫通して多数の通孔
を設け、各通孔に筒状のダイヤモンド砥石セグメントを
Ｖ！着し、各ダイヤモンド砥石セグメントの下端部をフ
ランジ部の下面から突出させた構成を有している。そし
て、研削液の供給はホイールベースの内側に別途の研削
液供給パイプを配設し、該研削液供給パイプから前記フ
ランジ部の上面に研削液を供給し、そのフランジ部の上
面側から研削液通路を経てダイヤモンド砥石セグメント
の中心孔に流入して流通し、そのダイヤモンド砥石セグ
メントの下端面の中心孔から流出するようになっている
。
前記従来例のダイヤモンド砥石は、■ホイールベースの
下端にフランジ部を設けたこと、■そのフランジ部の上
面と下面間を頁通して通孔を設けたこと、■その通孔に
ダイヤモンド砥石セグメントを嵌着したことの構成上の
理由から、研削液の供給が別途の研削液供給パイプを介
してフランジ部の上面に供給される構成に成らざるを得
ないのである。 しかしながら、このような構成であると、研削液の供給
が各ダイヤモンド砥石セグメントに対して略均等な状態
で供給されないのである。つまり、主軸の回転によって
ホイールベースが回転し、その回転による遠心力でフラ
ンジ部の上面に供給された研削液がフランジ部の基部側
、即ちホイールベースとの境界側に集中し、境界側に位
置するダイヤモンド砥石セグメントと境界から離れて位
置ケるダイヤモンド砥石セグメントとでは、必然的に研
削液の聞及び圧力が相違することになる。又、各ダイヤ
モンド砥石廿グメン１−毎に研削液が夫々個別にガイド
される訳ではないから、各ダイヤモンド砥石ヒグメント
毎の研削液の量及び圧力にバラツキが生ずることになる
。 このように、各ダイヤモンド砥石セグメント毎の研削液
の吊及び圧力に相違及びバラツキが生ずることによって
、研削しようとする材料との間で各ダイヤモンド砥石セ
グメント毎に摩擦熱の発生度合が相違し、且つ研削能力
にもバラツキが生ずることになり、要求される均等な平
滑面に研削できないと云う課題を有している。
下端にフランジ部を設けたこと、■そのフランジ部の上
面と下面間を頁通して通孔を設けたこと、■その通孔に
ダイヤモンド砥石セグメントを嵌着したことの構成上の
理由から、研削液の供給が別途の研削液供給パイプを介
してフランジ部の上面に供給される構成に成らざるを得
ないのである。 しかしながら、このような構成であると、研削液の供給
が各ダイヤモンド砥石セグメントに対して略均等な状態
で供給されないのである。つまり、主軸の回転によって
ホイールベースが回転し、その回転による遠心力でフラ
ンジ部の上面に供給された研削液がフランジ部の基部側
、即ちホイールベースとの境界側に集中し、境界側に位
置するダイヤモンド砥石セグメントと境界から離れて位
置ケるダイヤモンド砥石セグメントとでは、必然的に研
削液の聞及び圧力が相違することになる。又、各ダイヤ
モンド砥石廿グメン１−毎に研削液が夫々個別にガイド
される訳ではないから、各ダイヤモンド砥石ヒグメント
毎の研削液の量及び圧力にバラツキが生ずることになる
。 このように、各ダイヤモンド砥石セグメント毎の研削液
の吊及び圧力に相違及びバラツキが生ずることによって
、研削しようとする材料との間で各ダイヤモンド砥石セ
グメント毎に摩擦熱の発生度合が相違し、且つ研削能力
にもバラツキが生ずることになり、要求される均等な平
滑面に研削できないと云う課題を有している。
次に本発明を図示の実施例により更に詳しく説明すると
、第１〜３図に示した第１実施例において、１はホイー
ルベースであり、該ホイールベースはアルミニウム等の
金属により略ドーナツ形状に形成される。このホイール
ベース１はその下端部、即ち環状端部２に複数のパイプ
状砥石チップ３を植設状態に且つ外側に向けて所定の傾
斜をちって取り付ける。そして、各パイプ状砥石チップ
３に連通させて夫々研削液供給孔４をホイールベース１
のＦ面、即ちホイールベース１の取付面５にｄ通して形
成する。 前記パイプ状砥石デツプ３の取り付けに当たっては、予
めパイプ状砥石チップ３の取り付は角度に沿って且つそ
の内径に略等しい孔、即ち研削液供給孔４を環状端部２
から取付面５に貫通させて夫々穿設し、次に各研削液供
給孔４に沿って環状端部２側からパイプ状砥石チップ３
の外径に略等しい孔を夫々一定深さに亘って形成する。 そして、８孔にパイプ状砥石チップ３を挿着して、エポ
