JPH02142373A - 静電吸着板 - Google Patents
静電吸着板Info
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- JPH02142373A JPH02142373A JP29169688A JP29169688A JPH02142373A JP H02142373 A JPH02142373 A JP H02142373A JP 29169688 A JP29169688 A JP 29169688A JP 29169688 A JP29169688 A JP 29169688A JP H02142373 A JPH02142373 A JP H02142373A
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- XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N Zinc monoxide Chemical compound [Zn]=O XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 19
- 229920002725 thermoplastic elastomer Polymers 0.000 claims abstract description 12
- 239000011787 zinc oxide Substances 0.000 claims abstract description 10
- 239000011521 glass Substances 0.000 claims abstract description 8
- 229920005989 resin Polymers 0.000 claims abstract description 8
- 239000011347 resin Substances 0.000 claims abstract description 8
- 229920001187 thermosetting polymer Polymers 0.000 claims abstract description 8
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 claims description 96
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 21
- 229920005601 base polymer Polymers 0.000 claims description 16
- 239000003365 glass fiber Substances 0.000 claims description 14
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims description 14
- 229920005992 thermoplastic resin Polymers 0.000 claims description 10
- ISWSIDIOOBJBQZ-UHFFFAOYSA-N Phenol Chemical compound OC1=CC=CC=C1 ISWSIDIOOBJBQZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 7
- 239000004744 fabric Substances 0.000 claims description 6
- 239000011101 paper laminate Substances 0.000 claims description 6
- 239000004593 Epoxy Substances 0.000 claims description 5
- 229920002554 vinyl polymer Polymers 0.000 claims description 4
- LKAVYBZHOYOUSX-UHFFFAOYSA-N buta-1,3-diene;2-methylprop-2-enoic acid;styrene Chemical compound C=CC=C.CC(=C)C(O)=O.C=CC1=CC=CC=C1 LKAVYBZHOYOUSX-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 abstract description 11
- 229920000459 Nitrile rubber Polymers 0.000 abstract description 10
- 229920000915 polyvinyl chloride Polymers 0.000 abstract description 9
- 239000004800 polyvinyl chloride Substances 0.000 abstract description 9
- 239000000835 fiber Substances 0.000 abstract description 5
- 238000003754 machining Methods 0.000 abstract 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 16
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 8
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 7
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 7
- 235000014692 zinc oxide Nutrition 0.000 description 7
- 229920001971 elastomer Polymers 0.000 description 6
- 238000000034 method Methods 0.000 description 6
- 239000000123 paper Substances 0.000 description 6
- 239000005060 rubber Substances 0.000 description 5
- 239000004698 Polyethylene Substances 0.000 description 4
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 4
