JPH0210383B2 - - Google Patents
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- JPH0210383B2 JPH0210383B2 JP56118257A JP11825781A JPH0210383B2 JP H0210383 B2 JPH0210383 B2 JP H0210383B2 JP 56118257 A JP56118257 A JP 56118257A JP 11825781 A JP11825781 A JP 11825781A JP H0210383 B2 JPH0210383 B2 JP H0210383B2
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- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/03—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on ceramics or electro-optical crystals, e.g. exhibiting Pockels effect or Kerr effect
- G02F1/0305—Constructional arrangements
- G02F1/0322—Arrangements comprising two or more independently controlled crystals
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R15/00—Details of measuring arrangements of the types provided for in groups G01R17/00 - G01R29/00, G01R33/00 - G01R33/26 or G01R35/00
- G01R15/14—Adaptations providing voltage or current isolation, e.g. for high-voltage or high-current networks
- G01R15/24—Adaptations providing voltage or current isolation, e.g. for high-voltage or high-current networks using light-modulating devices
- G01R15/241—Adaptations providing voltage or current isolation, e.g. for high-voltage or high-current networks using light-modulating devices using electro-optical modulators, e.g. electro-absorption
- G01R15/242—Adaptations providing voltage or current isolation, e.g. for high-voltage or high-current networks using light-modulating devices using electro-optical modulators, e.g. electro-absorption based on the Pockels effect, i.e. linear electro-optic effect
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Description
本発明はビスマスシリコンオキサイド
Bi12SiO20（以下BSOという）あるいはビスマスゲ
ルマニウムオキサイドBi12GeO20（以下BGOとい
う）素子を用いた、広帯域化した光応用電圧電界
センサに関する。 第１図は光の進行方向と電圧もしくは電界の印
加方向が共に〈100〉方向である縦型光応用電圧
電界センサの基本的な構成を示す図である。１は
光フアイバ、２はロツドレンズ、３は偏光子、４
は1/4波長板、５はBSO素子あるいはBGO素子、
６は検光子、７は入力電圧源である。BSO素子
