JPH02128320A - 磁気記録媒体の製造方法および製造装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は強磁性金属薄膜型磁気記録媒体の製造方法およ
び装置に関するものであシ、特に実用性能向上のため金
属薄膜層形成後にトップコート層として滑剤層を真空蒸
着法により均質の滑剤層を形成する手段を提供する。

従来の技術 Ｃｏ　、　Ｎｉ　、　Ｆｅまたはそれらを主成分とする
合金を真空蒸着法、スパッタ法、イオンブレーティング
等の真空成膜法によりポリエステｐフィルム。

ポリイミドフィルムなどの高分子フィルムや非磁性金属
基板などからなる基板上に形成した強磁性金属薄膜型磁
気記録媒体は、従来の塗布型磁気記録媒体に比して記録
密度を飛躍的に向上することが可能である。この高記録
密度化のための条件として、記録再生欠陥を極力減少さ
せるとともに、磁気ヘッド、記録媒体間のスペーシング
ロスを極力低減させることが重要であシ、また記録媒体
としては耐久性をも兼ね備えていることが必要である。

それらを解決するため、金属薄膜層形成後トップコート
としての滑剤層形成の方法の一つとして、脂肪酸、脂肪
酸エステル、脂肪酸アミド等の滑剤を真空蒸着法にて形
成する方法がある。

以下図面を参照しながら、上述した磁気記録媒体の製造
法の一例について説明する。

第４図は磁気記録媒体の構造を、第６図は従来の磁気記
録媒体の製造法および製造装置を示すものである。

第４図において、１は基板、２は真空中成膜法により形
成される強磁性金属薄膜層、３はバックコーティング層
、４はトップコート層としての滑剤層である。

第５図において、１１はトップコート形成前の磁気記録
媒体であシロール状に巻かれている。

１２１１４はパスローｐ１１３はメインロールであり、
磁気記録媒体を密着搬送している。１６はトップコート
形成済の磁気記録媒体であり連続的に巻き取られている
。１６は滑剤が充填された蒸発源、１７は蒸発源１６の
滑剤を間接的に加熱溶融し蒸発させる熱媒槽である。１
８は熱媒循環装置であシ、これは熱媒の温度を制量する
とともに、熱媒槽１７に熱媒を供給しており、真空槽外
に設けられている。１９は防着板であり、滑剤の蒸発粒
子が真空槽内の磁気記録媒体、あるいはそれを搬送する
構成要素部品の汚染を防止するために設けられている。

２ｏは蒸発レートモニターであり、蒸発量を検出し、熱
媒循環装置１８の熱媒の温度を調整するためのものであ
る。

以上のように構成された従来の磁気記録媒体の製造法に
ついて、以下その動作を説明する。

強磁性金属薄膜層２を形成した非磁性体基板１上に滑剤
層４を真空蒸着法にて形成する場合、まず滑剤を熱蒸発
源１６にて溶融させ、規定の蒸発量になった時点で基板
１を搬送させトップコートとして滑剤層４を形成する。

発明が解決しようとする課題 しかしながら従来の真空蒸着法により、トップコートと
して滑剤層を形成する場合、成膜速度を向上させるため
、滑剤の蒸発速度を上昇させると、滑剤が凝集を起こし
て、均質な滑剤層の形成ができなくなる。また、凝集し
た滑剤の一部が装置内のローラ等に付着し、装置の汚染
を助長するばかりでなく、ビデオテープレコーダでの記
録再生においても、磁気ヘッド、回転シリンダ、テープ
走行用ポスト等が汚染され、第３図に示すように成膜速
度の上昇とともに記録再生欠陥としてのドロップアウト
が増加するため、成膜速度を上げることが困難であると
いう問題があった。

本発明は上記問題点に濫み、成膜速度を向上させつつ滑
剤の凝集の少ない、真空蒸着法による磁気記録媒体の製
造方法及びその製造装置を提供するものである。

課題を解決するための手段 上記課題を解決するために本発明の磁気記録媒体の製造
方法は、非磁性基板上に強磁性金属薄膜を形成した磁気
記録媒体を一定方向に走行させ、その上にトップコート
として滑剤層を真空蒸着法により連続的に形成する方法
において、前記強磁性金属薄膜層に通電することを特徴
とする。