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 4
- KXGFMDJXCMQABM-UHFFFAOYSA-N 2-methoxy-6-methylphenol Chemical compound [CH]OC1=CC=CC([CH])=C1O KXGFMDJXCMQABM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 3
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 3
- 238000009472 formulation Methods 0.000 description 3
- 239000011256 inorganic filler Substances 0.000 description 3
- 229910003475 inorganic filler Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000005011 phenolic resin Substances 0.000 description 3
- 229920001568 phenolic resin Polymers 0.000 description 3
- -1 polyethylene Polymers 0.000 description 3
- 229920012485 Plasticized Polyvinyl chloride Polymers 0.000 description 2
- XECAHXYUAAWDEL-UHFFFAOYSA-N acrylonitrile butadiene styrene Chemical compound C=CC=C.C=CC#N.C=CC1=CC=CC=C1 XECAHXYUAAWDEL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000004676 acrylonitrile butadiene styrene Substances 0.000 description 2
- 229920000122 acrylonitrile butadiene styrene Polymers 0.000 description 2
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 2
- 239000003086 colorant Substances 0.000 description 2
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 description 2
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 2
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 description 2
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 2
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 2
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 2
- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 description 2
- 229920001169 thermoplastic Polymers 0.000 description 2
- 125000000391 vinyl group Chemical group [H]C([*])=C([H])[H] 0.000 description 2
- QTBSBXVTEAMEQO-UHFFFAOYSA-M Acetate Chemical compound CC([O-])=O QTBSBXVTEAMEQO-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 239000004709 Chlorinated polyethylene Substances 0.000 description 1
- 244000126211 Hericium coralloides Species 0.000 description 1
- 229920000877 Melamine resin Polymers 0.000 description 1
- 239000006057 Non-nutritive feed additive Substances 0.000 description 1
- 239000004677 Nylon Substances 0.000 description 1
- 239000004793 Polystyrene Substances 0.000 description 1
- GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N Titan oxide Chemical compound O=[Ti]=O GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 235000010724 Wisteria floribunda Nutrition 0.000 description 1
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 1
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 1
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 1
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 1
- 238000012790 confirmation Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 1
- 239000005007 epoxy-phenolic resin Substances 0.000 description 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 1
- 230000002349 favourable effect Effects 0.000 description 1
