JPH02104942A - 内燃機関の混合燃料供給装置 - Google Patents
内燃機関の混合燃料供給装置Info
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- JPH02104942A JPH02104942A JP25595188A JP25595188A JPH02104942A JP H02104942 A JPH02104942 A JP H02104942A JP 25595188 A JP25595188 A JP 25595188A JP 25595188 A JP25595188 A JP 25595188A JP H02104942 A JPH02104942 A JP H02104942A
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Landscapes
- Electrical Control Of Air Or Fuel Supplied To Internal-Combustion Engine (AREA)
- Combined Controls Of Internal Combustion Engines (AREA)
- Output Control And Ontrol Of Special Type Engine (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〈産業上の利用分野〉
本発明はメタノール等のアルコールが混入された混合燃
料を機関に供給する混合燃料供給装置に関する。
料を機関に供給する混合燃料供給装置に関する。
〈従来の技術〉
この種の混合燃料供給装置の従来例として、以下のよう
なものがある。
なものがある。
すなわち、エアフローメータにより検出された吸入空気
流量Qと機関回転速度Nとから基本噴射量TP = K
X Q/ N (Kは定数)を演算する。そして、前
記基本噴射量TPと、主として水温に応じた各種増量補
正係数C0EFと、酸素センサの検出値に基づく空燃比
フィードバック補正係数αと、アルコール濃度センサの
検出値に基づくアルコール濃度補正係数に□丁と、バッ
テリ電圧の電圧補正分子、と、から燃料噴射量Ts =
Tp xCOEFXK□、×α+T、を演算する。そし
て、例えばシングルポイントインジヱクションシステム
(以下SPI方式)では機関の1/2回転毎に点火信号
等に同期して燃料噴射弁に対し前記燃料噴射量Tムに対
応するパルス幅の噴射パルス信号を出力し機関に燃料を
供給する。
流量Qと機関回転速度Nとから基本噴射量TP = K
X Q/ N (Kは定数)を演算する。そして、前
記基本噴射量TPと、主として水温に応じた各種増量補
正係数C0EFと、酸素センサの検出値に基づく空燃比
フィードバック補正係数αと、アルコール濃度センサの
検出値に基づくアルコール濃度補正係数に□丁と、バッ
テリ電圧の電圧補正分子、と、から燃料噴射量Ts =
Tp xCOEFXK□、×α+T、を演算する。そし
て、例えばシングルポイントインジヱクションシステム
(以下SPI方式)では機関の1/2回転毎に点火信号
等に同期して燃料噴射弁に対し前記燃料噴射量Tムに対
応するパルス幅の噴射パルス信号を出力し機関に燃料を
供給する。
〈発明が解決しようとする課題〉
ところで、前記アルコール濃度補正係数に□7は、燃料
中のアルコール濃度の変化に対応して大きく変化するよ
うになっている。
中のアルコール濃度の変化に対応して大きく変化するよ
うになっている。
このため、アルコール濃度センサが故障してその出力が
第5図に示すように低下すると、前記に□7が低下して
燃料噴射量T、も急激に低下する。これにより、空燃比
が大幅にリーン化して排気特性の悪化、エンジンストー
ルの発生、エンジン焼付き或いは運転性の悪化を招くお
それがあった。
第5図に示すように低下すると、前記に□7が低下して
燃料噴射量T、も急激に低下する。これにより、空燃比
が大幅にリーン化して排気特性の悪化、エンジンストー
ルの発生、エンジン焼付き或いは運転性の悪化を招くお
それがあった。
本発明はこのような実状に鑑みてなされたもので、濃度
検出手段が故障しても最適な空燃比を確保できる内燃機
関の混合燃料供給装置を提供することを目的とする。