また本発明の磁気記録媒体の製造装置は、非磁性基板上
に強磁性金属薄膜層を形成した磁気記録媒体を一定方向
に移送するための移送装置と、前記磁気記録媒体の移送
経路上で前記強磁性金属薄膜層上に真空蒸着法によ、９
）ツブコート層として滑剤層を形成するための蒸着装置
とを備えだ磁気記録媒体の製造装置において、前記金属
薄膜層に通電すべく前記移送装置における前記磁気記録
媒体との接触部へ前記蒸着装置の前後より給電するだめ
の電源装置を設けたことを特徴とする。

作用 本発明によれば、金属薄膜層に通電することによって温
度が上昇し、その輻射熱°により滑剤粒子の凝集を防止
する。また基板到達時には、金属薄膜層自体の温度上昇
による滑剤の拡散が容易に行なわれ、均質な滑剤層を形
成することができる。

その結果、凝集した滑剤がローラ等に付着して装置の汚
染を助長することがなくなり、記録再生欠陥としてのド
ロップアウトの大幅な低減が可能となる。

実施例 以下本発明の一実施例について図面を参照しながら説明
する。

第１図は本発明の一実施例における装置構成の概要を示
す。本実施例において製造される磁気記録媒体の基本構
造は第４図に示すものと同様であシ、本実施例では３〜
２０μｍのＰＩＣＴフィルムを非磁性基板１とし、０．
１〜０．２μｍのＣｏ−Ｎｉノ斜方蒸着により強磁性金
属薄膜層２を形成し、走行性改善のため、裏面にバック
コーティング層３として樹脂とカーボンの混合体を約０
．３〜１μｍ塗布している。

第１図において、２１は滑剤層４形成前の磁気記録媒体
であシ滑剤層４形成域へ送シ出されその張力は５Ｑ０１
１ｆｌｌ相当で０．６〜２０に２ｆに制御されている。

２２．２４はパスローラで磁気記録媒体と密着し回転す
る。２３はメインローラで磁気記録媒体を定速（０，１
〜２００　ｍ１分）　で制御し搬送している。２５は滑
剤層４形成済の磁気記録媒体であり、ｇＱＱｆｆ幅相当
テｏ、ｓ　〜２ｏＫｉｉｆ（Ｄ張力で連続的に巻きとら
れており、テーパ張力の制御も可能である。２６は蒸発
源であシ、この中には滑剤として、脂肪酸、脂肪酸エス
テル、脂肪酸アミド等が充填されておシ溶融して蒸着さ
れる。

２７は熱媒槽であり、これによって滑剤を加熱溶融させ
ている。２８は真空槽外に設けられた熱媒循環装置であ
り、これによって熱媒の温度を制御するとともに熱媒槽
２７に熱媒を供給している。

２９は防着板であシ、これにより滑剤の蒸発粒子が真空
槽内の磁気記録媒体あるいはそれを搬送する構成要素部
品の汚染を防止しておシ、強磁性金属薄膜層２に通電す
るため、絶縁物にて制作されている。３０に蒸発レート
モニタで滑剤粒子の蒸発量を検出し、熱媒循環装置２８
の熱媒の温度を制御している。３１はシャッタであり、
所定の蒸発速度に達してから開放され基板に蒸着が開始
される。３２は真空槽外に設けられた通電用電源で、パ
スローラを介して金属薄膜層に通電しており、５ＫＷの
容量を有する。

以上のように構成された本発明の磁気記録媒体の製造法
および製造装置について、第１図を用いてその動作を説
明する。

滑剤層４形成前の磁気記録媒体は強磁性金属薄膜層２に
トップコートとして滑剤層４を形成するため、パスロー
ラあるいは巻出し、パスローラ２２．２３より通電され
ながら連続的に、メインロー２２３に密着して送られて
いる。また滑剤は熱媒循環装置２８からの熱媒により加
熱溶融され蒸発を開始し翫規定の蒸発レートになった時
点でシャッタ３１が開放され、基板に滑剤粒子が到達し
滑剤層が形成される。このとき、非磁性基板１の強磁性
金属薄膜層２に通電しているため、その輻射熱により滑
剤層が加熱され、その結果滑剤粒子の凝集を防ぐととも
に滑剤粒子は均一に金属薄膜層に拡散し均質な滑剤層を
形成することができる。