キシ樹脂系の接着剤により接着固定するのである。 この場合に使用されるパイプ状砥石チップ３は、ダイヤ
モンド砥粒をニッケル電着法により、例えば長尺のアル
ミニウムｍ管の表面に所定厚さ積層形成し、その後アル
ミニウム細管を溶解してパイプ状の砥石素材に形成し、
そのパイプ状の砥石素材を所定長さに切断したものであ
る。 前記ホイールベース１は、前記環状端部２の内側をテー
バ面６に形成し、内側に付着した研削液又は水滴等をホ
イールベース１の回転による遠心力で外部に排出するよ
うに形成しである。又ホイールベース１の取付面５には
、取付用のネジ孔７が所定の間隔をもって複数箇所に亘
って形成しである。この取付用のネジ孔７は、ホイール
ベース１に直接形成しても良いし、又ホイールベースに
単に孔を穿け、その孔内に予め内側に雌ネジを有するネ
ジピースを埋設し、溶着して取り付けても良い。更に、
必要ならば取付面側において、研削液供給孔４を一連に
連通させる環状溝を設けても良い。 この場合に、ホイールベース１の取付面５にネジ孔７が
設けられることにより、研削液供給孔４が形成出来ない
部分が存することになる。この部分においては・、勿論
バイブ状砥石チップ３の取付も出来ないのであり、約１
本分のバイブ状砥石チップ３の取付が間引きされる。従
って、取付用のネジ孔７の存在によって、前記バイブ状
砥石チップ３ｎＹが複数に分割されることになるが、そ
の機能には全く影響を及ぼさないのである。 又、ホイールベース１の取付面５におけるネジ孔７の形
成は、研削液供給孔４を避けて形成することができる。 つまり、ホイールベース１の取付面を梢々広めに形成し
、研削液供給孔４と重ならない位置に取付用のネジ孔７
を形成すれば長い。 このようにネジ孔７を形成することで、バイブ状砥石チ
ップ３を略均等に取付配設することが出来るのである。 第４図に第２実施例を示しである。この第２実施例は、
前記第１実施例に補助研削液供給孔８を付加した点が相
違するのみで、他の構成部分は同一であり、その同一部
分には同一符号を付してその詳細は省略する。即ち、補
助研削液供給孔８は前記取付面５において前記各研削液
供給孔４と分岐又は隣接して夫々穿設され、その下端を
バイブ状砥石チップ３の近傍で且つバイブ状砥石チップ
の配設位置よりも内側に開口させ、限定されないが良好
な開口位置としては、例えば前記テーバ面６に開口させ
た方が良い。この場合に、補助研削液供給孔８は研削液
供給孔４よりも内側、つまりホイールベース１における
中心側に穿設して位置させ、研削液が前記テーバ面６を
伝って流下し、ホイールベース１の遠心力により前記バ
イブ状砥石チップ３の外周面に供給される。このように
研削液をバイブ状砥石チップ３の内側からだけでなく、
外側にも供給することにより、被研削物の研削時に摩擦
による発熱を更に効果的に抑制することが出来るのであ
る。 第５図に前記ホイールベース１が取り付けられるベース
又はヘッド部材１０が示されている。同ヘッド部材１０
は略円盤状を呈し、その中心位置が適宜の駆動源により
駆動される回転軸１１に一体的に取り付けられている。 このヘッド部材１０の内部にはｔｉｌｌ削液が所定の圧
力で流通する複数の通水路１２が設けられ、これらの通
水路１２は前記回転軸１１内に設けられた通水路１３か
ら夫々分岐して設けられる。前記複数の通水路１２はそ
の開口部において環状溝１２ａによって連通状態になり
、そしてその環状溝１２ａは、前記ホイールベース１の
研削液供給孔４に対応するのである。 つまり、ヘッド部材１０に対してホイールベース１の取
付面５を当接させ、ネジ孔７にポル１１４等螺着させて
取り付けることで、通水路１２と研削液供給孔４とが環
状溝１２ａを介して対応し連通状態になり、通水路１２
からの研削液が所定の圧力をもって必然的に研削液供給
孔４に流通し、その先端から吐出又は噴出するようにな
るのである。尚、第２実施例の場合も、研削液供給孔４
と補助研削液供給孔８とが共に環状溝１２ａを介して通
水路１２に臨み、前記同様に研削液が所定の圧力をもっ
て吐出又は噴出するのである。 前記構成を有する本発明のパイプ砥石と従来例の砥石と
を「シリコンウェーハ」の切削に関し、同一条件で実際
に試験した。 ■ 使用砥石 本発明 従来例 砥石の直径 ２００ ａｍ ２００ ｔ
ｍ（ｉｌｌ削材の粒度 ＃ ４０００ ＃
