JPH02128320A - 磁気記録媒体の製造方法および製造装置 - Google Patents
磁気記録媒体の製造方法および製造装置Info
- Publication number
- JPH02128320A JPH02128320A JP28078888A JP28078888A JPH02128320A JP H02128320 A JPH02128320 A JP H02128320A JP 28078888 A JP28078888 A JP 28078888A JP 28078888 A JP28078888 A JP 28078888A JP H02128320 A JPH02128320 A JP H02128320A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- thin film
- recording medium
- magnetic recording
- lubricant
- film layer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 230000005291 magnetic effect Effects 0.000 title claims abstract description 48
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 14
- 239000000314 lubricant Substances 0.000 claims abstract description 52
- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims abstract description 34
- 230000005294 ferromagnetic effect Effects 0.000 claims abstract description 25
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 21
- 238000001771 vacuum deposition Methods 0.000 claims abstract description 11
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 30
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 30
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims description 15
- 230000005611 electricity Effects 0.000 claims description 5
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 claims description 4
- 238000009751 slip forming Methods 0.000 claims 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 abstract description 6
- 238000011109 contamination Methods 0.000 abstract description 3
- 230000015271 coagulation Effects 0.000 abstract 1
- 238000005345 coagulation Methods 0.000 abstract 1
- 230000005855 radiation Effects 0.000 abstract 1
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 48
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 14
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 description 14
- 239000010408 film Substances 0.000 description 9
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 7
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 7
- 235000014113 dietary fatty acids Nutrition 0.000 description 6
- 229930195729 fatty acid Natural products 0.000 description 6
- 239000000194 fatty acid Substances 0.000 description 6
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 5
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 5
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 5
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 150000004665 fatty acids Chemical class 0.000 description 4
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 3
- 238000007738 vacuum evaporation Methods 0.000 description 3
- 238000004220 aggregation Methods 0.000 description 2
