JPH02125889A - 開放気泡構造体の製造方法、多孔質開放気泡金属構造体、バッテリー電極およびバッテリー電極の製造方法 - Google Patents

開放気泡構造体の製造方法、多孔質開放気泡金属構造体、バッテリー電極およびバッテリー電極の製造方法

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JPH02125889A
JPH02125889A JP1154410A JP15441089A JPH02125889A JP H02125889 A JPH02125889 A JP H02125889A JP 1154410 A JP1154410 A JP 1154410A JP 15441089 A JP15441089 A JP 15441089A JP H02125889 A JPH02125889 A JP H02125889A
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、米国特許出願用０６７９４１．１８５号（１
９８６年１２月１２日出願）に関連し、更に米国特許第
４．３５１，８５５号、第４．４３８，１５３号、第４
．５０５．９．４８号、第４，５３７．７９４号、第４
゜５４８　、６７０号、第４，５６５，７１１号、第４
，５６９゜３０７号および第４，５７５，４０１号中に
開示された内容に関連している。
本発明は高表面積／容積比を有するオープンワーク（開
放気泡）構造体、粗および微孔質構造体に関し、そして
通常のオープンワーク構造体であって、隙間、小室また
は細孔の境界を形成している構造体の壁に関して、高い
顕微鏡的不規則度により特徴づけられている構造体に関
する。この種の構造体は金属（元素金属および合金）か
ら構成されるのが好ましいが、また半導体あるいはセラ
ミックスから成っていてもよい。
本発明は更にこの種の構造体から形成されたバッテリー
の電極、この種の構造体から構成されるか、またはこの
種構造体を利用するその他の製品、ならびにこの構造体
の改良された製造方法に関する。
これらの製品およびその一部としてオープンワーク構造
体が用いられる典型的な製品は、Ｎｉ　−Ｃｄ電池、ア
ルカリ電池および燃料電池の陽極のような、大きい比表
面積および高多孔度を利用するもの、電気分解の電極、
触媒用担体および工業用、自動車用および家庭用触媒な
らびに構造体の毛管現象および流れ分散性を利用する加
熱装置に用いられるガスセンサー　アトマイザ−および
ガス化装置としであるいはそれら装置に使用されるもの
、気液分離における液体、液滴およびミスト分離装置と
して、フィルターとして、音響ダンパーとして、またシ
ーラー製品として使用されるもの等である。
網状金属構造体は従来から数多くの目的のために生産さ
れて来た。たとえば、この種の構造体は電池内の支持材
として使用するのに適した導電性網状構造を提供するこ
とができ、これに活性物質が塗布され、またそれは支持
材により適所に保持されるか、あるいは支持材上に形成
される。
構造体の多孔度に応じて、それらを篩、スクリーン等と
して使用してもよい。
多孔質および網状金属構造体ならびに他の物質、たとえ
ば合金、半導体またはセラミックスは更に、その網状構
造が示す比較的高い表面積対容積比のために、活性材料
として、バッテリーの電極として、あるいは触媒物質ま
たは触媒支持体として使用することができる。
過去に、これら構造体は化学的蒸着、無電解めっき、お
よび繊維状支持体、たとえば合成樹脂繊維から成る不織
布またはニードル加工織布に対して、これを熱分解して
繊維を減らし、そして網状金属構造体を残留させること
が出来る電気めっき技法によって生成されて来た。
電気めっき技法を用いる場合には、電気めっき工程が作
動するのに充分な導電性が得られるように、支持材を前
処理することが必要である。支持体に金属物質が電気め
っきにより設けられても、あるいはこの目的のために使
用されて来た他の従来の蒸着技法により設けられても、
生成された析出層は非常に規則正しいもの、すなわち顕
微鏡的レベルにおいて鋭い縁の付いた角度を伴う最小の
表面を有することになる傾向を有している。従って、先
行技術による網状金属構造体は比較的大きな表面積対容
