JPH02149451A - 無機コート光ファイバの製造装置及び製造方法 - Google Patents
無機コート光ファイバの製造装置及び製造方法Info
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- JPH02149451A JPH02149451A JP63302322A JP30232288A JPH02149451A JP H02149451 A JPH02149451 A JP H02149451A JP 63302322 A JP63302322 A JP 63302322A JP 30232288 A JP30232288 A JP 30232288A JP H02149451 A JPH02149451 A JP H02149451A
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Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
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- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
- C23C16/44—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating
- C23C16/54—Apparatus specially adapted for continuous coating
- C23C16/545—Apparatus specially adapted for continuous coating for coating elongated substrates
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〈産業上の利用分舒〉
本発明は、線引直後のファイバに無機薄膜を被覆する無
機コート光ファイバの製造装置及び製造方法に関する。
機コート光ファイバの製造装置及び製造方法に関する。
〈従来の技術〉
従来より、光ファイバを製造する際、例えば特公昭38
−10363号公報に示されるように、光ファイバ母材
を加熱・溶融して線引きした直後のファイバに無機R膜
を熱・化学的気相成長法(以下、熱CVD法という)に
よりコーティングし、その後、樹脂を塗布。
−10363号公報に示されるように、光ファイバ母材
を加熱・溶融して線引きした直後のファイバに無機R膜
を熱・化学的気相成長法(以下、熱CVD法という)に
よりコーティングし、その後、樹脂を塗布。
硬化して光ファイバとしてボビンに巻取る方法が採られ
ている。この方法によると、無機薄膜コーティングの際
の気相中における粒子の成長が抑えられ、ファイバの極
表面近くのみで成膜が行われるため、ファイバの初期強
度を低下させることなくコーティングを行うことができ
ろ。また、無機コートをするのは、H20ノファイハ表
面への侵入、マイクロクラックの成長による疲労強度の
低下及びH2のファイバ表面への浸入による伝達ロスの
上昇などを防止するためである。
ている。この方法によると、無機薄膜コーティングの際
の気相中における粒子の成長が抑えられ、ファイバの極
表面近くのみで成膜が行われるため、ファイバの初期強
度を低下させることなくコーティングを行うことができ
ろ。また、無機コートをするのは、H20ノファイハ表
面への侵入、マイクロクラックの成長による疲労強度の
低下及びH2のファイバ表面への浸入による伝達ロスの
上昇などを防止するためである。
ところで、かかる方法では、ファイバの温度が低すぎろ
と、薄膜コーティングができず、あるいは成膜速度が遅
くて充分な膜厚を得る乙とができず、逆にファイバの温
度が高すぎるとファイバ素材と#11膜間に反応生成物
が発生し、ファイバの初期強度が低下してしまう。
と、薄膜コーティングができず、あるいは成膜速度が遅
くて充分な膜厚を得る乙とができず、逆にファイバの温
度が高すぎるとファイバ素材と#11膜間に反応生成物
が発生し、ファイバの初期強度が低下してしまう。
〈発明が解決しようとする課題〉
しかしながら、上述しtこ方法を実施しようとすると、
薄膜形成の反応開始時のファイバ温度を制御するのが難
かしく、膜厚の変動が大きく、全長に亘って均一な膜質
を得ろことができないという問題がある。
薄膜形成の反応開始時のファイバ温度を制御するのが難
かしく、膜厚の変動が大きく、全長に亘って均一な膜質
を得ろことができないという問題がある。
例えば第4図に示すように、線引炉01の炉芯管02と
熱CVD炉03の炉芯管04とが一体となっており、原
料ガスを線引炉01と熱CVD炉03との間の反応ガス
の流入口05からficVDPO3内へ流入すると共に
