JP2661208B2 - 磁気記録媒体の製造方法 - Google Patents
磁気記録媒体の製造方法Info
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- JP2661208B2 JP2661208B2 JP63280796A JP28079688A JP2661208B2 JP 2661208 B2 JP2661208 B2 JP 2661208B2 JP 63280796 A JP63280796 A JP 63280796A JP 28079688 A JP28079688 A JP 28079688A JP 2661208 B2 JP2661208 B2 JP 2661208B2
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Description
【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は強磁性金属薄膜型磁気記録媒体の製造方法に
関し、特に実用性能向上のため金属薄膜層形成後にトッ
プコート層として滑剤層を真空蒸着法により均質の滑剤
層形成するために用いられるものである。
関し、特に実用性能向上のため金属薄膜層形成後にトッ
プコート層として滑剤層を真空蒸着法により均質の滑剤
層形成するために用いられるものである。
従来の技術 Co,Ni,Feまたはそれらを主成分とする合金を真空蒸着
法、スパッタ法、イオンプレーラィング等の真空成膜法
によりポリエステルフィルム、ポリイミドフィルムなど
の高分子フィルムや非磁性金属基板などからなる基板上
に形成した強磁性金属薄膜型磁気記録媒体は従来の塗布
型磁気記録媒体に比して記録密度を飛躍的に向上するこ
とが可能であるが、この高記録密度化のための条件とし
て、記録再生欠陥を極力減少させるとともに、磁気ヘッ
ド、記録媒体間のスペーシングロスを極力低域させるこ
とが重要であり、また記録媒体としては耐久性をも兼ね
備えていることが必要である。それらを解決するため、
金属薄膜層形成後トップコートとしての滑剤層形成の方
法の一つとして、脂肪酸、脂肪酸エステル、脂肪酸アミ
ド等の滑剤を真空蒸着法にて、形成する方法がある。
法、スパッタ法、イオンプレーラィング等の真空成膜法
によりポリエステルフィルム、ポリイミドフィルムなど
の高分子フィルムや非磁性金属基板などからなる基板上
に形成した強磁性金属薄膜型磁気記録媒体は従来の塗布
型磁気記録媒体に比して記録密度を飛躍的に向上するこ
とが可能であるが、この高記録密度化のための条件とし
て、記録再生欠陥を極力減少させるとともに、磁気ヘッ
ド、記録媒体間のスペーシングロスを極力低域させるこ
とが重要であり、また記録媒体としては耐久性をも兼ね
備えていることが必要である。それらを解決するため、
金属薄膜層形成後トップコートとしての滑剤層形成の方
法の一つとして、脂肪酸、脂肪酸エステル、脂肪酸アミ
ド等の滑剤を真空蒸着法にて、形成する方法がある。
以下図面を参照しながら、上述した磁気記録媒体の製
造法の一例について説明する。
造法の一例について説明する。
第４図は磁気記録媒体の構造を、第５図は従来の磁気
記録媒体の製造方法に用いる装置構成の概要を示すもの
である。
記録媒体の製造方法に用いる装置構成の概要を示すもの
である。
第４図において、１は基板、２は真空中成膜法により
形成される強磁性金属薄膜層、３はバックコーティング
層、４はトップコート層としての滑剤層である。
形成される強磁性金属薄膜層、３はバックコーティング
層、４はトップコート層としての滑剤層である。
第５図において、11はトップコート形成前の磁気記録
媒体でありロール状に巻かれている。12,14はパスロー
ル、13はメインロールであり、磁気記録媒体を密着搬送
している。15はトップコート形成済の磁気記録媒体であ
り連続的に巻き取られている。16は滑剤が充填された蒸
発源、17は蒸発源16の滑剤を間接的に加熱溶融し蒸発さ
せる熱媒槽である。18は熱媒循環装置であり、これは熱
媒の温度を制御するとともに、熱媒槽17に熱媒を供給し