４０００研削材の粒径 ２−４μｍ ２−４
μｍ◎ 条件 送り速度 １６０ｍ ／ ｗｉｎ １６０ｆ
ｆｉ／ ｗｉｎ切削深さ ５μｍ５μｍ 使用モード １− ｐａＳＳ １− ｐａｓ
ｓ冷却水 水道水 水道水冷却水流ｆ
ｍ ４．０ｆｆｌ／Ｗｉｎ ４．０Ｊ２／ｓ
ｉｎ周側度 ５０ ｒａ／ ｓｅｃ ５
０ ＩＩｌ／ ｓｅｃ回転数 ４８５０（Ｒ，Ｐ
、Ｈ） ４８５０（Ｒ，Ｐ、Ｈ）上記により夫々連
続して、［シリコンウェーハＪを７００枚づつ研削し、
各２０枚毎に検査品として１枚づつピックアップし、夫
々３５枚づつを検査した。その検査品における研削面状
態、即ち研削面における山と谷の凹凸の平均値Ｒａが本
発明のものにおいて、良好なもの＝Ｒａ ０．０１３μ
ｌであり、荒れたもの−Ｒａ Ｏ，０２３μｍであった
。これに対して従来例のものは、良好なもの＝ＲａＯ６
０１８μ層であり、荒れたもの＝Ｒａ Ｏ，１０８μｍ
であった。 この試験結果から明らかなように、本発明の砥石を使用
した場合に、従来例のものよりも研削面が著しく平滑で
あり、しかも研削面のバラツキが少なく、平均している
点で優れた結果が得られた。 これは、各バイブ状砥石チップ３から強制的に所定の圧
力で所定の聞の研削液が吐出又は噴射される結果、多数
並設した各パイプ状砥石チップ３が一夫々均等な研削条
件になるためと推察される。 【発明の効果］ 以、Ｆ説明したように本発明に係るバイブ砥石は、ホイ
ールベースの環状端部に突出させてパイプ状砥石チップ
を複数配設し、これ等各バイブ状砥石チップに連通させ
た研削液供給孔が前記ホイールベースの取付面に開口し
て設けられた構成にしたことにより、このホイールベー
スを回転するヘッド部材に対して使用状態に取り付けた
時に、その取付面に開口する研削液供給孔がヘッド部材
側に設けた通水路と連通ずるようになり、それによって
、研削液が研削液通水路から直接研削液供給孔を介して
各パイプ状砥石チップに強制的に供給され、全てのパイ
プ状砥石チップに対して略均−な量と圧力の研削液が供
給されることで、各パイプ状砥石チップと被研削物との
研削面において、研削液の供給にバラツキがなくなり、
均等に且つ平滑に研削できると云う優れた効果を奏する
。 又、研削液供給孔に隣接して補助研削液供給孔を設ける
ことにより、研削液をパイプ状砥石チップの外周面と被
研削物表面とに供給して湿潤させ、それによって更に各
パイプ状砥石チップの研削機能の均一化を図ることがで
きると云う優れた効果も奏する。
、第１〜３図に示した第１実施例において、１はホイー
ルベースであり、該ホイールベースはアルミニウム等の
金属により略ドーナツ形状に形成される。このホイール
ベース１はその下端部、即ち環状端部２に複数のパイプ
状砥石チップ３を植設状態に且つ外側に向けて所定の傾
斜をちって取り付ける。そして、各パイプ状砥石チップ
３に連通させて夫々研削液供給孔４をホイールベース１
のＦ面、即ちホイールベース１の取付面５にｄ通して形
成する。 前記パイプ状砥石デツプ３の取り付けに当たっては、予
めパイプ状砥石チップ３の取り付は角度に沿って且つそ
の内径に略等しい孔、即ち研削液供給孔４を環状端部２
から取付面５に貫通させて夫々穿設し、次に各研削液供
給孔４に沿って環状端部２側からパイプ状砥石チップ３
の外径に略等しい孔を夫々一定深さに亘って形成する。 そして、８孔にパイプ状砥石チップ３を挿着して、エポ
キシ樹脂系の接着剤により接着固定するのである。 この場合に使用されるパイプ状砥石チップ３は、ダイヤ
モンド砥粒をニッケル電着法により、例えば長尺のアル
ミニウムｍ管の表面に所定厚さ積層形成し、その後アル
ミニウム細管を溶解してパイプ状の砥石素材に形成し、
そのパイプ状の砥石素材を所定長さに切断したものであ
る。 前記ホイールベース１は、前記環状端部２の内側をテー
バ面６に形成し、内側に付着した研削液又は水滴等をホ
イールベース１の回転による遠心力で外部に排出するよ
うに形成しである。又ホイールベース１の取付面５には
、取付用のネジ孔７が所定の間隔をもって複数箇所に亘
って形成しである。この取付用のネジ孔７は、ホイール
ベース１に直接形成しても良いし、又ホイールベースに
単に孔を穿け、その孔内に予め内側に雌ネジを有するネ
ジピースを埋設し、溶着して取り付けても良い。更に、
必要ならば取付面側において、研削液供給孔４を一連に