排出口06から排出ずろ装置を用いる場合には、原料ガ
スの流れが一定とならず、そのンH度を一定に保つこと
が困難であるので、成膜が行われる位置が不安定であっ
た。
熱CVD炉03の炉芯管04とが一体となっており、原
料ガスを線引炉01と熱CVD炉03との間の反応ガス
の流入口05からficVDPO3内へ流入すると共に
排出口06から排出ずろ装置を用いる場合には、原料ガ
スの流れが一定とならず、そのンH度を一定に保つこと
が困難であるので、成膜が行われる位置が不安定であっ
た。
また、第5図に示すように、MCVD炉内の原料ガスの
流れを一定とずろため1こ、線引炉01の炉芯管02A
と熱CVD炉C3の炉芯管04Aとを別体にすると共に
、原料ガスの流入口05及び排出口06のそれぞれ上流
及び下流にシールガス流入口07,08を設けたものが
ある。しかし、この場合、熱CVD炉03を穆引炉01
に近接して固設されている。すなわち、例えば125μ
mの石英光ファイバにアセチレンを用いて線速150m
/minでカーボンをコーティングする場合には、線引
炉01のヒータ中心と熱CVD炉03の入口との間の距
離を30an以下としなければコーティングできないの
で、線引炉01と反応炉03との距離が自から短くなり
、これにより操作性が悪<、シかも、線速か変化すると
ファイバ温度が変動し、長手方向に亘って均一な成膜を
形成するのが困難であった。
流れを一定とずろため1こ、線引炉01の炉芯管02A
と熱CVD炉C3の炉芯管04Aとを別体にすると共に
、原料ガスの流入口05及び排出口06のそれぞれ上流
及び下流にシールガス流入口07,08を設けたものが
ある。しかし、この場合、熱CVD炉03を穆引炉01
に近接して固設されている。すなわち、例えば125μ
mの石英光ファイバにアセチレンを用いて線速150m
/minでカーボンをコーティングする場合には、線引
炉01のヒータ中心と熱CVD炉03の入口との間の距
離を30an以下としなければコーティングできないの
で、線引炉01と反応炉03との距離が自から短くなり
、これにより操作性が悪<、シかも、線速か変化すると
ファイバ温度が変動し、長手方向に亘って均一な成膜を
形成するのが困難であった。
一方、例えば、特公昭61−32270号公報に示され
るように、薄膜コーティングの反応炉書ζファイバが入
る前に、ファイバに赤外線を照射してファイバの予備加
熱を行うという装置も開発されている。しかし、この場
合、特に高線速においては加熱長が長大となり、装置も
大がか与となるという問題があり、また、線速の変化に
も対応できないという問題もある。
るように、薄膜コーティングの反応炉書ζファイバが入
る前に、ファイバに赤外線を照射してファイバの予備加
熱を行うという装置も開発されている。しかし、この場
合、特に高線速においては加熱長が長大となり、装置も
大がか与となるという問題があり、また、線速の変化に
も対応できないという問題もある。
本発明はこのような事情に鑑み、線速の変化に応じて容
易に熱CVD炉内のファイバ温度を制御できて膜厚を常
に均一にすることができ、操作性も良好である無機コー
ト光ファイバの製造装置及び製造方法を提供することを
目的とする。
易に熱CVD炉内のファイバ温度を制御できて膜厚を常
に均一にすることができ、操作性も良好である無機コー
ト光ファイバの製造装置及び製造方法を提供することを
目的とする。
く課題を解決するための手段〉
前記目的を達成する本発明にかかる無機コート光ファイ
バの製造装置は、光ファイバ母材を加熱・溶融する線引
炉と、締引きされたファイバに無機薄−膜を熱・化学的
気相成長法によりコーティングする熱CVD装置と、フ
ァイバ外径を測定するファイバ外径測定式とを有する無
機コート光ファイバの製造装置において、上記線引炉又
は上記熱CVD装置が両者間の距離を変化する位置移動
手段を具えていることを特徴とし、又、無機コート光フ
ァイバの製造方法は、線引炉により光ファイバ母材を加
熱・溶融しつつ線引きしたファイバを熱CVD炉に導き
、熱・化学的気相成長法により該ファイバ表面に無If
薄膜をコーティングするに際し、上記線引炉と上記熱
CVD炉との距離を変化させることにより、当該熱CV
D炉内のファイバ表面にはじめて膜形成が行われろ地点
でのファイバ温度が1000〜1400℃とすることを
特徴とする。
バの製造装置は、光ファイバ母材を加熱・溶融する線引
炉と、締引きされたファイバに無機薄−膜を熱・化学的
気相成長法によりコーティングする熱CVD装置と、フ
ァイバ外径を測定するファイバ外径測定式とを有する無
機コート光ファイバの製造装置において、上記線引炉又
は上記熱CVD装置が両者間の距離を変化する位置移動
手段を具えていることを特徴とし、又、無機コート光フ
ァイバの製造方法は、線引炉により光ファイバ母材を加
熱・溶融しつつ線引きしたファイバを熱CVD炉に導き