ており、真空槽外に設けられている。19は防着板であ
り、滑剤の蒸発粒子が真空槽内の磁気記録媒体、あるい
はそれを搬送する構成要素部品の汚染を防止するために
設けられている。20は蒸発レートモニターであり、蒸発
量を検出して熱媒循環装置18の熱媒の温度を調整するた
めのものである。
媒体でありロール状に巻かれている。12,14はパスロー
ル、13はメインロールであり、磁気記録媒体を密着搬送
している。15はトップコート形成済の磁気記録媒体であ
り連続的に巻き取られている。16は滑剤が充填された蒸
発源、17は蒸発源16の滑剤を間接的に加熱溶融し蒸発さ
せる熱媒槽である。18は熱媒循環装置であり、これは熱
媒の温度を制御するとともに、熱媒槽17に熱媒を供給し
ており、真空槽外に設けられている。19は防着板であ
り、滑剤の蒸発粒子が真空槽内の磁気記録媒体、あるい
はそれを搬送する構成要素部品の汚染を防止するために
設けられている。20は蒸発レートモニターであり、蒸発
量を検出して熱媒循環装置18の熱媒の温度を調整するた
めのものである。
以上のように構成された従来の磁気記録媒体の製造装
置について、以下その動作を説明する。
置について、以下その動作を説明する。
強磁性金属薄膜層２を形成した非磁性体基板１上に滑
剤層４を真空蒸着法にて形成する場合、まず滑剤を蒸発
源16にて溶融され、規定の蒸発量になった時点で基板１
を搬送させトップコートとして滑剤層４を形成する。
剤層４を真空蒸着法にて形成する場合、まず滑剤を蒸発
源16にて溶融され、規定の蒸発量になった時点で基板１
を搬送させトップコートとして滑剤層４を形成する。
発明が解決しようとする課題 しかしながら上記従来の真空蒸着法によりトップコー
トとして滑剤層を形成する場合、成膜速度を向上させる
ため、滑剤の蒸発速度を上昇させると、滑剤が凝集を起
こし、均質な滑剤層の形成ができなくなる。また、凝集
した滑剤の一部が装置内のローラ等に付着し、装置の汚
染を助長するばかりでなく、ビデオテープレコーダで記
録再生においても、磁気ヘッド、回転シリンダ、テープ
走行用ポスト等が汚染され、第３図に示すように成膜速
度の上昇とともに記録再生欠陥としてのドロップアウト
が増加するため、成膜速度を上げることが困難であると
いう問題があった。
トとして滑剤層を形成する場合、成膜速度を向上させる
ため、滑剤の蒸発速度を上昇させると、滑剤が凝集を起
こし、均質な滑剤層の形成ができなくなる。また、凝集
した滑剤の一部が装置内のローラ等に付着し、装置の汚
染を助長するばかりでなく、ビデオテープレコーダで記
録再生においても、磁気ヘッド、回転シリンダ、テープ
走行用ポスト等が汚染され、第３図に示すように成膜速
度の上昇とともに記録再生欠陥としてのドロップアウト
が増加するため、成膜速度を上げることが困難であると
いう問題があった。
本発明は上記問題点に鑑み、成膜速度を向上させつつ
滑剤の凝集の少ない、真空蒸着法による磁気記録媒体の
製造方法を提供するものである。
滑剤の凝集の少ない、真空蒸着法による磁気記録媒体の
製造方法を提供するものである。
課題を解決するための手段 上記課題を解決するため本発明の磁気記録媒体の製造
方法は、非磁性基板上に強磁性金属薄膜層を形成した磁
気記録媒体を一定方向に走行させ、その上にトップコー
トとして滑剤層を真空蒸着法により連続的に形成する方
法において、前記滑剤層を形成する滑剤の蒸気流経路
に、そのプラズマパワーが、磁気記録媒体の幅500mm相
当で10〜40Wであるプラズマ発生域を設け、少なくとも
前記磁気記録媒体へのトップコート層形成域をローラー
で支持することを特徴とする。
方法は、非磁性基板上に強磁性金属薄膜層を形成した磁
気記録媒体を一定方向に走行させ、その上にトップコー
トとして滑剤層を真空蒸着法により連続的に形成する方
法において、前記滑剤層を形成する滑剤の蒸気流経路
に、そのプラズマパワーが、磁気記録媒体の幅500mm相
当で10〜40Wであるプラズマ発生域を設け、少なくとも
前記磁気記録媒体へのトップコート層形成域をローラー
で支持することを特徴とする。
作用 本発明によれば、蒸発した滑剤がプラズマ域を通過す
