JPH02118603A - カラーフィルタの製造方法 - Google Patents
カラーフィルタの製造方法Info
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- JPH02118603A JPH02118603A JP63273493A JP27349388A JPH02118603A JP H02118603 A JPH02118603 A JP H02118603A JP 63273493 A JP63273493 A JP 63273493A JP 27349388 A JP27349388 A JP 27349388A JP H02118603 A JPH02118603 A JP H02118603A
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Landscapes
- Optical Filters (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、カラーテレビ、カラーカメラ及びカラー表示
デバイス、カラー撮像デバイス等に使用されるカラーフ
ィルタの製造方法に関するものである。
デバイス、カラー撮像デバイス等に使用されるカラーフ
ィルタの製造方法に関するものである。
従来の技術
一般に、カラーテレビ、カラーカメラ等に使用されるカ
ラーフィルタは、赤、緑、青等の三色よりなる画素がス
トライブ状またはマトリックス状に定められたピッチで
配列されており、特にコントラストを高めるために三色
の画素の間に、黒色の細いストライプまたは、グリッド
（直交格子）を用いている。
ラーフィルタは、赤、緑、青等の三色よりなる画素がス
トライブ状またはマトリックス状に定められたピッチで
配列されており、特にコントラストを高めるために三色
の画素の間に、黒色の細いストライプまたは、グリッド
（直交格子）を用いている。
従来のカラーフィルタの製法としては、ガラス基板上に
光硬化性樹脂をスピンナーにより塗布し、乾燥させた後
、この試料を転写したいパターンを描画したマスクを用
いて露光し、所要のパターン部（画素）を光硬化させて
硬化樹脂部を得、後に染料によって着色するか、この染
色工程に付帯する不良回避もしくはコスト低減の為、予
め染料または顔料を前記光硬化性樹脂に添加した材料を
用いている。ここで黒、赤、緑、青等の各色のバターニ
ング製膜は前記工程を複数回くりかえしてカラーフィル
タを形成している（特開昭５７−１６４０７号公報参照
）。
光硬化性樹脂をスピンナーにより塗布し、乾燥させた後
、この試料を転写したいパターンを描画したマスクを用
いて露光し、所要のパターン部（画素）を光硬化させて
硬化樹脂部を得、後に染料によって着色するか、この染
色工程に付帯する不良回避もしくはコスト低減の為、予
め染料または顔料を前記光硬化性樹脂に添加した材料を
用いている。ここで黒、赤、緑、青等の各色のバターニ
ング製膜は前記工程を複数回くりかえしてカラーフィル
タを形成している（特開昭５７−１６４０７号公報参照
）。
発明が解決しようとする課題
しかしながら従来の方法では、黒色遮光部と画素が重な
り、突起を生じて平坦性を失い、この結果この上に製膜
される透明電極膜を断線させたり、液晶デバイスに使用
される場合、対向する電極を短絡し表示上の欠陥を生ぜ
せしめていた。
り、突起を生じて平坦性を失い、この結果この上に製膜
される透明電極膜を断線させたり、液晶デバイスに使用
される場合、対向する電極を短絡し表示上の欠陥を生ぜ
せしめていた。
これは、既に形成されたパターン（例えば黒色遮光部）
にさらに樹脂をスピンナーにより塗布して次のパターン
（例えば、赤色画素部）を形成する際に、塗布時、既形
成パターンが障壁となり樹脂の流動が阻害されて新たに
形成したいパターンの周囲の膜厚が不均一になり、特に
樹脂流動方向（回転中心より半径方向）に対して既形成
パターン前部の膜厚は厚くなることによることがわかっ
た。
にさらに樹脂をスピンナーにより塗布して次のパターン
（例えば、赤色画素部）を形成する際に、塗布時、既形
成パターンが障壁となり樹脂の流動が阻害されて新たに
形成したいパターンの周囲の膜厚が不均一になり、特に
樹脂流動方向（回転中心より半径方向）に対して既形成
パターン前部の膜厚は厚くなることによることがわかっ
た。
本発明はかかる点に鑑み、欠陥のない安定なパターンを
有するカラーフィルタを容易に製造する方法を提供する
ことを目的とする。
有するカラーフィルタを容易に製造する方法を提供する
ことを目的とする。
課題を解決するための手段
本発明は、上記課題を解決するため、透明な基材の上に
光硬化性樹脂を印刷版を用いて転写し、乾燥した後、フ
ォトマスクを用いて露光し、現像、硬化して、遮光パタ
ーンまたは、画素パターンを形成するものである。
光硬化性樹脂を印刷版を用いて転写し、乾燥した後、フ
ォトマスクを用いて露光し、現像、硬化して、遮光パタ
