JPH02106989A - 半導体レーザ装置 - Google Patents
半導体レーザ装置Info
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- JPH02106989A JPH02106989A JP26188388A JP26188388A JPH02106989A JP H02106989 A JPH02106989 A JP H02106989A JP 26188388 A JP26188388 A JP 26188388A JP 26188388 A JP26188388 A JP 26188388A JP H02106989 A JPH02106989 A JP H02106989A
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- monitor
- beams
- chip
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- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims description 5
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 abstract description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 239000002253 acid Substances 0.000 description 1
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 1
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Semiconductor Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この自明は多点゛rレイレーザ装置の独立モニターとし
た半導体レーザ装置に関するものである。
た半導体レーザ装置に関するものである。
第2図は従来の2点アレイレーザ装mを示す概略説明斜
視図であり1図において、(1)は2点アレイレーザチ
ップ(以下、 LDチップと略す’) 、 (2)はサ
ブマウント、 (3)はヒートシンク、(4)i!ステ
ム。
視図であり1図において、(1)は2点アレイレーザチ
ップ(以下、 LDチップと略す’) 、 (2)はサ
ブマウント、 (3)はヒートシンク、(4)i!ステ
ム。
(5a) Viレーザ光A、(5b)はレーザ光B&(
6a)はモニター光A、(6b)Viモニター光B、(
7)はモニター用PD、(8)はLDチップ(1)の前
端面、(9)はLDチップ(1)の後端面、 QOはス
テム(4)上に形成された傾斜部である。
6a)はモニター光A、(6b)Viモニター光B、(
7)はモニター用PD、(8)はLDチップ(1)の前
端面、(9)はLDチップ(1)の後端面、 QOはス
テム(4)上に形成された傾斜部である。
次に動作について説明する。ステム(4)上にヒートシ
ンク(3)、サブマウント(2) 、 L Oチップ(
1) ?積層接合させ、モニター光(6a)、(6b)
が入射される位置のステム(4)上にモニタ用P D
(7)を設置する□LDチップ(1)は、PM接合に垂
直に電流を流すことKより&TJDチップ(1)の前端
面(8)よりレーザ光A (5a)。
ンク(3)、サブマウント(2) 、 L Oチップ(
1) ?積層接合させ、モニター光(6a)、(6b)
が入射される位置のステム(4)上にモニタ用P D
(7)を設置する□LDチップ(1)は、PM接合に垂
直に電流を流すことKより&TJDチップ(1)の前端
面(8)よりレーザ光A (5a)。
B (5b)が出射され、同時に、後端面(9)よりモ
ニター光A (6a)、 B (6b)が出射される。
ニター光A (6a)、 B (6b)が出射される。
モニター光A(6a)、 B (6b)はモニター用P
D(7)へ入射し、′電気信号に変換され、外部のAP
O回路により、レーザ光A (5a)、 B (5b)
の光出力をfvI御するため用^られる。また、モニタ
ー用PD(7)は、モニター光A(6a)、 B (6
b)のPD衣表面らの反射光によるレーザ光A (5a
)、 B (51))の戻り光ノイズを防ぐため、ステ
ム(4)に形成された傾斜部QO上にダイボンドされ。
D(7)へ入射し、′電気信号に変換され、外部のAP
O回路により、レーザ光A (5a)、 B (5b)
の光出力をfvI御するため用^られる。また、モニタ
ー用PD(7)は、モニター光A(6a)、 B (6
b)のPD衣表面らの反射光によるレーザ光A (5a
)、 B (51))の戻り光ノイズを防ぐため、ステ
ム(4)に形成された傾斜部QO上にダイボンドされ。
LDチップ(1)K対し適度な角度を設けるように設置
されている。
されている。
〔自明が解決しようとするIl1題〕
従来の多点テレイレーザ装置は1以上のように耐酸され
ていたので、各々のモニター光は同一のモニター用PD
で受光され、各4のレーザ光を独立にAPO駆動するこ
とができないという問題点があった。
ていたので、各々のモニター光は同一のモニター用PD
で受光され、各4のレーザ光を独立にAPO駆動するこ
とができないという問題点があった。
この自明け、上記のような問題点全解決するためになさ
れたもので、′4点アレイレーザ装置の各々のモニター
光を1つずつ別のモニター用PDで受光し、各々のレー
ザ光を、1′)1つ別のAPO回路により独立制御でき
る半導体レーザ装置を得ること?目的とする0 〔B題を解決するだめの手段〕 この発明に係る多点アレイレーザ装置は81サブマウン
トに段部を形成し、この段部境界面に各々のモニター光
を、別々にモニターするPDを拡散により形成し、各モ
ニター光が各々干渉しない様に。
れたもので、′4点アレイレーザ装置の各々のモニター
光を1つずつ別のモニター用PDで受光し、各々のレー
ザ光を、1′)1つ別のAPO回路により独立制御でき
る半導体レーザ装置を得ること?目的とする0 〔B題を解決するだめの手段〕 この発明に係る多点アレイレーザ装置は81サブマウン