積比を有してはいるが、この比率は製品の製造に利用さ
れた方法により制限される。
本発明者は、オープンワーク支持体上に多孔質構造体を
形成するように物質を蒸着させる目的で低温アーク蒸着
を利用すると、このようにして調製された生成物は熱分
解を受け、そして熱分解後に残留する構造体は凝集体に
焼結され、得られた製品は、と９わけ従来この種の網状
構造体の形成に利用されている電着技法および他の方法
によって得ることが出来るものよシも驚くべき高い表面
積対容積比により特徴づけられることを見出した。
本発明者による上述の特許出願および特許において説明
したように、開発したこれら技法はこの目的にとって理
想的であるように思われるが、本質的に多孔質な構造体
の深さ方向に関して金属およびその他の多孔質構造物質
を蒸着し得るであろうということは全く予期されていな
かった。
本発明の主目的は、高表面積対容積比を有する網状製品
の改良された製造方法を提供することである。
本発明の他の目的は、従来技術による電極構造体と比較
してよシ高い活性ならびに優れた機械的強度を有する電
池、とくにニッケル電池の電極の改良された製造方法を
提供することである。
本発明の更に他の目的は、性能の微調整が可能な網状構
造体、特に金属構造体の製造方法を提供することである
。
また、改良された網状あるいはオープンワーク構造体、
特例金属構造体であって、種々の目的について使用でき
、そして非常に経済的に、再現性を有し、かつ信頼性を
もって製造できる構造体を提供することも本発明の目的
の一つである。
以下に明らかとなるこれらおよび他の目的は、本発明に
よる網状構造体の製造方法において達成され、この方法
は、熱分解性材料からなるオープンワーク構造支持体、
好ましくは合成樹脂材料の熱分解性発泡体に対し、低温
アーク蒸着により、金属、半導体およびセラミックスか
らなる群から選択された少なくとも１種類の物質から成
るコーティングを設けてそのオープンワーク構造を保持
するコーティング生成物を形成する工程を含むことを特
徴とするものである。最良の実施態様において、その原
料は金属、たとえば元素態金属または合金でおる。
次いで、このコーティング生成物を熱分解してその合成
樹脂支持体を熱的に破壊し、そして金属、半導体および
セラミックスから成る群から選択された物質の網状構造
体を形成し、次にこれを焼結して機械的に安定かつ凝集
した、不規則な表面を備えた高度に分岐した構造体を提
供する。成る場合には熱分解工程を省略してもよい。
本発明の特徴によれば、支持体は好ましくは低温熱分解
可能なオープンワーク構造の発泡プラスチック支持体で
あシ、これは、たとえば表面活性フィールド、たとえば
電子ビームフィールドで受けるような前処理を施してお
くことにより、あるいは溶剤蒸気に暴露することにより
、適用すべき物質の接着を促進させてもよい。この支持
体を一対の電極と近接させ、電源、たとえば直流電源を
電極間に接続した状態で、一方の電極を他方と接触させ
たシ引き離したシすることによりその電極間に低電圧、
高電流アークを発生させ、この支持体の厚さ全体に亘り
前記物質をコーティングする。
驚いたことにはこの支持体物質は、熱に対し非常に敏感
である一方、この蒸着によって破壊されたシ、あるいは
溶融されることはない。
この塗布工程は減圧された空間、好ましくは真空に維持
された空間内で行われ、これは１０−”）−ル未溝の圧
力が好ましく、そして通常は１０−８乃至１０−’　）
−ルである。この空間は不活性ガスまたは反応性ガス雰
囲気を含むことが出来、後者は化合物、′たとえば半導
体またはセラミックスが蒸着される場合である。電源は
電極間に２０乃至１５０ボルトの電圧を印加することが
可能で、その供給源は４０乃至１５０アンペアの電流を
送シ出せるものであるべきである。
少なくとも一方の電極は、蒸着すべき物質の少なくとも
１種の元素、たとえばニッケルから構成されるべきであ
って、そして有利には両電極がニッケルから構成されて
いてもよく、このニッケルはアーク放電により徐々に蒸
発させられて蒸気状態に変化し、その蒸気が支持体上に
金属を析出することを許容する。
この技術は殆どの感温性合成樹脂にとって非常に有用で
ある。それは金属蒸着の結果として生ずる支持体におけ
る著しい温度上昇が全くないからである。