るとき、プラズマの熱エネルギーにより凝集を起こすこ
となく、さらに適切なプラズマパワーでは滑剤自体の化
学分解も殆ど発生することなく、金属薄膜上で滑剤の拡
散が容易に行なわれ、均質な滑剤層を形成することがで
きる。
るとき、プラズマの熱エネルギーにより凝集を起こすこ
となく、さらに適切なプラズマパワーでは滑剤自体の化
学分解も殆ど発生することなく、金属薄膜上で滑剤の拡
散が容易に行なわれ、均質な滑剤層を形成することがで
きる。
その結果、凝集した滑剤が金属薄膜上に付着せず、こ
れらがローラを介して金属薄膜上への再付着をも防止で
きるため、記録再生欠陥としてのドロップアウトの大幅
な低減が可能となる。
れらがローラを介して金属薄膜上への再付着をも防止で
きるため、記録再生欠陥としてのドロップアウトの大幅
な低減が可能となる。
実施例 以下本発明の一実施例について図面を参照しながら説
明する。
明する。
第１図は本発明の一実施例における装置構成の概要を
示す。本実施例において製造される磁気記録媒体の基本
構造は第４図に示す従来のものと同様であり、本実施例
では３〜20μｍのPETフィルムを非磁性基板１とし、0.1
〜0.2μｍのCo−Niの斜方蒸着により強磁性金属薄膜層
２を形成し、走行性改善のため、裏面にバックコーティ
ング層３として樹脂とカーボンの混合本を約0.3〜１μ
ｍ塗布している。
示す。本実施例において製造される磁気記録媒体の基本
構造は第４図に示す従来のものと同様であり、本実施例
では３〜20μｍのPETフィルムを非磁性基板１とし、0.1
〜0.2μｍのCo−Niの斜方蒸着により強磁性金属薄膜層
２を形成し、走行性改善のため、裏面にバックコーティ
ング層３として樹脂とカーボンの混合本を約0.3〜１μ
ｍ塗布している。
第１図において、21は滑剤層４形成前の磁気記録媒体
であり、滑剤層４形成域へ送り出され、その張力は500m
m幅相当で0.5〜20kgfに制御されている。22,24はパスロ
ーラで磁気記録媒体と密着し回転する。23はメインロー
ラで磁気記録媒体を定速（0.1〜200m/分）で制御し搬送
している。25は滑剤層４形成済の磁気記録媒体であり、
500mm幅相当で0.5〜20kgfの張力で連続的に巻きとられ
ており、テーパ張力の制御も可能である。26は蒸発源で
あり、この中には滑剤として脂肪酸、脂肪酸エステル、
脂肪酸アミド等が充填されており、溶融して蒸着され
る。27は熱媒槽であり、これによって滑剤を加熱溶融さ
せている。28は真空槽外に設けられた熱媒循環装置であ
り、これによって熱媒の温度を制御するとともに熱媒槽
27に熱媒を供給している。29は防着板であり、これによ
り滑剤の蒸発粒子が真空槽内の磁気記録媒体あるいはそ
れを搬送する構成要素部品の汚染を防止しており、強磁
性金属薄膜層２に通電するため、絶縁物にて制作されて
いる。30に蒸発レートモニタで、滑剤粒子の蒸発量を検
出し、熱媒循環装置28の熱媒の温度を制御している。31
はシャッタであり、所定の蒸発速度に達してから開放さ
れ基板に蒸着が開始される。32はプラズマ用電極、33は
真空槽外に設けられ、5KWの容量を有するプラズマ用電
源である。
であり、滑剤層４形成域へ送り出され、その張力は500m
m幅相当で0.5〜20kgfに制御されている。22,24はパスロ
ーラで磁気記録媒体と密着し回転する。23はメインロー
ラで磁気記録媒体を定速（0.1〜200m/分）で制御し搬送
している。25は滑剤層４形成済の磁気記録媒体であり、
500mm幅相当で0.5〜20kgfの張力で連続的に巻きとられ
ており、テーパ張力の制御も可能である。26は蒸発源で
あり、この中には滑剤として脂肪酸、脂肪酸エステル、
脂肪酸アミド等が充填されており、溶融して蒸着され
る。27は熱媒槽であり、これによって滑剤を加熱溶融さ
せている。28は真空槽外に設けられた熱媒循環装置であ
り、これによって熱媒の温度を制御するとともに熱媒槽
27に熱媒を供給している。29は防着板であり、これによ
り滑剤の蒸発粒子が真空槽内の磁気記録媒体あるいはそ
れを搬送する構成要素部品の汚染を防止しており、強磁
性金属薄膜層２に通電するため、絶縁物にて制作されて