トに段部を形成し、この段部境界面に各々のモニター光
を、別々にモニターするPDを拡散により形成し、各モ
ニター光が各々干渉しない様に。
各々のモニター用PD間に突起部を設け、同時K。
段部境界面をLDチップ後端而面対し適度な角度を設け
る様にしたものである。
る様にしたものである。
この自明における多点テレイレーザ装置は、各々のモニ
ター光が干渉することなく別々のモニター用PDで受光
され、各レーザ光を独立に制御良くAPO駆動できると
ともに、モニター用PD表面からの戻り光によるノイズ
を防ぐ〇 〔実施例〕 以下、この発明の一実施例を図について説明する。@1
図において、(1)はLDチップ、 (5a)はレー
ザ光A、(5b)#:tレーザ光B、(6a)uモニタ
ー光A、(61))はモニター光B 、 (8)はLD
チップ(1)の前端面、(9)ViLDチップ(1)の
後4面、αDは段付S1サブマウント、(2)は段付B
1サブマウントαBの低面部、CJJjは段部境界面、
(141L)は段部境界面に形成したモニター用PD
A、 (14b) Vi同面に形成したモニター用PD
B、QfSはモ=4−用ppA(14a) 、B (1
ab)の間に形成した突起部である。
ター光が干渉することなく別々のモニター用PDで受光
され、各レーザ光を独立に制御良くAPO駆動できると
ともに、モニター用PD表面からの戻り光によるノイズ
を防ぐ〇 〔実施例〕 以下、この発明の一実施例を図について説明する。@1
図において、(1)はLDチップ、 (5a)はレー
ザ光A、(5b)#:tレーザ光B、(6a)uモニタ
ー光A、(61))はモニター光B 、 (8)はLD
チップ(1)の前端面、(9)ViLDチップ(1)の
後4面、αDは段付S1サブマウント、(2)は段付B
1サブマウントαBの低面部、CJJjは段部境界面、
(141L)は段部境界面に形成したモニター用PD
A、 (14b) Vi同面に形成したモニター用PD
B、QfSはモ=4−用ppA(14a) 、B (1
ab)の間に形成した突起部である。
次に動作について説明するOLDチップ(1)は段付8
1サブマウントαBの低面部(2)Kダイボンドされ。
1サブマウントαBの低面部(2)Kダイボンドされ。
LDチップ(1)VipN接合に垂直に電流を流すこと
Kより、 LDチップ(1)の前端面(8)よりレーザ
光A (5a)。
Kより、 LDチップ(1)の前端面(8)よりレーザ
光A (5a)。
B(5b)が出射され、同時に後端面(9)よりモニタ
ー光A (6a)、B (6b)が出射される。モニタ
ー光A(6a)、 B(6b)は、各々、突起部α9に
より、相互干渉することなく1段部境界面αjに形成し
たモニター用PD A (14a)、 B (141:
+)に各々受光される0レーザ光A (5a)、 B
(5b)は各々モニター用PD A (14a)。
ー光A (6a)、B (6b)が出射される。モニタ
ー光A(6a)、 B(6b)は、各々、突起部α9に
より、相互干渉することなく1段部境界面αjに形成し
たモニター用PD A (14a)、 B (141:
+)に各々受光される0レーザ光A (5a)、 B
(5b)は各々モニター用PD A (14a)。
B(14b)によってモニター光を別々の電気信号に変
換され別々のAPO回路により、光出力を制ωすする。
換され別々のAPO回路により、光出力を制ωすする。
同時に1段部境界面Q3tfbDチップ(1)の後幅面
(9)に対し、モニ/j−朗PDからの反射光による戻
り光ノイズを防止するため、適度な傾斜角が設けられて
いる。
(9)に対し、モニ/j−朗PDからの反射光による戻
り光ノイズを防止するため、適度な傾斜角が設けられて
いる。
なお、上記実施例でVi2点丁レイレーザ装置の場合に
ついて説明したが2点以北の多点ルイレーザ装置で1段
部境界面(至)に、独立駆動心髄な数のモニター用PD
を形成し、各PD間に各レーザ光が干渉しない様に、突
起部を設けてもよい0(自明の効果〕 以上のようにこの自明によれば、多点アレイレーザ装置
において、各モニター光を別々のモニター、用PDで受
光し、別々のAPO駆動できるので、各々のレーザ光を
独立に制御でき、また戻り光によるノイズの防止が可能
で、同時に、小型で簡単な精度の高い量産性に優れた半
導体レーザ装置が得られる効果がある。
ついて説明したが2点以北の多点ルイレーザ装置で1段
部境界面(至)に、独立駆動心髄な数のモニター用PD
を形成し、各PD間に各レーザ光が干渉しない様に、突
起部を設けてもよい0(自明の効果〕 以上のようにこの自明によれば、多点アレイレーザ装置
において、各モニター光を別々のモニター、用PDで受
光し、別々のAPO駆動できるので、各々のレーザ光を
独立に制御でき、また戻り光によるノイズの防止が可能
で、同時に、小型で簡単な精度の高い量産性に優れた半
導体レーザ装置が得られる効果がある。
@1図は、この発明の一実施例による2点アレイレーザ
装置を示す概略説明斜視図、第2図は。 従来の2点アレイレーザ装@を示す概略説明斜視図であ
る。 図において、(i)hLDチップ、 (5a)、(5
b)はレーザ光、 (6a)、(6b)はモニター光、
αnV′i段付S1サブマウント、Q3は段部境界面、
(14a)、(14b)けモニター用PD、Q6け突起
部〇 なお1図中、同一符号は同一 又は相当部分を示す。
装置を示す概略説明斜視図、第2図は。 従来の2点アレイレーザ装@を示す概略説明斜視図であ
る。 図において、(i)hLDチップ、 (5a)、(5
b)はレーザ光、 (6a)、(6b)はモニター光、
αnV′i段付S1サブマウント、Q3は段部境界面、
(14a)、(14b)けモニター用PD、Q6け突起
部〇 なお1図中、同一符号は同一 又は相当部分を示す。
Claims (1)
- 多点アレイレーザ装置において、段付Siサブマウント
の段部境界面にレーザチップより出射されるモニター光
が各々干渉しないように形成された突起部により分離し
たPDを形成し、各モニター光を独立モニターとするこ