支持体として支配的に用いられる発泡体は、比較的容易
に熱的に分解され得る物質であるべきである。本発明者
は網状可撓性エステル型ポリウレタン発泡体が効果的な
結果をもたらすことを見出している。この種の発泡体の
気泡寸法は広い範囲、すなわち１インチ当た多気泡１０
乃至１００個に亘って制御可能である。この生成物は気
泡寸法に関連しない密度を有することができ、そしてそ
れはこの範囲を超える１立方フイート当たシ約１．７５
ボンド（約２８に９７ｍ”）である。
コーティングすべき発泡体の厚さは、主として調製すべ
き製品の厚さに左右されることになシ、そして本発明の
コーティング法が、完全に予期しない方法において支持
体の可成シの厚さに対して物質の均一な蒸着層を許容し
得るというのは全く驚くべきことである。たとえば、１
１Ｊ乃至３０鰭以上の範囲におよぶ厚さで発泡体をコー
ティングすることができる。
好ましいのはその発泡体が米国特許第４．６７０゜４７
７号中に記載されたタイプのものでアシ、そしてこの特
許または米国特許第４．６５６．１９２号中に記載され
た方法により製造されることが好ましい。
上記のようなポリウレタン発泡体が、開放気泡性発泡体
構造を保持するような方法でポリ塩化ビニルでコーティ
ングされたものもまた使用可能である。密度が高くなる
ようにあらかじめ圧縮した上記のポリウレタン発泡体の
ような、永久圧縮網状発泡体も利用可能である。
本発明の特徴によれば、開放気泡網状構造体は、焼結に
引き続いて、金属構造体および支持材発泡体の元の厚さ
未満の所望厚さに圧縮することが可能である。この圧縮
工程は、形成すべき構造体の薄いシートを形成するのを
許容するので、全体的な密度は増加する。本発明者は圧
縮構造体の多孔度は、圧縮前の構造体の多孔度から著し
く減少するものではないことを最良の測定、たとえば構
造体を通過するガスの流れから確信している。この圧縮
は、たとえば適切な材料から製造される薄い触媒シート
を提供することができる。
この発明の方法は、ニッケル電極構造体、特にニッケル
ーカドミウム電池およびアルカリ電池に使用する電極構
造体の製造に適していることが判明している。しかし、
ニッケル以外の金属から成る構造体、または種々の割合
でニッケルを他の金属と組み合わせた構造体を提供する
のに有利である。本発明者は種々の方法において比較的
容易に蒸着される金属の組成物を選択することが可能で
あることを見出している。一つのアプローチは、蒸着す
べき組成物から成る犠牲電極を提供することである。他
のアプローチは、異なった金属から成る２つの電極を近
接させ、そしてアークが両電極から交互に選択的に物質
を蒸発させて、２種類の金属が相当する割合をもって蒸
着層を生じる時間づつ、２つの電極に印加される直流源
の極性を逆転させることである。
もし、たとえばコーティングの支配的な金属がニッケル
であるべき場合には、犠牲電極がニッケルである前記し
た一対のアーク発生電極の他に、同じ対向電極とともに
、あるいは他の対向電極とともにアークを発生させて、
コーティングを支持体上に析出させる蒸気相に他の金属
を対応する量で与えるために、他の金属から成る１つ以
上の付加的な電極を使用してもよい。
熱分解工程に関して、本発明者は、熱分解が空気の存在
下に電気炉内で最良の結果をもって行われ、その空気は
電気炉に対してポリウレタン発泡体の燃焼および熱崩壊
を許容するのに足る速度をもって供給することが出来、
その結果残留物は全く存在しないか、微々たるものにな
ることを見出した。
比較的薄いコーティング支持体、たとえば数Ｕのオーダ
ーの厚さを有するものに関して、熱分解炉内の温度は約
３５０℃、そして滞留時間は２分間で足りる。よシ厚い
コーティング支持体については、よシ長い時間および若
干高い温度が必要となる。
焼結は酸素を排除して、たとえば真空炉内、不活性ガス
または還元性ガス雰囲気中で、使用される金属の融点未
満の温度で、かつ圧力を加えることなく金属が焼結され
る温度で有利に行われ、還元性条件が適用されてもよい
。
たとえば、ニッケルの場合には温度７５０乃至１２５０
℃を１５分のオーダーで採用すればよい。
得られた生成物は言及したように、直接たとえば、Ｎｉ
　Ｃｄｓアルカリおよびその他の電池のバッテリー用電
極として使用することができる。
