JPH02142373A - 静電吸着板 - Google Patents

静電吸着板

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JPH02142373A
JPH02142373A JP29169688A JP29169688A JPH02142373A JP H02142373 A JPH02142373 A JP H02142373A JP 29169688 A JP29169688 A JP 29169688A JP 29169688 A JP29169688 A JP 29169688A JP H02142373 A JPH02142373 A JP H02142373A
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JP
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adsorption plate
electrostatic adsorption
electrostatic
adsorption
plate according
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JP29169688A
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Sadami Maeda
前田 禎美
Hiromichi Kimura
木村 博道
Hiroaki Kobayashi
博明 小林
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Showa Rubber Co Ltd
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Showa Rubber Co Ltd
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 (発明の産業上の利用分野) 本発明は、静電的に紙、その他のシート状物体を吸着固
定する装置、いわゆる静電吸着板の改良にかかわり、更
に詳しくは静電吸着板の基板に熱硬化性樹脂積層板を使
用したときの吸着層の素材の改良にかかわる。
(従来の技術) 平滑な基板上に、(し歯型で互に電気的に絶縁して噛み
合う用に配置された一対の電極を設け、その面に有機高
分子体を基ポリマーとする吸着層を設けて吸着面とした
静電吸着板に関しては、例えばUSP2.854.13
2号(1958)においてその原理、基本条件が明らか
にされ、その後の改良に関して、例えば特公昭42−9
424号、特公昭44−805号、特開昭48−255
22号、実開昭54−41892号などに種々提示され
ている。
例えば、特開昭48−25522号では、静電吸着板を
構成する各部の素材についてその要件を示し、基板につ
いては、その内部抵抗率が10”0cmより大きく、あ
るいは、吸着層の抵抗率より大きいか、または、それに
等しくなければならない。例えば最良の材料は約101
8Ωcmまたは、それ以上の内部抵抗率を示すもので、
具体例としては、PE(ポリエチレン)、硬質PvC(
ポリ塩化ビニル)、ガラス繊維強化エポキシ樹脂、同フ
ェノール樹脂を挙げている。
吸着層としての要件は、1つは操作者がその表面に接触
して電撃を受ける心配のないよう0、25mm以上の厚
さであること、他はその内部抵抗率が10′!Ωc11
1以下としている。またその具体的素材例として、可塑
化pvc 、ポリ弗化ビニルおよびガラス繊維強化メラ
ミン樹脂等を示し、ナイロンやアセテートのようなある
種の材料は通常の温度では良好に作動するが、低温では
機能を停止することがあると述べている。
電極の配置方法については種々な態様があるが、例とし
て下記のものを挙げている。すなわち銅被覆された基板
から、パターンに従って導体部分を腐食する標準印刷回
路法、導電インキを基板上にシルクスクリーン法で印刷
する方法、または、熱間スタンプ法などであり、電極材
料としては、また金属箔、ワ゛イヤ導電性インキ(ペイ
ント)も使用できるとしている。
いずれにしても、静電吸着板として要求される機能上の
要件としては、実際の使用環境(例えば5〜40℃、3
0〜85%RH)のもとで、安定した吸着力を発揮し、
