JPH02113143A - テーブル - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は微細構造物の測定装置及び加工装置におけるテ
ーブルに関する。

〔従来の技術〕

従来、この種のテーブルは第３図に示すように、ゴム、
バネ或いはダッシュボッドのような静的なダンパー９に
て慣性質量の大きなテーブル２を支持することにより、
ダンパー９で外的加振力を吸収し、テーブル２の慣性質
量で外乱に対する安定性を保ち、テーブルの振動を最小
限に抑えるような構造となっていた。

〔発明が解決しようとする課題〕

上述した従来のテーブルは外的加振力に対して静的に振
動を吸収することにより、テーブルの振動を抑えていた
ため、加振力に対するテーブルの振動を完全に抑制する
ことはできないという欠点があった。

さらに、従来のテーブルは、バネやダッシュボッドで構
成されるダンパーの共振周波数近傍での挙動は不安定に
なり、加速度振動のような加振力に対しては、共鳴現象
を引き起こす可能性があるという欠点があった。

本発明の目的は前記課題を解決したテーブルを提供する
ことにある。

〔発明の従来技術に対する相違点〕

上述した従来のテーブルは外的加振力に対し、受動的に
振動を緩和していたのに対し、本発明はテーブルの振動
による変位を測定し、自動的に変位を打ち消す方向に加
振する能動的ダンパーを利用して、テーブルを外的加振
力に対して定常的に安定に保つことができるという相違
点を有する。

〔課題を解決するための手段〕

前記目的を達成するため１本発明は微細構造物の測定或
いは加工用装置の被測定物或いは被加工物を固定するテ
ーブルにおいて、テーブル部の微小振動による変位をレ
ーザー光の進行波と反射波の位相比較により検出する検
出部と、該検出部の出力信号を処理し、増幅する増幅部
と、該処理した信号を圧電素子に加えて前記テーブル部
の振動を抑制するダンパー部とを有するものである。

〔実施例〕

以下、本発明について図を参照して説明する。

（実施例１） 第１図は本発明を顕微鏡に適用した実施例１を示す構成
図である。

図において、ゴムなどのダンパー９にて支持された基台
部７上に絶縁体からなる案内筒６を植設し、該案内筒６
にテーブル２を上下動可能に支持し、圧電素子３を案内
筒６とテーブル２との間に介装し、該圧電素子３の一方
の電極４をテーブル２に、また他方の電極５を案内筒６
にそれぞれ装着する。

また、テーブル２の上方位置に、レーザー光をテーブル
２の被測定物１上に照射するレーザー発振器１０が設置
され、レーザー光１１の光路中にハーフミラ−８を有し
、さらにハーフミラ−８に向き合せてハーフミラ−８の
反射光からレーザー光の進行波と反射波の位相比較によ
りテーブル２の微小振動による変位の検出と出力信号の
処理及び増幅を行う検出・増幅部１２がａ置されている
。１３は顕微鏡の対物レンズである。

実施例において、レーザー発振器１０で発生したレーザ
ー光１１はハーフミラ−８で分離され、検出・増幅部１
２に入力する。検出・増幅部１２はレーザー光１】の進
行波と反射波との位相差からテーブル２の変位を算出し
、変位に同期した逆相の信号を信号線１２ａ及び電極４
，５を介して圧電素子３に送る。

圧電素子３は送られた信号により発生する電界に同期し
て機械的歪を発生させ、その発生する歪によってテーブ
ル２の変位を打ち消す方向に上下する。上記一連の動作
により、本機能はテーブル２を外的加振力に対し安定に
する。

（実施例２） 第２図は本発明の実施例２を示す構成図である。

本実施例は電極４，５及び圧電素子３からなるダンパー
部にてプレーヤのモータ１６を直接支持させ、小型化、
小コスト化し、車載用のコンパクトディスクプレーヤー
或いはパーソナルコンピュータ用のハードディスク装置
に組み込むようにしたものである０図において、コンパ
クトディスク或いはハードディスク１５にレーザー発振
器１０より発生したレーザー光１１を照射し、反射波を
ハーフミラ−８を介して検出・増幅部１２に入力して測
距し、コンパクトディスク或いはハードディスク１５の
変位に逆比例した信号を信号線１２ａを介して電極４，
５に送る。電極４，５間に発生する電界により圧電素子
３に歪が発生し、モータ１６を、変位を打ち消す方向に
上下させる。上記一連の動作により、コンパクトディス
クプレーヤー或いはハードディスク装置は振動によるビ
ットエラーを軽減でき、再生の忠実度或いはデータの再
現性を確保できるという利点がある。

〔発明の効果〕

以上説明したように本発明は顕微鏡に応用することによ
り、外的加振による照準のズレ、視界のブレ等をなくす
ことができ、また、レーザー加工機に応用することによ
り、加工精度を上げることができる。さらに写真霞光器
に応用することにより、より微細な露光を行うことがで
きる。

また、本発明を応用する対象装置は一般に装置ａ置場所
自体に大掛りな防振設備を備えている場合が多く、従来
大額の設備費用を要したが、本発明を付加することによ
り、大規模な防振室を要せずして、装置単体で使用でき
るため、設置場所の自由度を大巾に増すと共に、設備コ
ストを大巾に減らすことができる。

さらに、半導体の製造ラインのようにエアブロ−やモー
タ等の加振環境下にさらされる装置についても、有効な
振動抑制効果が得られる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の実施例１を示す構成図、第２図は本発
明の実施例２を示す構成図、第３図は従来例を示す構成
図である。 １・・・被測定物　　　　　　２・・・テーブル３・・
・圧電素子　　　　　　４，５・・・電極６・・・案内
筒　　　　　　　７・・・基台部８・・・ハーフミラ−
９・・・ダンパーｌＯ・・・レーザー発振器　　　１１
・・・レーザー光１２・・・検出・増幅部　　　　１３
・・・対物レンズ１５・・・コンパクトディスク或いは
ハードディスク１６・・・モータ

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）微細構造物の測定或いは加工用装置の被測定物或
   いは被加工物を固定するテーブルにおいて、テーブル部
   の微小振動による変位をレーザー光の進行波と反射波の
   位相比較により検出する検出部と、該検出部の出力信号
   を処理し、増幅する増幅部と、該処理した信号を圧電素
   子に加えて前記テーブル部の振動を抑制するダンパー部
   とを有することを特徴とするテーブル。