検出手段が故障しても最適な空燃比を確保できる内燃機
関の混合燃料供給装置を提供することを目的とする。
〈課題を解決するための手段〉
このため、本発明は、第1図に示すように、機関運転状
態に応じて混合燃料供給量を設定する燃料供給量設定手
段Aと、前記混合燃料中における一方の燃料濃度を検出
する濃度検出手段Bと、検出された燃料燃料濃度に対応
する濃度補正量に応じて前記設定された混合燃料供給量
を補正する燃料供給量補正手段Cと、補正された混合燃
料供給量に応じて燃料供給手段りを駆動制御する燃料制
御手段Eと、機関運転状態に応じて点火時期を設定する
点火時期設定手段Fと、設定された点火時期に応じて点
火栓Gを、駆動制御する点火制御手段Hとを、備えるも
のにおいて、前記濃度検出手段Bの異常を検出する異常
検出手段■と、機関の排気濃度を検出する排気温度検出
手段Jと、前記濃度検出手段Bの異常が検出されたとき
に濃度補正量を一定量に保持する濃度補正量保持手段に
と、該濃度補正量保持手段にの作動中に機関空燃比が略
一定に保持されるように燃料供給手段りを制御する空燃
比保持手段りと、前記濃度補正量保持手段にの作動中に
点火時期を略一定に保持するように前記点火栓Gを制御
する点火時期保持手段Mと、空燃比と点火時期とが略一
定に保持されているときに検出された排気温度に応じて
燃料濃度を推定する濃度推定手段Nと、前記濃度検出手
段Bの異常時には前記燃料供給量補正手段Cの作動を停
止させて推定された燃料濃度に応じて前記混合燃料量を
補正する濃度補正手段Oと、を備えるようにした。
態に応じて混合燃料供給量を設定する燃料供給量設定手
段Aと、前記混合燃料中における一方の燃料濃度を検出
する濃度検出手段Bと、検出された燃料燃料濃度に対応
する濃度補正量に応じて前記設定された混合燃料供給量
を補正する燃料供給量補正手段Cと、補正された混合燃
料供給量に応じて燃料供給手段りを駆動制御する燃料制
御手段Eと、機関運転状態に応じて点火時期を設定する
点火時期設定手段Fと、設定された点火時期に応じて点
火栓Gを、駆動制御する点火制御手段Hとを、備えるも
のにおいて、前記濃度検出手段Bの異常を検出する異常
検出手段■と、機関の排気濃度を検出する排気温度検出
手段Jと、前記濃度検出手段Bの異常が検出されたとき
に濃度補正量を一定量に保持する濃度補正量保持手段に
と、該濃度補正量保持手段にの作動中に機関空燃比が略
一定に保持されるように燃料供給手段りを制御する空燃
比保持手段りと、前記濃度補正量保持手段にの作動中に
点火時期を略一定に保持するように前記点火栓Gを制御
する点火時期保持手段Mと、空燃比と点火時期とが略一
定に保持されているときに検出された排気温度に応じて
燃料濃度を推定する濃度推定手段Nと、前記濃度検出手
段Bの異常時には前記燃料供給量補正手段Cの作動を停
止させて推定された燃料濃度に応じて前記混合燃料量を
補正する濃度補正手段Oと、を備えるようにした。
く作用〉
このようにして、濃度検出手段の異常時に、機関の運転
状態を一定に保持させて排気温度から燃料濃度を推定し
、この推定値に基づいて燃料供給制御を行うようにした
。
状態を一定に保持させて排気温度から燃料濃度を推定し
、この推定値に基づいて燃料供給制御を行うようにした
。
〈実施例〉
以下に、本発明の一実施例を第2図〜第4図に基づいて
説明する。
説明する。
第2図において、マイクロコンピュータ等カラなる制御
装置工にはエアフローメータ2からの吸入空気流量Q検
査信号と、回転速度センサ3からの回転速度N検出信号
と、水温センサ4からの水温検出信号と、濃度検出手段
としてのアルコール濃度センサ5からのアルコール濃度
検出信号と、酸素センサ6からの排気中の酸素濃度検出
信号と排気温度検出手段としての排温センサ7からの排
気温度検出信号とが人力されている。
装置工にはエアフローメータ2からの吸入空気流量Q検
査信号と、回転速度センサ3からの回転速度N検出信号
と、水温センサ4からの水温検出信号と、濃度検出手段
としてのアルコール濃度センサ5からのアルコール濃度
検出信号と、酸素センサ6からの排気中の酸素濃度検出
信号と排気温度検出手段としての排温センサ7からの排
気温度検出信号とが人力されている。
制御装置lは第3図のフローチャートに従って作動し、
燃料供給手段としての燃料噴射弁8を駆動回路9を介し