電圧の印加を中止したときは、短時間で吸着力が0とな
ること、および表面が平滑であり、使用する筆記具の筆
圧によって表面に使用上の支障となる凹λ、筆跡を残さ
ないことが挙げられる。更に産業上の要望としては、色
調が自由に選べられ、低価格で供給されることが好まし
い。
上記の種々の条件を総合するとき、静電吸着板としては
、例えばフェノール樹脂プリント基板上に主要の電極パ
ターンを配置させたものを基板Aおよび電極Bとし、そ
の表面に0.3〜1、On+mの厚さの熱可塑性高分子
からなる吸着層Cを積層することで、容易に製作が可能
になると考えられる。
しかし、実際に上記の素材を用いて静電吸着板を製造す
ると、次のような問題点が認められた。1つは、プリン
ト回路用積層板(繊維補強フェノール樹脂、エポキシ樹
脂製)と、吸着層(熱可塑性高分子)との積層時の加熱
の影響を受けて静電吸着板全体に反りを生じ、特に静電
吸着板として精度を要求される場合(例えばX−Yブロ
ック−なと)には、重要な機能上の欠陥となることがあ
る。またその著しい場合には基板−吸着層の剥離を招く
ことさえある。
この原因は、主として吸着層Cの素材調製時のヒズミの
残留および基板素材との熱膨張率の差によるものと考え
られる。基板として、吸着層に使用する素材と同質の高
分子体を使用することも考えられるが、この場合表面に
銅被覆を行うことは、現時点では工業的には極めて困難
であり、実用性はない。
2点目は、特にX−Yプロッターなどに使用する場合、
使用する筆記用具に関係してくるが、特に鉛筆を用した
場合、その芯先の圧力により軟質の熱可塑性樹脂ではそ
の表面に凹凸を生じ、後の使用に支障をきたす′ことが
起りやすい、しかしこれを防止するために硬質のプラス
チックを使用すると、吸着力の低下を招きやすい。
この問題点に対する1つの解決策として、例えば実公昭
54−41892号では静電吸着板を構成する基板、吸
着層および電極を、すべて熱可塑性樹脂を基ポリマーと
して得た素材を用い、熱圧着により一体に形成すること
を提示している。
この場合前述の熱膨張による反りなどの問題は生じない
が、電極として高価な導電性熱可塑性樹脂を用い、かつ
それを熱可塑性樹脂上に均一なパターンとして配置する
工程を必要とするため、製造上多大な労力あるいは設備
を必要とする欠点がある。
(発明が解決しようとする課題) 本発明は上記した種々の問題点を解消した新規な静電吸
着板を提供するためになされたものであり、その目的は
、実用的に安価でかつ使用環境下で高い信頼性をもち、
耐久性のある静電吸着板を提供するところにある。
そして本発明の特に主要とする目的は、製造、加工時に
おける残留ヒズミを低減し、かつ熱膨張率を低下させる
ことで、従来の静電吸着板で問題となっていた反りやこ
れに伴なう基板と吸着層の間の剥離を防止することがで
きる構成の静電吸着板を提供するところにある。
更にまた本発明の他の目的は、使用時における筆記具の
筆圧による吸着層の凹凸の発生を防止することができる
静電吸着板を提供するところにある。
本発明の更に別の目的は、低温の使用環境においても、
吸着力が維持できる静電吸着板を提供するところにある
(問題を解決するための手段) 上記した目的を実現する本発明よりなる静電吸着板の特
徴は、吸着層の素材として、■基ポリマーとして、極性
の大きいポリ塩化ビニル(pvc)−アクリロニトリル
ブタジェンゴム(NBR)系熱可塑性エラストマーを用
いる。
■熱膨張率の低減の目的で、酸化亜鉛を、ポリマーに対
し、10〜50容積%添加する。
■熱膨張率の低減および加工時の熱ヒズミの残留の低減
のために、ガラス短繊維を、ポリマーに対し4〜30容
積%添加する。
を選択したことにあり、これを電極を配した熱硬化性樹
脂プリント回路積層体の上に積層させたという構成をな
すところにある。
熱可塑性エラストマー組成物は、これをシート状に成形
した後、基板、電極の一体化した熱硬化性樹脂プリント
回路積層板と積層すればよい。
以下本発明について詳細に説明する。
吸着層に使用する基ポリマー(組成構成の主体となる高
分子体)としては極性の大きいものが望ましいが、吸着
力を太き(するためには−般に低硬さの、軟かい素材が
好ましい。具体的には可塑化PVC,PVC−NBRブ
レンド系、ClPE (塩素化ポリエチレン)およびそ
のブレンド系、あるいはPVC−NBR系熱可塑性エラ
ストマーが挙げられる。
PVC−NBR系熱可塑性エラストマー下r VNTR