及びBGO素子共に同じ説明が適用できるので、
以下にはBSO素子を用いて説明する。光フアイ
バ１に入射されロツドレンズ２、偏光子３及び1/
４波長板４を通つて透明電極を表裏面に形成した
BSO素子５に入射した光は、入力電圧源７から
電極を介してBSO素子５に印加される電圧の大
きさに応じて偏光の状態が変わる。光応用電圧セ
ンサはこの偏光の状態を知ることにより被検出入
力電圧もしくは電界の大きさを検出するものであ
る。 第２図は光の進行方向が〈110〉方向であり電
圧もしくは電界の印加方向が〈１10〉方向で互に
直交する横型光応用電圧電界センサのBSO素子
８と入力電圧源７とを示すものである。他の構成
部分は第１図と同様である。 第３図は第１図の光応用電圧センサの変調感度
の従来の周波数特性を示す図である。従来の
BSO素子を用いた光応用電圧電界センサにおい
ては、入力電圧もしくは電界の周波数を変えてゆ
くとある特定周波数で圧電現象によりBSO素子
に機械的共振現象が発生する。この共振による機
械的な応力が更にBSO素子の屈折率に影響を及
ぼす。このため、従来のBSO素子を用いた光応
用電圧電界センサの変調感度の周波数特性は第３
図に示す様に特定周波数で非常に大きなピーク
ａ，ｂ，ｃ等を発生する欠点がある。従つて、高
電圧のサージ現象等の高い周波数成分まで一定の
変調感度を必要とする解折には、従来の光応用電
圧センサは使用できない欠点があつた。 本発明の目的は、共振現象の影響をなくし広帯
域化できるBSO素子もしくはBGO素子を用いた
光応用電圧センサを提供することである。 以下に図面を参照して本発明について詳細に説
明する。 〔A〕 第４図イは縦型光応用電圧電界センサの
BSO素子の形状（長さ１×幅ｗ×厚さｂ）と
方位との関係を示す図である。１×ｗ面内
（100）面にｘ軸、ｙ軸を図のようにとり、１×
ｗ面と垂直につまり厚さｂと平行にｚ軸をとる
ものとする。圧電現象によりBSO素子に前記
共振現象が生ずる理由について発明者が行なつ
た解析によると、振動モードは第４図ロに実線
及び点線で示すいわゆる面すべり振動（face
shear mode）である。すなわち第３図イの座
標系でBSOを使用した場合、結晶に発生する
圧電現象はｘ軸−ｙ軸平面において生ずる面す
べり振動であり、ｚ軸方向の厚みｂにはほとん
ど依存しないことがわかつた。 面すべり振動における共振周波数fRは近似的
に次式で与えられることが知られている。 この共振周波数は基本モード（ｍ＝ｎ＝１）に
おいては で示される。ここで、ρ：比重、C44：圧電ス
テイツフネス、１及びｗ：BSO素子の長さ及
び幅。BSOの場合、圧電ステイツフネスC44＝
0.25×1011（Ｎ／m2）、比重ρ＝9.2×103（Kg／
m3）程度である。BSO素子の大きさに対する
共振周波数についての発明者の行なつた実験結
果と計算結果とを表１に示す。
Bi12SiO20（以下BSOという）あるいはビスマスゲ
ルマニウムオキサイドBi12GeO20（以下BGOとい
う）素子を用いた、広帯域化した光応用電圧電界
センサに関する。 第１図は光の進行方向と電圧もしくは電界の印
加方向が共に〈100〉方向である縦型光応用電圧
電界センサの基本的な構成を示す図である。１は
光フアイバ、２はロツドレンズ、３は偏光子、４
は1/4波長板、５はBSO素子あるいはBGO素子、
６は検光子、７は入力電圧源である。BSO素子
及びBGO素子共に同じ説明が適用できるので、
以下にはBSO素子を用いて説明する。光フアイ
バ１に入射されロツドレンズ２、偏光子３及び1/
４波長板４を通つて透明電極を表裏面に形成した
BSO素子５に入射した光は、入力電圧源７から
電極を介してBSO素子５に印加される電圧の大
きさに応じて偏光の状態が変わる。光応用電圧セ
ンサはこの偏光の状態を知ることにより被検出入
力電圧もしくは電界の大きさを検出するものであ
る。 第２図は光の進行方向が〈110〉方向であり電
圧もしくは電界の印加方向が〈１10〉方向で互に
直交する横型光応用電圧電界センサのBSO素子
８と入力電圧源７とを示すものである。他の構成
部分は第１図と同様である。 第３図は第１図の光応用電圧センサの変調感度
の従来の周波数特性を示す図である。従来の
BSO素子を用いた光応用電圧電界センサにおい
ては、入力電圧もしくは電界の周波数を変えてゆ
くとある特定周波数で圧電現象によりBSO素子
に機械的共振現象が発生する。この共振による機
械的な応力が更にBSO素子の屈折率に影響を及
ぼす。このため、従来のBSO素子を用いた光応
用電圧電界センサの変調感度の周波数特性は第３
図に示す様に特定周波数で非常に大きなピーク
ａ，ｂ，ｃ等を発生する欠点がある。従つて、高
電圧のサージ現象等の高い周波数成分まで一定の
変調感度を必要とする解折には、従来の光応用電
圧センサは使用できない欠点があつた。 本発明の目的は、共振現象の影響をなくし広帯
域化できるBSO素子もしくはBGO素子を用いた
光応用電圧センサを提供することである。 以下に図面を参照して本発明について詳細に説
明する。 〔A〕 第４図イは縦型光応用電圧電界センサの
BSO素子の形状（長さ１×幅ｗ×厚さｂ）と
方位との関係を示す図である。１×ｗ面内
（100）面にｘ軸、ｙ軸を図のようにとり、１×
ｗ面と垂直につまり厚さｂと平行にｚ軸をとる
ものとする。圧電現象によりBSO素子に前記
共振現象が生ずる理由について発明者が行なつ
た解析によると、振動モードは第４図ロに実線
及び点線で示すいわゆる面すべり振動（face
shear mode）である。すなわち第３図イの座
標系でBSOを使用した場合、結晶に発生する
圧電現象はｘ軸−ｙ軸平面において生ずる面す
べり振動であり、ｚ軸方向の厚みｂにはほとん
ど依存しないことがわかつた。 面すべり振動における共振周波数fRは近似的
に次式で与えられることが知られている。 この共振周波数は基本モード（ｍ＝ｎ＝１）に
おいては で示される。ここで、ρ：比重、C44：圧電ス
テイツフネス、１及びｗ：BSO素子の長さ及
び幅。BSOの場合、圧電ステイツフネスC44＝
0.25×1011（Ｎ／m2）、比重ρ＝9.2×103（Kg／
m3）程度である。BSO素子の大きさに対する
共振周波数についての発明者の行なつた実験結
果と計算結果とを表１に示す。
【表】
この表１から分かる様に、実験値は計算値の
0.85倍程度になつており比較的良く一致してい
る。また、BSO素子の１とｗとが同じでｂの
みが異なる(1)の７×５×２のBSO素子と(4)の
７×５×１のBSO素子では共振周波数が殆ん
ど変化しないことがわかる。 従つて共振周波数を高くするためには１及び
ｗを極力小さくすることが望ましい。 一方、高電圧応用分野では立ち上がり時間
1μsec立ち下がり時間40μsecのいわゆる標準イ
ンパルス波形が多用されるが、本センサで標準
インパルス波形を測定するためには共振周波数
が少なくとも500KHz以上望ましくは1MHz以上
である必要がある。 表１より共振周波数を1MHz以上にすること
は１＝１mm、ｗ＝１mm以下にすることにより達
成されるが、このような小さいBSO素子を用
いることは他の光学部品との組み合せ、及び調
整が困難となるとともに、光束の直径が1.5〜
2.0mm程度であることより透過光量が減少して
Ｓ／Ｎ比を低下させることとなる。 本発明はこのような欠点の無いBSO素子も
しくはBGO素子を提供するものである。 従来は(2)式において１とｗの両方を小さくす
る方式が行われてきたが、発明者は１とｗのい
ずれは一辺のみを極端に小さくすることによ
り、他の一辺を組立て調整等の取扱いに支障の
無い長さにとどめたままで共振周波数を高める
ことができることに着目した。ところがこのよ
うに極端に一辺を小さくすることは光の透過面
積を非常に狭くするため光束の極く一部しか利
用できずＳ／Ｎが低下し測定感度が低下するこ
とになる。そこで発明者はさらに種々の方式を
検討した結果、上記の極端に一辺を小さくした
BSOを光の進行方向と直角な方向に積層する
方法を発明した。 第５図は本発明によるBSO素子９の基本的
な構成を示すものであり、幅ｗ×長さ１×奥行
きｂのBSO板をｎ枚積層した構成を示す。こ
のような構成により各々のBSO片はほぼｗで
決まる高い共振周波数を示し高周波化できると
ともに、光の入射面積を従来と全く同程度に広
くとることができるためＳ／Ｎの劣化による感
度の低下は生じない。また全体としての寸法は
１×（ｗ×ｎ）×ｂであり、組立て調整も従来と
同様に容易にできる。 実施例として表裏面に透明電極を形成したｗ
＝0.6mm、１＝７mm、ｂ＝２mmのBSO板を８枚
積層したところ、光の入射面の面積は（0.6×
８mm）×７mm＝4.8mm×７mmとなり従来の５×７
mmの素子と全く同様の組立て調整が可能であつ
た。８枚を積層するためには酢酸ビニル系の接
着材を用いたがこれによる各BSO板間の振動
の干渉はほとんど発生せず、共振周波数fpはｗ
＝0.6mm、１＝７mmの時の計算値fp＝1.5MHzに
対して測定値fp1.3MHzとなりfp＝1MHz以上
の縦型光応用電圧電界センサが容易に構成でき
た。また接着層の厚みは数10μm以下であり光
束の透過損失はほとんどみとめられなかつた。 また接着層を透過してくる光は電圧による変
調をうけないのでノイズとなるが、このような
透過光によるＳ／Ｎの低下はほとんどみい出さ
れなかつた。より完全には、光吸収性の（不透
明性の）接着材を用いると良い。 ここで、さらに各BSO板間の振動の干渉を
極力少なくするためには接着層は緩やかな接着
状態であることが好ましく、上記の酢酸ビニル
系の接着材に何ら限定されるものではない。 またこの結果よりfp1MHzとなるためには
ｗ0.8mmであればよいことが判る。 〔B〕 次に横型光応用電圧電界センサの場合につ
いて縦型の場合と同じ解析と実験を行つたとこ
ろ横型では第６図の実線と破線で示すように振
動モードは厚みすべり振動であり、この時の基
本モードでの共振周波数fpは で表わされ、そしてここでCKはこの方位に特
有の圧電ステイクネスであるが、測定結果より
BSOの場合C44とほとんど一致することが判つ
た。 すなわち直径1.5〜２mmの光束を損失無く透
過させるために１＝２mmとしたときfp＝400K
Hzであつた。この場合もfpを1MHz以上にする
ためには１をさらに小さくする必要があり、望
ましくは0.8mm以下にする必要がある。すると
縦型の場合と同じ問題が生じることとなる。 かかる欠陥を改善するべく発明者は第７図に
示すように１を極端に小さくして積層する
BSO素子１０を発明した。この場合相隣接し
たBSO板の電極が接触するため電圧の極性は
（＋−）（−＋）（＋−）……（＋−）（−＋）と
いうように接触した電極を同じ極性にする必要
がある。 実施例として、１＝0.6mm、ｗ＝７mm、ｂ＝
10mmのBSO板の（１10）面にAu電極を形成し
たものを９枚積層してfpを測定したところfp＝
1.3MHzで縦型と同様の良好な結果を得ること
ができた。 以上の結果は電圧、電界いずれの場合にも確
認された。またBGOを用いた場合にも全く同
様の結果を得た。 以上のように本発明によれば、特定の辺の長
さのみを短かくした結晶板を光の進行方向と直
角の方向に積層することにより共振周波数を高
めて光応用電圧電界センサの測定周波数範囲を
広げることが可能となる。
0.85倍程度になつており比較的良く一致してい
る。また、BSO素子の１とｗとが同じでｂの
みが異なる(1)の７×５×２のBSO素子と(4)の
７×５×１のBSO素子では共振周波数が殆ん
ど変化しないことがわかる。 従つて共振周波数を高くするためには１及び
ｗを極力小さくすることが望ましい。 一方、高電圧応用分野では立ち上がり時間
1μsec立ち下がり時間40μsecのいわゆる標準イ
ンパルス波形が多用されるが、本センサで標準
インパルス波形を測定するためには共振周波数
が少なくとも500KHz以上望ましくは1MHz以上
である必要がある。 表１より共振周波数を1MHz以上にすること
は１＝１mm、ｗ＝１mm以下にすることにより達
成されるが、このような小さいBSO素子を用
いることは他の光学部品との組み合せ、及び調
整が困難となるとともに、光束の直径が1.5〜
2.0mm程度であることより透過光量が減少して
Ｓ／Ｎ比を低下させることとなる。 本発明はこのような欠点の無いBSO素子も
しくはBGO素子を提供するものである。 従来は(2)式において１とｗの両方を小さくす
る方式が行われてきたが、発明者は１とｗのい
ずれは一辺のみを極端に小さくすることによ
り、他の一辺を組立て調整等の取扱いに支障の
無い長さにとどめたままで共振周波数を高める
ことができることに着目した。ところがこのよ
うに極端に一辺を小さくすることは光の透過面
積を非常に狭くするため光束の極く一部しか利
用できずＳ／Ｎが低下し測定感度が低下するこ
とになる。そこで発明者はさらに種々の方式を
検討した結果、上記の極端に一辺を小さくした
BSOを光の進行方向と直角な方向に積層する
方法を発明した。 第５図は本発明によるBSO素子９の基本的
な構成を示すものであり、幅ｗ×長さ１×奥行