- 230000002776 aggregation Effects 0.000 description 2
- 239000011247 coating layer Substances 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- -1 fatty acid ester Chemical class 0.000 description 2
- 239000000155 melt Substances 0.000 description 2
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910020630 Co Ni Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910002440 Co–Ni Inorganic materials 0.000 description 1
- 244000089486 Phragmites australis subsp australis Species 0.000 description 1
- 235000014676 Phragmites communis Nutrition 0.000 description 1
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 1
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000000181 anti-adherent effect Effects 0.000 description 1
- 238000005422 blasting Methods 0.000 description 1
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 1
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 229920000728 polyester Polymers 0.000 description 1
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 1
- 229920006254 polymer film Polymers 0.000 description 1
- 230000002265 prevention Effects 0.000 description 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 1
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 1
- 238000002207 thermal evaporation Methods 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は強磁性金属薄膜型磁気記録媒体の製造方法およ
び装置に関するものであシ、特に実用性能向上のため金
属薄膜層形成後にトップコート層として滑剤層を真空蒸
着法により均質の滑剤層を形成する手段を提供する。
び装置に関するものであシ、特に実用性能向上のため金
属薄膜層形成後にトップコート層として滑剤層を真空蒸
着法により均質の滑剤層を形成する手段を提供する。
従来の技術
Co 、 Ni 、 Feまたはそれらを主成分とする
合金を真空蒸着法、スパッタ法、イオンブレーティング
等の真空成膜法によりポリエステpフィルム。
合金を真空蒸着法、スパッタ法、イオンブレーティング
等の真空成膜法によりポリエステpフィルム。
ポリイミドフィルムなどの高分子フィルムや非磁性金属
基板などからなる基板上に形成した強磁性金属薄膜型磁
気記録媒体は、従来の塗布型磁気記録媒体に比して記録
密度を飛躍的に向上することが可能である。この高記録
密度化のための条件として、記録再生欠陥を極力減少さ
せるとともに、磁気ヘッド、記録媒体間のスペーシング
ロスを極力低減させることが重要であシ、また記録媒体
としては耐久性をも兼ね備えていることが必要である。
基板などからなる基板上に形成した強磁性金属薄膜型磁
気記録媒体は、従来の塗布型磁気記録媒体に比して記録
密度を飛躍的に向上することが可能である。この高記録
密度化のための条件として、記録再生欠陥を極力減少さ
せるとともに、磁気ヘッド、記録媒体間のスペーシング
ロスを極力低減させることが重要であシ、また記録媒体
としては耐久性をも兼ね備えていることが必要である。
それらを解決するため、金属薄膜層形成後トップコート
としての滑剤層形成の方法の一つとして、脂肪酸、脂肪
酸エステル、脂肪酸アミド等の滑剤を真空蒸着法にて形
成する方法がある。
としての滑剤層形成の方法の一つとして、脂肪酸、脂肪
酸エステル、脂肪酸アミド等の滑剤を真空蒸着法にて形
成する方法がある。
以下図面を参照しながら、上述した磁気記録媒体の製造
法の一例について説明する。
法の一例について説明する。
第4図は磁気記録媒体の構造を、第6図は従来の磁気記
録媒体の製造法および製造装置を示すものである。
録媒体の製造法および製造装置を示すものである。
第4図において、1は基板、2は真空中成膜法により形
成される強磁性金属薄膜層、3はバックコーティング層
、4はトップコート層としての滑剤層である。
成される強磁性金属薄膜層、3はバックコーティング層
、4はトップコート層としての滑剤層である。
第5図において、11はトップコート形成前の磁気記録
媒体であシロール状に巻かれている。
媒体であシロール状に巻かれている。
12114はパスローp113はメインロールであり、
磁気記録媒体を密着搬送している。16はトップコート
形成済の磁気記録媒体であり連続的に巻き取られている
。16は滑剤が充填された蒸発源、17は蒸発源16の
滑剤を間接的に加熱溶融し蒸発させる熱媒槽である。1