Jと略す)に、比較的誘電率の大きい、酸化亜鉛を用い
た場合、低電圧印加下での、低温度での吸着力の保持が
良く、本発明の目的に極めて好ましい効果を示す。特に
、その添加量を増加させても、その効果に大きな変化が
ない。酸化亜鉛の添加量がポリマーの50容積%に達す
ると、強度的に低下する傾向があるので、10〜50容
積%が好ましい範囲といえる。
熱ヒズミの低減のために短繊維を添加することは知られ
ているが、本発明の目的には一般の有機繊維よりもガラ
スの短繊維、一般的に5〜15mmのガラス短繊維の添
加がもっとも好ましい。
ガラス短繊維の場合、吸着力については、15容積%ま
ではほとんど影響が表れないが添加量が多くなると強度
がやや低下する傾向がありまた熱ヒズミの残留について
゛は、30容積%以上では余り大きな差がなく、製品表
面の平滑性もやや損われる。これらのことからガラス短
繊維の添加量は30容積%以下、好ましくは15容積%
以下とすることがよい。
基ポリマーの表面硬さを上げるために、硬質熱可塑性樹
脂例えば無可塑化PVC,ABS  (アクリロニトリ
ル ブタジェン スチレン 三共重合体)、MBS、P
S(ポリスチレン)、PE等を添加することがよい。特
に、熱可塑性エラストマーとMBSを併用する場合には
、表面硬さの上昇と変形戻りの点、および低印加電圧で
の吸着力の保持の良い点で好ましい。
本発明における基板には、熱硬化性樹脂製プリント回路
用積層体が用いられ、具体的には、フェノール樹脂−紙
積層体、あるいはエポキシ樹脂−ガラスクロス積層体が
例示される。
(実施例) 以下本発明の実施例について説明する。
(1)試験試料の調製 基葦 JIS C6485[フェノール樹脂−紙積層プリント
回路基板] PPTFクラスのフェノール樹脂積層板(
厚さ1.6mm )を約200 X 200mm角に裁
断した。
幅3TI1mの電極を、相互に電気的に絶縁して3mm
の距離を隔てて、くし歯形に配列した一対のパターンを
、エツチング処理により形成した。基板の一端に近い所
で、一対の電極上に約1.5mmの小孔をあけ、ここに
銀メツキを施した銅製ハトメを挿入し、ハンダにて表面
を平滑に維持しながら固定し、基板裏面に電極端子を導
ひいた。
ILI 実験の目的に応じて設定した下記表に示す処方の組成物
を、それぞれ所要の温度に加熱された径150m1iの
オーブンロールで混練した後、約0.5mmの厚さのシ
ート状に成形した。
(2)静電吸着板の成形 成形 第1図及び第2図の電極2,2°のパターンの配置され
た基板1面に、CR系接着剤を1回塗布乾燥後、同サイ
ズに裁断した吸着層シート3を重ね、熱プレスにて16
0℃で10分間予熱後加圧し、5分間保持し、加圧した
まま50℃まで冷却して取出し、積層を完了させた。
迭:」二線9」旧1豆 基板lの裏面に導かれた電極端子11.12に、約30
cmのビニル被覆mIIをハンダにて固定し、その他端
を直流電源に接続するリード部とした(第2図参照)。
(3)試験法 扱1■l 試験前の試料は、特記のない限り25±3℃、65%R
Hの室内に、15時間以上放置し試験に供した。高温度
、または低温度での吸着力の測定は、それぞれ空気定温
槽または該当する温度の室内に5時間放置した。
【1n立皇1 端子リード線を直流電源に接続し、吸着面に100 X
 150mmの普通紙(ppc用紙)を載せ、紙の10
0 X 100no++の部分が吸着されるようにその
一部を浮かせ、所定の直流電圧を印加して紙を吸着面に
平行にずらせ、このときの紙がズレはじめるに要する力
を100cm”当りの吸着力として表した。
1皿里1 JISK6301に定められたスプリング式ゴム硬さ試
験機により測定した。
1直立1且 シート状に成形した吸着層素材を所定の温度に放置し、
寸法の変化を測定し、変化がほぼ認められなくなった時
点での収縮率を算出した。
筆IJ(後1υl貿 吸着板をX−Yプロッターに設置して、筆記後の字の凹
みを目視により判定した。
反1 吸着板に20cmの定規を当て吸着板と定規の間の隙間
を隙間ゲージにより測定し、下記基準で評価した。
0・・・O,Inm以下  ○・・・0.4mm以下×
・・・0.5mm以上 実施例1 静電吸着板として吸着層の組成を第1表のものとして図
面に示す上記吸着板を作製して確認試験を行い、その結
果を第1表に示した。
第  1 表 〇−優秀  〇−良好  △−問題あり  ×−不可中