連通させる環状溝を設けても良い。 この場合に、ホイールベース１の取付面５にネジ孔７が
設けられることにより、研削液供給孔４が形成出来ない
部分が存することになる。この部分においては・、勿論
バイブ状砥石チップ３の取付も出来ないのであり、約１
本分のバイブ状砥石チップ３の取付が間引きされる。従
って、取付用のネジ孔７の存在によって、前記バイブ状
砥石チップ３ｎＹが複数に分割されることになるが、そ
の機能には全く影響を及ぼさないのである。 又、ホイールベース１の取付面５におけるネジ孔７の形
成は、研削液供給孔４を避けて形成することができる。 つまり、ホイールベース１の取付面を梢々広めに形成し
、研削液供給孔４と重ならない位置に取付用のネジ孔７
を形成すれば長い。 このようにネジ孔７を形成することで、バイブ状砥石チ
ップ３を略均等に取付配設することが出来るのである。 第４図に第２実施例を示しである。この第２実施例は、
前記第１実施例に補助研削液供給孔８を付加した点が相
違するのみで、他の構成部分は同一であり、その同一部
分には同一符号を付してその詳細は省略する。即ち、補
助研削液供給孔８は前記取付面５において前記各研削液
供給孔４と分岐又は隣接して夫々穿設され、その下端を
バイブ状砥石チップ３の近傍で且つバイブ状砥石チップ
の配設位置よりも内側に開口させ、限定されないが良好
な開口位置としては、例えば前記テーバ面６に開口させ
た方が良い。この場合に、補助研削液供給孔８は研削液
供給孔４よりも内側、つまりホイールベース１における
中心側に穿設して位置させ、研削液が前記テーバ面６を
伝って流下し、ホイールベース１の遠心力により前記バ
イブ状砥石チップ３の外周面に供給される。このように
研削液をバイブ状砥石チップ３の内側からだけでなく、
外側にも供給することにより、被研削物の研削時に摩擦
による発熱を更に効果的に抑制することが出来るのであ
る。 第５図に前記ホイールベース１が取り付けられるベース
又はヘッド部材１０が示されている。同ヘッド部材１０
は略円盤状を呈し、その中心位置が適宜の駆動源により
駆動される回転軸１１に一体的に取り付けられている。 このヘッド部材１０の内部にはｔｉｌｌ削液が所定の圧
力で流通する複数の通水路１２が設けられ、これらの通
水路１２は前記回転軸１１内に設けられた通水路１３か
ら夫々分岐して設けられる。前記複数の通水路１２はそ
の開口部において環状溝１２ａによって連通状態になり
、そしてその環状溝１２ａは、前記ホイールベース１の
研削液供給孔４に対応するのである。 つまり、ヘッド部材１０に対してホイールベース１の取
付面５を当接させ、ネジ孔７にポル１１４等螺着させて
取り付けることで、通水路１２と研削液供給孔４とが環
状溝１２ａを介して対応し連通状態になり、通水路１２
からの研削液が所定の圧力をもって必然的に研削液供給
孔４に流通し、その先端から吐出又は噴出するようにな
るのである。尚、第２実施例の場合も、研削液供給孔４
と補助研削液供給孔８とが共に環状溝１２ａを介して通
水路１２に臨み、前記同様に研削液が所定の圧力をもっ
て吐出又は噴出するのである。 前記構成を有する本発明のパイプ砥石と従来例の砥石と
を「シリコンウェーハ」の切削に関し、同一条件で実際
に試験した。 ■ 使用砥石 本発明 従来例 砥石の直径 ２００ ａｍ ２００ ｔ
ｍ（ｉｌｌ削材の粒度 ＃ ４０００ ＃
４０００研削材の粒径 ２−４μｍ ２−４
μｍ◎ 条件 送り速度 １６０ｍ ／ ｗｉｎ １６０ｆ
ｆｉ／ ｗｉｎ切削深さ ５μｍ５μｍ 使用モード １− ｐａＳＳ １− ｐａｓ
ｓ冷却水 水道水 水道水冷却水流ｆ
ｍ ４．０ｆｆｌ／Ｗｉｎ ４．０Ｊ２／ｓ
ｉｎ周側度 ５０ ｒａ／ ｓｅｃ ５
０ ＩＩｌ／ ｓｅｃ回転数 ４８５０（Ｒ，Ｐ
、Ｈ） ４８５０（Ｒ，Ｐ、Ｈ）上記により夫々連
続して、［シリコンウェーハＪを７００枚づつ研削し、
各２０枚毎に検査品として１枚づつピックアップし、夫
々３５枚づつを検査した。その検査品における研削面状
態、即ち研削面における山と谷の凹凸の平均値Ｒａが本
発明のものにおいて、良好なもの＝Ｒａ ０．０１３μ
ｌであり、荒れたもの−Ｒａ Ｏ，０２３μｍであった
。これに対して従来例のものは、良好なもの＝ＲａＯ６
０１８μ層であり、荒れたもの＝Ｒａ Ｏ，１０８μｍ
