JPH02140008A

JPH02140008A - 多重モード型圧電振動子

Info

Publication number: JPH02140008A
Application number: JP63064115A
Authority: JP
Inventors: Yukihiro Okamoto; 幸博岡本; Hitoshi Sekimoto; 仁関本; Toshiki Suganuma; 菅沼　俊樹
Original assignee: Nihon Dempa Kogyo Co Ltd
Current assignee: Nihon Dempa Kogyo Co Ltd
Priority date: 1987-06-10
Filing date: 1988-03-17
Publication date: 1990-05-29
Anticipated expiration: 2011-07-24
Also published as: JP2516657B2

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】（発明の利用分野）本発明はフィルタ素子として構成される多重モード型圧
電振動子を利用分野とし、特に、フィルタを形成するに
スプリアスとなる不要な厚みすべり振動モードの振動レ
ベルを小さくした多重モード型水晶振動子（以下、多重
モード型振動子）に関する。

（発明の背景）一般に、多重モード型振動子は、水晶片に励起される厚
みすべり振動のうち複数の隣接した振動モードを利用し
て形成され、例えば通信機器等に小型、無調整で電気的
特性に優れたフィルタ素子として有用される。近年では
通信網の増大による混信や通話品質等の向上を計るべく
、スプリアスの少ない多重モード型振動子が望まれてい
る。

（背景技術）第１６図及び第１７図はこの種の多重モード型振動子を
説明する水晶片の図である。なお、第１６図は水晶片の
切断方位を示す図、第１７図（ａ）は水晶片の平面図、
同図（ｂ）は同図（ａ）のＡ−へ′断面図である。

多重モード型振動子を構成する水晶片１は結晶軸（ｘｓ
ＶｓＺ）のｙ軸に直交するＸ　−Ｚ主面がｙ軸を中心と
してｙから２軸の方向に略３５°１５′回転してＡ　Ｔ
カットと呼ばれる角度で切断し、例えば円板状に形成さ
れろ。なお、新たにできた軸をｙ　　ｚ′軸とする。水
晶片１の両主面（Ｘ−２＃）には音響的に結合してそれ
ぞれ対向した二組の＊極対２．３を例えばＸ軸方向に形
成される。二組の電極対２．３は、通常、一方の主面側
を分割電極４．５、他方の主面側を共通電極６として形
成され、分割電極４．５からは両端外周部に、共通電極
６からは一端外周部にそれぞれ引き出し電極７．８．９
を延出する。そして、一方の対電極２を例えば入力側、
他方の対電極３を出力側とし、入力信号のうち必要な周
波数帯域のみの信号を出力する。

このような構成の多重モード型振動子は、分割電極４．
５と共通ｒ１極６とが形成された部分を共振領域部とし
て厚みすべり振動が励起される。厚みすべり振動は概略
Ｘ軸方向の両主面で互いに反射力りに変位する振動で、
後述のモード記号（Ｖ％Ｘ、Ｚ）で示される種々の厚み
すべり振動モード（以下、振動モードとする）が存在す
る。この場合には、第１８図の伝送特性図に示したよう
に、対称モード「同図（ａ）」と斜対称モード［同図（
ｂ）１とによる厚みすべり振動ｆ、、ｆ、が励起されろ
（以下、対称振＠Ｅ、、斜対称振動ｆ１とする）。対称
振ｏｆ、はモード記号（ＶＳ”％　ｚ）の２を奇数とし
、斜対称振動ｆ、はＺを偶数として示される。通常では
、対称及び斜対称振１１１ｆ、、ｆｌのうち　（ｙｌ　
１．１）と　（ｙｌ　１．２）モードによるものをそれ
ぞれの主振動ｆ　＠ｌ、ｔａｘとしてフィルタ素子を構
成する。例えば、第１９図（ａ）のりアクタンス特性図
に示したように対称振動１．におけろ１振ａｔ−＋の反
共振周波数１８と斜対称振＠Ｊｆ、における１振ｒ＠【
。の共振周波数ｆアとを一致させ、同図（ｂ）に示す所
望帯域の伝送特性を得るようにしている。