1 : PVC−NBR−%熱可塑性エラストマー(電
気化学工業社製)中27 PVC−NBR系熱可塑性エ
ラストマー本ゼオン社製)$3:MBS(日本ゼオン社
製) *4: PVC−NBRブレンドゴム(日本合成ゴム社
製1中トガラス短繊維 平均長5mm(旭ファイバー社
製)上記第1表から分かるように、基ポリマーにポリ塩
化ビニルNBR系熱可塑性エラストマーを使用し、これ
に硬質熱可塑性樹脂、酸化亜鉛、ガラス短繊維を配合し
た実施例1〜4は、常温及び7℃の吸着力、反り、筆記
具跡の残留及び強度はいずれも優れた結果を示した。し
かしポリ塩化ビニル−NBRゴム系配合物(比較例5〜
8)は、実施例1〜4に比べて吸着力が低下し硬さの高
い比較例8でも反り、筆記具跡の残留が見られ基ポリマ
ーの影響が大きいことがわかった。
実施例2 基板として、実施例1のフェノール樹脂−紙積層板を他
のプリント回路用積層体に変えて、実施例1のNo4の
吸着層で試験した。
その結果、フェノール樹脂−布積層板、フェノール樹脂
−ガラスクロス積層板、エポキシ樹脂−紙積層板、エポ
キシ樹脂−ガラスクロス積層板のいずれの場合について
も゛同様な結果が得られ、本発明の効果が確認された。
特にエポキシ樹脂−ガラスクロス積層板の場合は、基板
自体の吸水性が少く、電気的耐久性にも優れているので
、静電吸着板の用途上好ましい材料といえる。
実施例3 基板として、PP7Fのフェノール樹脂−紙積層板を用
い、その厚さを、1.0mmおよび1.6+nmとし、
実施例1のNo4の吸着層のシート厚さを、0.31か
ら1 、5mm範囲で変化させ、熱ヒズミによる、反り
の確認をおこなった。その結果、基板厚さに対し、吸着
層シートの厚さが70%までは、全く問題が無く、また
、100%までは、実質的に支障のないことが分った。
比較例1 吸着板組成物を構成する基ポリマーの適性を評化するた
めに、基ポリマーについて極性の大きいポリマーを使用
して第2図に示す吸着板を作製し、その吸着力を測定し
て結果を第2表に示した。
この結果から分かるように、吸着力はPVC(ゼオン1
03EP)が100OVで最大値を示しているが、75
0vでは殆んど吸着力がなく、表面硬さも併せて考慮す
ると、PVC−NOR系熱可塑性エラストマー(デンカ
LC5Z6070あルイはエラスターES−45011
、ClPE (エラスレン303B)が良い結果を示す
ことが分かる。
第2表 傘6:PVC(日本ゼオン社製) 本7 : ClPE (昭和電工社製)$8:吸着力小
さ(測定不能 比較例2 次に、上記比較例1により吸着力の適性が評化された基
ポリマーも、そのままの硬さでは筆圧に対し全く効果が
ないので、更に上記基ポリマーに硬質熱可塑性樹脂をブ
レンドして硬さの調整した場合の静電吸着板を作製し、
その硬さと吸着力について測定して、結果を第3A表及
び第3B表に示した。
この結果より、基ポリマーにブレンドする硬質熱可塑性
樹脂としてはMBS (ハイブレンB4O3)が好まし
いという評価が得られ、またそのブレンド比をあまり大
きくすると硬さは改善されるものの吸着力の低下をまね
(ので、最適ブレンド比は20〜40容積%であること
が分かった。
第3A表 中9:^BS(日本合成ゴム社製) 中10: MBS (日本ゼオン社!11)傘11:P
s(昭和電工社製) $12: PE  (三片石油化学工業社製)第3B表 比較例3 上記比較例1及び2から、静電吸着板を構成させるため
に適当なポリマー(基ポリマー及び置換配合できる硬質
ポリマー)についての評価を得たが、これらのポリス−
のみでは、静電吸着板を形成させるためのこれをシート
化した場合の収縮が大きく、また外観が悪い。このため
吸着層の改善を図る無機充填剤を配合を検討するために
、種々の無機充填剤を配合して構成した静電吸着板を作
製し、その吸着力、収縮性について測定して、結果を第
4A表及び第4B表に示した。
この結果から分かるように、使用した無機充填剤の中で
酸化亜鉛が最も良い結果を示すことが分かった。アルミ
ナも収縮性の改良には効果があるが、低温での吸着力の
低下が大きかった。また他の材料は吸着力低く、使用が
適当でないことが分かった。
静電吸着板は、基板と吸着層゛を接着により積層する構
成をとるため、吸着層の収縮が大きいと両者の剥離が問
題となるため、上記により選択された適切な無機添加剤
の選択は本発明の静電吸着板を構成する上で重要である