ーンまたは、画素パターンを形成するものである。
作用
本発明の上記方法によれば、印刷版を用いて光硬化性樹
脂を転写するので、樹脂の基材の平面方向の流動ムラに
起因する塗布膜厚のムラがなくなり、平坦性のすぐれた
被膜を形成でき、かつ寸法精度の高いマスクを用いて露
光しパターニングするので、突起のない高精度のカラー
フィルタを製造し得る。
脂を転写するので、樹脂の基材の平面方向の流動ムラに
起因する塗布膜厚のムラがなくなり、平坦性のすぐれた
被膜を形成でき、かつ寸法精度の高いマスクを用いて露
光しパターニングするので、突起のない高精度のカラー
フィルタを製造し得る。
実施例
以下、本発明の実施例を添付図面に基づいて説明する。
第１図〜第４図は本発明の製造方法の工程図であり、第
５図は本発明によるカラーフィルタの断面構造図である
。
５図は本発明によるカラーフィルタの断面構造図である
。
第１図（ａ）は塗布工程Ａで、インキっけローラ（図示
せず）または、インキつけ台（図示せず）により光硬化
性樹脂１（例えば、黒色遮光パターン形成用〉を、版胴
２に装着した印刷版３上に着肉した後、この印刷版３を
ガラス等の透明な材料よりなる基材４に押し付け、光硬
化性樹脂１を基材４の上に転移させることにより、第１
図（ｂ）に示すように光硬化性樹脂１を塗布する。樹脂
は、印刷版から基材に転移する際、分裂現象により樹脂
表面が乱れるが、樹脂のレベリング作用により平滑性が
保たれる。一方、従来のスピンナー塗布では、回転中に
樹脂の溶剤が蒸発し、樹脂の粘度が上昇しレベリングで
きない。また、スピンナー塗布では、滴下した樹脂の大
部分（約９５％）が飛散して無効になるのに比して、末
法では飛散することなく、かつパターン形成部のみ塗布
することが可能であり、樹脂の利用率は約１０倍に向上
できる。
せず）または、インキつけ台（図示せず）により光硬化
性樹脂１（例えば、黒色遮光パターン形成用〉を、版胴
２に装着した印刷版３上に着肉した後、この印刷版３を
ガラス等の透明な材料よりなる基材４に押し付け、光硬
化性樹脂１を基材４の上に転移させることにより、第１
図（ｂ）に示すように光硬化性樹脂１を塗布する。樹脂
は、印刷版から基材に転移する際、分裂現象により樹脂
表面が乱れるが、樹脂のレベリング作用により平滑性が
保たれる。一方、従来のスピンナー塗布では、回転中に
樹脂の溶剤が蒸発し、樹脂の粘度が上昇しレベリングで
きない。また、スピンナー塗布では、滴下した樹脂の大
部分（約９５％）が飛散して無効になるのに比して、末
法では飛散することなく、かつパターン形成部のみ塗布
することが可能であり、樹脂の利用率は約１０倍に向上
できる。
塗布後、プリベーク工程Ｂでホットプレート等により試
料５を加熱して溶剤を蒸発させ乾燥させ、第２図（ａ）
の露光工程Ｃで所望のパターンが描画されたマスク６を
介して、高圧水銀ランプより出射され光学系により均一
露光パワーで平行化された紫外光線で照射しマスクのパ
ターンを光硬化性樹脂１に焼きつける。ついで、現像工
程りで、非照射部の樹脂をエツチングして剥離させ、続
いて硬化工程Ｅて残っている光照射部の樹脂を熱的に硬
化させ、第２図（ｂ）に示すように１番目のパターンを
形成した試料７を作成する。
料５を加熱して溶剤を蒸発させ乾燥させ、第２図（ａ）
の露光工程Ｃで所望のパターンが描画されたマスク６を
介して、高圧水銀ランプより出射され光学系により均一
露光パワーで平行化された紫外光線で照射しマスクのパ
ターンを光硬化性樹脂１に焼きつける。ついで、現像工
程りで、非照射部の樹脂をエツチングして剥離させ、続
いて硬化工程Ｅて残っている光照射部の樹脂を熱的に硬
化させ、第２図（ｂ）に示すように１番目のパターンを
形成した試料７を作成する。
第２のパターン形成も同様に、第３図（ａ）に示すよう
に別の光硬化性樹脂８（例えば、赤色画素形成用）を、
版胴９に装着した印刷版１０上に着肉した後、この印刷
版１０を試料７に押し付け、第３図（ｂ）に示すように
光硬化性樹脂８を塗布する。以降、プリベーク工程Ｂで
試料１１をブリーベークし、第４図（ａ）の露光工程Ｃ
で第２のパターン（画素）が描画されたマスク１２を介
して露光し、マスクのパターンを光硬化性樹脂８に焼き
つける。ついで、同じく現像工程Ｄ、硬化工程Ｅを経て
、第４図（ｂ）に示すように１番目のパターンを形成し
た試料１３を作成する。
に別の光硬化性樹脂８（例えば、赤色画素形成用）を、
版胴９に装着した印刷版１０上に着肉した後、この印刷
版１０を試料７に押し付け、第３図（ｂ）に示すように
光硬化性樹脂８を塗布する。以降、プリベーク工程Ｂで
試料１１をブリーベークし、第４図（ａ）の露光工程Ｃ
で第２のパターン（画素）が描画されたマスク１２を介
して露光し、マスクのパターンを光硬化性樹脂８に焼き
つける。ついで、同じく現像工程Ｄ、硬化工程Ｅを経て
、第４図（ｂ）に示すように１番目のパターンを形成し
た試料１３を作成する。
第３、第４のパターン（例えば、緑色、青色画素パター
ン）形成も同様に、前記一連の工程を繰り返して第５図
に示すカラーフィルタ１４を作成する。
ン）形成も同様に、前記一連の工程を繰り返して第５図
に示すカラーフィルタ１４を作成する。
光硬化性樹脂としては、感光性樹脂に顔料を分散させた
ものが、パターン形成後染色工程が不要である点で望ま
しく、アクリロイド系感光樹脂より成る、例えば富士ハ
ントエレクトロニクステクノロジー社製の顔料充填レジ
スト（商標名カラーモザイク）を使用する。唯、透明の
フォトレジスト （例えば、光開始剤として、重クロム
酸）を使用して露光後、染料によって着色する、いわゆ
る染色法によるカラーフィルタに対しても、本発明が有
効な手段であることは同様である。
ものが、パターン形成後染色工程が不要である点で望ま
しく、アクリロイド系感光樹脂より成る、例えば富士ハ
ントエレクトロニクステクノロジー社製の顔料充填レジ
スト（商標名カラーモザイク）を使用する。唯、透明の
フォトレジスト （例えば、光開始剤として、重クロム
酸）を使用して露光後、染料によって着色する、いわゆ
る染色法によるカラーフィルタに対しても、本発明が有
効な手段であることは同様である。
発明の効果
以上述べたように本発明は、印刷版を使用して、転移に
基づく光硬化性樹脂の塗布を行なうので、塗布膜厚が平
坦な被膜を形成でき、かつ露光・現像によりバターニン
グするので、突起のない安定なパターンを有したカラー
フィルタを製造できる。
基づく光硬化性樹脂の塗布を行なうので、塗布膜厚が平
坦な被膜を形成でき、かつ露光・現像によりバターニン
グするので、突起のない安定なパターンを有したカラー
フィルタを製造できる。
また、印刷版により樹脂を選択的に塗布するので、樹脂
材料の使用率が高くなり、安価なカラーフィルタを提供
できる。
材料の使用率が高くなり、安価なカラーフィルタを提供
できる。
第１図〜第４図は本発明の一実施例のカラーフ１．８・
・・光硬化性樹脂、２．１０・・・印刷版、４・・・基
材、６、１２・・・マスク、 １４・・・カラーフィル
タ。 代理人の氏名 弁理士 粟野重孝 はか１名第１図 （ａ） 第２図 （ａ） 紫タト光線 （ｂ） （ｂ） 第 図 （ａ） （ｂ） 第４図 （ａ） （ｂ） 第 図
・・光硬化性樹脂、２．１０・・・印刷版、４・・・基
材、６、１２・・・マスク、 １４・・・カラーフィル
タ。 代理人の氏名 弁理士 粟野重孝 はか１名第１図 （ａ） 第２図 （ａ） 紫タト光線 （ｂ） （ｂ） 第 図 （ａ） （ｂ） 第４図 （ａ） （ｂ） 第 図
Claims (2)
- （１）透明な基材の上に光硬化性樹脂を印刷版を用いて
転写し、乾燥した後、フォトマスクを用いて露光し、現
像、硬化して、遮光パターンまたは、画素パターンを形
成することを特徴とするカラーフィルタの製造方法。 - （２）透明な感光性樹脂に黒、赤、緑、青色のうち一色
の色素材料を分散させた光硬化性樹脂を用いることを特
徴とする請求項１記載のカラーフィルタの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63273493A JPH02118603A (ja) | 1988-10-28 | 1988-10-28 | カラーフィルタの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63273493A JPH02118603A (ja) | 1988-10-28 | 1988-10-28 | カラーフィルタの製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02118603A true JPH02118603A (ja) | 1990-05-02 |
Family
ID=17528672
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63273493A Pending JPH02118603A (ja) | 1988-10-28 | 1988-10-28 | カラーフィルタの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02118603A (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63249802A (ja) * | 1987-04-07 | 1988-10-17 | Toshiba Corp | カラ−フイルタの製造方法 |
-
1988
- 1988-10-28 JP JP63273493A patent/JPH02118603A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63249802A (ja) * | 1987-04-07 | 1988-10-17 | Toshiba Corp | カラ−フイルタの製造方法 |
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