JPH02101950A - リニアモータの鉄心磁極歯製造検査手段 - Google Patents
リニアモータの鉄心磁極歯製造検査手段Info
- Publication number
- JPH02101950A JPH02101950A JP63254192A JP25419288A JPH02101950A JP H02101950 A JPH02101950 A JP H02101950A JP 63254192 A JP63254192 A JP 63254192A JP 25419288 A JP25419288 A JP 25419288A JP H02101950 A JPH02101950 A JP H02101950A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- resist
- etching
- magnetic pole
- resist pattern
- pole teeth
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
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- 238000005530 etching Methods 0.000 claims abstract description 19
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical group [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
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- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 2
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Landscapes
- Manufacture Of Motors, Generators (AREA)
- Linear Motors (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明はリニアモータに関し、特にリニアモータの鉄心
磁極歯製造検査手段に関する。
磁極歯製造検査手段に関する。
従来、この種の鉄心磁極歯製造検査手段は、母材となる
磁性材料を機械加工して得られた鉄心に磁極歯形状のマ
スキング用レジストパターンを形成した後磁極歯の谷部
に当る部分を予め設定した一定条件の下でエツチングし
て磁極歯を形成させ、エツチング工程を終了した後、前
記レジストパターンを剥離して磁極歯の巾を実測確認し
ていた。
磁性材料を機械加工して得られた鉄心に磁極歯形状のマ
スキング用レジストパターンを形成した後磁極歯の谷部
に当る部分を予め設定した一定条件の下でエツチングし
て磁極歯を形成させ、エツチング工程を終了した後、前
記レジストパターンを剥離して磁極歯の巾を実測確認し
ていた。
磁極歯の歯巾確認検査工程は一定条件の下でエツチング
工程を終了させた後レジストパターンを剥離して初めて
磁極歯となる部分の巾が確認できる為、磁極歯の歯巾な
左右する液温、液濃度。
工程を終了させた後レジストパターンを剥離して初めて
磁極歯となる部分の巾が確認できる為、磁極歯の歯巾な
左右する液温、液濃度。
液圧、エツチング時間等の変化に対する条件の調整はレ
ジストパターンの剥離工程が終了しなければ行うことが
できなかった。従ってエツチングが不足している状態で
あってもレジストパターンを剥離した後では追加エツチ
ングはできず不良品とせざるを得なかった。
ジストパターンの剥離工程が終了しなければ行うことが
できなかった。従ってエツチングが不足している状態で
あってもレジストパターンを剥離した後では追加エツチ
ングはできず不良品とせざるを得なかった。
本発明の鉄心磁極歯の製造検査手段は鉄心の磁極歯形成
面と同一面の一部に段階的に巾が異なり且つ磁極歯形成
用レジストパターンのピッチ或いは間隔に等しく配列し
た複数個の歯巾推定用レジストパターンを有している。
面と同一面の一部に段階的に巾が異なり且つ磁極歯形成
用レジストパターンのピッチ或いは間隔に等しく配列し
た複数個の歯巾推定用レジストパターンを有している。
第１図は、本発明の１実施例の斜視図である。
機械加工された２次鉄心１０表面にレジストフィルムで
マスキングした後、光学的・化学的に処理し同一平面上
に磁極歯形成用レジストパターン２と段階的に巾が異な
る歯巾推定用レジストパターン３を形成する。第２図は
、第１図のＡＡ線断面図である。歯巾推定用レジストパ
ターン３−ａ〜３−ｇはその巾１１〜１７が段階的に変
化している。第３図は、エツチング加工終了状態を２次
鉄心の斜視図。第４図は、第３図のＢＢ線断面図。
マスキングした後、光学的・化学的に処理し同一平面上
に磁極歯形成用レジストパターン２と段階的に巾が異な
る歯巾推定用レジストパターン３を形成する。第２図は
、第１図のＡＡ線断面図である。歯巾推定用レジストパ
ターン３−ａ〜３−ｇはその巾１１〜１７が段階的に変
化している。第３図は、エツチング加工終了状態を２次
鉄心の斜視図。第４図は、第３図のＢＢ線断面図。
第５図は、第３図のＣＣ線断面図である。エツチングが
進むにつれて、歯巾推定用レジストパターン３の下部は
、歯巾推定用レジストパターン３−ａ〜３−ｇの両側面
から腐蝕されたサイドエツチング巾ｄによってＩｌｌ
１２＋ １ｓ＋・・・・・・＜２ｄとなる歯巾推定
用レジストパターン３−ａ〜３−ｇのいくつかは脱落し
、この脱落の枚数によって磁極歯の歯巾６−ａを推定す
る。
進むにつれて、歯巾推定用レジストパターン３の下部は
、歯巾推定用レジストパターン３−ａ〜３−ｇの両側面
から腐蝕されたサイドエツチング巾ｄによってＩｌｌ
１２＋ １ｓ＋・・・・・・＜２ｄとなる歯巾推定
用レジストパターン３−ａ〜３−ｇのいくつかは脱落し
、この脱落の枚数によって磁極歯の歯巾６−ａを推定す
る。
以上説明したように、本発明は、リニアモータの鉄心磁
極歯をエツチングによって形成させる際、磁極歯形成面
と同一平面上の一部に前記磁極歯の歯巾推定用レジスト
パターンを設け、この歯巾推定用レジストパターンが脱
落する枚数によって浸蝕の進み具合を推定できる為、レ
ジストを剥離する前に磁極歯形成用レジストパターンの
下部に残存する磁極歯の歯巾を推定することができる。