- 239000011888 foil Substances 0.000 description 1
- 230000007849 functional defect Effects 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 230000001771 impaired effect Effects 0.000 description 1
- 238000007373 indentation Methods 0.000 description 1
- 229910052500 inorganic mineral Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000010030 laminating Methods 0.000 description 1
- 238000003475 lamination Methods 0.000 description 1
- WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N lead(0) Chemical group [Pb] WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000014759 maintenance of location Effects 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- JDSHMPZPIAZGSV-UHFFFAOYSA-N melamine Chemical compound NC1=NC(N)=NC(N)=N1 JDSHMPZPIAZGSV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000011707 mineral Substances 0.000 description 1
- 235000010755 mineral Nutrition 0.000 description 1
- 238000000465 moulding Methods 0.000 description 1
- 229920001778 nylon Polymers 0.000 description 1
- 229920000620 organic polymer Polymers 0.000 description 1
- 239000003973 paint Substances 0.000 description 1
- 229920003023 plastic Polymers 0.000 description 1
- 239000004033 plastic Substances 0.000 description 1
- 229920006112 polar polymer Polymers 0.000 description 1
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 1
- 229920000573 polyethylene Polymers 0.000 description 1
- 229920002223 polystyrene Polymers 0.000 description 1
- 229920002620 polyvinyl fluoride Polymers 0.000 description 1
- 238000011084 recovery Methods 0.000 description 1
- 239000007779 soft material Substances 0.000 description 1
- 239000003381 stabilizer Substances 0.000 description 1
- 230000003068 static effect Effects 0.000 description 1
- 238000006467 substitution reaction Methods 0.000 description 1
- 229920003051 synthetic elastomer Polymers 0.000 description 1
- 239000000454 talc Substances 0.000 description 1
- 229910052623 talc Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000010998 test method Methods 0.000 description 1
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 1
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 1
- OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N titanium oxide Inorganic materials [Ti]=O OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Landscapes
- Laminated Bodies (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
(発明の産業上の利用分野)
本発明は、静電的に紙、その他のシート状物体を吸着固
定する装置、いわゆる静電吸着板の改良にかかわり、更
に詳しくは静電吸着板の基板に熱硬化性樹脂積層板を使
用したときの吸着層の素材の改良にかかわる。
定する装置、いわゆる静電吸着板の改良にかかわり、更
に詳しくは静電吸着板の基板に熱硬化性樹脂積層板を使
用したときの吸着層の素材の改良にかかわる。
(従来の技術)
平滑な基板上に、(し歯型で互に電気的に絶縁して噛み
合う用に配置された一対の電極を設け、その面に有機高
分子体を基ポリマーとする吸着層を設けて吸着面とした
静電吸着板に関しては、例えばUSP2.854.13
2号(1958)においてその原理、基本条件が明らか
にされ、その後の改良に関して、例えば特公昭42−9
424号、特公昭44−805号、特開昭48−255
22号、実開昭54−41892号などに種々提示され
ている。
合う用に配置された一対の電極を設け、その面に有機高
分子体を基ポリマーとする吸着層を設けて吸着面とした
静電吸着板に関しては、例えばUSP2.854.13