8は熱媒循環装置であシ、これは熱媒の温度を制量する
とともに、熱媒槽17に熱媒を供給しており、真空槽外
に設けられている。19は防着板であり、滑剤の蒸発粒
子が真空槽内の磁気記録媒体、あるいはそれを搬送する
構成要素部品の汚染を防止するために設けられている。
磁気記録媒体を密着搬送している。16はトップコート
形成済の磁気記録媒体であり連続的に巻き取られている
。16は滑剤が充填された蒸発源、17は蒸発源16の
滑剤を間接的に加熱溶融し蒸発させる熱媒槽である。1
8は熱媒循環装置であシ、これは熱媒の温度を制量する
とともに、熱媒槽17に熱媒を供給しており、真空槽外
に設けられている。19は防着板であり、滑剤の蒸発粒
子が真空槽内の磁気記録媒体、あるいはそれを搬送する
構成要素部品の汚染を防止するために設けられている。
2oは蒸発レートモニターであり、蒸発量を検出し、熱
媒循環装置18の熱媒の温度を調整するためのものであ
る。
媒循環装置18の熱媒の温度を調整するためのものであ
る。
以上のように構成された従来の磁気記録媒体の製造法に
ついて、以下その動作を説明する。
ついて、以下その動作を説明する。
強磁性金属薄膜層2を形成した非磁性体基板1上に滑剤
層4を真空蒸着法にて形成する場合、まず滑剤を熱蒸発
源16にて溶融させ、規定の蒸発量になった時点で基板
1を搬送させトップコートとして滑剤層4を形成する。
層4を真空蒸着法にて形成する場合、まず滑剤を熱蒸発
源16にて溶融させ、規定の蒸発量になった時点で基板
1を搬送させトップコートとして滑剤層4を形成する。
発明が解決しようとする課題
しかしながら従来の真空蒸着法により、トップコートと
して滑剤層を形成する場合、成膜速度を向上させるため
、滑剤の蒸発速度を上昇させると、滑剤が凝集を起こし
て、均質な滑剤層の形成ができなくなる。また、凝集し
た滑剤の一部が装置内のローラ等に付着し、装置の汚染
を助長するばかりでなく、ビデオテープレコーダでの記
録再生においても、磁気ヘッド、回転シリンダ、テープ
走行用ポスト等が汚染され、第3図に示すように成膜速
度の上昇とともに記録再生欠陥としてのドロップアウト
が増加するため、成膜速度を上げることが困難であると
いう問題があった。
して滑剤層を形成する場合、成膜速度を向上させるため
、滑剤の蒸発速度を上昇させると、滑剤が凝集を起こし
て、均質な滑剤層の形成ができなくなる。また、凝集し
た滑剤の一部が装置内のローラ等に付着し、装置の汚染
を助長するばかりでなく、ビデオテープレコーダでの記
録再生においても、磁気ヘッド、回転シリンダ、テープ
走行用ポスト等が汚染され、第3図に示すように成膜速
度の上昇とともに記録再生欠陥としてのドロップアウト
が増加するため、成膜速度を上げることが困難であると
いう問題があった。
本発明は上記問題点に濫み、成膜速度を向上させつつ滑
剤の凝集の少ない、真空蒸着法による磁気記録媒体の製
造方法及びその製造装置を提供するものである。
剤の凝集の少ない、真空蒸着法による磁気記録媒体の製
造方法及びその製造装置を提供するものである。
課題を解決するための手段
上記課題を解決するために本発明の磁気記録媒体の製造
方法は、非磁性基板上に強磁性金属薄膜を形成した磁気
記録媒体を一定方向に走行させ、その上にトップコート
として滑剤層を真空蒸着法により連続的に形成する方法
において、前記強磁性金属薄膜層に通電することを特徴
とする。
方法は、非磁性基板上に強磁性金属薄膜を形成した磁気
記録媒体を一定方向に走行させ、その上にトップコート
として滑剤層を真空蒸着法により連続的に形成する方法
において、前記強磁性金属薄膜層に通電することを特徴
とする。
また本発明の磁気記録媒体の製造装置は、非磁性基板上
に強磁性金属薄膜層を形成した磁気記録媒体を一定方向
に移送するための移送装置と、前記磁気記録媒体の移送
経路上で前記強磁性金属薄膜層上に真空蒸着法によ、9
)ツブコート層として滑剤層を形成するための蒸着装置
とを備えだ磁気記録媒体の製造装置において、前記金属
薄膜層に通電すべく前記移送装置における前記磁気記録
媒体との接触部へ前記蒸着装置の前後より給電するだめ
の電源装置を設けたことを特徴とする。
に強磁性金属薄膜層を形成した磁気記録媒体を一定方向
に移送するための移送装置と、前記磁気記録媒体の移送
経路上で前記強磁性金属薄膜層上に真空蒸着法によ、9
)ツブコート層として滑剤層を形成するための蒸着装置
とを備えだ磁気記録媒体の製造装置において、前記金属
薄膜層に通電すべく前記移送装置における前記磁気記録
媒体との接触部へ前記蒸着装置の前後より給電するだめ
の電源装置を設けたことを特徴とする。
作用
本発明によれば、金属薄膜層に通電することによって温
度が上昇し、その輻射熱°により滑剤粒子の凝集を防止
する。また基板到達時には、金属薄膜層自体の温度上昇
による滑剤の拡散が容易に行なわれ、均質な滑剤層を形
成することができる。
度が上昇し、その輻射熱°により滑剤粒子の凝集を防止
する。また基板到達時には、金属薄膜層自体の温度上昇
による滑剤の拡散が容易に行なわれ、均質な滑剤層を形
成することができる。
その結果、凝集した滑剤がローラ等に付着して装置の汚
染を助長することがなくなり、記録再生欠陥としてのド
ロップアウトの大幅な低減が可能となる。
染を助長することがなくなり、記録再生欠陥としてのド
ロップアウトの大幅な低減が可能となる。
実施例
以下本発明の一実施例について図面を参照しながら説明
する。
する。
第1図は本発明の一実施例における装置構成の概要を示
す。本実施例において製造される磁気記録媒体の基本構
造は第4図に示すものと同様であシ、本実施例では3〜
20μmのPICTフィルムを非磁性基板1とし、0.
1〜0.2μmのCo−Niノ斜方蒸着により強磁性金
属薄膜層2を形成し、走行性改善のため、裏面にバック
コーティング層3として樹脂とカーボンの混合体を約0
.3〜1μm塗布している。
す。本実施例において製造される磁気記録媒体の基本構
造は第4図に示すものと同様であシ、本実施例では3〜
20μmのPICTフィルムを非磁性基板1とし、0.