極歯をエツチングによって形成させる際、磁極歯形成面
と同一平面上の一部に前記磁極歯の歯巾推定用レジスト
パターンを設け、この歯巾推定用レジストパターンが脱
落する枚数によって浸蝕の進み具合を推定できる為、レ
ジストを剥離する前に磁極歯形成用レジストパターンの
下部に残存する磁極歯の歯巾を推定することができる。
こｈによってエツチングが不足と推定された場合は追加
エツチングを行うことができる。また上述したようにエ
ツチングの進行状態を目視によって確認できる為、量産
に対して非常に有効である。
エツチングを行うことができる。また上述したようにエ
ツチングの進行状態を目視によって確認できる為、量産
に対して非常に有効である。
第１図は本発明の製造検査手段を施した２次鉄心の斜視
図、第２図は第１図のＡＡ線断面図、第３図はエツチン
グ後の２次鉄心の斜視図、第４図は第３図ＣＣ線断面図
、第５図は第３図ＣＣ線断面図、第６図及び第７図は本
発明の製造検査手段を施した他実施例の２次鉄心斜視図
、第８図は従来例の２次鉄心の斜視図。 １−＝ａ、１−ｂ・・・・・・露出部、２・・・・・・
磁極歯形成用レジストパターン、３−ａ〜３−ｇ・・・
・・・歯巾推定用レジストパターン。 代理人 弁理士 内 原 晋 ３歯中上いミＭＬジχトハ゛ター、ン 牟１図 ６居籾話歯 宇 ■ 第 圀
図、第２図は第１図のＡＡ線断面図、第３図はエツチン
グ後の２次鉄心の斜視図、第４図は第３図ＣＣ線断面図
、第５図は第３図ＣＣ線断面図、第６図及び第７図は本
発明の製造検査手段を施した他実施例の２次鉄心斜視図
、第８図は従来例の２次鉄心の斜視図。 １−＝ａ、１−ｂ・・・・・・露出部、２・・・・・・
磁極歯形成用レジストパターン、３−ａ〜３−ｇ・・・
・・・歯巾推定用レジストパターン。 代理人 弁理士 内 原 晋 ３歯中上いミＭＬジχトハ゛ター、ン 牟１図 ６居籾話歯 宇 ■ 第 圀
Claims (1)
- エッチングによって形成される磁極歯と同一平面上に巾
が段階的に異なり且つ、前記磁極歯の形成用レジストパ
ターンのピッチ或いは間隔にほぼ等しく配列した複数個
のレジストパターンであってその最小巾は少なくとも、
エッチングが不足の状態でもレジストの周囲からの浸蝕
によってレジストフィルムが付着している表面部分は脱
落し得る巾としたことを特徴とするリニアモータの鉄心
磁極歯製造検査手段。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63254192A JPH02101950A (ja) | 1988-10-07 | 1988-10-07 | リニアモータの鉄心磁極歯製造検査手段 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63254192A JPH02101950A (ja) | 1988-10-07 | 1988-10-07 | リニアモータの鉄心磁極歯製造検査手段 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02101950A true JPH02101950A (ja) | 1990-04-13 |
Family
ID=17261522
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63254192A Pending JPH02101950A (ja) | 1988-10-07 | 1988-10-07 | リニアモータの鉄心磁極歯製造検査手段 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02101950A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103843235A (zh) * | 2011-07-11 | 2014-06-04 | Abb有限公司 | 形成包括高磁透材料具有同步的电机齿、编码器齿和换向轨道的薄板的线性驱动电极的次级的方法 |
| WO2013009730A3 (en) * | 2011-07-11 | 2014-06-05 | Abb Oy | Secondary for linear drive motor comprising sheet of highly permeable magnetic material having synchronized motor teeth, encoder teeth, and commutation tracks integrally formed therein |
-
1988
- 1988-10-07 JP JP63254192A patent/JPH02101950A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103843235A (zh) * | 2011-07-11 | 2014-06-04 | Abb有限公司 | 形成包括高磁透材料具有同步的电机齿、编码器齿和换向轨道的薄板的线性驱动电极的次级的方法 |
| WO2013009730A3 (en) * | 2011-07-11 | 2014-06-05 | Abb Oy | Secondary for linear drive motor comprising sheet of highly permeable magnetic material having synchronized motor teeth, encoder teeth, and commutation tracks integrally formed therein |
| CN103975515A (zh) * | 2011-07-11 | 2014-08-06 | Abb有限公司 | 用于包括具有完整地形成在其中的同步电机齿、编码器齿和换向轨道的高导磁材料薄片的线性驱动电机的次级 |
| CN103843235B (zh) * | 2011-07-11 | 2016-10-12 | Abb有限公司 | 形成包括高磁透材料具有同步的电机齿、编码器齿和换向轨道的薄板的线性驱动电极的次级的方法 |
| CN103975515B (zh) * | 2011-07-11 | 2017-02-08 | Abb有限公司 | 用于包括具有完整地形成在其中的同步电机齿、编码器齿和换向轨道的高导磁材料薄片的线性驱动电机的次级 |
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