、熱・化学的気相成長法により該ファイバ表面に無If
薄膜をコーティングするに際し、上記線引炉と上記熱
CVD炉との距離を変化させることにより、当該熱CV
D炉内のファイバ表面にはじめて膜形成が行われろ地点
でのファイバ温度が1000〜1400℃とすることを
特徴とする。
く作 用〉
線引炉と熱CVD炉との距離を変化できるので、操作性
を保持したまま、コーティング時には最適な条件を得る
ような距離を設定することができる。すなわち、線速そ
の他の条件を最適に保ったままで、線引炉と熱CVD炉
との距離を変化させることにより熱CVD炉中でのファ
イバ温度を最適に制御することができ、さらに、製造中
の線速が変動しても熱CVD炉をそれに応じて移動させ
ることにより、ファイバ温度を最適に保つことができろ
。また、この場合、熱CVD炉内の反応ガス温度がファ
イバ表面での反応・膜形成に充分な温度になりはじめて
ファイバ表面にはじめて膜形成が行われる地点でのファ
イバ温度を1000〜1400℃に制御するようにする
のが好ましい。
を保持したまま、コーティング時には最適な条件を得る
ような距離を設定することができる。すなわち、線速そ
の他の条件を最適に保ったままで、線引炉と熱CVD炉
との距離を変化させることにより熱CVD炉中でのファ
イバ温度を最適に制御することができ、さらに、製造中
の線速が変動しても熱CVD炉をそれに応じて移動させ
ることにより、ファイバ温度を最適に保つことができろ
。また、この場合、熱CVD炉内の反応ガス温度がファ
イバ表面での反応・膜形成に充分な温度になりはじめて
ファイバ表面にはじめて膜形成が行われる地点でのファ
イバ温度を1000〜1400℃に制御するようにする
のが好ましい。
く実 施 例〉
以下、本発明を実施例に基づいて説明する。
第1図には一実施例にかかる無機コート光ファイバの製
造装置を概念的に示す。同図に示すように、線引炉1の
炉芯管2と熱CVD炉3の炉芯管4とは別体となり、炉
芯管°4に反応ガスの流入口5と排出口6とが設けられ
ている点は従来と同様であるが、熱CVD炉3は並設さ
れたボールネジ7の回転により上下方向移動自在になる
ように支持されている。
造装置を概念的に示す。同図に示すように、線引炉1の
炉芯管2と熱CVD炉3の炉芯管4とは別体となり、炉
芯管°4に反応ガスの流入口5と排出口6とが設けられ
ている点は従来と同様であるが、熱CVD炉3は並設さ
れたボールネジ7の回転により上下方向移動自在になる
ように支持されている。
すなわち、熱CVD炉3の側面には一対の支持部材8が
突設され、熱CVD炉3はこれら支持部材8がボールネ
ジ7に螺合することにより支持されると共に、図示しな
いガイドにより上下方向移動自在に保持されている。
突設され、熱CVD炉3はこれら支持部材8がボールネ
ジ7に螺合することにより支持されると共に、図示しな
いガイドにより上下方向移動自在に保持されている。
方、ボールネジ7はその下端に固着されたウオームギア
9a及びウオーム9bを介してモータ10により回転駆
動されるようになっている。なわ、図中、11は外径測
定器、12はダイス、13は硬化炉、14はキャプスタ
ンである。
9a及びウオーム9bを介してモータ10により回転駆
動されるようになっている。なわ、図中、11は外径測
定器、12はダイス、13は硬化炉、14はキャプスタ
ンである。
かかる装置において、光ファイバ母材15は線引炉1で
加熱・溶融され、125μmのファイバ16に締引きさ
れ、ファイバ16は熱CVD炉3に入る。熱CVD炉3
の炉芯管4内には、従来から行われているように、カー
ボンや窒化珪素の薄膜を形成するための原料ガスが流入
口5から流入されて排出口6より排出されており、この
炉芯管4内で加熱されたファイバ16には無機薄膜がコ
ーティングされ、無機コートファイバ17となる。この
無機コートファイバ17は、ダイス12及び硬化炉13
を経て樹脂コートファイバ18とされ、キャプスタン1
4により引きとられて図示しない巻取機でボビンに巻き
とられる。
加熱・溶融され、125μmのファイバ16に締引きさ
れ、ファイバ16は熱CVD炉3に入る。熱CVD炉3
の炉芯管4内には、従来から行われているように、カー
ボンや窒化珪素の薄膜を形成するための原料ガスが流入
口5から流入されて排出口6より排出されており、この
炉芯管4内で加熱されたファイバ16には無機薄膜がコ
ーティングされ、無機コートファイバ17となる。この
無機コートファイバ17は、ダイス12及び硬化炉13
を経て樹脂コートファイバ18とされ、キャプスタン1
4により引きとられて図示しない巻取機でボビンに巻き
とられる。
なお、通常、樹脂のコーティングは2層以上行われ、本
実施例はかかるコーティングを1層に限定するものでは
ない。
実施例はかかるコーティングを1層に限定するものでは
ない。