なお、モード記号（ｙ、ｘ、ｚ）中、ｙは厚み（ｙ’軸
）方向の半波長の数即ちオーバト−ンの次数、Ｘ１７６
は各々共振領域部内におけるｘ、ｚ軸方向の変位分布の
振動のｆｌ（（山及び谷）の数を表す。すなわち、第２
０図に示したように対称振動ｆ、の主振動ｆ、、となる
（ｙｌｌ、１）モードは、分割電極４．５を単一電極１
０としてｙ軸、２゛軸方向の共振領域部内ではその中央
部を最大として余弦的に、共振領域部外では指数関数的
に減少する変位分布になる。また、斜対称振動ｆ。

の主振動１□となる（ｙ、１．２）モードは２′方向の
共振領域部内で即ち分割電極４の部分では山、分割ｆｌ
極５の部分では谷となる振動の腹を２つ有し、Ｘ軸方向
には（ｙ、１．１）モードと同様に振動の腹を１つ有す
る変位分布になる。

（従来技術の欠点）しかしながら、上記構成の多重モード型振動子では、伝
送特性を得るに必要な振動モード（以下、必要モード）
即ち（ｙｌｌ、１）と（ｙｌ　１．２）による主振動ｉ
ｓ、、ｆａ、以外に、例えば（ｙｌｌ、３）や（ｙ１３
．１）の対称モード及び（ｙ、１、４）や（ｙ、３．２
）の斜対称モード等の不要な振動モード（以下、不要モ
ードとする）による厚みすべり振動（以下、不要振動と
する）ｔｐ（ｔ−８、ｆ、、、ｆ　−ｓ、　ｆ−ｓ）も
励起されろｒ前第１８図参照１゜なお、不要振動ｆ、は
相互に、又主振動ｆ□、ｆａ、に対１７て非調和の関係
にあす、一般に非調和ｍｅとか副振動等と称される。そ
して、これらの不要振動ｆ、は、第２１図に示したよう
に、伝送特性の帯域外にスプリアスとなって通過帯域外
の保証減衰量を低下させる問題があった。

このような問題を解決するために、例えば分割型ｔｆＩ
４．５及び共通電極６の径や厚みを小さくしてプレート
バック量即ちこれら１！極形成による周波数低下量を少
なくし、１振＃ｈｆ□、ｆ１□となる必要モード以外の
不要振’Ｉ　ｒ　ｖを共振領域部内に閉じ込めないよう
にする。また、第２２図の平面図に示したように水晶片
１の主面に接着剤等の付加物を施して不要振動を機械的
に抑圧し、その振動レベルを低減させる方法がある。し
かし、分割電極４．５及び共通電極６の径を小さくする
とＣＩ　（クリスタルインピーダンス）の増大により挿
入損失を多くして通過帯域内特性を劣化させる。

そして、等価定数のインダクタンスは大きく、暮厚みを
小さくすると、良好な導電性を維持する上で制約を受け
て充分な効果を期待できない。また付加物を施す場合に
は、ＣＩ及び作業性を低下させる欠点があった。

（発明の目的）本発明は、伝送特性を形成する厚みすべ９振動の必要モ
ードには影響が少なく不要モードに対してはその振動レ
ベルを小さくして通過帯域外の保Ｕ減衰量を高める多重
モード型振動子を提供することを目的とする。

（発明の解決手段）本発明は、共振領域部から不要モードの伝播方向に、前
記不要モードの共振周波数より低くてかつ必要モードの
共振周波数より高い遮断周波数をもった導波路を形成し
、該導波路の幅を共振領域部のそれに対して０．５以上
にするとともに、該導波路に振動吸収材を設けたことを
解決手段とする。

（発明の作用）本発明は、導波路を不要モードの伝播方向に形成してそ
の遮断周波数を必要モードの共振周波数より高くて不要
モードの共振周波数より低くしたので、必要モードの主
振動は共振領域部内に閉じ込められ不要振動は導波路を
伝播する。導波路の幅を共振領域部に対して０．５以上
として導波路中に振動吸収材を設けたので、不要振動の
伝播量を大とｊノで振動エネルギーを吸収させる作用が
ある。以下、本発明を説明する。

（発明の説明）第１図乃至第３図は本発明を説明する図で、前従来例図
と同一部分には同番号を付与してその説明は簡略する。

なお、第１図は水晶片の平面図、第２図は周波数配列及
びエネルギー閉じ込め効果の周波数領域を示す図、第３
図は引き出し電極の遮断周波数を定義する水晶片の図で
ある。　水晶水晶片１は前従来例と同様に、ＡＴカット
で円板状に加工されているとし、両主面には二組の電極
対となる分割電極４．５及び共通電１１ｉ６が形成され
てそれぞれ２′軸方向の両端外周部及びＸ軸の一端外周
部に引き出し電極７．８．９が延出されている。そして
、分割電極４．５と共通電極６との対向部分を共振領域
部として対称振動ｆ、と斜対称振＠Ｊ１．が励起される
とする。

先ず、水晶片１の遮断周波数をｆｌとし、対称及び斜対
称振動ｆ、、ｆ、のうち必要モードによる１振＠ｆ□、
ｆｌｌの共振周波数をｒｔＳｆ、とすると、その周波数
配列はｆ＋＞ｆｓ＞ｆｓとなる。そして、共振領域部内
におけるエネルギー閉じ込め効果の生ずる周波数範囲（
以下、閉ｌ−込め範囲とする）Δｆ、は【、とｆｉの間
になる。従って、例えば（ｙ、１．３）や（ｙ、３．１
）モード等による不要振動ｒ、（ｆｓ、、ｆ、、）が閉
じ込め範囲Δ［１内にある場合には主振動ｆ＃１、ｆａ
ｌとともに励起され強勢なスプリアスになる。

一方、引き出し電極７１．８．９内における閉じ込め範
囲Δｆ、を想定すると、水晶片１の遮断周波数ｆｌと引
き出し電極７．８．９の遮断周波数Ｆ、との間になる。

なお、引き出し電ｌｌｌ１７．８．９の遮断周波数ｆ４
は、説明の便宜上第３図に示したように引き出し１！極
７．８．９と同一の幅９ｆ１極７　＊　　ｓ　Ｄ　　９
　Ｍを水晶片１の一方の主面に形成したときの共振周波
数とする。

従って、共振領域部１０内に閉じ込められた不要振！！
！！７　ｔ　ｐのうち、閉じ込め範囲Δｆ、内にありか
つ伝播方向が引き出し電＄１ｉ７．８あるいは９と同方
向のものｆ、′は引き出し電極７．８あるいは９内を導
波路として伝播することになる。

すなわち、これらのことは引き出し電極７．８．９の遮
断周波数ｆ４を不要振動ｔｐ　　（不要モード）の共振
周波数ｆＳより低くし、その延出方向を伝播方向と同じ
方向にすれば、各引き出し電極７．８．９を不要振動ｆ
、′の導波路とすることができ、導波路（引き出し電＄
Ｉｉ）に振動吸収材を施せば不要振動ｆＳは吸収されて
減衰することを意味する。

そして、不要振動【、′を２′軸方向に伝播する例えば
ｆ、２即ち（ｙｌ　１．３）モードとすると、基本的に
は導波路（引き出し電極７．８）と共振領域部１０の幅
す、ａに一致させることにより、Ｘ軸方向に閉じ込めら
れたその振動エネルギーの殆ど全てを外周部に伝播する
ことになる。さらに、導波路と共振領域部１０との幅す
、ｎの中心を一致させてｂ／ａｅＯ，５以上にすれば、
Ｘ軸方向の最大変位部分を伝播するので、その振動エネ
ルギーの多くを伝播吸収できろことになる。

（発明の実施例）以下、本発明の一実施例を実験結果に基づき説明する。

なお、前第１図と同一部分には同番号を付与して説明す
る。

水晶片１は、第４図の平面図（同図ａ）、断面図（同図
ｈ）に示したようにＡＴカットで切断して円板状に加工
する。両主面には対称振＠１．と斜対称振ｍｆｆｙｒａ
を励起する共振領域部１０となる二組の電極対即ち分割
型８Ｆ１４．５及び共通電極６を形成する。分割ｉ４極
４．５からは分割方向に直交する２′軸方向の、共通電
極６からはＸ軸方向の両端外周部に引き出し電Ｉｆ＋７
．８．９．１２を延出する。そして、引き出しｔｌ！極
７．８．９．１２の延出端には導電性接着剤１３を施し
、例えば引き出し電極７．８．９の延出端を図示しない
保持具によ吟電気的・機械的に接続する。

なお、この実施例では、水晶片１の直径を５゜５ｍｍ、
共振領域部１０のＸ軸及び２′軸方向の幅ａ、ｃを１．
５ｍｍ、１．９２＋ｎｍ、引き出し電極の同方向の幅を
す、ｄとし、伝送特性を得る対称及び斜対称振動ｔ、、
ｒ、の１振＠ｆ□、ｆ、１を（３，１，１）、（３，１
１２）の必要モードからなるオーバトーン振動とする。

そして、水晶片１の遮断周波数Ｆ、を４５，２５ＭＨｚ
、主振動ｆ。

ｈ　ｆ□の共振周波数ｆ８、ｆ、をそれぞれ４５゜１０
ＭＨｚ、４５．１２ＭＨｚとし、引き出し電極７．８及
び９．１２の遮断周波数１．を主振動ｆ□、ｆ□のうち
高い方の即ちｆａ、の共振周波数ｆ、（４５，１２ＭＨ
ｚ）と次に述べる１振＠ｆ。

、に最も近い不要振動ｆ、即ちここでは（３，１，３）
モードによるｆ、の共振周波数１．との間に設定する。

なお、引き出し電極７．８及び９．１２の遮断周波数ｆ
４は例えば質量を付加する質量負荷効果により調整され
る。

この構成の多重モード型振動子は、第５図に示したよう
に、主振動ｆ□、！１□により中心周波数ｆ、を略４５
．１２Ｈｚとした通過帯域を形成し、帯域外に不要振動
ｆ、がスプリアスとなってを発生する。例えば不要振動
ｆ、中、（３，１，３）モードによるＦ、は４５．２１
ＭＨｙ、に、（３，３，１）モードによるｔ’ｓは４５
．２４ＭＨｚ近ＷＩｔこ、（３，３，２）モードによる
ｔ、は４５゜２６　Ｍ　Ｈ７，近傍になる。

第６図は共振領域部１０と引き出し電極７．８とのＸ軸
方向の電極幅比ｂ／ａを変化させたときの副振動【、の
減衰特性図である。なお、共振領域部１０と引き出し電
極９．１２との２′軸方向の電極幅比ｄ／ｃは従来一般
の０．５以下の一定値とする。また、横軸は電極幅比ｂ
／ａ、縦軸は中心周波数【。領域におけろ減衰量を０ｄ
Ｆ３とした（３．１．３）（３，３，１）（３，３，２
）モードによる不要振動ｆ■、Ｅ、３、ｆａ３の減衰量
である。

この図から明らかなように（３，１，３）モードによる
不要振動ｆ、の減衰量は、ｓｔｉ幅比す、／ａが０．４
５．０．６．０．７．０．ＦＴ５でそれぞれ１９．２０
．２５．３０ｄＢとなる。すなわち、ｆａｌ１幅比ｂ／
ａに比例して増加し、ｂ／ａが１．１を越えると略４０
ｄＢで飽和する曲線になる。また、（３，３，１）（３
，３，２）モードによる不要振ａｔ−Ｓ、ｆ、、はｍ％
幅比ｂ／ａに拘らず減衰量の増加がみられない。そして
、（３，１，３）モードによる不要振動【、、は電極幅
比ｂ／ａが略０，５以上のとき、（３，３，１）（３，
３，２）モードによる不要振動ｆ、１、ｆａ、以上の減
衰量を得ろことを示している。

従って、この実験結果では、Ｚ′軸方向の引き出ｊ７電
極７．８の遮断周波数Ｆ４を主振動ｆ１．と（３，１，
３）モードによる不要振動ｆ０の共振周波数ｒ３、ｆ、
との間に設定してその電極幅比ｂ／ａを０．５以上とし
たことにより、２″軸方向に伝播する不要振動ｆ、寓の
導波路として機能するとともに導電性接着剤１３が振動
吸収材として作用することを明らかにしている。

なお、Ｘ軸方向に伝播する（３．３．１）モードによる
不要振’Ｉｈｔ−ｓについては、同様の実験の結果、即
ち引き出し電極９．１２と共振領域部との２＃軸方向の
電極幅比ｄ／ｃを０．５以上とすることにより、その振
動レベルを低減できることが確認された。また、（３，
３，２）モードによる不要振動ｆ□についても同様に振
動レベルの低減に効果があった。

（他の実施例）第７図は本発明の他の実施例を説明する前実施例と同一
部分は同番号を付与した多重モード型振動子の図で、同
図（ａ）は水晶片の平面図、同図（ｂ）は同図（ａ）の
ａ　−ａ　’断面図である。なお、この実施例は、両主
面に分割電極を形成して共振領域部とした場合を説明す
るものである。

水晶片１は、前述同様にＡＴカットで切断して円板状に
加工する。両主面には二組の電極対をそれぞれ対向する
分割′Ｒ極（４，９ａ）（５，９ｂ）から形成し、対称
モードｆ、と斜対称モードｆ、を励起する共振領域部１
０とする。一方の主面の分割電極４．５から分割方向に
直交するＺ′軸方向の両端外周部へ引き出し電ｔｉｉ７
．８を、分割電極４．５と同一幅で延出する。他方の主
面の分割型１１ｉ　６　ａ、６ｂからは分割方向に沿っ
て、それぞれの両端外周部に引き出し電極９　ａ、　９
　ｂ、　１２　ａ。

１２ｂを延出する。そして、引き出し電極７．８．９．
１２の延出端には導電性接着剤１３を施し、例えば引き
出し電極７．８．９の延出端を図示しない保持具により
電気的・機械的に接続する。

そして、前実施例同様に引き出し電極７．８．９．１２
の遮断周波数ｆ４を１振Ｗｈｆ□の共振周波数ｆ、との
間に設定し、その幅を０．５以上とする。但し、引き出
し電１１ｉ９．１２の幅はそれぞれ分割された引き出し
電１Ｉｉ９ａ、９ｂ及び１２ａ１１２ｂの和とする。な
お、引き出し電１１ｉ９．１２の遮断周波数は、第８図
の平面図に示しなうに水晶片１の一方の主面に引き出し
電極９（１２）と同一幅の電ｔｌｉ９’　　（１２’）
を形成したときの共振周波数とする。

従って、この構成の多重モード型振動子でも、引き出し
電ＩＩ７．８．９．１２は導波路として作用し、不要振
動を抑圧してスプリアスの減衰量を大きくする。そして
、この実施例７は他面側の引き出し１４１１９．１２を
それぞれ９ａ、９ｂ及び１２ａ、１２ｂ分割して延出し
たので、蒸着等による引き出し電極の形成をし易（する
。すなわち、例えば第９図の平面図に示したように分割
しない場合と比較すると、分割しない場合には分割１１
極６ｍ、６ｂ間の空隙１４が孤立して例えば二つの蒸着
マスクを必要ととするが、本実施例の場合には空隙１４
が孤立しないので一つのマスクにより一度に蒸着できて
その作業性を良好とする。

（他の事項）なお、上記実施例では引き出し電極は均一の幅例えばｂ
としたが、例えば第１０図に示したように共振領域部と
の間に幅Ｇのギャザ１４を設け、分割ｆ４極４．５と共
通型＄１ｉ６とに起因する回路定数１４、Ｃ等の変化を
防止するようにしてもよい。

第１１図は引き出し電極の幅を共振領域部の径と同一に
したときのギャザ１４の幅Ｇと不要振動の減衰量の関係
で、幅Ｇを大きくすると減衰量が減少することを示して
いる。従って、極端に幅Ｇを大きくすると導波路として
の作用を減することからこれを考慮した設計が必要であ
る。

また、フィルタ素子としては対称モード【、と斜対称モ
ードｔ、の主振動ｆ、、、ｆ□を利用した二重モードの
場合を説明したが、例えば第１２図（ａ）（ｂ）の平面
図に示したように水晶片１に対向する三つ以上の電極対
例えば１６．１７．１８を設けた多重モード型振動子に
も適用できろ。

すなわち、この場合には対向する電極対１６．１７．１
８間部分を共振領域部とし、前実施例と同様に不要振動
の伝播方向に、利用する三つの振動モードのうち最も高
い共振周波数とその共振周波数に一番近い不要振動の共
振周波数との間になる遮断周波数の引き出し電極２０．
２１．２２を形成して導波路とすればよい。

また、第１の実施例では分割電極４．５の分割方向と直
交する方向に引き出し電極を形成して導波路としたが、
例えば第１３図の平面図に示したように分割方向に沿っ
て、分割電極４．５からそれぞれ引き出し１！極８′を
設けて導波路としてもよい。このとき、他方の主面の共
通電極６からは一方の主面の導波路と直交させて引き出
し電極１２２を延出する。そして、第２の実施例では引
き出し電極９．１２をＸ軸方向に分割して形成したが、
２′軸方向としもよい。そして、作業上の点が問題にな
らない場合には敢て分割する必要はなく「前第９図参照
Ｊ５本発明はこれを排除するものではない。

また、多重モード型振動子は第１４図の結線図に示した
ように順接続としたが、例えば逆接続の場合でも同様に
適用できる。すなわち、第１５図（ａ）（ｂ）の結線図
及び平面図に示したように両生面に分割電極（４，６ａ
）（５，６ｂ）形成し、分割中心線ｐ　　ｐ’に対しｘ
Ｓｚ’軸方向に延出した引き出し＠極２２　ｍと２２ｂ
、２３ｇと２３ｂとが両生面間でｒＦ！Ｉｖ４対称にな
るように形成すればよい。この２き、２′軸方向の一端
側は図示しない保持具等によゆ電気的に接続されろ。

また、導波路は共！！ｉ！領域部から不要振動の伝播す
る方向の両端外周部に形成したが、一端外周部でもその
効果を期待できる。そして、導波路は引き出し！極を延
出して形成したが、例えば絶縁材から形成してもよく、
要は、不要モードの伝播方向の遮断周波数が不要モード
の共振周波数より低くかつ必要モードより高く設定され
ればよい。

また、導波路はＸ軸及び２′軸方向に形成して説明した
が、不要振動の伝播方向は形成した導波路に引き込まれ
るので必ずしもＸ軸方向とＺ′軸方向に限定されるもの
ではない。そして、導波路の遮断周波数はその方向に伝
播する不要振動の共振周波数よ秒低くすればよいので、
Ｘ軸方向と２軸方向との遮断周波数は異なってもよいこ
とはいうまでもない。なお、本明細書中では不要振動と
不要モードとを使用しているが、両者は同意語として差
支えない。

また、オーバトーン次数が３の多重モード型振動子につ
いて説明したが、本発明は基本波は勿論高次のものにも
適用されその趣旨を逸脱しない範囲内で適宜自在に変更
可能である。