2号(1958)においてその原理、基本条件が明らか
にされ、その後の改良に関して、例えば特公昭42−9
424号、特公昭44−805号、特開昭48−255
22号、実開昭54−41892号などに種々提示され
ている。
例えば、特開昭48−25522号では、静電吸着板を
構成する各部の素材についてその要件を示し、基板につ
いては、その内部抵抗率が10”0cmより大きく、あ
るいは、吸着層の抵抗率より大きいか、または、それに
等しくなければならない。例えば最良の材料は約101
8Ωcmまたは、それ以上の内部抵抗率を示すもので、
具体例としては、PE(ポリエチレン)、硬質PvC(
ポリ塩化ビニル)、ガラス繊維強化エポキシ樹脂、同フ
ェノール樹脂を挙げている。
構成する各部の素材についてその要件を示し、基板につ
いては、その内部抵抗率が10”0cmより大きく、あ
るいは、吸着層の抵抗率より大きいか、または、それに
等しくなければならない。例えば最良の材料は約101
8Ωcmまたは、それ以上の内部抵抗率を示すもので、
具体例としては、PE(ポリエチレン)、硬質PvC(
ポリ塩化ビニル)、ガラス繊維強化エポキシ樹脂、同フ
ェノール樹脂を挙げている。
吸着層としての要件は、1つは操作者がその表面に接触
して電撃を受ける心配のないよう0、25mm以上の厚
さであること、他はその内部抵抗率が10′!Ωc11
1以下としている。またその具体的素材例として、可塑
化pvc 、ポリ弗化ビニルおよびガラス繊維強化メラ
ミン樹脂等を示し、ナイロンやアセテートのようなある
種の材料は通常の温度では良好に作動するが、低温では
機能を停止することがあると述べている。
して電撃を受ける心配のないよう0、25mm以上の厚
さであること、他はその内部抵抗率が10′!Ωc11
1以下としている。またその具体的素材例として、可塑
化pvc 、ポリ弗化ビニルおよびガラス繊維強化メラ
ミン樹脂等を示し、ナイロンやアセテートのようなある
種の材料は通常の温度では良好に作動するが、低温では
機能を停止することがあると述べている。
電極の配置方法については種々な態様があるが、例とし
て下記のものを挙げている。すなわち銅被覆された基板
から、パターンに従って導体部分を腐食する標準印刷回
路法、導電インキを基板上にシルクスクリーン法で印刷
する方法、または、熱間スタンプ法などであり、電極材
料としては、また金属箔、ワ゛イヤ導電性インキ(ペイ
ント)も使用できるとしている。
て下記のものを挙げている。すなわち銅被覆された基板
から、パターンに従って導体部分を腐食する標準印刷回
路法、導電インキを基板上にシルクスクリーン法で印刷
する方法、または、熱間スタンプ法などであり、電極材
料としては、また金属箔、ワ゛イヤ導電性インキ(ペイ
ント)も使用できるとしている。
いずれにしても、静電吸着板として要求される機能上の
要件としては、実際の使用環境(例えば5〜40℃、3
0〜85%RH)のもとで、安定した吸着力を発揮し、
電圧の印加を中止したときは、短時間で吸着力が0とな
ること、および表面が平滑であり、使用する筆記具の筆
圧によって表面に使用上の支障となる凹λ、筆跡を残さ
ないことが挙げられる。更に産業上の要望としては、色
調が自由に選べられ、低価格で供給されることが好まし
い。
要件としては、実際の使用環境(例えば5〜40℃、3
0〜85%RH)のもとで、安定した吸着力を発揮し、
電圧の印加を中止したときは、短時間で吸着力が0とな
ること、および表面が平滑であり、使用する筆記具の筆
圧によって表面に使用上の支障となる凹λ、筆跡を残さ
ないことが挙げられる。更に産業上の要望としては、色
調が自由に選べられ、低価格で供給されることが好まし
い。
上記の種々の条件を総合するとき、静電吸着板としては
、例えばフェノール樹脂プリント基板上に主要の電極パ
ターンを配置させたものを基板Aおよび電極Bとし、そ
の表面に0.3〜1、On+mの厚さの熱可塑性高分子
からなる吸着層Cを積層することで、容易に製作が可能
になると考えられる。
、例えばフェノール樹脂プリント基板上に主要の電極パ
ターンを配置させたものを基板Aおよび電極Bとし、そ
の表面に0.3〜1、On+mの厚さの熱可塑性高分子
からなる吸着層Cを積層することで、容易に製作が可能
になると考えられる。
しかし、実際に上記の素材を用いて静電吸着板を製造す
ると、次のような問題点が認められた。1つは、プリン
ト回路用積層板(繊維補強フェノール樹脂、エポキシ樹
脂製)と、吸着層(熱可塑性高分子)との積層時の加熱
の影響を受けて静電吸着板全体に反りを生じ、特に静電
吸着板として精度を要求される場合(例えばX−Yブロ
ック−なと)には、重要な機能上の欠陥となることがあ
る。またその著しい場合には基板−吸着層の剥離を招く
ことさえある。
ると、次のような問題点が認められた。1つは、プリン
ト回路用積層板(繊維補強フェノール樹脂、エポキシ樹
脂製)と、吸着層(熱可塑性高分子)との積層時の加熱
の影響を受けて静電吸着板全体に反りを生じ、特に静電
吸着板として精度を要求される場合(例えばX−Yブロ
ック−なと)には、重要な機能上の欠陥となることがあ
る。またその著しい場合には基板−吸着層の剥離を招く
ことさえある。
この原因は、主として吸着層Cの素材調製時のヒズミの
残留および基板素材との熱膨張率の差によるものと考え
られる。基板として、吸着層に使用する素材と同質の高
分子体を使用することも考えられるが、この場合表面に
銅被覆を行うことは、現時点では工業的には極めて困難
であり、実用性はない。
残留および基板素材との熱膨張率の差によるものと考え
られる。基板として、吸着層に使用する素材と同質の高
分子体を使用することも考えられるが、この場合表面に
銅被覆を行うことは、現時点では工業的には極めて困難
であり、実用性はない。
2点目は、特にX−Yプロッターなどに使用する場合、
使用する筆記用具に関係してくるが、特に鉛筆を用した
場合、その芯先の圧力により軟質の熱可塑性樹脂ではそ
の表面に凹凸を生じ、後の使用に支障をきたす′ことが
起りやすい、しかしこれを防止するために硬質のプラス
チックを使用すると、吸着力の低下を招きやすい。
使用する筆記用具に関係してくるが、特に鉛筆を用した
場合、その芯先の圧力により軟質の熱可塑性樹脂ではそ
の表面に凹凸を生じ、後の使用に支障をきたす′ことが
起りやすい、しかしこれを防止するために硬質のプラス
チックを使用すると、吸着力の低下を招きやすい。
この問題点に対する1つの解決策として、例えば実公昭
54−41892号では静電吸着板を構成する基板、吸
着層および電極を、すべて熱可塑性樹脂を基ポリマーと
して得た素材を用い、熱圧着により一体に形成すること