また、本実施例では、製造中の線速の変動に対応して、
熱CVD炉3を上下方向に移動させ、常に最適なファイ
バ温度が得られるようにしている。すなわち、キャプス
タン14の回転数から線速を検知し、この線速により熱
CVD炉3の位置をフィードバック制御し、予め実験に
より決定された熱CVD炉3の位置、すなわち無機コー
ティング時の最適なファイバ温度が得られる位置に移動
するようにしている。
熱CVD炉3を上下方向に移動させ、常に最適なファイ
バ温度が得られるようにしている。すなわち、キャプス
タン14の回転数から線速を検知し、この線速により熱
CVD炉3の位置をフィードバック制御し、予め実験に
より決定された熱CVD炉3の位置、すなわち無機コー
ティング時の最適なファイバ温度が得られる位置に移動
するようにしている。
また、本実施例では、外径測定器11を熱CVD炉3の
後流に設けているので、線引炉1と熱CVD炉3との距
離を非常に近接することができるようにし、例えば樹脂
コーティングの条件により低線速としなければならない
場合にも対応できるようにしている。なお、このように
非常に近接させる要望がない場合には、外径測定器11
を線引炉1と熱CVD炉3との間に配置してもよい。な
お、このように線引炉1と熱CVD炉3との距離を小さ
くする場合に、熱CVD炉3内にファイバを通す作業の
際のスペースを熱CVD炉3を移動することにより確保
できるので、作業性の向上にもつながっている。
後流に設けているので、線引炉1と熱CVD炉3との距
離を非常に近接することができるようにし、例えば樹脂
コーティングの条件により低線速としなければならない
場合にも対応できるようにしている。なお、このように
非常に近接させる要望がない場合には、外径測定器11
を線引炉1と熱CVD炉3との間に配置してもよい。な
お、このように線引炉1と熱CVD炉3との距離を小さ
くする場合に、熱CVD炉3内にファイバを通す作業の
際のスペースを熱CVD炉3を移動することにより確保
できるので、作業性の向上にもつながっている。
このような装置によろ熱CVD炉内の最適のファイバ温
度は、コーテイング材、原料ガスの種類、CVD炉の長
さ、CVD炉と線引炉等との距離により異なるが、反応
するのに充分な温度になった原料ガスがファイバと接触
する位置でのファイバ温度が概ね1000〜1400℃
であるのが好しいことがわかった。
度は、コーテイング材、原料ガスの種類、CVD炉の長
さ、CVD炉と線引炉等との距離により異なるが、反応
するのに充分な温度になった原料ガスがファイバと接触
する位置でのファイバ温度が概ね1000〜1400℃
であるのが好しいことがわかった。
また、線引炉を出た後のファイバ温度′rは概ね次式で
表されることが知られている。
表されることが知られている。
ことで、
T 二
T :
雰囲気温度、
線引炉を出た直後のファイバ
温度、
線引炉出口からの距離、
V ;線速、
a = ファイバ径、比熱、及びファ
イバと雰囲気との熱伝達率に
よる定数
である。
ここで、線速めが変動した場合、Zが一定゛Cあれば温
度に変動が生じることになり、成膜速度、あるいは駿P
yが変動して均一な膜を得られないばかりカベ場合によ
っては膜が全く形成されなかったり、ファイバ強度が低
下されたりする。
度に変動が生じることになり、成膜速度、あるいは駿P
yが変動して均一な膜を得られないばかりカベ場合によ
っては膜が全く形成されなかったり、ファイバ強度が低
下されたりする。
よって、上述した実施例では、例えば線速が10%上昇
した際にZを10%増加させるようにしてファイバ温度
の変動を抑えろようにしている。
した際にZを10%増加させるようにしてファイバ温度
の変動を抑えろようにしている。
また、CVD炉を移動してその内部のファイバ温度の変
動を抑えるためには、熱CVD炉に入る直前のファイバ
温度T、の変化に対応させてCVD炉の位置を制御する
ようにしてもよい。
動を抑えるためには、熱CVD炉に入る直前のファイバ
温度T、の変化に対応させてCVD炉の位置を制御する
ようにしてもよい。
例えば第2図に示すように、熱CVD炉3の直上に放射
温度計19?設け、この測定データに応じてモーフ10
を制御するようにすればよい。なお、ファイバ径が小さ
いため、放射温度計19の前には拡大レンズ20を設け
ている。なお、石英フ・rイバ、特に125μmφ程度
の場合には、測定温度が低めに出るので、実験により補
正するようにする必要がある。
温度計19?設け、この測定データに応じてモーフ10
を制御するようにすればよい。なお、ファイバ径が小さ
いため、放射温度計19の前には拡大レンズ20を設け
ている。なお、石英フ・rイバ、特に125μmφ程度
の場合には、測定温度が低めに出るので、実験により補
正するようにする必要がある。
以上説明した2つの実施例では、製造中の線速の変動に
応じて熱CVD炉3を移動させて炉内のファイバ温度を
一定に保つようにしているが、製造条件により線速を安
定させられる場合には必ずしも必要ではない。また、そ
の場合には、例えば第3図に示すように、ボールネジ7
にハンドル18を設け、手動でボールネジ7を回転させ
て熱CVD炉3の移動できろようにしてもよい。
応じて熱CVD炉3を移動させて炉内のファイバ温度を
一定に保つようにしているが、製造条件により線速を安
定させられる場合には必ずしも必要ではない。また、そ
の場合には、例えば第3図に示すように、ボールネジ7
にハンドル18を設け、手動でボールネジ7を回転させ
て熱CVD炉3の移動できろようにしてもよい。
なお、このようにした場合にも、線引炉1と熱CVD炉
3との距離が小さい場合に、ファイバをCVD炉に通す
作業のスペースを確保できろようになり、又、異なるa
速で製造する場合や異なるファイバ径のものをコーティ
ングする場合に容易にCVD炉を最適位置に移動するこ
とができる。因に、ファイバ径が異なると、上述した式
のaが異な勢、径が2倍でaが棒となる。
3との距離が小さい場合に、ファイバをCVD炉に通す
作業のスペースを確保できろようになり、又、異なるa
速で製造する場合や異なるファイバ径のものをコーティ
ングする場合に容易にCVD炉を最適位置に移動するこ
とができる。因に、ファイバ径が異なると、上述した式
のaが異な勢、径が2倍でaが棒となる。
また、以上説明した例では熱CVD炉3を移動するよう
にしたが、線引炉1を光ファイバ母材15の送り装置な
どと共に上下方向に移動するようにしても、同様の効果
が得られるのは言うまでもない。
にしたが、線引炉1を光ファイバ母材15の送り装置な
どと共に上下方向に移動するようにしても、同様の効果
が得られるのは言うまでもない。
〈発明の効果〉
以上説明したように、本発明によれば、ファイバにm1
caをコーティングするのに、熱CVD炉内のファイバ
温度を最適に調整するために線引炉と熱CVD炉との距
離を変化させるようにしたので、簡易な装置で容易に制
御でき、作業性も良好となる。また、製造中に線速に変
動が生じて熱CVD炉内のファイバ温度に変化が生じろ
場合にも、線引炉と熱CVD炉との間の距離を例えば線
速に応じて変化させることにより、常にファイバ温度を
最適に保つことができる。
caをコーティングするのに、熱CVD炉内のファイバ
温度を最適に調整するために線引炉と熱CVD炉との距
離を変化させるようにしたので、簡易な装置で容易に制
御でき、作業性も良好となる。また、製造中に線速に変
動が生じて熱CVD炉内のファイバ温度に変化が生じろ
場合にも、線引炉と熱CVD炉との間の距離を例えば線
速に応じて変化させることにより、常にファイバ温度を
最適に保つことができる。
第1図は本発明の一実施例の無機コート光ファイバの製
造装置を示す説明図、第2図及び第3図はそれぞれ他の
実施例を示す説明図、第4図及び第5図はそれぞれ従来
技術にかかる無機コート光ファイバの製造装置の例を示
す説明図である。 図 面 中、 1は線引炉、 3は熱CVD炉、 7はボールネジ、 8は支持部材、 10ばモータ、 11は外径測定器、 12はダイス、 13は硬化炉、 14はキャプスタン、 第 図 15は光ファ イバ母材である。 特 許 出 願 人 住友電気工業株式会社 代 理 人
造装置を示す説明図、第2図及び第3図はそれぞれ他の
実施例を示す説明図、第4図及び第5図はそれぞれ従来
技術にかかる無機コート光ファイバの製造装置の例を示
す説明図である。 図 面 中、 1は線引炉、 3は熱CVD炉、 7はボールネジ、 8は支持部材、 10ばモータ、 11は外径測定器、 12はダイス、 13は硬化炉、 14はキャプスタン、 第 図 15は光ファ イバ母材である。 特 許 出 願 人 住友電気工業株式会社 代 理 人
Claims (4)
- (1)光ファイバ母材を加熱・溶融する線引炉と、線引
きされたファイバに無機薄膜を熱・化学的気相成長法に
よりコーティングする熱CVD装置と、ファイバ外径を
測定するファイバ外径測定器とを有する無機コート光フ
ァイバの製造装置において、上記線引炉又は上記熱CV
D装置が両者間の距離を変化する位置移動手段を具えて
いることを特徴とする無機コート光ファイバの製造装置
。 - (2)熱CVD装置は、線引炉とファイバ外径測定器と
の間に配置されている請求項1記載の無機コート光ファ
イバの製造装置。 - (3)無機薄膜がカーボン又は窒化珪素である請求項1
又は2記載の無機コート光ファイバの製造装置。 - (4)線引炉により光ファイバ母材を加熱・溶融しつつ
線引きしたファイバを熱CVD炉に導き、熱・化学的気
相成長法により該ファイバ表面に無機薄膜をコーティン
グするに際し、上記線引炉と上記熱CVD炉との距離を
変化させることにより、当該熱CVD炉内のファイバ表