所望により、熱分解および焼結に先立って、あるいはそ
れらに引き続いて、本発明者による米国特許出願または
特許の原理による低温アーク蒸着を利用して他の物質の
コーティングを金属に設けてもよい。
本発明の上記および他の目的、特徴ならびに効果は添付
図面を参照する以下の説明からよシ容易に明らかとなる
であろう。
添付図面の第１図において、本発明の方法を実施するた
めの装置が示されてお夛、この装置は真空チャンバ１０
を包含し、その中で支持体１１、たとえば前述の網状開
放細孔の可撓性ポリウレタン発泡体が、たとえば米国特
許第４．６７０．４７７号または米国特許第４．６５６
，１９６号の方法により調製される。この支持体１１は
符号１２により線図的に示されるサポート上に取付けら
れる。
真空チャンバ１０内の支持体に近接して、一対の電極、
すなわち固定されている電極１３、そして発泡体上に蒸
着すべき金属、たとえばニッケルから構成されていても
よい電極１４が設けられている。
このニッケル電極１４は、電極送シ装置１５によって電
極１３から引き離すことによってアークを発生させるこ
とができる。
このチャンバ１０は高真空ポンプ１８により、コーティ
ング作業中に圧力１０−８乃至１０−’　）−ルに減圧
することができる。
電極間に接続されているのは直流電源１９であって、こ
れは２０乃至１５０ポルト、４０乃至１５０アンペアの
電流を送シ出すことができる。
動作を説明すると、アークが電極間に発生され、これが
電極１４からニッケルを優先的に蒸発させ、粗い構造の
ポリウレタン発泡体１１上に析出するニッケルは、開放
気泡構造体内において、その厚さによってポリウレタン
発泡体の表面を完全にコーティングする。
ニッケルでコーティングしたポリウレタン発泡体は、電
気炉２０内で空気の存在下で、ポリウレタンの骨格を完
全に破壊するが、ニッケルのオープンワークは残留させ
る時間に亘り熱分解を受ける。
次いで、ニッケルのオープンワークに対し、真空ポンプ
２２を備えるか、あるいは還元ガスとしての水素を伴い
または伴わない不活性ガスとしてのアルゴンを含有する
炉２１内で真空にし、そして前記ニッケルオープンワー
ク構造体を凝集させ、かつ機械的に安定とするに足る時
間に亘り焼結する。所望により、このようにして得られ
たニッケル構造体の厚さを、引き続く工程２３において
圧延またはプレスすることにより調整して２４において
製品を得ることもできる。
このようにして製造されたニッケル構造体は、Ｎｉ−Ｃ
ｄ電池およびアルカリ電池用の電極材料として非常に満
足すべきものであることが判明しておシ、金属構造体は
導電性サポートとして供され、これに対して他の電極材
料を触媒または触媒キャリヤーとして、またフィルター
材料として適用してもよい。
第２図は本発明の改良された材料の連続的な金属ウェブ
を製造する装置を示している。
第２図には、真空蒸着工程３１に供給される網状開放気
泡ポリウレタン発泡体から成るロール３０が示されてお
シ、この工程においてアーク発生電極３２および３３は
ウェブの上下に配置され、そしてこれらは本発明者の前
述の特許出願および特許中に記載されているように、ウ
ェブに大面積コーティングを形成することができる。
真空ロック３４および３５は、高真空ポンプ３６により
生成されたチャンバー３１内の真空を保持するための補
助を行う。金属、たとえばニッケルによるコーティング
を経た後、発泡体ウェブは熱分解炉４０を通過する。こ
れは電気炉であってもよく、空気含有雰囲気中で作動し
、ここにおいて熱分解が行われてポリウレタンサポート
を完全に破壊する。得られた金属ウェブ４１は開放気泡
構造を有し、また所望によクセラミックサポート４２上
に支持されてもよい。
次いで、ウェブ４１は焼結のために真空炉４３へ連続し
て入って行く。真空炉の代わシに、保護雰囲気を有して
作動する電気炉を使用してもよく、この保護雰囲気は焼
結のための不活性ガスまたは還元性ガスである。
炉４３からウェブは、ロール４５に巻回される前に、符
号４４で示される冷却工程を通過する。
勿論、中間の圧縮工程を、所望によりオープンワーク金
属ウェブの厚さを減少させるために、コイラ４５と冷却
工程４４との間に設けてもよい。
第３図および第４図中に、本発明の原理により調製され
