JPH02134504A - 試料加工の観察方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 発明の目的： （産業上の利用分野） この発明は、シャドウマスクやリードフレーム等の試料
をエツチング等で加工する際、チャンバ内における試料
の加工状態を観察する方法に関する。

（従来の技術） 従来のチャンバ内での試料加工として、例えばエツチン
グ加工す仝場合には、このチャンバ内が密閉状態にある
と共に耐食性を持つことが必要であり、塩化第２鉄等が
使われるエツチング液な試料に噴射しながらこの試料を
搬送して行なう。

チャンバ内の状態は高温であり、腐食性の強いエツチン
グ液が噴射される上、このエツチング液の光の透過性が
低い等の理由により、試料の加工中の状態を観察するの
は難しく、通常はエツチング加工の工程中に適当な段階
で、−旦試料をチャンバ内からその出口付近まで引き出
して観察するようにしている。

（発明が解決しようとする課題） 上述のような試料加工の観察方法に依る場合、やはり段
階別とはいえエツチング加工された後の試料観察になる
為、エツチング加工不良等の確認が遅れてしまったり、
その過程自体に費やす時間も多大になってしまう問題が
あった。ヂャンバを用いた加工においては、仮にその加
工中の試＄４観察が可能になれば理想化されるようにな
る。しかし、チャンバ内にテレビカメラやその他の撮像
装置を設けることは困難であるし、チャンバ自体に観察
窓を設けたとしてもエツチング液の影響があって外部か
らの直接的な光学式検出手段の導入は実行されないのが
現状である。この発明はかかる事情によりなされたもの
であり、この発明の目的は、撮像検出手段や光学式検出
手段を無駄にすること無く、チャンバ内における加工中
の試料に対してその加工状態の細部に及ぶ観察を映像化
によって可能にするような試料加工の観察方法を提供す
ることにある。

発明の構成； （課題を解決するための手段） この発明は、照明を用いてチャンバ内の試料加工を観察
する方法に関１−るもので、この発明の上記目的は、前
記試料の搬送方向に直交すると共に、前記チャンバ外か
らの前記照明による入射光を該試料領域上に直線状に均
一照射する照射導入手段と、この照射導入手段に対向す
ると共に、前記直線状照射による前記試料の透過光を別
個に細分化しながら受光して前記チャンバ外に導出する
受光導出手段と、この受光導出手段からの前記透過光の
明暗情報を検出する撮像検出手段と、この撮像検出手段
の撮像情報を画像化する画像処理手段とを設け、前記撮
像検出手段による該試料領域上への直線状検出が前記試
料の全面領域に対して繰り返し順次に行ない得るように
前記照射導入手段、前記受光導出手段及び前記撮像検出
手段を設定すると共に、予め前記ＩｒｔＬ像検出手段の
累１＊　ａり返し数に対応する集積処理の可能な前記画
像処理手段を用いることにより、前記チャンバ内の前記
試料の全面領域に関する加工状態の観察が映像化され得
るように構成することによって達成される。

（作用） この発明は、チャンバ内の試料の加工状態を観察する為
に、光学式検出方法に必要な照射光を回帰的に用いるも
のであり、照射導入手段とそれに対向する受光導出手段
とによって媒介光路部を設定することが極めて重要な要
素になっている。試料自体はチャンバ内で搬送される為
、これらの媒介光路部の設定に関しては固定したままで
良く、しかも試料に対する照射とそれによる透過光の受
光が直線状に成立するように構成するものである。

従ってエツチング加工の場合は試料の直線状領域に関す
る透過光の明ｎｉ情報によって開口状態が把握されるよ
うになり、これをｆｉｔ＞像検出手段によって検出する
わけである。更に、試料の全面領域を観察するには、搬
送が必然的に試料８動を行なう為、撮像検出手段を反復
操作させることによって、画像処理手段がその直線状検
出が累積されて成立する試料の全面領域に至るまでの累
ｂ’ｔ　ａり返し数分の透過光による撮像情報を対応処
理すると共に、それらに対して選定される画像データに
基づく画素データを集積処理するようにし°ｃＪｊけば
良いのである。

（実施例） この発明は、チャンバ内の試＄１に対して光学式検出手
段を導入してその加工状態を把握するものであるが、こ
こでは試料加工の例とし°Ｃエツヂング加工を挙げ、以
下に詳細に説明する。第１図はこの発明の試料加工の観
察方法を説明するための装置図の一イ井であり、チャン
バ１内においては、試料４をエツチング加工する為の腐
食液１０がスプレ式ノズル９から噴出されており、搬送
手段によってこの試料４が第１図中の紙平面に対して垂
直方向に運ばれ、エツチングが行なわれるようになって
いる。又、この実施図においては、観察用窓１１がチャ
ンバ１に設けられており、外観−Ｌは従来のエツチング
加工用チャンバに相違ない構造を持つ。しかし、チャン
バｌ内にはこの発明に重要な、ファイバ等がそれぞれ用
いられた照射導入体３と受光導出体５とから成る媒介光
路部が観察用窓１１を通してその外に設定された照明２
や撮像検出手段としてのＣＣＤカメラ６に対応すると共
に、腐食液１０からの影響を回避しての利用が可能に設
りられるものとする。又、画像処理装置７はＣＣＤカメ
ラ６からの撮像情報を受けてモニタ８へ画像処理して出
力するものである。

更に、第２図には照射導入体３と受光導出体５とから成
る媒体光路部の拡大図が示されており、照射導入体３は
入射口りから照射２の照射光を専人して試料４の直線状
領域を均一照明する為に好都合な形状を持ち、又受光導
出体５はその照射による試料４からの透過光を細分化し
て格子状の出射口Ｅへ分配可能に、それらが直線的に並
設された構造を有する様子が描かれている。この出射口
Ｅは第２図中の受光導出体５の分配触手（１〜１００）
の数に対応するような格子状の形状を持ち、同図中の照
射導入体３の入射口りと共に、観察用窓１１を通して光
の媒介口となるわζジである。

こうした構成によってチャンバｌ外の照明２／ｌ）らの
照射光をその入射口りから導入する照射導入手段である
照射導入体３がこれに介在して試料４の直線状領域を照
射し、その透過光を細分化して受光導出手段である受光
導出体５が格子状の出射口Ｅを通して再びチャンバ１外
に導出する。即ら、試料４上の直線状領域が分割視され
たその領域毎に１対１に対応する透過光に関する細分化
さむた明Ｉｌａ情報が得られるわけである。続いて尚、
このままでは目視判定が難しい為、ｔ／ｉ）像検出手段
であるＣＣＤカメ６によって撮像検出し、第３図のよう
な試料４・上の細分化された直線状領域に関する透過光
の撮像情報Ｆが得られ、その１最像情報を画像処理手段
である画像処理装置７へ伝送する。

しかし、あくまでこの撮像情報は試第４４の直線状領域
のものであり、実際には搬送によって直線状が累１ｊ’
ｉされて全面領域に至るまで、その回数相当分に及んで
照射の導入から撮像検出までの操作を繰り返すわけであ
る。

この為、画像処理装置７は第４図（八）〜（Ｃ）に示し
たような試料４に関する各直線状傾城の撮像情報を集積
処理する機能が必要になる。第４図（八）は試料４の同
じ直線状領域に関する撮像情報Ｆの構成に対応する画像
データＧであり、撮像検出手段がＣＣＤカメラ６等のラ
インセンサである場合、画像処理装置７においては、こ
れに同順対応するようにモニタ８内の２次元的な画像デ
ータＧから予め設定しである画素データを順次読み出し
て実際の１ｌｉＪ像検出箇所の対象がそうであるように
、同図ＣＢ）の如く１列のｌ走査分のデータとして例え
ば同図（Ｃ）のＮ番目の画像メそすに書き込む。