第２図は、滑剤層４の形成条件として、非磁性基板１の
幅６００ｆｆ、強磁性金属薄膜層２の厚さ０．１６μｍ
１メインロ一ラ径１ｍ、通電間隔約２ｍ１形成速度３０
　ｍ　７分の場合において、金属薄膜層への通電電流を
変化させたときのドロップアウト数の変化を示す。

なお第２図のグラフの横軸にとった通電電流の単位とし
てＷ／ｄを用いている。

またドロップアウト数は回転シリンダ型ビデオテープレ
コーダを用いて、テープ＠８１ｒｌｌ、相対速度３．８
ｍ１Ｂ、テープ速度１．４ｃｌＩＩ／ｓ１トラツクピツ
チ約２　Ｏｎ！１１で映像信号を１０分間記録再生した
とき、１５μｓ以上の間１６ｄＢ以上信号の欠除したも
のの１分間当シの平均値である。

第２図のグラフから、通電電流がＱ、０５Ｗ／ｄ〜０，
２　Ｗ／ｄ　　の範囲でドロップアウト数の顕著な低減
が認められ、この範囲で充分に実用が可能であることが
わかる。

発明の効果 以上のように本発明によれば、非磁性基板に強磁性金属
薄膜層を形成した磁気記録媒体に、トップコート層とし
て滑剤層を真空蒸着法によって強磁性金属薄膜層に通電
しながら形成することにより、成膜速度を向上させつつ
滑剤の凝集を減少させることかでき、その結果記録再生
欠陥としてのドロップアウトが大幅に低減するという特
有の効果を有する。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例における滑剤層を金属薄膜層
に通電しながら真空蒸着法にて形成する方法を示す図、
第２図はドロップアウト数と通電密度との関係を成膜速
度一定の場合について示す図、第３図は従来の方法にお
けるドロップアウト数と成膜速度との関係を示す図、第
４図は磁気記録媒体の構造を示す断面図、第５図は従来
例の磁気記録媒体の製造法を示す図である。 １・・・・・・非磁性基板、２・・・・・・強磁性金属
薄膜層、４・・・・・・滑剤層、２１．２５・・・・・
・磁気記録媒体、２２．２４・・・・・・バスローラ、
２３・・・・・・メインローラ、２６・・・・・滑剤層
形成済磁気記録媒体、２６・・・・・蒸発源、２７・・
・・・・熱媒槽、２８・・・・・・熱媒循環装置、３２
・・・・・・通電用電源。 代理人の氏名　弁理士　粟　野　重　孝　ほか１名２／
、２５−ｍ　′ｇＡｗｔａ俸 ２２２４−一゛バスロール ？３−メインローラ 必−′＃発５原 ２７−熱奸槽 第 図 一涌ジ叱乞演 Ｘｆｌ）−’晩飢シ へ瑛遼濯− 第 図

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）非磁性基板上に強磁性金属薄膜を形成した磁気記
   録媒体を一定方向に走行させ、その上にトップコートと
   して滑剤層を真空蒸着法により連続的に形成する方法に
   おいて、前記強磁性金属薄膜層に通電することを特徴と
   する磁気記録媒体の製造方法。
2. （２）非磁性基板上に強磁性金属薄膜層を形成した磁気
   記録媒体を一定方向に移送するための移送装置と、前記
   磁気記録媒体の移送経路上で前記強磁性金属薄膜層上に
   真空蒸着法によりトップコート層として滑剤層を形成す
   るための蒸着装置とを備えた磁気記録媒体の製造装置に
   おいて、前記金属薄膜層に通電すべく前記移送装置にお
   ける前記磁気記録媒体との接触部へ前記蒸着装置の前後
   より給電するための電源装置を設けたことを特徴とする
   磁気記録媒体の製造装置。