であった。 この試験結果から明らかなように、本発明の砥石を使用
した場合に、従来例のものよりも研削面が著しく平滑で
あり、しかも研削面のバラツキが少なく、平均している
点で優れた結果が得られた。 これは、各バイブ状砥石チップ３から強制的に所定の圧
力で所定の聞の研削液が吐出又は噴射される結果、多数
並設した各パイプ状砥石チップ３が一夫々均等な研削条
件になるためと推察される。 【発明の効果］ 以、Ｆ説明したように本発明に係るバイブ砥石は、ホイ
ールベースの環状端部に突出させてパイプ状砥石チップ
を複数配設し、これ等各バイブ状砥石チップに連通させ
た研削液供給孔が前記ホイールベースの取付面に開口し
て設けられた構成にしたことにより、このホイールベー
スを回転するヘッド部材に対して使用状態に取り付けた
時に、その取付面に開口する研削液供給孔がヘッド部材
側に設けた通水路と連通ずるようになり、それによって
、研削液が研削液通水路から直接研削液供給孔を介して
各パイプ状砥石チップに強制的に供給され、全てのパイ
プ状砥石チップに対して略均−な量と圧力の研削液が供
給されることで、各パイプ状砥石チップと被研削物との
研削面において、研削液の供給にバラツキがなくなり、
均等に且つ平滑に研削できると云う優れた効果を奏する
。 又、研削液供給孔に隣接して補助研削液供給孔を設ける
ことにより、研削液をパイプ状砥石チップの外周面と被
研削物表面とに供給して湿潤させ、それによって更に各
パイプ状砥石チップの研削機能の均一化を図ることがで
きると云う優れた効果も奏する。
第７図は本発明に係る第１実施例のバイブ砥石の一部を
断面で示した側面図、第２図は同バイブ砥石の一部を示
す上面図、第３図は第２図のｍ−■線に沿う断面図、第
４図は第２実施例のバイブ砥石の要部のみを示した断面
図、第５図は本発明のパイプ砥石を所定の取付用のヘッ
ド部材に取り付けた状態を示す一部破断側面図である。 １・・・・・・ホイールベース ２・・・・・・環状端
部３・・・・・・パイプ状砥石チップ ４・・・・・・研削液供給孔 ５・旧・・取付面６・
・・・・・テーパ而 ７・・・・・・ネジ孔８・
・・・・・補助研削液供給孔 １０・・・・・・ヘッド部材 １１・・・・・・回
転軸１２．１３・・・・・・通水路 １２ａ・・・
・・・環状溝１４・・・・・・ボルト 特許出願人 株式会社ディスコ 第３図 第１ 図 第２図 第４図 第５図
断面で示した側面図、第２図は同バイブ砥石の一部を示
す上面図、第３図は第２図のｍ−■線に沿う断面図、第
４図は第２実施例のバイブ砥石の要部のみを示した断面
図、第５図は本発明のパイプ砥石を所定の取付用のヘッ
ド部材に取り付けた状態を示す一部破断側面図である。 １・・・・・・ホイールベース ２・・・・・・環状端
部３・・・・・・パイプ状砥石チップ ４・・・・・・研削液供給孔 ５・旧・・取付面６・
・・・・・テーパ而 ７・・・・・・ネジ孔８・
・・・・・補助研削液供給孔 １０・・・・・・ヘッド部材 １１・・・・・・回
転軸１２．１３・・・・・・通水路 １２ａ・・・
・・・環状溝１４・・・・・・ボルト 特許出願人 株式会社ディスコ 第３図 第１ 図 第２図 第４図 第５図
Claims (4)
- （１）ホイールベースの環状端部に突出させてパイプ状
砥石チップを複数配設し、これ等各パイプ状砥石チップ
に連通させた研削液供給孔が夫々前記ホイールベースの
取付面に開口して設けられたことを特徴とするパイプ砥
石。 - （２）研削液供給孔に隣設して補助研削液供給孔を設け
た請求項 （１）記載のパイプ砥石。 - （３）ホイールベースを使用状態に取り付けた時に、そ
の取付面に開口する研削液供給孔が被取付側の通水路と
連通する構成とした請求項（１）又は（２）記載のパイ
プ砥石。 - （４）研削液供給孔が環状溝を介して通水路と連通する
構成とした請求項（１）、（２）又は（３）記載のパイ
プ砥石。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63314156A JP2704533B2 (ja) | 1988-12-13 | 1988-12-13 | パイプ砥石 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63314156A JP2704533B2 (ja) | 1988-12-13 | 1988-12-13 | パイプ砥石 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02160475A true JPH02160475A (ja) | 1990-06-20 |