て駆動制御するようになっている。
燃料供給手段としての燃料噴射弁8を駆動回路9を介し
て駆動制御するようになっている。
また、制御装置1は、機関運転状1m(冷却水温、機関
負荷、回転速度等)に応じて点火時期を設定し、設定さ
れた点火時期に点火栓10を点火制御するようになって
いる。
負荷、回転速度等)に応じて点火時期を設定し、設定さ
れた点火時期に点火栓10を点火制御するようになって
いる。
ここでは、制御装置lは燃料供給量設定手段と燃料供給
量補正手段と燃料制御手段と異常検出手段と濃度補正量
保持手段と空燃比保持手段と濃度推定手段と濃度補正手
段と点火時期保持手段と点火時期設定手段と点火制御手
段とを構成する。
量補正手段と燃料制御手段と異常検出手段と濃度補正量
保持手段と空燃比保持手段と濃度推定手段と濃度補正手
段と点火時期保持手段と点火時期設定手段と点火制御手
段とを構成する。
次に作用を第3図のフローチャートに従って説明する。
まず、燃料噴射制御を説明すると、エアフローメータ2
の検出吸入空気流量Qと回転速度センサ3の検出機関回
転速度Nとから基本噴射量TP−KXQ/N(Kは定数
)を演算した後、前記基本噴射量T2と、主として水温
に応じた各種増量補正係数C0EFと、酸素センサ6の
検出値に基づく空燃比フィードバック補正係数αと、ア
ルコール濃度センサ5の検出値に基づくアルコール1度
補正係数に□7と1、バッテリ電圧の電圧補正分子sと
、から燃料噴射量’r、=TP XC0EFXα×に□
7+T3を演算する。
の検出吸入空気流量Qと回転速度センサ3の検出機関回
転速度Nとから基本噴射量TP−KXQ/N(Kは定数
)を演算した後、前記基本噴射量T2と、主として水温
に応じた各種増量補正係数C0EFと、酸素センサ6の
検出値に基づく空燃比フィードバック補正係数αと、ア
ルコール濃度センサ5の検出値に基づくアルコール1度
補正係数に□7と1、バッテリ電圧の電圧補正分子sと
、から燃料噴射量’r、=TP XC0EFXα×に□
7+T3を演算する。
そして、SP1方式では機関の1/2回転毎に点火信号
等に同期して燃料噴射弁8に対し前記燃料噴射量T!に
対応するパルス幅の噴射パルス信号を出力し機関に燃料
を供給する。
等に同期して燃料噴射弁8に対し前記燃料噴射量T!に
対応するパルス幅の噴射パルス信号を出力し機関に燃料
を供給する。
かかる燃料噴射制御中において、第3図のフローチャー
トに示すルーチンが実行される。
トに示すルーチンが実行される。
すなわち、Slでは、アルコール濃度センサ5が故障し
ているか否かを判定し、YESのときにはS2に進みN
oのときにはルーチンを終了させる。この故障の判定は
、例えば前回と今回のルーチンにおけるアルコール濃度
センサ5の出力が許容範囲以上に変化したときに故障と
判定する。
ているか否かを判定し、YESのときにはS2に進みN
oのときにはルーチンを終了させる。この故障の判定は
、例えば前回と今回のルーチンにおけるアルコール濃度
センサ5の出力が許容範囲以上に変化したときに故障と
判定する。
S2では、アルコール濃度補正係数に□7を設定濃度補
正係数に□7.(例えばアルコール濃度で50%)に設
定して、S3に進む、そして、前記燃料噴射制御におい
ては、前記設定濃度補正係数に、、?。
正係数に□7.(例えばアルコール濃度で50%)に設
定して、S3に進む、そして、前記燃料噴射制御におい
ては、前記設定濃度補正係数に、、?。
に基づいて、燃料噴射量TIを演算する。
S3では、前記基本噴射量TPと機関回転速度Nとを読
込み、S4に進む。
込み、S4に進む。
S4では、基本噴射量TPと機関回転速度Nとに基づい
て現在空燃比フィードバック制御中(定常運転時)か否
かを判定し、YESのときにはS5に進みNoのときに
はSllに進む。
て現在空燃比フィードバック制御中(定常運転時)か否
かを判定し、YESのときにはS5に進みNoのときに
はSllに進む。
S5では、前記基本噴射量T、と機関回転速度Nとに基
づいて、前回と今回のルーチンの運転エリアが同一か否
かを判定し、YESのときにはS6に進みNOのときに
はSllに進む。
づいて、前回と今回のルーチンの運転エリアが同一か否
かを判定し、YESのときにはS6に進みNOのときに
はSllに進む。
S6では、前回と今回のルーチンの運転エリアが同一の