を提示している。
54−41892号では静電吸着板を構成する基板、吸
着層および電極を、すべて熱可塑性樹脂を基ポリマーと
して得た素材を用い、熱圧着により一体に形成すること
を提示している。
この場合前述の熱膨張による反りなどの問題は生じない
が、電極として高価な導電性熱可塑性樹脂を用い、かつ
それを熱可塑性樹脂上に均一なパターンとして配置する
工程を必要とするため、製造上多大な労力あるいは設備
を必要とする欠点がある。
が、電極として高価な導電性熱可塑性樹脂を用い、かつ
それを熱可塑性樹脂上に均一なパターンとして配置する
工程を必要とするため、製造上多大な労力あるいは設備
を必要とする欠点がある。
(発明が解決しようとする課題)
本発明は上記した種々の問題点を解消した新規な静電吸
着板を提供するためになされたものであり、その目的は
、実用的に安価でかつ使用環境下で高い信頼性をもち、
耐久性のある静電吸着板を提供するところにある。
着板を提供するためになされたものであり、その目的は
、実用的に安価でかつ使用環境下で高い信頼性をもち、
耐久性のある静電吸着板を提供するところにある。
そして本発明の特に主要とする目的は、製造、加工時に
おける残留ヒズミを低減し、かつ熱膨張率を低下させる
ことで、従来の静電吸着板で問題となっていた反りやこ
れに伴なう基板と吸着層の間の剥離を防止することがで
きる構成の静電吸着板を提供するところにある。
おける残留ヒズミを低減し、かつ熱膨張率を低下させる
ことで、従来の静電吸着板で問題となっていた反りやこ
れに伴なう基板と吸着層の間の剥離を防止することがで
きる構成の静電吸着板を提供するところにある。
更にまた本発明の他の目的は、使用時における筆記具の
筆圧による吸着層の凹凸の発生を防止することができる
静電吸着板を提供するところにある。
筆圧による吸着層の凹凸の発生を防止することができる
静電吸着板を提供するところにある。
本発明の更に別の目的は、低温の使用環境においても、
吸着力が維持できる静電吸着板を提供するところにある
。
吸着力が維持できる静電吸着板を提供するところにある
。
(問題を解決するための手段)
上記した目的を実現する本発明よりなる静電吸着板の特
徴は、吸着層の素材として、■基ポリマーとして、極性
の大きいポリ塩化ビニル(pvc)−アクリロニトリル
ブタジェンゴム(NBR)系熱可塑性エラストマーを用
いる。
徴は、吸着層の素材として、■基ポリマーとして、極性
の大きいポリ塩化ビニル(pvc)−アクリロニトリル
ブタジェンゴム(NBR)系熱可塑性エラストマーを用
いる。
■熱膨張率の低減の目的で、酸化亜鉛を、ポリマーに対
し、10〜50容積%添加する。
し、10〜50容積%添加する。
■熱膨張率の低減および加工時の熱ヒズミの残留の低減
のために、ガラス短繊維を、ポリマーに対し4〜30容
積%添加する。
のために、ガラス短繊維を、ポリマーに対し4〜30容
積%添加する。
を選択したことにあり、これを電極を配した熱硬化性樹
脂プリント回路積層体の上に積層させたという構成をな
すところにある。
脂プリント回路積層体の上に積層させたという構成をな
すところにある。
熱可塑性エラストマー組成物は、これをシート状に成形
した後、基板、電極の一体化した熱硬化性樹脂プリント
回路積層板と積層すればよい。
した後、基板、電極の一体化した熱硬化性樹脂プリント
回路積層板と積層すればよい。
以下本発明について詳細に説明する。
吸着層に使用する基ポリマー(組成構成の主体となる高
分子体)としては極性の大きいものが望ましいが、吸着
力を太き(するためには−般に低硬さの、軟かい素材が
好ましい。具体的には可塑化PVC,PVC−NBRブ
レンド系、ClPE (塩素化ポリエチレン)およびそ
のブレンド系、あるいはPVC−NBR系熱可塑性エラ
ストマーが挙げられる。
分子体)としては極性の大きいものが望ましいが、吸着
力を太き(するためには−般に低硬さの、軟かい素材が
好ましい。具体的には可塑化PVC,PVC−NBRブ
レンド系、ClPE (塩素化ポリエチレン)およびそ
のブレンド系、あるいはPVC−NBR系熱可塑性エラ
ストマーが挙げられる。
PVC−NBR系熱可塑性エラストマー下r VNTR
Jと略す)に、比較的誘電率の大きい、酸化亜鉛を用い
た場合、低電圧印加下での、低温度での吸着力の保持が
良く、本発明の目的に極めて好ましい効果を示す。特に
、その添加量を増加させても、その効果に大きな変化が
ない。酸化亜鉛の添加量がポリマーの50容積%に達す
ると、強度的に低下する傾向があるので、10〜50容
積%が好ましい範囲といえる。
Jと略す)に、比較的誘電率の大きい、酸化亜鉛を用い
た場合、低電圧印加下での、低温度での吸着力の保持が
良く、本発明の目的に極めて好ましい効果を示す。特に
、その添加量を増加させても、その効果に大きな変化が
ない。酸化亜鉛の添加量がポリマーの50容積%に達す
ると、強度的に低下する傾向があるので、10〜50容
積%が好ましい範囲といえる。
熱ヒズミの低減のために短繊維を添加することは知られ
ているが、本発明の目的には一般の有機繊維よりもガラ
スの短繊維、一般的に5〜15mmのガラス短繊維の添
加がもっとも好ましい。
ているが、本発明の目的には一般の有機繊維よりもガラ
スの短繊維、一般的に5〜15mmのガラス短繊維の添
加がもっとも好ましい。
ガラス短繊維の場合、吸着力については、15容積%ま
ではほとんど影響が表れないが添加量が多くなると強度
がやや低下する傾向がありまた熱ヒズミの残留について
゛は、30容積%以上では余り大きな差がなく、製品表
面の平滑性もやや損われる。これらのことからガラス短
繊維の添加量は30容積%以下、好ましくは15容積%
以下とすることがよい。
ではほとんど影響が表れないが添加量が多くなると強度
がやや低下する傾向がありまた熱ヒズミの残留について
゛は、30容積%以上では余り大きな差がなく、製品表
面の平滑性もやや損われる。これらのことからガラス短
繊維の添加量は30容積%以下、好ましくは15容積%
以下とすることがよい。
基ポリマーの表面硬さを上げるために、硬質熱可塑性樹
脂例えば無可塑化PVC,ABS (アクリロニトリ
ル ブタジェン スチレン 三共重合体)、MBS、P
S(ポリスチレン)、PE等を添加することがよい。特
に、熱可塑性エラストマーとMBSを併用する場合には
、表面硬さの上昇と変形戻りの点、および低印加電圧で
の吸着力の保持の良い点で好ましい。
脂例えば無可塑化PVC,ABS (アクリロニトリ
ル ブタジェン スチレン 三共重合体)、MBS、P
S(ポリスチレン)、PE等を添加することがよい。特
に、熱可塑性エラストマーとMBSを併用する場合には