| JP2704533B2 JP2704533B2 (ja) | 1998-01-26 |
Family
ID=18049912
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63314156A Expired - Fee Related JP2704533B2 (ja) | 1988-12-13 | 1988-12-13 | パイプ砥石 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2704533B2 (ja) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH04138011A (ja) * | 1990-09-27 | 1992-05-12 | Saitou Denki Sangyo Kk | 配線用アダプターおよび配線用アダプターを用いた地中ケーブルの配設方法 |
| JP2007038357A (ja) * | 2005-08-04 | 2007-02-15 | Disco Abrasive Syst Ltd | 研削ホイールおよび研削砥石の製造方法 |
| JP2013530845A (ja) * | 2010-07-12 | 2013-08-01 | サンーゴバン アブレイシブズ，インコーポレイティド | 工業材料の形削り用研磨物品 |
| US9097067B2 (en) | 2009-02-12 | 2015-08-04 | Saint-Gobain Abrasives, Inc. | Abrasive tip for abrasive tool and method for forming and replacing thereof |
| JP2015231647A (ja) * | 2014-06-09 | 2015-12-24 | 株式会社ディスコ | 研削ホイールの製造方法 |
| US9278430B2 (en) | 2009-12-31 | 2016-03-08 | Saint-Gobain Abrasives, Inc. | Abrasive article incorporating an infiltrated abrasive segment |
| US9289881B2 (en) | 2008-08-08 | 2016-03-22 | Saint-Gobain Abrasives, Inc. | Abrasive tools having a continuous metal phase for bonding an abrasive component to a carrier |
| JP6041249B1 (ja) * | 2016-03-31 | 2016-12-07 | 伊藤 幸男 | 鳥の巣状砥石と鳥の巣状砥石によるチョッピング加工方法 |
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| JPS5738757U (ja) * | 1980-08-08 | 1982-03-02 | ||
| JPS6339385A (ja) * | 1986-08-05 | 1988-02-19 | Fuji Photo Film Co Ltd | 情報記録媒体 |
-
1988
- 1988-12-13 JP JP63314156A patent/JP2704533B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| JP6041249B1 (ja) * | 2016-03-31 | 2016-12-07 | 伊藤 幸男 | 鳥の巣状砥石と鳥の巣状砥石によるチョッピング加工方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2704533B2 (ja) | 1998-01-26 |
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