たニッケルのオープンワーク発泡体構造と、電着法によ
るものと信じられる市販のオープンワーク発泡体構造を
それぞれ示す。後者の発泡体は基本のニッケル骨格から
２．３個の節または隆起を有し、そして一般に丸くなっ
ておシ、かつ比較的スムーズであるのと対照的に、本発
明の方法により調製されたオープンワークのニッケル構
造体（第３図）上の隆起および突起は数が多く、幾分角
度が付いておシ、かつ粗いので、そのニッケル構造体の
表面積対容積比の顕著な増大をもたらす。双方の写真は
３５ＫＶで撮影した走査電子顕微鏡写真で、互いに同じ
条件下で２００倍に拡大したものである。
具体例 ニッケルーカドミウム電池の電極材料として使用スるた
めのニッケルのオープンワーク構造体を、細孔８０個／
インチの開放気泡可撓性網状エステル型ポリウレタン発
泡体であって、密度約１．７５ボンド／立方フイートお
よび厚さ約１／１６吋を有する発泡体に対し、１Ｏ−５
）−ルの真空が適用されている真空チャンバ内でニッケ
ル電極を用いて低温アーク蒸着を施すことにより調製す
る。印加電圧は４０ボルト、そしてアーク電流約７５ア
ンペアが生じる。この工程は支持体がその完全な厚さに
コーティングされるまで行われる。
ニッケルを２０乃至７０ｇ／平方フィート（約２１７〜
７６０　ｇ／ｍ２）でコーティングすることが可能であ
ることが判明しているが、ニッケル約５０ｇ／平方フィ
ート（約５４０ｇ／ｍ’）をもって塗布した金属−塗布
ポリウレタン発泡体を空気の存在下電気炉内で３５０℃
、２分間熱分解し、そしてポリウレタン構造体の完全な
分解が明らかとなるまで行う。
次いで、その支持体を真空炉内、９５０℃乃至１２５０
℃、好ましくは約１１００℃で５乃至６０分、好ましく
は１５分程度の時間に亘り焼結する。このニッケル構造
体は９５％に達する多孔度と、第３図の走査電子顕微鏡
写真中に示された骨格構造を有している。
【図面の簡単な説明】
第１図は本発明方法を実施するための装置を示す、一部
をブロック図として示す立面図、第２図は本発明の方法
を行うだめの他の装置を示す線図、第３図および第４図
は本発明ならびに電着によって加工された構造体をそれ
ぞれ示す走査電子顕微鏡写真であって、第１図のものは
本発明の原理を利用した製品、第２図のものは現在市販
されている製品を比較のために示したものである。 １０・・・真空チャンバ、１１・・・支持体、１２・・
・サポート、１３．１４・・・電極、１９・・・直流電
源、２０・・・電気炉、３２．３３・・・アーク発生電
極。 特許出願人　　憫パー・チクノロシーズ・インコールイ
テッド代理人弁理士　１）　澤　　博　　昭 （外２名） 持１、′［庁長官殿 発明の名（示 高表面積／容積比構造体およびその製造方法３、補正を
する者 事件との関係　特許出願人 １１−所 ’Ａ　　ｔ：＋、　　　ペイパー・チクノロシーズ・イ
ンコーホレイテッド補正の対象 ６、補正の内容 （１）明細書第２４頁第６行〜第９行の「構造体をそれ
ぞれ示す・・・ものである。」を「構造体の金属組織を
示す走査電子顕微鏡写真であって、第３図のものは本発
明の原理にもとづく製品、第４図のものは現在市販され
ている製品を比較のために示したものである。」に補正
する。 （２）第３図および第４図の浄書（内容に変更なし）。 手 続 補 正 書 （方式） １、事件の表示 特覇平１−１５４４１０号 ２、発明の名称 高表面積／容積比構造体およびその製造方法３、補正を
する者 事件との関係

Claims (15)

    【特許請求の範囲】
  1. （１）開放気泡構造体の製造方法であって、（ａ）熱分
    解可能な合成樹脂のオープンワーク支持体の表面および
    内部に、金属、半導体およびセラミックスからなる群か
    ら選ばれた少なくとも１種の物質を、少なくとも一方が
    前記物質の少なくとも１つの元素を含む一対の電極を前
    記支持体に接近させること、前記両電極間に電気アーク
    を発生させて、前記一方の電極から前記元素を蒸発させ
    るとともに前記支持体に前記物質を蒸着させるように前
    記両電極を接触させるまで前進させること、および前記
    支持体が前記電極と隣接して配置されている空間を排気
    すること、によってコーティングする工程、 （ｂ）ついで前記支持体を熱分解して、前記工程（ａ）
    で前記支持体上に蒸着された前記物質から主としてなる
    開放気泡構造のスケルトンを形成する工程、および （ｃ）前記スケルトンを焼結して、前記開放気泡構造を
    構成する凝集体とする工程、 とを備えた方法。
  2. （２）その多孔度を維持しながら前記金属開放気泡構造
    体を圧縮して厚さを減少させる工程を含んで成る請求項
    １記載の方法。
  3. （３）工程（ａ）が、圧力１０＾−＾３トール未満の真
    空を前記工程に対して適用し、前記電極間に２０乃至１
    ５０ボルトの電圧を印加し、４０乃至１５０アンペアの
    アーク電流を供給することにより遂行される請求項１記
    載の方法。
  4. （４）前記サポートが網状合成樹脂発泡体材料である請
    求項１記載の方法。
  5. （５）前記発泡体材料がポリウレタン発泡体である請求
    項４記載の方法。
  6. （６）前記元素が、電気化学的電池用の電極を生成し得
    る金属である請求項１記載の方法。
  7. （７）前記金属がニッケルである請求項６記載の方法。
  8. （８）前記熱分解が空気の存在下、温度約３５０℃にお
    いて、前記サポートを実質的に完全に除去し得る時間に
    亘り行われる請求項１記載の方法。
  9. （９）前記焼結が真空炉内で空気の不存在下、または不
    活性ガス中あるいは還元性雰囲気中において９５０℃乃
    至１２５０℃の温度で前記本体を構造的に自己支持状態
    に焼結し得る時間に亘り行われる請求項８記載の方法。
  10. （１０）工程（ａ）において前記サポート上に２０乃至
    ７０ｇ／平方フィートで金属が蒸着される請求項１記載
    の方法。
  11. （１１）請求項１記載の方法により製造された多孔質オ
    ープンワーク金属構造体。
  12. （１２）請求項１記載の方法により製造された多孔質ニ
    ッケルオープンワーク構造体の形態のバッテリー電極。
  13. （１３）真空蒸着、熱分解および焼結が前記サポートの
    前進するウェブに対し連続的に行われて前記開放気泡金
    属構造体のウェブを連続的に生成させる請求項１記載の
    方法。
  14. （１４）バッテリー電極の製造方法であって、（ａ）直
    線１インチ当たり１０から１００個の気泡を有する開放
    気泡網状ポリウレタン発泡体の支持体に対して、１０＾
    −＾３トールまでの圧力に排気された空間内で、少なく
    とも一方がニッケルからなる一対の電極を接近させ、こ
    の両電極間に２０から１５０ボルトの電圧で４０から１
    ５０アンペアの電流を流してニッケルを蒸発させ、前記
    支持体の表面および内部にニッケルを蒸着させて、ニッ
    ケルでコーティングした支持体を形成する工程、 （ｂ）前記工程（ａ）における前記ニッケルのコーティ
    ングにつづいて電気炉内で約３５０℃の温度で前記支持
    体を熱分解させて開放気泡構造のニッケル部材を形成す
    る工程、および （ｃ）前記開放気泡構造のニッケル部材を９５０℃から
    １２５０℃の温度で焼結して凝集した開放気泡ニッケル
    構造体を形成する工程、 を備えた方法。
  15. （１５）開放気泡構造体の製造方法であって、（ａ）熱
    分解可能な合成樹脂のオープンワーク支持体の表面およ
    び内部に、金属、半導体およびセラミックスからなる群
    から選ばれた少なくとも１種の物質を、少なくとも一方
    が前記物質の少なくとも１つの元素を含む一対の電極を
    前記支持体に接近させること、前記両電極間に電気アー
    クを発生させて、前記一方の電極から前記元素を蒸発さ
    せるとともに前記支持体に前記物質を蒸着させるように
    前記両電極を接触させるまで前進させるとと、および前
    記支持体が前記電極と隣接して配置されている空間を排
    気すること、によってコーティングする工程、および （ｂ）前記の蒸着された物質を焼結して、前記開放気泡
    構造を構成する凝集体とする工程、とを備えた方法。
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