とを特徴とする半導体レーザ装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP26188388A JPH02106989A (ja) | 1988-10-17 | 1988-10-17 | 半導体レーザ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP26188388A JPH02106989A (ja) | 1988-10-17 | 1988-10-17 | 半導体レーザ装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH02106989A true JPH02106989A (ja) | 1990-04-19 |
Family
ID=17368089
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP26188388A Pending JPH02106989A (ja) | 1988-10-17 | 1988-10-17 | 半導体レーザ装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH02106989A (ja) |
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05343809A (ja) * | 1992-06-08 | 1993-12-24 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 半導体レーザ装置システム |
US5438586A (en) * | 1992-11-30 | 1995-08-01 | Canon Kabushiki Kaisha | Apparatus with light-emitting element and method for producing it |
EP0786838A2 (en) * | 1996-01-25 | 1997-07-30 | Hewlett-Packard Company | Laser based light source using diffraction, scattering or transmission |
US5771254A (en) * | 1996-01-25 | 1998-06-23 | Hewlett-Packard Company | Integrated controlled intensity laser-based light source |
US6792178B1 (en) | 2000-01-12 | 2004-09-14 | Finisar Corporation | Fiber optic header with integrated power monitor |
US6932522B2 (en) | 1998-12-30 | 2005-08-23 | Finisar Corporation | Method and apparatus for hermetically sealing photonic devices |
KR100556457B1 (ko) * | 1998-10-07 | 2006-04-21 | 엘지전자 주식회사 | 레이저 다이오드 단면의 코팅 특성 측정 장치 및 그의 측정 방법 |
-
1988
- 1988-10-17 JP JP26188388A patent/JPH02106989A/ja active Pending
Cited By (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05343809A (ja) * | 1992-06-08 | 1993-12-24 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 半導体レーザ装置システム |
US5438586A (en) * | 1992-11-30 | 1995-08-01 | Canon Kabushiki Kaisha | Apparatus with light-emitting element and method for producing it |
EP0786838A2 (en) * | 1996-01-25 | 1997-07-30 | Hewlett-Packard Company | Laser based light source using diffraction, scattering or transmission |
EP0786838A3 (en) * | 1996-01-25 | 1997-10-08 | Hewlett Packard Co | Laser light source with a diffractive, scattering or transmissive element |
US5771254A (en) * | 1996-01-25 | 1998-06-23 | Hewlett-Packard Company | Integrated controlled intensity laser-based light source |
US5809050A (en) * | 1996-01-25 | 1998-09-15 | Hewlett-Packard Company | Integrated controlled intensity laser-based light source using diffraction, scattering and transmission |
KR100556457B1 (ko) * | 1998-10-07 | 2006-04-21 | 엘지전자 주식회사 | 레이저 다이오드 단면의 코팅 특성 측정 장치 및 그의 측정 방법 |
US6932522B2 (en) | 1998-12-30 | 2005-08-23 | Finisar Corporation | Method and apparatus for hermetically sealing photonic devices |
US6792178B1 (en) | 2000-01-12 | 2004-09-14 | Finisar Corporation | Fiber optic header with integrated power monitor |
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