いる。30に蒸発レートモニタで、滑剤粒子の蒸発量を検
出し、熱媒循環装置28の熱媒の温度を制御している。31
はシャッタであり、所定の蒸発速度に達してから開放さ
れ基板に蒸着が開始される。32はプラズマ用電極、33は
真空槽外に設けられ、5KWの容量を有するプラズマ用電
源である。
以上のように構成された本発明の磁気記録媒体の製造
法および製造装置について、第１図を用いてその動作を
説明する。
法および製造装置について、第１図を用いてその動作を
説明する。
滑剤層４形成前の磁気記録媒体は強磁性金属薄膜層２
にトップコートとして滑剤層４を形成するため、パスロ
ーラあるいは巻出し、巻取軸より通電されながら連続的
に、メインローラに密着して送られている。また滑剤は
熱媒循環装置28からの熱媒により加熱溶融されて蒸発を
開始し、規定の蒸発レートになった時点でシャッタ31が
開放され、磁気記録媒体に滑剤粒子が到達し滑剤層４が
形成される。このとき、蒸発源26より蒸発した滑剤蒸気
がプラズマ域に達するとプラズマの熱エネルギーで滑剤
粒子の凝集が防止され、また強磁性金属薄膜層２に到達
時はほぼモノマー状態のため、強固に結合するとともに
滑剤粒子は均一に強磁性金属薄膜層２に拡散して均質な
滑剤層４を形成することができる。
にトップコートとして滑剤層４を形成するため、パスロ
ーラあるいは巻出し、巻取軸より通電されながら連続的
に、メインローラに密着して送られている。また滑剤は
熱媒循環装置28からの熱媒により加熱溶融されて蒸発を
開始し、規定の蒸発レートになった時点でシャッタ31が
開放され、磁気記録媒体に滑剤粒子が到達し滑剤層４が
形成される。このとき、蒸発源26より蒸発した滑剤蒸気
がプラズマ域に達するとプラズマの熱エネルギーで滑剤
粒子の凝集が防止され、また強磁性金属薄膜層２に到達
時はほぼモノマー状態のため、強固に結合するとともに
滑剤粒子は均一に強磁性金属薄膜層２に拡散して均質な
滑剤層４を形成することができる。
第２図は、滑剤層４の形成条件として、非磁性基板１
の幅500mm、強磁性金属薄膜層２の厚サ0.15μｍ、メイ
ンローラ外径1m、形成速度30m/分の場合において、プラ
ズマパワーを変化させたときのドロップアウト数の変化
を示す。
の幅500mm、強磁性金属薄膜層２の厚サ0.15μｍ、メイ
ンローラ外径1m、形成速度30m/分の場合において、プラ
ズマパワーを変化させたときのドロップアウト数の変化
を示す。
なお、第２図のグラフの横軸にとったプラズマパワー
の単位としてＷを用いている。
の単位としてＷを用いている。
またドロップアウト数は、回転シリンダ型ビデオテー
プレコーダを用いて、テープ幅8mm、相対速度3.8m/s、
テープ速度1.4cm/s、トラックピッチ約20μｍで映像信
号を10分間記録再生したとき、15μｓ以上の間16dB以上
信号の欠除した回数の１分間当りの平均値である。
プレコーダを用いて、テープ幅8mm、相対速度3.8m/s、
テープ速度1.4cm/s、トラックピッチ約20μｍで映像信
号を10分間記録再生したとき、15μｓ以上の間16dB以上
信号の欠除した回数の１分間当りの平均値である。
第２図のグラフから、プラズマパワーが10〜40Wの範
囲でドロップアウト数の顕著な低減が認められ、この範
囲で充分に実用が可能であることがわかる。
囲でドロップアウト数の顕著な低減が認められ、この範
囲で充分に実用が可能であることがわかる。
発明の効果 以上のように本発明によれば、非磁性基板に強磁性金
属薄膜層を形成した磁気記録媒体に、トップコート層と
しての滑剤層を真空蒸着法により形成するとき、滑剤層
形成域をローラで支持し、滑剤の蒸気流経路にプラズマ
域を設けて形成することにより、成膜速度を向上させつ
つ滑剤の凝集を減少させることができ、その結果記録再
生欠陥としてのドロップアウトが大幅に低減するという
特有の効果を有する。
属薄膜層を形成した磁気記録媒体に、トップコート層と
しての滑剤層を真空蒸着法により形成するとき、滑剤層
形成域をローラで支持し、滑剤の蒸気流経路にプラズマ
域を設けて形成することにより、成膜速度を向上させつ
つ滑剤の凝集を減少させることができ、その結果記録再