ときに、タイマのカウント値Tcを1だけカウントアツ
プしてS7に進む。
ときに、タイマのカウント値Tcを1だけカウントアツ
プしてS7に進む。
S7では、タイマのカウント値T、が設定値T8以上か
否かを判定し、YESのときすなわち同一の運転エリア
に所定時間以上あるときにはS8に進みNoのときには
ルーチンを終了させる。ここで、運転状態が同一の運転
エリアにあるときには、略一定の点火時期に点火栓10
は点火制御される。したがって、空燃比と点火時期とが
共に略一定に保持される。
否かを判定し、YESのときすなわち同一の運転エリア
に所定時間以上あるときにはS8に進みNoのときには
ルーチンを終了させる。ここで、運転状態が同一の運転
エリアにあるときには、略一定の点火時期に点火栓10
は点火制御される。したがって、空燃比と点火時期とが
共に略一定に保持される。
かかる状態において、S8では、排気温度センサ7によ
り検出された排気温度を読込み、S9に進む。
り検出された排気温度を読込み、S9に進む。
S9では、検出された排気温度と前記基本噴射量T?と
機関回転速度Nとに基づいてマツプから推定アルコール
濃度補正係数に□?P (推定アルコール濃度に対応す
る)を検索し、SIOに進む、前記推定アルコール濃度
補正係数に□7Fすなわち推定アルコール濃度は、第4
図に示すように、同一の運転エリアにあるときは、排気
温度が高くなるに従って、低下するようになっている。
機関回転速度Nとに基づいてマツプから推定アルコール
濃度補正係数に□?P (推定アルコール濃度に対応す
る)を検索し、SIOに進む、前記推定アルコール濃度
補正係数に□7Fすなわち推定アルコール濃度は、第4
図に示すように、同一の運転エリアにあるときは、排気
温度が高くなるに従って、低下するようになっている。
また、運転エリア(第4図中T P 、 N )が高速
高負荷領域になるに従って、同一の排気温度であっても
、推定アルコール濃度補正係数KHt?Pは低下するよ
うになっている。ここで、混合燃料中のガソリンに較べ
てメタノール等のアルコールの方が燃焼速度が速いので
、アルコール濃度が高いほど排気温度が低下するのであ
る。したがって、排気温度からアルコール濃度を推定で
き、推定されたアルコール濃度が実際のアルコール濃度
に略等しくなるのである。
高負荷領域になるに従って、同一の排気温度であっても
、推定アルコール濃度補正係数KHt?Pは低下するよ
うになっている。ここで、混合燃料中のガソリンに較べ
てメタノール等のアルコールの方が燃焼速度が速いので
、アルコール濃度が高いほど排気温度が低下するのであ
る。したがって、排気温度からアルコール濃度を推定で
き、推定されたアルコール濃度が実際のアルコール濃度
に略等しくなるのである。
310では、検索された推定アルコール濃度補正係数に
、4tTPに基づいて、前記設定アルコール濃度補正係
数Kxtysによる空燃比フィードバック制御中の空燃
比フィードバック補正係数α3を次式により補正する。
、4tTPに基づいて、前記設定アルコール濃度補正係
数Kxtysによる空燃比フィードバック制御中の空燃
比フィードバック補正係数α3を次式により補正する。
αデ 1αsxKにlテ、/ににETPそして、推定ア
ルコール濃度補正係数に□ア。
ルコール濃度補正係数に□ア。
と補正された空燃比フィードバック補正係数α。
とに基づいて燃料噴射量T ! (= T P X
COEF×α、XK□yp+Ts)を演算して燃料噴射
制御を行う、勿論、前記空燃比フィードバック補正係数
α、は酸素センサ6の検出値に基づいて変化される。
COEF×α、XK□yp+Ts)を演算して燃料噴射
制御を行う、勿論、前記空燃比フィードバック補正係数
α、は酸素センサ6の検出値に基づいて変化される。
したがって、アルコール濃度センサ5が故障しても、燃
料中のアルコール濃度を排気温度から推定できるので、
空燃比を最適値に制御でき、排気特性の悪化、エンジン
ストールの発生、エンジン焼付或いは運転性の悪化を防
止できる。
料中のアルコール濃度を排気温度から推定できるので、
空燃比を最適値に制御でき、排気特性の悪化、エンジン
ストールの発生、エンジン焼付或いは運転性の悪化を防
止できる。
また、燃料噴射制御において、設定アルコール濃度補正
係数に□1.から推定アルコール濃度補正係数に□TF