1〜0.2μmのCo−Niノ斜方蒸着により強磁性金
属薄膜層2を形成し、走行性改善のため、裏面にバック
コーティング層3として樹脂とカーボンの混合体を約0
.3〜1μm塗布している。
第1図において、21は滑剤層4形成前の磁気記録媒体
であシ滑剤層4形成域へ送シ出されその張力は5Q01
1fll相当で0.6〜20に2fに制御されている。
であシ滑剤層4形成域へ送シ出されその張力は5Q01
1fll相当で0.6〜20に2fに制御されている。
22.24はパスローラで磁気記録媒体と密着し回転す
る。23はメインローラで磁気記録媒体を定速(0,1
〜200 m1分) で制御し搬送している。25は滑
剤層4形成済の磁気記録媒体であり、gQQff幅相当
テo、s 〜2oKiif(D張力で連続的に巻きとら
れており、テーパ張力の制御も可能である。26は蒸発
源であシ、この中には滑剤として、脂肪酸、脂肪酸エス
テル、脂肪酸アミド等が充填されておシ溶融して蒸着さ
れる。
る。23はメインローラで磁気記録媒体を定速(0,1
〜200 m1分) で制御し搬送している。25は滑
剤層4形成済の磁気記録媒体であり、gQQff幅相当
テo、s 〜2oKiif(D張力で連続的に巻きとら
れており、テーパ張力の制御も可能である。26は蒸発
源であシ、この中には滑剤として、脂肪酸、脂肪酸エス
テル、脂肪酸アミド等が充填されておシ溶融して蒸着さ
れる。
27は熱媒槽であり、これによって滑剤を加熱溶融させ
ている。28は真空槽外に設けられた熱媒循環装置であ
り、これによって熱媒の温度を制御するとともに熱媒槽
27に熱媒を供給している。
ている。28は真空槽外に設けられた熱媒循環装置であ
り、これによって熱媒の温度を制御するとともに熱媒槽
27に熱媒を供給している。
29は防着板であシ、これにより滑剤の蒸発粒子が真空
槽内の磁気記録媒体あるいはそれを搬送する構成要素部
品の汚染を防止しておシ、強磁性金属薄膜層2に通電す
るため、絶縁物にて制作されている。30に蒸発レート
モニタで滑剤粒子の蒸発量を検出し、熱媒循環装置28
の熱媒の温度を制御している。31はシャッタであり、
所定の蒸発速度に達してから開放され基板に蒸着が開始
される。32は真空槽外に設けられた通電用電源で、パ
スローラを介して金属薄膜層に通電しており、5KWの
容量を有する。
槽内の磁気記録媒体あるいはそれを搬送する構成要素部
品の汚染を防止しておシ、強磁性金属薄膜層2に通電す
るため、絶縁物にて制作されている。30に蒸発レート
モニタで滑剤粒子の蒸発量を検出し、熱媒循環装置28
の熱媒の温度を制御している。31はシャッタであり、
所定の蒸発速度に達してから開放され基板に蒸着が開始
される。32は真空槽外に設けられた通電用電源で、パ
スローラを介して金属薄膜層に通電しており、5KWの
容量を有する。
以上のように構成された本発明の磁気記録媒体の製造法
および製造装置について、第1図を用いてその動作を説
明する。
および製造装置について、第1図を用いてその動作を説
明する。
滑剤層4形成前の磁気記録媒体は強磁性金属薄膜層2に
トップコートとして滑剤層4を形成するため、パスロー
ラあるいは巻出し、パスローラ22.23より通電され
ながら連続的に、メインロー223に密着して送られて
いる。また滑剤は熱媒循環装置28からの熱媒により加
熱溶融され蒸発を開始し翫規定の蒸発レートになった時
点でシャッタ31が開放され、基板に滑剤粒子が到達し
滑剤層が形成される。このとき、非磁性基板1の強磁性
金属薄膜層2に通電しているため、その輻射熱により滑
剤層が加熱され、その結果滑剤粒子の凝集を防ぐととも
に滑剤粒子は均一に金属薄膜層に拡散し均質な滑剤層を
形成することができる。
トップコートとして滑剤層4を形成するため、パスロー
ラあるいは巻出し、パスローラ22.23より通電され
ながら連続的に、メインロー223に密着して送られて
いる。また滑剤は熱媒循環装置28からの熱媒により加
熱溶融され蒸発を開始し翫規定の蒸発レートになった時
点でシャッタ31が開放され、基板に滑剤粒子が到達し
滑剤層が形成される。このとき、非磁性基板1の強磁性
金属薄膜層2に通電しているため、その輻射熱により滑
剤層が加熱され、その結果滑剤粒子の凝集を防ぐととも
に滑剤粒子は均一に金属薄膜層に拡散し均質な滑剤層を
形成することができる。
第2図は、滑剤層4の形成条件として、非磁性基板1の
幅600ff、強磁性金属薄膜層2の厚さ0.16μm
1メインロ一ラ径1m、通電間隔約2m1形成速度30
m 7分の場合において、金属薄膜層への通電電流を
変化させたときのドロップアウト数の変化を示す。
幅600ff、強磁性金属薄膜層2の厚さ0.16μm
1メインロ一ラ径1m、通電間隔約2m1形成速度30
m 7分の場合において、金属薄膜層への通電電流を
変化させたときのドロップアウト数の変化を示す。
なお第2図のグラフの横軸にとった通電電流の単位とし
てW/dを用いている。