面にはじめて膜形成が行われる地点でのファイバ温度が
1000〜1400℃とすることを特徴とする無機コー
ト光ファイバの製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP63302322A JP2682603B2 (ja) | 1988-12-01 | 1988-12-01 | 無機コート光ファイバの製造装置及び製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP63302322A JP2682603B2 (ja) | 1988-12-01 | 1988-12-01 | 無機コート光ファイバの製造装置及び製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH02149451A true JPH02149451A (ja) | 1990-06-08 |
JP2682603B2 JP2682603B2 (ja) | 1997-11-26 |
Family
ID=17907548
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP63302322A Expired - Fee Related JP2682603B2 (ja) | 1988-12-01 | 1988-12-01 | 無機コート光ファイバの製造装置及び製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2682603B2 (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0524090A2 (en) * | 1991-07-15 | 1993-01-20 | Mitsubishi Cable Industries, Ltd. | Method for producing silica glass optical fiber and reaction apparatus for carbon coating |
JPH0585781A (ja) * | 1991-09-26 | 1993-04-06 | Fujikura Ltd | カーボンコート心線の製造方法 |
US8478255B2 (en) | 2006-01-10 | 2013-07-02 | Fujitsu Limited | Portable terminal device, address book transfer device, information display method and address book transfer method used in portable terminal device, and computer program |
CN113354302A (zh) * | 2021-06-16 | 2021-09-07 | 苏州怡之康通讯器材有限公司 | 一种通讯光缆着色生产线及其工艺 |
-
1988
- 1988-12-01 JP JP63302322A patent/JP2682603B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0524090A2 (en) * | 1991-07-15 | 1993-01-20 | Mitsubishi Cable Industries, Ltd. | Method for producing silica glass optical fiber and reaction apparatus for carbon coating |
JPH0585781A (ja) * | 1991-09-26 | 1993-04-06 | Fujikura Ltd | カーボンコート心線の製造方法 |
US8478255B2 (en) | 2006-01-10 | 2013-07-02 | Fujitsu Limited | Portable terminal device, address book transfer device, information display method and address book transfer method used in portable terminal device, and computer program |
CN113354302A (zh) * | 2021-06-16 | 2021-09-07 | 苏州怡之康通讯器材有限公司 | 一种通讯光缆着色生产线及其工艺 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2682603B2 (ja) | 1997-11-26 |
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