（発明の効果）本発明は、共振領域部から不要モードの伝播方向に、前
記不要モードの共振周波数より低くてかつ必要モードの
共振周波数よ炒高い遮断周波数をもった導波路を形成し
、該導波路の幅を共振領域部の径に対し０．５以上にす
るとともに、該導波路に振動吸収材を設けたので、伝送
特性を形成する振動モードのうち必要モードには影響が
少な（不要モードに対してはその振動レベルを小さくし
て通過帯域外の保証減衰量を高める多重モード型振動子
を提供でき、その効果は極めて大きい。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明多重モード型振動子のを説明する水晶片
の平面図、第２図は周波数配列及びエネルギー閉じ込め
効果の周波数領域を示す図、第３図は引き出し’ｌ極の
遮断周波数を定義する水晶片の図である。第４図は本発明の一実施例を説明する多重モード型振動
子の図で、同図（ａ）は水晶片の平面図、同図（ｂ）は
断面図である。第５図は本発明の一実施例を説明する多
重モード型振動子の伝送特性図、第６図は本発明の一実
施例の効果を説明する減衰特性図である。第７図は本発明の他の実施例を説明する多重モード型振
動子の図で、同図（ａ）は水晶片の平面図、同図（ｂ）
は同図（ａ）の断面図である。第８図、第９図ばは本発明の他の実施例を説明する多重
モード型振動子の図で、水晶片の平面図である。第１０図は本発明の他の実施例を説明する多重モード型
振動子の図で、同図（ａ）は水晶片の平面図、同図（ｂ
）は同図（ａ）の矢印（イ）で示す部分の図である。第
１１図は第１０図に多重モード型振動子を説明するの減
衰特性図である。第１２図は本発明の他の実施例を説明する多重モード型
振動子の図で、同図（ａ）は水晶片の平面図、同図（ｂ
）は同断面図である。第１３図は本発明の他の実施例を
説明する多重モード型振吻子の図で、水晶片の平面図で
ある。第１４図は順接続の多重モード型振吻子を示す結線図、
第１５図（ａ）は逆接続の多重モード型振動子を説明す
る図、同図（ｂ）は逆接続の多重モード型振動子を示す
水晶片の平面図である。第１６図及び第１７図は従来の多重モード型振動子を説
明する水晶片の図で、第１６図は水晶片の切断方位を示
す図、第１７図（ａ）は水晶片の平面図、同図（ｂ）は
同図（ａ）のＡ−Ａ’断面図である。第１８図（ａ）は
ｆ、モードの、同図（ｂ）はｆ、モードの伝送特性図、
第１９図（ａ）はりアクタンス特性図、同図（ｂ）はフ
ィルタの伝送特性図、第２０図（ａ）（ｂ）は二重モー
ド型振動子の変位分布を示す図、第２１図は従来のフィ
ルタの欠点を示す伝送特性図、第２２図は多重モード型
振動子の一従来例を示す水晶片の平面図である。第１ｍ第４図第２図第６図第１１図（ｂ）１７（（ケＬ第８図第１ａ図第１３図第１５図第９１！ｆ（４，６）（７，９，１２）第１４図第１６図第１９図第１８１！Ｉ第２１図

Claims

【特許請求の範囲】

（１）圧電片の両主面に音響的に結合する二組以上の電
極対を形成して共振領域部とし、該共振領域部内に励起
される複数の厚みすべり振動モードのうち所望帯域の伝
送特性を得るに必要な隣接した複数の厚みすべり振動モ
ードを利用してフィルタ素子を構成した多重モード型圧
電振動子において、前記共振領域部から前記伝送特性を
得るに不要な厚みすべり振動モードの伝播方向に、前記
不要な厚みすべり振動モードの共振周波数より低くてか
つ前記必要な厚みすべり振動モードの共振周波数より高
い遮断周波数の導波路を形成し、該導波路の幅を共振領
域部のそれに対し０．５以上にするとともに、該導波路
に振動吸収材を設けたことを特徴とする多重モード型圧
電振動子。
（２）前記共振領域部は二組の電極対からなる特許請求
の範囲第１項記載の多重モード型圧電振動子。
（３）前記二組の電極対は一方の主面の共通電極と他方
の主面の分割電極とから形成された特許請求の範囲第２
項記載の多重モード型圧電振動子。
（４）前記分割電極からはそれぞれ分割方向に対して直
交方向に導波路を形成したことを特徴とする特許請求の
範囲第３項記載の多重モード型振動子。
（５）前記共振領域部は両主面に形成した分割電極から
なる特許請求の範囲第１項又は第２項記載の多重モード
型圧電振動子。
（６）前記分割電極のうち一方の主面の分割電極からは
それぞれ分割方向に対して直交方向に導波路を形成した
ことを特徴とする特許請求の範囲第５項記載の多重モー
ド型振動子。
（７）前記分割電極のうち他方の主面の分割電極からは
それぞれ分割方向に沿って導波路を分割して形成したこ
とを特徴とする特許請求の範囲第５項記載の多重モード
型振動子。