きｂのBSO板をｎ枚積層した構成を示す。こ
のような構成により各々のBSO片はほぼｗで
決まる高い共振周波数を示し高周波化できると
ともに、光の入射面積を従来と全く同程度に広
くとることができるためＳ／Ｎの劣化による感
度の低下は生じない。また全体としての寸法は
１×（ｗ×ｎ）×ｂであり、組立て調整も従来と
同様に容易にできる。 実施例として表裏面に透明電極を形成したｗ
＝0.6mm、１＝７mm、ｂ＝２mmのBSO板を８枚
積層したところ、光の入射面の面積は（0.6×
８mm）×７mm＝4.8mm×７mmとなり従来の５×７
mmの素子と全く同様の組立て調整が可能であつ
た。８枚を積層するためには酢酸ビニル系の接
着材を用いたがこれによる各BSO板間の振動
の干渉はほとんど発生せず、共振周波数fpはｗ
＝0.6mm、１＝７mmの時の計算値fp＝1.5MHzに
対して測定値fp1.3MHzとなりfp＝1MHz以上
の縦型光応用電圧電界センサが容易に構成でき
た。また接着層の厚みは数10μm以下であり光
束の透過損失はほとんどみとめられなかつた。 また接着層を透過してくる光は電圧による変
調をうけないのでノイズとなるが、このような
透過光によるＳ／Ｎの低下はほとんどみい出さ
れなかつた。より完全には、光吸収性の（不透
明性の）接着材を用いると良い。 ここで、さらに各BSO板間の振動の干渉を
極力少なくするためには接着層は緩やかな接着
状態であることが好ましく、上記の酢酸ビニル
系の接着材に何ら限定されるものではない。 またこの結果よりfp1MHzとなるためには
ｗ0.8mmであればよいことが判る。 〔B〕 次に横型光応用電圧電界センサの場合につ
いて縦型の場合と同じ解析と実験を行つたとこ
ろ横型では第６図の実線と破線で示すように振
動モードは厚みすべり振動であり、この時の基
本モードでの共振周波数fpは で表わされ、そしてここでCKはこの方位に特
有の圧電ステイクネスであるが、測定結果より
BSOの場合C44とほとんど一致することが判つ
た。 すなわち直径1.5〜２mmの光束を損失無く透
過させるために１＝２mmとしたときfp＝400K
Hzであつた。この場合もfpを1MHz以上にする
ためには１をさらに小さくする必要があり、望
ましくは0.8mm以下にする必要がある。すると
縦型の場合と同じ問題が生じることとなる。 かかる欠陥を改善するべく発明者は第７図に
示すように１を極端に小さくして積層する
BSO素子１０を発明した。この場合相隣接し
たBSO板の電極が接触するため電圧の極性は
（＋−）（−＋）（＋−）……（＋−）（−＋）と
いうように接触した電極を同じ極性にする必要
がある。 実施例として、１＝0.6mm、ｗ＝７mm、ｂ＝
10mmのBSO板の（１10）面にAu電極を形成し
たものを９枚積層してfpを測定したところfp＝
1.3MHzで縦型と同様の良好な結果を得ること
ができた。 以上の結果は電圧、電界いずれの場合にも確
認された。またBGOを用いた場合にも全く同
様の結果を得た。 以上のように本発明によれば、特定の辺の長
さのみを短かくした結晶板を光の進行方向と直
角の方向に積層することにより共振周波数を高
めて光応用電圧電界センサの測定周波数範囲を
広げることが可能となる。
第１図は縦型光応用電圧電界センサの基本的な
構成を示す図、第２図は横型光応用電圧電界セン
サのBSO素子部分を示す図、第３図は第１図の
センサの変調感度の従来の周波数特性を示す図、
第４図イは縦型BSO素子の形状と方位との関係
を示す図、ロは面すべり振動を示す図、第５図は
本発明による縦型光応用電圧電界センサのBSO
素子もしくはBGO素子基本的な構成を示す図、
第６図は横型BSO素子もしくはBGO素子の形状
と方位とその厚みすべり振動を示す図、第７図は
本発明による横型光応用電圧電界センサのBSO
素子もしくはBGO素子の基本的な構成を示す図
である。 １：光フアイバ、２：ロツドレンズ、３：偏光
子、４：1/4波長板、５：BSO素子あるいはBGO
素子、６：検光子、７：入力電圧源、８：横型
BSO素子もしくはBGO素子、９：積層された縦
型BSO素子もしくはBGO素子、１０：積層され
た横型BSO素子もしくはBGO素子、ａ，ｂ，
ｃ：ピーク値、１×ｗ×ｂ：素子の長さ×幅×厚
さ。
構成を示す図、第２図は横型光応用電圧電界セン
サのBSO素子部分を示す図、第３図は第１図の