に切換えたときに、前記の如(補正された空燃比フィー
ドバック補正係数α2を使用するようにしたので、その
切換え直後の空燃比を切換え直前の空燃比に応答性良く
近づけることができ、空燃比制御性を向上できる。
係数に□1.から推定アルコール濃度補正係数に□TF
に切換えたときに、前記の如(補正された空燃比フィー
ドバック補正係数α2を使用するようにしたので、その
切換え直後の空燃比を切換え直前の空燃比に応答性良く
近づけることができ、空燃比制御性を向上できる。
これを簡単に説明すると、同一運転状態において、切換
え前後の空燃比を同様にするためには切換え前後の燃料
噴射量T!を同様にする必要がある。したがって、切換
え直前の燃料噴射量T i ”” T P X COE
F Xα3XK□ア、+T、とし、切換え直後の燃料
噴射量Ti=Tp xCOEFXαPXK□rp+Ts
としたときに、T。
え前後の空燃比を同様にするためには切換え前後の燃料
噴射量T!を同様にする必要がある。したがって、切換
え直前の燃料噴射量T i ”” T P X COE
F Xα3XK□ア、+T、とし、切換え直後の燃料
噴射量Ti=Tp xCOEFXαPXK□rp+Ts
としたときに、T。
XC0EFxαs X KHtys+ Ts = Tp
X C0EFXαp X K HTEP + T s
となり、αSXKMET$=αFXK□ア、となる(α
、=αs X KMETS/に□?P)、これによって
前記式により補正された空燃比フィードバック補正係数
に□7.を切換直後に使用すると、切換え直前の空燃比
に切換直後の空燃比を応答性良く近づけることができる
のである。尚、前記補正された空燃比フィードバック補
正係数に□ア、は切換え直後の所定期間のみ使用しても
よい。
X C0EFXαp X K HTEP + T s
となり、αSXKMET$=αFXK□ア、となる(α
、=αs X KMETS/に□?P)、これによって
前記式により補正された空燃比フィードバック補正係数
に□7.を切換直後に使用すると、切換え直前の空燃比
に切換直後の空燃比を応答性良く近づけることができる
のである。尚、前記補正された空燃比フィードバック補
正係数に□ア、は切換え直後の所定期間のみ使用しても
よい。
〈発明の効果〉
本発明は、以上説明したように、濃度検出手段の異常時
に、排気温度から燃料濃度を推定し、この推定値に基づ
いて燃料供給制御を行うようにしたので、濃度検出手段
の故障時にも空燃比を最適に制御でき、もって排気特性
の悪化、エンジンストールの発生成いは運転性の悪化を
防止できる。
に、排気温度から燃料濃度を推定し、この推定値に基づ
いて燃料供給制御を行うようにしたので、濃度検出手段
の故障時にも空燃比を最適に制御でき、もって排気特性
の悪化、エンジンストールの発生成いは運転性の悪化を
防止できる。
第1図は本発明のクレーム対応図、第2図は本発明の一
実施例を示す構成図、第3図は同上のフローチャート、
第4図は同上の特性図、第5図は従来の欠点を説明する
ための図である。 1・・・制御装置f5・・・アルコール濃度センサ6・
・・酸素センサ 7・・・排気温度センサ 8・・
・燃料噴射弁 9・・・駆動回路 10・・・点火
栓特許出願人 日本電子機器株式会社 代理人 弁理士 笹 島 冨二雄
実施例を示す構成図、第3図は同上のフローチャート、
第4図は同上の特性図、第5図は従来の欠点を説明する
ための図である。 1・・・制御装置f5・・・アルコール濃度センサ6・
・・酸素センサ 7・・・排気温度センサ 8・・
・燃料噴射弁 9・・・駆動回路 10・・・点火
栓特許出願人 日本電子機器株式会社 代理人 弁理士 笹 島 冨二雄
Claims (1)
- 2種の燃料を混合した混合燃料を機関に供給するもので
あって、機関運転状態に応じて混合燃料供給量を設定す
る燃料供給量設定手段と、前記混合燃料中における一方
の燃料濃度を検出する濃度検出手段と、検出された燃料
濃度に対応する濃度補正量に応じて前記設定された混合
燃料供給量を補正する燃料供給量補正手段と、補正され
た混合燃料供給量に応じて燃料供給手段を駆動制御する
燃料制御手段と、機関運転状態に応じて点火時期を設定
する点火時期設定手段と、設定された点火時期に応じて
点火栓を駆動制御する点火制御手段と、を備える内燃機