、表面硬さの上昇と変形戻りの点、および低印加電圧で
の吸着力の保持の良い点で好ましい。
本発明における基板には、熱硬化性樹脂製プリント回路
用積層体が用いられ、具体的には、フェノール樹脂−紙
積層体、あるいはエポキシ樹脂−ガラスクロス積層体が
例示される。
用積層体が用いられ、具体的には、フェノール樹脂−紙
積層体、あるいはエポキシ樹脂−ガラスクロス積層体が
例示される。
(実施例)
以下本発明の実施例について説明する。
(1)試験試料の調製
基葦
JIS C6485[フェノール樹脂−紙積層プリント
回路基板] PPTFクラスのフェノール樹脂積層板(
厚さ1.6mm )を約200 X 200mm角に裁
断した。
回路基板] PPTFクラスのフェノール樹脂積層板(
厚さ1.6mm )を約200 X 200mm角に裁
断した。
幅3TI1mの電極を、相互に電気的に絶縁して3mm
の距離を隔てて、くし歯形に配列した一対のパターンを
、エツチング処理により形成した。基板の一端に近い所
で、一対の電極上に約1.5mmの小孔をあけ、ここに
銀メツキを施した銅製ハトメを挿入し、ハンダにて表面
を平滑に維持しながら固定し、基板裏面に電極端子を導
ひいた。
の距離を隔てて、くし歯形に配列した一対のパターンを
、エツチング処理により形成した。基板の一端に近い所
で、一対の電極上に約1.5mmの小孔をあけ、ここに
銀メツキを施した銅製ハトメを挿入し、ハンダにて表面
を平滑に維持しながら固定し、基板裏面に電極端子を導
ひいた。
ILI
実験の目的に応じて設定した下記表に示す処方の組成物
を、それぞれ所要の温度に加熱された径150m1iの
オーブンロールで混練した後、約0.5mmの厚さのシ
ート状に成形した。
を、それぞれ所要の温度に加熱された径150m1iの
オーブンロールで混練した後、約0.5mmの厚さのシ
ート状に成形した。
(2)静電吸着板の成形
成形
第1図及び第2図の電極2,2°のパターンの配置され
た基板1面に、CR系接着剤を1回塗布乾燥後、同サイ
ズに裁断した吸着層シート3を重ね、熱プレスにて16
0℃で10分間予熱後加圧し、5分間保持し、加圧した
まま50℃まで冷却して取出し、積層を完了させた。
た基板1面に、CR系接着剤を1回塗布乾燥後、同サイ
ズに裁断した吸着層シート3を重ね、熱プレスにて16
0℃で10分間予熱後加圧し、5分間保持し、加圧した
まま50℃まで冷却して取出し、積層を完了させた。
迭:」二線9」旧1豆
基板lの裏面に導かれた電極端子11.12に、約30
cmのビニル被覆mIIをハンダにて固定し、その他端
を直流電源に接続するリード部とした(第2図参照)。
cmのビニル被覆mIIをハンダにて固定し、その他端
を直流電源に接続するリード部とした(第2図参照)。
(3)試験法
扱1■l
試験前の試料は、特記のない限り25±3℃、65%R
Hの室内に、15時間以上放置し試験に供した。高温度
、または低温度での吸着力の測定は、それぞれ空気定温
槽または該当する温度の室内に5時間放置した。
Hの室内に、15時間以上放置し試験に供した。高温度
、または低温度での吸着力の測定は、それぞれ空気定温
槽または該当する温度の室内に5時間放置した。
【1n立皇1
端子リード線を直流電源に接続し、吸着面に100 X
150mmの普通紙(ppc用紙)を載せ、紙の10
0 X 100no++の部分が吸着されるようにその
一部を浮かせ、所定の直流電圧を印加して紙を吸着面に
平行にずらせ、このときの紙がズレはじめるに要する力
を100cm”当りの吸着力として表した。
150mmの普通紙(ppc用紙)を載せ、紙の10
0 X 100no++の部分が吸着されるようにその
一部を浮かせ、所定の直流電圧を印加して紙を吸着面に
平行にずらせ、このときの紙がズレはじめるに要する力
を100cm”当りの吸着力として表した。
1皿里1
JISK6301に定められたスプリング式ゴム硬さ試
験機により測定した。
験機により測定した。
1直立1且
シート状に成形した吸着層素材を所定の温度に放置し、
寸法の変化を測定し、変化がほぼ認められなくなった時
点での収縮率を算出した。
寸法の変化を測定し、変化がほぼ認められなくなった時
点での収縮率を算出した。
筆IJ(後1υl貿
吸着板をX−Yプロッターに設置して、筆記後の字の凹
みを目視により判定した。
みを目視により判定した。
反1
吸着板に20cmの定規を当て吸着板と定規の間の隙間
を隙間ゲージにより測定し、下記基準で評価した。
を隙間ゲージにより測定し、下記基準で評価した。
0・・・O,Inm以下 ○・・・0.4mm以下×
・・・0.5mm以上 実施例1 静電吸着板として吸着層の組成を第1表のものとして図
面に示す上記吸着板を作製して確認試験を行い、その結
果を第1表に示した。
・・・0.5mm以上 実施例1 静電吸着板として吸着層の組成を第1表のものとして図
面に示す上記吸着板を作製して確認試験を行い、その結
果を第1表に示した。
第 1
表
〇−優秀 〇−良好 △−問題あり ×−不可中
1 : PVC−NBR−%熱可塑性エラストマー(電
気化学工業社製)中27 PVC−NBR系熱可塑性エ
ラストマー本ゼオン社製)$3:MBS(日本ゼオン社
製) *4: PVC−NBRブレンドゴム(日本合成ゴム社
製1中トガラス短繊維 平均長5mm(旭ファイバー社
製)上記第1表から分かるように、基ポリマーにポリ塩
化ビニルNBR系熱可塑性エラストマーを使用し、これ
に硬質熱可塑性樹脂、酸化亜鉛、ガラス短繊維を配合し
た実施例1〜4は、常温及び7℃の吸着力、反り、筆記
具跡の残留及び強度はいずれも優れた結果を示した。し
かしポリ塩化ビニル−NBRゴム系配合物(比較例5〜
8)は、実施例1〜4に比べて吸着力が低下し硬さの高
い比較例8でも反り、筆記具跡の残留が見られ基ポリマ
ーの影響が大きいことがわかった。
1 : PVC−NBR−%熱可塑性エラストマー(電
気化学工業社製)中27 PVC−NBR系熱可塑性エ
ラストマー本ゼオン社製)$3:MBS(日本ゼオン社
製) *4: PVC−NBRブレンドゴム(日本合成ゴム社
製1中トガラス短繊維 平均長5mm(旭ファイバー社
製)上記第1表から分かるように、基ポリマーにポリ塩
化ビニルNBR系熱可塑性エラストマーを使用し、これ
に硬質熱可塑性樹脂、酸化亜鉛、ガラス短繊維を配合し
た実施例1〜4は、常温及び7℃の吸着力、反り、筆記
具跡の残留及び強度はいずれも優れた結果を示した。し
かしポリ塩化ビニル−NBRゴム系配合物(比較例5〜
8)は、実施例1〜4に比べて吸着力が低下し硬さの高
い比較例8でも反り、筆記具跡の残留が見られ基ポリマ
ーの影響が大きいことがわかった。
実施例2
基板として、実施例1のフェノール樹脂−紙積層板を他