センサの変調感度の従来の周波数特性を示す図、
第４図イは縦型BSO素子の形状と方位との関係
を示す図、ロは面すべり振動を示す図、第５図は
本発明による縦型光応用電圧電界センサのBSO
素子もしくはBGO素子基本的な構成を示す図、
第６図は横型BSO素子もしくはBGO素子の形状
と方位とその厚みすべり振動を示す図、第７図は
本発明による横型光応用電圧電界センサのBSO
素子もしくはBGO素子の基本的な構成を示す図
である。 １：光フアイバ、２：ロツドレンズ、３：偏光
子、４：1/4波長板、５：BSO素子あるいはBGO
素子、６：検光子、７：入力電圧源、８：横型
BSO素子もしくはBGO素子、９：積層された縦
型BSO素子もしくはBGO素子、１０：積層され
た横型BSO素子もしくはBGO素子、ａ，ｂ，
ｃ：ピーク値、１×ｗ×ｂ：素子の長さ×幅×厚
さ。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ ビスマスシリコンオキサイド（Bi12SiO20）
あるいはビスマスゲルマニウムオキサイド
（Bi12GeO20）単結晶に印加される電圧もしくは
電界を検出する光応用電圧電界センサにおいて、
光の進行方向に直交する方向に結晶板を積層して
成ることを特徴とする光応用電圧電界センサ ２ 積層方向の結晶板の厚みが0.8mm以下である
ことを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の光
応用電圧電界センサ。
Priority Applications (6)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56118257A JPS5832171A (ja) | 1981-07-27 | 1981-07-27 | 光応用電圧電界センサ |
| US06/397,009 US4595876A (en) | 1981-07-27 | 1982-07-12 | Optical voltage and electric field sensor |
| EP82106372A EP0071106B1 (en) | 1981-07-27 | 1982-07-15 | Optical voltage and electric field sensor |
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| CA000407984A CA1212148A (en) | 1981-07-27 | 1982-07-23 | Optical voltage and electric field sensor |
| AU86448/82A AU556145B2 (en) | 1981-07-27 | 1982-07-27 | Optical voltage and electric field sensor |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56118257A JPS5832171A (ja) | 1981-07-27 | 1981-07-27 | 光応用電圧電界センサ |
Publications (2)
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|---|---|
| JPS5832171A JPS5832171A (ja) | 1983-02-25 |
| JPH0210383B2 true JPH0210383B2 (ja) | 1990-03-07 |
Family
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Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP56118257A Granted JPS5832171A (ja) | 1981-07-27 | 1981-07-27 | 光応用電圧電界センサ |
Country Status (6)
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| JP (1) | JPS5832171A (ja) |
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