生欠陥としてのドロップアウトが大幅に低減するという
特有の効果を有する。
第１図は本発明の一実施例における滑剤層を金属薄膜層
に通電しながら真空蒸着法にて形成する方法を示す図、
第２図はドロップアウト数とプラズマパワーとの関係を
成膜速度一定の場合について示す図、第３図は従来の方
法におけるドロップアウト数と成膜速度との関係を示す
図、第４図は磁気記録媒体の構造を示す断面図、第５図
は従来例の磁気記録媒体の製造法を示す図である。 １……非磁性基板、２……強磁性金属薄膜層、４……滑
剤層、21……磁気記録媒体、26……蒸発源、27……熱媒
槽、28……熱媒循環装置、32……プラズマ用電極、33…
…プラズマ用電源。
に通電しながら真空蒸着法にて形成する方法を示す図、
第２図はドロップアウト数とプラズマパワーとの関係を
成膜速度一定の場合について示す図、第３図は従来の方
法におけるドロップアウト数と成膜速度との関係を示す
図、第４図は磁気記録媒体の構造を示す断面図、第５図
は従来例の磁気記録媒体の製造法を示す図である。 １……非磁性基板、２……強磁性金属薄膜層、４……滑
剤層、21……磁気記録媒体、26……蒸発源、27……熱媒
槽、28……熱媒循環装置、32……プラズマ用電極、33…
…プラズマ用電源。
Claims (1)
- 【請求項１】非磁性基板上に強磁性金属薄膜層を形成し
た磁気記録媒体を一定方向に走行させ、その上にトップ
コートとして滑剤層を真空蒸着法により連続的に形成す
る方法において、前記滑剤層を形成する滑剤の蒸気流経
路に、そのプラズマパワーが、磁気記録媒体の幅500mm
相当で10〜40Wであるプラズマ発生域を設け、少なくと
も前記磁気記録媒体へのトップコート層形成域をローラ
ーで支持することを特徴とする磁気記録媒体の製造方
法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63280796A JP2661208B2 (ja) | 1988-11-07 | 1988-11-07 | 磁気記録媒体の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63280796A JP2661208B2 (ja) | 1988-11-07 | 1988-11-07 | 磁気記録媒体の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02128322A JPH02128322A (ja) | 1990-05-16 |
| JP2661208B2 true JP2661208B2 (ja) | 1997-10-08 |
Family
ID=17630088
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63280796A Expired - Fee Related JP2661208B2 (ja) | 1988-11-07 | 1988-11-07 | 磁気記録媒体の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2661208B2 (ja) |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5778632A (en) * | 1980-10-30 | 1982-05-17 | Sekisui Chem Co Ltd | Manufacture of magnetic recording medium |
| JPH0685211B2 (ja) * | 1985-05-13 | 1994-10-26 | 富士写真フイルム株式会社 | 磁気記録媒体の製造方法 |
-
1988
- 1988-11-07 JP JP63280796A patent/JP2661208B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH02128322A (ja) | 1990-05-16 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |