JPH021227B2 - - Google Patents

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JPH021227B2
JPH021227B2 JP13694881A JP13694881A JPH021227B2 JP H021227 B2 JPH021227 B2 JP H021227B2 JP 13694881 A JP13694881 A JP 13694881A JP 13694881 A JP13694881 A JP 13694881A JP H021227 B2 JPH021227 B2 JP H021227B2
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JP
Japan
Prior art keywords
crucible
evaporation
producing
degrees
insulating material
Prior art date
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Expired
Application number
JP13694881A
Other languages
English (en)
Other versions
JPS5776182A (en
Inventor
Puraderu Gyuntaa
Meraa Geruto
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BEBU BANTOSHUTAARUKONBINAATO HERUMAN MAATERUN
Original Assignee
BEBU BANTOSHUTAARUKONBINAATO HERUMAN MAATERUN
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Filing date
Publication date
Application filed by BEBU BANTOSHUTAARUKONBINAATO HERUMAN MAATERUN filed Critical BEBU BANTOSHUTAARUKONBINAATO HERUMAN MAATERUN
Publication of JPS5776182A publication Critical patent/JPS5776182A/ja
Publication of JPH021227B2 publication Critical patent/JPH021227B2/ja
Granted legal-status Critical Current

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Classifications

    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F27—FURNACES; KILNS; OVENS; RETORTS
    • F27D—DETAILS OR ACCESSORIES OF FURNACES, KILNS, OVENS, OR RETORTS, IN SO FAR AS THEY ARE OF KINDS OCCURRING IN MORE THAN ONE KIND OF FURNACE
    • F27D1/00—Casings; Linings; Walls; Roofs
    • F27D1/16—Making or repairing linings increasing the durability of linings or breaking away linings
    • F27D1/1626—Making linings by compacting a refractory mass in the space defined by a backing mould or pattern and the furnace wall
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
    • C23C14/24—Vacuum evaporation
    • C23C14/243—Crucibles for source material
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F27—FURNACES; KILNS; OVENS; RETORTS
    • F27B—FURNACES, KILNS, OVENS, OR RETORTS IN GENERAL; OPEN SINTERING OR LIKE APPARATUS
    • F27B14/00—Crucible or pot furnaces
    • F27B14/08—Details peculiar to crucible or pot furnaces
    • F27B14/10—Crucibles
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F27—FURNACES; KILNS; OVENS; RETORTS
    • F27B—FURNACES, KILNS, OVENS, OR RETORTS IN GENERAL; OPEN SINTERING OR LIKE APPARATUS
    • F27B14/00—Crucible or pot furnaces
    • F27B2014/002—Smelting process, e.g. sequences to melt a specific material
    • F27B2014/004—Process involving a smelting step, e.g. vaporisation

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  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Physical Vapour Deposition (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、蒸発用るつぼを製造する方法に関
し、さらに詳しく言えば、とくに電子ビームを使
用した蒸着装置に用いられるセラミツク製るつぼ
を製造する方法に関する。
蒸発用るつぼは、とりわけ、鋼の帯材にすぐれ
た耐食性を与えるため、電子ビームを用いて高真
空の中で連続的に移動する鋼の帯材に他の金属材
料の薄い層を蒸着させるよう構成された装置に使
用される。たとえば、銅、黒鉛またはセラミツク
材料等のいろいろな材料から作られたいくつかの
蒸発用るつぼがすでに公知である。
エーデルクラウンド（Edelkround）から作ら
れたるつぼ（WP 77385）は比較的安価に作るこ
とができ、たとえば、アルミニウムを蒸発させる
のに化学的にもつとも適している。この種の蒸発
用の容器は押し固め法で作られているかあるいは
使用されるバインダーに応じて流し込み、揺り動
かし、圧搾等により成形され、使用の前に乾燥さ
れるかあるいは乾燥のうえ焼成される。
しかし、従来の蒸発用るつぼの欠点は、たとえ
ば、30分間当り1500度Ｋのように温度変化が大き
い場合、亀裂が生じ、使用中、液状のアルミニウ
ムが流れ出すことである。蒸着装置の使用を始め
たときにこのような大きい温度変化が蒸発用るつ
ぼのまわりにみられる。したがつて、この種のる
つぼの寿命は15から30時間どまりである。
したがつて、本発明は、蒸発用るつぼの使用寿
命を伸ばし、もつて蒸着装置全体の処理能力を高
めることを意図したものである。
しかして、本発明の上記目的は、るつぼインサ
ートと、断熱材と、耐熱性を有する非磁性鋼から
作られたケーシングより成り、るつぼインサート
とケーシングの間に前記断熱材を押し固め、しか
るのち乾燥、焼成することにより蒸発用るつぼを
製造する方法であつて、るつぼスリーブと蒸発用
るつぼインサートの間でるつぼインサートに流動
状の耐火コンクリートをライニングし、引き続き
出来上がつたるつぼを空気に当てて乾燥し、しか
るのち加熱炉の中で加熱状態を周期的に制御しな
がら1200度Ｋで徐々に加熱、焼成し、1000度Ｋを
下回つた温度で炉中に放置しておくことによつて
達成される。
このような方法は、蒸発用るつぼの製造に関
し、一般的に知られている理論的な検知に相反し
ている。
なぜなら、するぼインサートは、一般に約2200
度Ｋで焼成されていて、焼成後湿気に接触させて
はならないのに対し、本発明では、するぼインサ
ートにライニングを施した後出来上がつたるつぼ
を空気に当てて乾燥し、しかる後、周期的な制御
工程を経て加熱炉の中で1200度Ｋで徐々に加熱、
焼成し、加熱炉の中で1000度Ｋを下回つた温度に
放置しておくからである。
以下、本発明の実施例について本発明を詳細に
説明する。
蒸発用るつぼインサートをるつぼスリーブの中
にセツトし、機械的に安定な特性を有し、耐火度
が約1500から1600度Ｋにある断熱材である流動性
の耐火コンクリートより成るライニング層を底と
側壁に設けたあと、出来上がつたるつぼを150か
ら200時間かけて比較的高い湿度をもつた空気中
でしかも徐々に湿度を下げながら乾燥させる。こ
の処理段階が終わつたあと、加熱炉の中でるつぼ
を熱処理する。周期的な加熱制御工程を経てるつ
ぼを1200度Ｋの温度まで加熱し、焼成する。周期
的な焼成段階の中に40から60時間の停止期間が含
まれている。1200度Ｋでの焼成工程が終わつたあ
と、加熱炉内の温度を1000度Ｋを下回つたレベル
に下げ、出来上がつた焼成ずみのるつぼを炉中に
放置しておく。
この技術が従がつて処理された蒸発用るつぼは
ただちに生産の用に供することができ、しかも蒸
着の間、沸騰現象、ガスによる破裂あるいは化学
的な反応が生じることがない。この方法に従がつ
て製造されたるつぼの使用寿命は300から600時間
の範囲にある。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 １ るつぼインサートと、断熱材と、耐熱性を有
    する非磁性鋼から作られたケーシングより成り、
    るつぼインサートとケーシングの間に前記断熱材
    を押し固め、しかるのち乾燥、焼成することによ
    り蒸発用るつぼを製造する方法であつて、るつぼ
    スリーブと蒸発用るつぼインサートの間でるつぼ
    インサートに流動状の耐火コンクリートをライニ
    ングし、引き続き出来上がつたるつぼを空気に当
    てて乾燥し、しかるのち加熱炉の中で加熱状態を
    周期的に制御しながら1200度Ｋで徐々に加熱、焼
    成し、1000度Ｋを下回つた温度で炉中に放置して
    おくことを特徴とする蒸発用るつぼを製造する方
    法。 ２ ライニング処理をほどこしたあと、比較的湿
    度の高い空気に当てて徐々に湿度を下げながら
    150から200時間かけて出来上がつたるつぼを乾燥
    することを特徴とする特許請求の範囲第１項記載
    の蒸発用るつぼを製造する方法。 ３ 周期的な加熱制御工程の中に40から60時間の
    停止段階が含まれていることを特徴とする特許請
    求の範囲の第１項または第２項記載の蒸発用るつ
    ぼを製造する方法。
JP13694881A 1980-09-10 1981-08-31 Manufacture of evaporation crucible Granted JPS5776182A (en)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DD22381280 1980-09-10

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS5776182A JPS5776182A (en) 1982-05-13
JPH021227B2 true JPH021227B2 (ja) 1990-01-10

Family

ID=5526221

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP13694881A Granted JPS5776182A (en) 1980-09-10 1981-08-31 Manufacture of evaporation crucible

Country Status (5)

Country Link
JP (1) JPS5776182A (ja)
BE (1) BE890260A (ja)
DE (1) DE3128099A1 (ja)
FR (1) FR2489949A1 (ja)
LU (1) LU83617A1 (ja)

Families Citing this family (2)

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FR2329612A1 (fr) * 1975-10-28 1977-05-27 Centre Rech Metallurgique Materiau refractaire ameliore et procede pour sa fabrication

Also Published As

Publication number Publication date
DE3128099A1 (de) 1982-05-13
LU83617A1 (de) 1982-01-21
FR2489949A1 (fr) 1982-03-12
JPS5776182A (en) 1982-05-13
BE890260A (fr) 1982-01-04

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