のプリント回路用積層体に変えて、実施例1のNo4の
吸着層で試験した。
のプリント回路用積層体に変えて、実施例1のNo4の
吸着層で試験した。
その結果、フェノール樹脂−布積層板、フェノール樹脂
−ガラスクロス積層板、エポキシ樹脂−紙積層板、エポ
キシ樹脂−ガラスクロス積層板のいずれの場合について
も゛同様な結果が得られ、本発明の効果が確認された。
−ガラスクロス積層板、エポキシ樹脂−紙積層板、エポ
キシ樹脂−ガラスクロス積層板のいずれの場合について
も゛同様な結果が得られ、本発明の効果が確認された。
特にエポキシ樹脂−ガラスクロス積層板の場合は、基板
自体の吸水性が少く、電気的耐久性にも優れているので
、静電吸着板の用途上好ましい材料といえる。
自体の吸水性が少く、電気的耐久性にも優れているので
、静電吸着板の用途上好ましい材料といえる。
実施例3
基板として、PP7Fのフェノール樹脂−紙積層板を用
い、その厚さを、1.0mmおよび1.6+nmとし、
実施例1のNo4の吸着層のシート厚さを、0.31か
ら1 、5mm範囲で変化させ、熱ヒズミによる、反り
の確認をおこなった。その結果、基板厚さに対し、吸着
層シートの厚さが70%までは、全く問題が無く、また
、100%までは、実質的に支障のないことが分った。
い、その厚さを、1.0mmおよび1.6+nmとし、
実施例1のNo4の吸着層のシート厚さを、0.31か
ら1 、5mm範囲で変化させ、熱ヒズミによる、反り
の確認をおこなった。その結果、基板厚さに対し、吸着
層シートの厚さが70%までは、全く問題が無く、また
、100%までは、実質的に支障のないことが分った。
比較例1
吸着板組成物を構成する基ポリマーの適性を評化するた
めに、基ポリマーについて極性の大きいポリマーを使用
して第2図に示す吸着板を作製し、その吸着力を測定し
て結果を第2表に示した。
めに、基ポリマーについて極性の大きいポリマーを使用
して第2図に示す吸着板を作製し、その吸着力を測定し
て結果を第2表に示した。
この結果から分かるように、吸着力はPVC(ゼオン1
03EP)が100OVで最大値を示しているが、75
0vでは殆んど吸着力がなく、表面硬さも併せて考慮す
ると、PVC−NOR系熱可塑性エラストマー(デンカ
LC5Z6070あルイはエラスターES−45011
、ClPE (エラスレン303B)が良い結果を示す
ことが分かる。
03EP)が100OVで最大値を示しているが、75
0vでは殆んど吸着力がなく、表面硬さも併せて考慮す
ると、PVC−NOR系熱可塑性エラストマー(デンカ
LC5Z6070あルイはエラスターES−45011
、ClPE (エラスレン303B)が良い結果を示す
ことが分かる。
第2表
傘6:PVC(日本ゼオン社製)
本7 : ClPE (昭和電工社製)$8:吸着力小
さ(測定不能 比較例2 次に、上記比較例1により吸着力の適性が評化された基
ポリマーも、そのままの硬さでは筆圧に対し全く効果が
ないので、更に上記基ポリマーに硬質熱可塑性樹脂をブ
レンドして硬さの調整した場合の静電吸着板を作製し、
その硬さと吸着力について測定して、結果を第3A表及
び第3B表に示した。
さ(測定不能 比較例2 次に、上記比較例1により吸着力の適性が評化された基
ポリマーも、そのままの硬さでは筆圧に対し全く効果が
ないので、更に上記基ポリマーに硬質熱可塑性樹脂をブ
レンドして硬さの調整した場合の静電吸着板を作製し、
その硬さと吸着力について測定して、結果を第3A表及
び第3B表に示した。
この結果より、基ポリマーにブレンドする硬質熱可塑性
樹脂としてはMBS (ハイブレンB4O3)が好まし
いという評価が得られ、またそのブレンド比をあまり大
きくすると硬さは改善されるものの吸着力の低下をまね
(ので、最適ブレンド比は20〜40容積%であること
が分かった。
樹脂としてはMBS (ハイブレンB4O3)が好まし
いという評価が得られ、またそのブレンド比をあまり大
きくすると硬さは改善されるものの吸着力の低下をまね
(ので、最適ブレンド比は20〜40容積%であること
が分かった。
第3A表
中9:^BS(日本合成ゴム社製)
中10: MBS (日本ゼオン社!11)傘11:P
s(昭和電工社製) $12: PE (三片石油化学工業社製)第3B表 比較例3 上記比較例1及び2から、静電吸着板を構成させるため
に適当なポリマー(基ポリマー及び置換配合できる硬質
ポリマー)についての評価を得たが、これらのポリス−
のみでは、静電吸着板を形成させるためのこれをシート
化した場合の収縮が大きく、また外観が悪い。このため
吸着層の改善を図る無機充填剤を配合を検討するために
、種々の無機充填剤を配合して構成した静電吸着板を作
製し、その吸着力、収縮性について測定して、結果を第
4A表及び第4B表に示した。
s(昭和電工社製) $12: PE (三片石油化学工業社製)第3B表 比較例3 上記比較例1及び2から、静電吸着板を構成させるため
に適当なポリマー(基ポリマー及び置換配合できる硬質
ポリマー)についての評価を得たが、これらのポリス−
のみでは、静電吸着板を形成させるためのこれをシート
化した場合の収縮が大きく、また外観が悪い。このため
吸着層の改善を図る無機充填剤を配合を検討するために
、種々の無機充填剤を配合して構成した静電吸着板を作
製し、その吸着力、収縮性について測定して、結果を第
4A表及び第4B表に示した。
この結果から分かるように、使用した無機充填剤の中で
酸化亜鉛が最も良い結果を示すことが分かった。アルミ
ナも収縮性の改良には効果があるが、低温での吸着力の
低下が大きかった。また他の材料は吸着力低く、使用が
適当でないことが分かった。
酸化亜鉛が最も良い結果を示すことが分かった。アルミ
ナも収縮性の改良には効果があるが、低温での吸着力の
低下が大きかった。また他の材料は吸着力低く、使用が
適当でないことが分かった。
静電吸着板は、基板と吸着層゛を接着により積層する構
成をとるため、吸着層の収縮が大きいと両者の剥離が問
題となるため、上記により選択された適切な無機添加剤
の選択は本発明の静電吸着板を構成する上で重要である
。
成をとるため、吸着層の収縮が大きいと両者の剥離が問
題となるため、上記により選択された適切な無機添加剤
の選択は本発明の静電吸着板を構成する上で重要である
。
第4A表
第4B表
*13: WA8000 (二見研磨工業社製)*1
4:酸化チタンTA−100(富士チタン工業社製)*
15ニイムシルA−10−)1 (イリノイミネラルズ
社製)*16:超微粉タルク B−6(宝石粉工業社製
)傘17:亜鉛華1号(三片金属工業社製)比較例4 静電吸着板は、これを使用する時にプロッター等の機械
より発生する熱の影響を受けて、吸着層の収縮や吸着板
の反りが見られることがある。この問題の解消は実用的
な静電吸着板を提供するためには重要であるから、本発
明者は、これを改善する配合として、ガラス短繊維を選
択し、これを配合した静電吸着板を作製し、その吸着力
、熱ヒズミ及び反りを測定して、。その結果を第5表に
示した。
4:酸化チタンTA−100(富士チタン工業社製)*
15ニイムシルA−10−)1 (イリノイミネラルズ
社製)*16:超微粉タルク B−6(宝石粉工業社製
)傘17:亜鉛華1号(三片金属工業社製)比較例4 静電吸着板は、これを使用する時にプロッター等の機械
より発生する熱の影響を受けて、吸着層の収縮や吸着板
の反りが見られることがある。この問題の解消は実用的
な静電吸着板を提供するためには重要であるから、本発
明者は、これを改善する配合として、ガラス短繊維を選
択し、これを配合した静電吸着板を作製し、その吸着力
、熱ヒズミ及び反りを測定して、。その結果を第5表に
示した。
この結果から分かるように、ガラス短繊維の配合量を増
加すると熱ヒズミは小さ(改善されることが分かる。し
かし過剰になるとガラス短繊維がシート表面に露出し、
表面が粗(なって吸着力の低下を招く傾向にあるので、
ガラス短繊維の添加量は4〜30容積%、好ましくは1
0〜25容積%とすることが適当であった。
加すると熱ヒズミは小さ(改善されることが分かる。し
かし過剰になるとガラス短繊維がシート表面に露出し、
表面が粗(なって吸着力の低下を招く傾向にあるので、
ガラス短繊維の添加量は4〜30容積%、好ましくは1
0〜25容積%とすることが適当であった。
第5表
*18;ガラス短繊維 平均長5mm(旭ファイバー社
製)(効果) 以上のように本発明よりなる静電吸着板によれば、次の
ような効果があり、その有用性は極めて大なるものであ
る。
製)(効果) 以上のように本発明よりなる静電吸着板によれば、次の
ような効果があり、その有用性は極めて大なるものであ
る。
■基板と吸着層の熱ヒズミ等による静電吸着板の反りが
実質的に解消する。
実質的に解消する。
■筆記具の筆圧による吸着面の凹みは、実用的に全くな
い。
い。
■酸化亜鉛を添加しな素材に比べ、低温での吸着力が低
下しない。
下しない。
■製作工程が簡便である。
■着色剤の添加により、自由な色調の吸着面が得られる
。
。
なお以上の組成に、通常ゴム工業、あるいはPVC工業
等において使用されている軟化剤、加工助剤、着色剤、
安定剤、耐候性付与剤等を、その機能を損なわない範囲
において添加、使用することが可能であることは言うま
でもない。
等において使用されている軟化剤、加工助剤、着色剤、
安定剤、耐候性付与剤等を、その機能を損なわない範囲
において添加、使用することが可能であることは言うま
でもない。
第1図は静電吸着板の断面を示した図であり第2図は吸
着板の電極のパターンを示す。 1・・・基板、 3・・・吸着層、 11・・・負極、 2・・・電極、 4・・・吸着紙、 12・・・正極。
着板の電極のパターンを示す。 1・・・基板、 3・・・吸着層、 11・・・負極、 2・・・電極、 4・・・吸着紙、 12・・・正極。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1、熱硬化性樹脂製プリント回路用積層体を基板とし、
この基板上に電気的に絶縁して互いにくし歯型に噛み合
うように配置された一対の電極を設け、更にその上を吸
着層で覆装して吸着面とした静電吸着板であって、上記
吸着層を、ポリ塩化ビニル−NBR系熱可塑性エラスト
マーを基ポリマーとして、これに、基ポリマーの4〜3
0容積%のガラス短繊維、及び基ポリマーの10〜50
容積%の酸化亜鉛を添加した高分子系組成物で構成させ
たことを特徴とする静電吸着板。 2、上記基ポリマーが、40容積%以下硬質熱可塑性樹
脂で置換されていることを特徴とする請求項1に記載の
静電吸着板。 3、上記硬質熱可塑性樹脂が、メタクリル酸−ブタジエ
ン−スチレンであることを特徴とする請求項2に記載の
静電吸着板。 4、上記ガラス短繊維が7〜15mmであることを特徴
とする請求項1ないし3のいずれかに記載の静電吸着板
。 5、上記熱硬化性樹脂製プリント回路用積層体がフェノ
ール樹脂−紙積層体であることを特徴とする請求項1な
いし4のいずれかに記載の静電吸着板。 6、上記熱硬化性樹脂製プリント回路用積層体がエポキ
シ樹脂−ガラスクロス積層体であることを特徴とする請
求項1ないし4のいずれかに記載の静電吸着板。 7、吸着層の厚みが、基板と同じかそれ以下であること
を特徴とする請求項1ないし6のいずれかに記載の静電
吸着板。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP29169688A JPH02142373A (ja) | 1988-11-18 | 1988-11-18 | 静電吸着板 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP29169688A JPH02142373A (ja) | 1988-11-18 | 1988-11-18 | 静電吸着板 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH02142373A true JPH02142373A (ja) | 1990-05-31 |
Family
ID=17772217
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP29169688A Pending JPH02142373A (ja) | 1988-11-18 | 1988-11-18 | 静電吸着板 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH02142373A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH06225556A (ja) * | 1992-12-03 | 1994-08-12 | Abisare:Kk | 静電吸着装置 |
-
1988
- 1988-11-18 JP JP29169688A patent/JPH02142373A/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH06225556A (ja) * | 1992-12-03 | 1994-08-12 | Abisare:Kk | 静電吸着装置 |
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