てW/dを用いている。
またドロップアウト数は回転シリンダ型ビデオテープレ
コーダを用いて、テープ@81rll、相対速度3.8
m1B、テープ速度1.4clII/s1トラツクピツ
チ約2 On!11で映像信号を10分間記録再生した
とき、15μs以上の間16dB以上信号の欠除したも
のの1分間当シの平均値である。
コーダを用いて、テープ@81rll、相対速度3.8
m1B、テープ速度1.4clII/s1トラツクピツ
チ約2 On!11で映像信号を10分間記録再生した
とき、15μs以上の間16dB以上信号の欠除したも
のの1分間当シの平均値である。
第2図のグラフから、通電電流がQ、05W/d〜0,
2 W/d の範囲でドロップアウト数の顕著な低減
が認められ、この範囲で充分に実用が可能であることが
わかる。
2 W/d の範囲でドロップアウト数の顕著な低減
が認められ、この範囲で充分に実用が可能であることが
わかる。
発明の効果
以上のように本発明によれば、非磁性基板に強磁性金属
薄膜層を形成した磁気記録媒体に、トップコート層とし
て滑剤層を真空蒸着法によって強磁性金属薄膜層に通電
しながら形成することにより、成膜速度を向上させつつ
滑剤の凝集を減少させることかでき、その結果記録再生
欠陥としてのドロップアウトが大幅に低減するという特
有の効果を有する。
薄膜層を形成した磁気記録媒体に、トップコート層とし
て滑剤層を真空蒸着法によって強磁性金属薄膜層に通電
しながら形成することにより、成膜速度を向上させつつ
滑剤の凝集を減少させることかでき、その結果記録再生
欠陥としてのドロップアウトが大幅に低減するという特
有の効果を有する。
第1図は本発明の一実施例における滑剤層を金属薄膜層
に通電しながら真空蒸着法にて形成する方法を示す図、
第2図はドロップアウト数と通電密度との関係を成膜速
度一定の場合について示す図、第3図は従来の方法にお
けるドロップアウト数と成膜速度との関係を示す図、第
4図は磁気記録媒体の構造を示す断面図、第5図は従来
例の磁気記録媒体の製造法を示す図である。 1・・・・・・非磁性基板、2・・・・・・強磁性金属
薄膜層、4・・・・・・滑剤層、21.25・・・・・
・磁気記録媒体、22.24・・・・・・バスローラ、
23・・・・・・メインローラ、26・・・・・滑剤層
形成済磁気記録媒体、26・・・・・蒸発源、27・・
・・・・熱媒槽、28・・・・・・熱媒循環装置、32
・・・・・・通電用電源。 代理人の氏名 弁理士 粟 野 重 孝 ほか1名2/
、25−m ′gAwta俸 2224−一゛バスロール ?3−メインローラ 必−′#発5原 27−熱奸槽 第 図 一涌ジ叱乞演 Xfl)−’晩飢シ へ瑛遼濯− 第 図
に通電しながら真空蒸着法にて形成する方法を示す図、
第2図はドロップアウト数と通電密度との関係を成膜速
度一定の場合について示す図、第3図は従来の方法にお
けるドロップアウト数と成膜速度との関係を示す図、第
4図は磁気記録媒体の構造を示す断面図、第5図は従来
例の磁気記録媒体の製造法を示す図である。 1・・・・・・非磁性基板、2・・・・・・強磁性金属
薄膜層、4・・・・・・滑剤層、21.25・・・・・
・磁気記録媒体、22.24・・・・・・バスローラ、
23・・・・・・メインローラ、26・・・・・滑剤層
形成済磁気記録媒体、26・・・・・蒸発源、27・・
・・・・熱媒槽、28・・・・・・熱媒循環装置、32
・・・・・・通電用電源。 代理人の氏名 弁理士 粟 野 重 孝 ほか1名2/
、25−m ′gAwta俸 2224−一゛バスロール ?3−メインローラ 必−′#発5原 27−熱奸槽 第 図 一涌ジ叱乞演 Xfl)−’晩飢シ へ瑛遼濯− 第 図
Claims (2)
- (1)非磁性基板上に強磁性金属薄膜を形成した磁気記
録媒体を一定方向に走行させ、その上にトップコートと
して滑剤層を真空蒸着法により連続的に形成する方法に
おいて、前記強磁性金属薄膜層に通電することを特徴と
する磁気記録媒体の製造方法。 - (2)非磁性基板上に強磁性金属薄膜層を形成した磁気
記録媒体を一定方向に移送するための移送装置と、前記
磁気記録媒体の移送経路上で前記強磁性金属薄膜層上に
真空蒸着法によりトップコート層として滑剤層を形成す
るための蒸着装置とを備えた磁気記録媒体の製造装置に
おいて、前記金属薄膜層に通電すべく前記移送装置にお
ける前記磁気記録媒体との接触部へ前記蒸着装置の前後
より給電するための電源装置を設けたことを特徴とする
磁気記録媒体の製造装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP63280788A JP2605839B2 (ja) | 1988-11-07 | 1988-11-07 | 磁気記録媒体の製造方法および製造装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP63280788A JP2605839B2 (ja) | 1988-11-07 | 1988-11-07 | 磁気記録媒体の製造方法および製造装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH02128320A true JPH02128320A (ja) | 1990-05-16 |