第4A表 第4B表 *13: WA8000  (二見研磨工業社製)*1
4:酸化チタンTA−100(富士チタン工業社製)*
15ニイムシルA−10−)1 (イリノイミネラルズ
社製)*16:超微粉タルク B−6(宝石粉工業社製
)傘17:亜鉛華1号(三片金属工業社製)比較例4 静電吸着板は、これを使用する時にプロッター等の機械
より発生する熱の影響を受けて、吸着層の収縮や吸着板
の反りが見られることがある。この問題の解消は実用的
な静電吸着板を提供するためには重要であるから、本発
明者は、これを改善する配合として、ガラス短繊維を選
択し、これを配合した静電吸着板を作製し、その吸着力
、熱ヒズミ及び反りを測定して、。その結果を第5表に
示した。
この結果から分かるように、ガラス短繊維の配合量を増
加すると熱ヒズミは小さ(改善されることが分かる。し
かし過剰になるとガラス短繊維がシート表面に露出し、
表面が粗(なって吸着力の低下を招く傾向にあるので、
ガラス短繊維の添加量は4〜30容積%、好ましくは1
0〜25容積%とすることが適当であった。
第5表 *18;ガラス短繊維 平均長5mm(旭ファイバー社
製)(効果) 以上のように本発明よりなる静電吸着板によれば、次の
ような効果があり、その有用性は極めて大なるものであ
る。
■基板と吸着層の熱ヒズミ等による静電吸着板の反りが
実質的に解消する。
■筆記具の筆圧による吸着面の凹みは、実用的に全くな
い。
■酸化亜鉛を添加しな素材に比べ、低温での吸着力が低
下しない。
■製作工程が簡便である。
■着色剤の添加により、自由な色調の吸着面が得られる
なお以上の組成に、通常ゴム工業、あるいはPVC工業
等において使用されている軟化剤、加工助剤、着色剤、
安定剤、耐候性付与剤等を、その機能を損なわない範囲
において添加、使用することが可能であることは言うま
でもない。
【図面の簡単な説明】
第1図は静電吸着板の断面を示した図であり第2図は吸
着板の電極のパターンを示す。 1・・・基板、 3・・・吸着層、 11・・・負極、 2・・・電極、 4・・・吸着紙、 12・・・正極。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1、熱硬化性樹脂製プリント回路用積層体を基板とし、
    この基板上に電気的に絶縁して互いにくし歯型に噛み合
    うように配置された一対の電極を設け、更にその上を吸
    着層で覆装して吸着面とした静電吸着板であって、上記
    吸着層を、ポリ塩化ビニル−NBR系熱可塑性エラスト
    マーを基ポリマーとして、これに、基ポリマーの4〜3
    0容積%のガラス短繊維、及び基ポリマーの10〜50
    容積%の酸化亜鉛を添加した高分子系組成物で構成させ
    たことを特徴とする静電吸着板。 2、上記基ポリマーが、40容積%以下硬質熱可塑性樹
    脂で置換されていることを特徴とする請求項1に記載の
    静電吸着板。 3、上記硬質熱可塑性樹脂が、メタクリル酸−ブタジエ
    ン−スチレンであることを特徴とする請求項2に記載の
    静電吸着板。 4、上記ガラス短繊維が7〜15mmであることを特徴
    とする請求項1ないし3のいずれかに記載の静電吸着板
    。 5、上記熱硬化性樹脂製プリント回路用積層体がフェノ
    ール樹脂−紙積層体であることを特徴とする請求項1な
    いし4のいずれかに記載の静電吸着板。 6、上記熱硬化性樹脂製プリント回路用積層体がエポキ
    シ樹脂−ガラスクロス積層体であることを特徴とする請
    求項1ないし4のいずれかに記載の静電吸着板。 7、吸着層の厚みが、基板と同じかそれ以下であること
    を特徴とする請求項1ないし6のいずれかに記載の静電
    吸着板。
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH06225556A (ja) * 1992-12-03 1994-08-12 Abisare:Kk 静電吸着装置

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH06225556A (ja) * 1992-12-03 1994-08-12 Abisare:Kk 静電吸着装置

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