関において、前記濃度検出手段の異常を検出する異常検
出手段と、機関の排気温度を検出する排気温度検出手段
と、前記濃度検出手段の異常が検出されたときに濃度補
正量を一定量に保持する濃度補正量保持手段と、該濃度
補正量保持手段の作動中に機関空燃比が略一定に保持さ
れるように燃料供給手段を制御する空燃比保持手段と、
前記濃度補正量保持手段の作動中に点火時期を略一定に
保持するように前記点火栓を制御する点火時期保持手段
と、空燃比と点火時期とが略一定に保持されているとき
に検出された排気温度に応じて燃料濃度を推定する濃度
推定手段と、前記濃度検出手段の異常時には前記燃料供
給量補正手段の作動を停止させて推定された燃料濃度に
応じて前記混合燃料量を補正する濃度補正手段と、を備
えたことを特徴とする内燃機関の混合燃料供給装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP25595188A JPH076446B2 (ja) | 1988-10-13 | 1988-10-13 | 内燃機関の混合燃料供給装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP25595188A JPH076446B2 (ja) | 1988-10-13 | 1988-10-13 | 内燃機関の混合燃料供給装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH02104942A true JPH02104942A (ja) | 1990-04-17 |
JPH076446B2 JPH076446B2 (ja) | 1995-01-30 |
Family
ID=17285845
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP25595188A Expired - Lifetime JPH076446B2 (ja) | 1988-10-13 | 1988-10-13 | 内燃機関の混合燃料供給装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH076446B2 (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH04128535A (ja) * | 1990-09-19 | 1992-04-30 | Hitachi Ltd | 内燃機関の制御装置 |
JPH04301152A (ja) * | 1991-03-28 | 1992-10-23 | Honda Motor Co Ltd | 空燃比制御装置 |
JPH0571400A (ja) * | 1991-09-13 | 1993-03-23 | Mitsubishi Motors Corp | 混合燃料使用機関の運転制御方法 |
JP2008188685A (ja) * | 2007-02-01 | 2008-08-21 | Nikon Corp | ワークの支持機構および支持装置 |
-
1988
- 1988-10-13 JP JP25595188A patent/JPH076446B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH04128535A (ja) * | 1990-09-19 | 1992-04-30 | Hitachi Ltd | 内燃機関の制御装置 |
JPH04301152A (ja) * | 1991-03-28 | 1992-10-23 | Honda Motor Co Ltd | 空燃比制御装置 |
JPH0571400A (ja) * | 1991-09-13 | 1993-03-23 | Mitsubishi Motors Corp | 混合燃料使用機関の運転制御方法 |
JP2008188685A (ja) * | 2007-02-01 | 2008-08-21 | Nikon Corp | ワークの支持機構および支持装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH076446B2 (ja) | 1995-01-30 |
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