更に、画像処理装置７に関するこの画像メモリは、第４
図（Ｃ）のように記憶された画素データを１走査分シフ
トした後、次の新しいｌ走査分の画像データＧ゛を書込
むように、動作処理上は試料４の全面領域に至るまでの
累積繰り返し数Ｎを設定し、これから開始して最終繰り
返し数（Ｎ−９９）に到達するまで繰り返し動作が行な
い得るようにしておけば良いのである。こうして試料４
の連続的な画像情報を更にモニタ８に表示することによ
って、エツチング加工の開口状、咀が全面領域に関して
映像化されて観察され得るようになる。

尚、エツチング加工に留意するならば、腐食１ｌ１１０
による照射導入体３や受光導出体５の媒介光路部に対す
る劣化防止として、接液部を耐食性の密閉容器で覆って
も良いし、また試料４上を流れるｆ（／、食液ｒＯの対
策としては、第５図に示したように、搬送方向Ｖを考１
、・点して除去用のローラ１３やこれら媒介光路部の端
部に！１２を設けるようにしても良い。

発明の効果： 以上のように、この発明によって従来は加工中の観察が
難題視されていたチャンバ内の試料加工に対し、媒介光
路部を工夫して設定しておくことにより、光学式検出手
段を導入可能にした試第４加工の観察方法を実現してい
る。特に試料への透過光を撮像検出する性質上、エツチ
ング加工に関する開口状態の把握には退部である。又、
試料の加工状態のモニタが可能になる意義は大きく、製
造過程上の異常や変化の発生を早期に発見できるので、
これらの対策を経ること釘よって不良品の低減や品質向
上も容易に図られるようになる。

食対策するために近傍へ施ずチャンバ内の変形例を示し
た図である。

１・・・チャンバ、２・・・照明、３・・・照射導入体
、４・・・試料、５・・・受光導出体、６・・・ＣＣＯ
カメラ。

７・・・画像処理装置、８・・・モニタ、９・・・スプ
レ式ノズル、１Ｇ・・・腐食液、！！・・・観察用窓、
１２・・・笠、１３・・・ローラ、Ｄ・・・入射口、Ｅ
・・・出射口、Ｆ・・・撮像情報、Ｇ、Ｇ’・・・画像
データ、■・・・撤退方向。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明の試料加工の観察方法を具体化する一
例を示した装置図、第２図はこの発明に重要な媒介光路
部の構成を示した図、第３図は受光導出体の出射口に対
応する撮像検出手段による撮像情報の構成を説明するた
めの図、第４図は撮像情報に同類対応する画像データの
処理を説明するための図、第５図はこの発明の媒介光路
部を腐罵　　１ 目 第　２　図 某　５　図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １、照明を用いてチャンバ内の試料加工を観察する方法
   において、前記試料の搬送方向に直交すると共に、前記
   チャンバ外からの前記照明による入射光を該試料領域上
   に直線状に均一照射する照射導入手段と、この照射導入
   手段に対向すると共に、前記直線状照射による前記試料
   の透過光を別個に細分化しながら受光して前記チャンバ
   外に導出する受光導出手段と、この受光導出手段からの
   前記透過光の明暗情報を検出する撮像検出手段と、この
   撮像検出手段の撮像情報を画像化する画像処理手段とを
   設け、前記撮像検出手段による該試料領域上への直線状
   検出が前記試料の全面領域に対して繰り返し順次に行な
   い得るように前記照射導入手段、前記受光導出手段及び
   前記撮像検出手段を設定すると共に、予め前記撮像検出
   手段の累積繰り返し数に対応する集積処理の可能な前記
   画像処理手段を用いることにより、前記チャンバ内の前
   記試料の全面領域に関する加工状態の観察が映像化され
   得るように構成したことを特徴とする試料加工の観察方
   法。