JP2605839B2 JP2605839B2 (ja) | 1997-04-30 |
Family
ID=17629967
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP63280788A Expired - Fee Related JP2605839B2 (ja) | 1988-11-07 | 1988-11-07 | 磁気記録媒体の製造方法および製造装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2605839B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US8208255B2 (en) | 2006-04-13 | 2012-06-26 | Toto Ltd | Remote control apparatus |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5756134A (en) * | 1980-09-19 | 1982-04-03 | Toshiba Corp | Piston for enclosed compressor |
-
1988
- 1988-11-07 JP JP63280788A patent/JP2605839B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5756134A (en) * | 1980-09-19 | 1982-04-03 | Toshiba Corp | Piston for enclosed compressor |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US8208255B2 (en) | 2006-04-13 | 2012-06-26 | Toto Ltd | Remote control apparatus |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2605839B2 (ja) | 1997-04-30 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JPH0353692B2 (ja) | ||
JPH02128320A (ja) | 磁気記録媒体の製造方法および製造装置 | |
US4474832A (en) | Magnetic recording media | |
JP2563534B2 (ja) | 磁気記録媒体の製造方法およびその製造装置 | |
JP2661208B2 (ja) | 磁気記録媒体の製造方法 | |
US5322716A (en) | Method for producing magnetic recording medium | |
JPH02128321A (ja) | 磁気記録媒体の製造方法 | |
JPH03113825A (ja) | 磁気記録媒体の製造方法 | |
JPH07103464B2 (ja) | 金属薄膜の製造法 | |
JPH103663A (ja) | 磁気記録媒体の製造方法 | |
JPS61187127A (ja) | 磁気記録媒体の製造方法 | |
JPH01166329A (ja) | 磁気記録媒体の製造方法 | |
JPS60117420A (ja) | 連続薄膜形成方法 | |
JPS61233429A (ja) | スパツタ装置 | |
JPS61187120A (ja) | 磁気記録媒体およびその製造方法 | |
JPS61242332A (ja) | 垂直磁気記録媒体の製造装置 | |
JPS61214136A (ja) | 磁気記録媒体の製造方法およびその装置 | |
JPS60214424A (ja) | 磁気記録媒体の製造方法 | |
JPS60147933A (ja) | 磁気記録媒体製造装置 | |
JPS6224429A (ja) | 磁気記録媒体の製造方法 | |
JPS59175032A (ja) | 磁気記録媒体の製造方法 | |
JPS6085430A (ja) | 磁気記録媒体 | |
JPS61144722A (ja) | 磁気記録媒体 | |
JPS6079519A (ja) | 磁気記録媒体 | |
JPH03113824A (ja) | 磁気記録媒体の製造方法およびその製造装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |