JPH0198003A - 組立装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は例えば第１部品を第２部品に載せるような複数
の部品の組立を行う組立装置に関し、特に、位置検出手
段を備え、精度の高い位置決めを行う組立装置に関する
。

〔従来の技術〕

光学顕微鏡等の位置検出手段を用いて、電気部品、電子
部品等の部品の高精度の位置決めを行う組立装置が知ら
れている。

第９図は、従来の組立装置の一例を示す図であり、その
組立装置は、第１０囚に示すような第２部品２２上に第
１部品２１を正確に位置決めして載置する作業を行う、
上記組立装置は、上記第１部品２１を支持するコレット
２３と、調整用テーブル２５．２６および移動用テーブ
ル２７によりその位置が制御され第２部品２２を載置さ
せる載置台２４と、第１部品２１の位置を検出する光学
顕微鏡２８および第２部品２２の位置を検出する光学顕
微鏡２９とから概ね構成されている。

組立作業は、まず、光学顕８＆、鏡２８および光学顕微
鏡２９を用いて、それぞれ第１部品２１および第２部品
２２の位置が検出される。これらの位置の検出後、第１
部品２１に対する第２部品２２の位置関係が計算される
。次に、その計算結果を利用して、上記調整用テーブル
２６により図中Ｙ方向の位置が調整され、上記調整用テ
ーブル２５により図中Ｘ方向の位置が調整される。この
調整位置は、位置検出された第１部品２１から一定距離
ａだけ離れた位置である。そして、その調整位置から一
定距離ｌだけ載置台２４を移動させる機能を持つ移動用
テーブル２７の動作から、上記第２部品２２を載置台２
４ごと一定距離Ｅだけ移動させる。すると、既に調整用
テーブル２５．２６により第２部品２２の位置が調整さ
れているために、第２部品２２は第１部品２１の直下に
移送される。最後に、コレット２３を載置台２４に対し
て垂直に降下させ、第１部品２１を第２部品２２上に載
置させることができる。

〔発明が解決しようとする問題点〕

上述のような先行技術においては、光学顕微鏡２８．２
９による位置検出が正確に行われた場合であっても、高
精度の組立が行われない場合がある。

すなわち、本来、上記光学顕微鏡２８．２９の各位置は
一定であって、それらの間隔りも一定であるはずである
。しかし、当該組立装置が設置される場合の室温の変化
や装置内部の温度上昇等によって、光学顕微鏡２８．２
９の間隔りが変化する。すると、計算され且つ調整用テ
ーブル２５゜２６の動作により調整される調整位置も上
記間隔りの変化に従って変化する。この結果、正確な組
立が不能となる。

また、上記光学顕微鏡２８．２９の間隔りのみなら、ず
一定距離ｌだけ載置台２４を移動させる移動用テーブル
２７についても同様である。すなわち、機械温度の上昇
からネジのピッチの変化等が生じ、載置台２４の移動す
る距離が上記一定距離ｌと異なる距離となってしまうこ
とになる。

このような技術的課題への対策としては、当該組立装置
が設置される場所の室温管理や、移動用テーブル２７を
クローズトループ制御とすること或いは光学顕微鏡２８
．２９の剛性を強くする等の方法がある。しかし、室温
管理の場合、本装置での組立作業に要求される±５μｍ
以下の合わせ精度には、例えば室温を±０．５℃以内に
制御する必要があり、仮にその室温制御を行うならば、
製品価格の著しい上昇を伴うことになる。また、予測で
きない外乱等に対しては、剛性等を強くしても十分に対
処できない。

そこで、本発明は上述の問題点に鑑み、高精度の組立を
容易に実現する組立装置の提供を目的とする。

〔問題点を解決するための手段〕

本発明の組立装置について、実施例に基づく第１図を参
照しながら説明する０本発明の組立装置は、先ず、第１
部品１の支持手段９ををしζ第１部品１の位置検出手段
３と第２部品２の位置検出手段４が所定の間隔りで配置
され、上記第１部品１の位置検出手段３および上記第２
部品２の位置検出手段４からの各位置情報に基づいて部
品の位置が調整される機構を有している。上記支持手段
９は、第１部品ｌを支持するものであり、その移動方向
を問わない、また、上記支持手段９は保持するのみであ
っても良い、上記位置検出手段３゜４としては、光学顕
微鏡やイメージセンサ−等の各部品の位置を検出するも
のが用いられる。各位置情報に基づく位置の調整は、第
２部品２に限らず第１部品１に関して行う構成であって
も良い。

また、上記位置の調整は２次元のみならず３次元や極座
標等を用いた調整であっても良い、そして、上記第２部
品２のｉ！置台１０が一定距離ｌだけ移動され、上記第
１部品１と上記第２部品２の組立を行う、一定距離ｌの
移動は平行移動に限らず回転移動でも良い。

このような機構の装置において、さらに本発明の組立装
置は、上記第２部品の載置台近傍に位置基準マーク５が
設けられ、その位置基準マーク５を第１部品１の位置検
出手段３および第２部品２の位置検出手段４で参照して
、位置基準マーク５の参照情報に基づいて部品の調整位
置を補正しながら組立を行う構成とされている。ここで
、位置基準マーク５は、上記各位置検出手段３．°４に
その位置が正確に検出され得る口中であれば良く、その
光学的、電気的等の検出方法を問わない、そして、この
位置基準マーク５は、上記載置台１０と位置的に固定さ
れる。なお、組立は、装着、接着、挿入等の種々の実装
作業を含む。

〔作用〕

上記位置基準マークを上記第２部品の載置台近傍に設け
、その位置基準マークを第１部品の位置検出手段および
第２部品の位置検出手段で参照することにより、位置基
準マークの参照情報が求められる。この位置基準マーク
の参照情報には、載置台の移動距離ｌに関する誤差や、
各位置検出手段の間隔りに関する誤差が含められる。そ
して、これらの誤差から逆に組立作業の補正値を求め、
その補正値により部品の調整位置を補正しながら組立を
行うことで、正確な組立がなされることになる。

〔実施例〕

本発明の好適な実施例を図面を参照しながら説明する。

まず、本実施例の組立装置の機械的な構造について第１
図を参照しながら説明する。

本実施例の組立装置番ヨ、第１部品１を支持する支持手
段としてのコレット９と、第２部品２を載置させる載置
台１０と、そのｉ３！置装１０に接続され図中Ｘ、Ｙ方
向の位置の調整を行う調整用テーブル６．７および組立
時に一定距離ｌたけ移動する移動用テーブル８と、第１
部品１の位置を検出する位置検出手段としての光学顕微
鏡３と、第２部品２の位置を検出する位置検出手段とし
ての光学顕微鏡４と、上記！１１台１０に配設された位
置基準マーク５とから概ね構成されている。

上記第１部品１を支持するコレット９は、第１部品１を
鉛直方向すなわち図中Ｚ方向に移動させるものである。

このコレット９は第１部品１の一主面から当該第１部品
１を支持する機構を有している。

上記載置台１０は、上記第２部品２を載置させ所定の厚
みを有した円板状の台である。上記第２部品２はその底
面が載置台１０の表面に載置される。載置台１０には、
後述するような位置基準マーク５が配設される。この位
置基準マーク５は、光学顕微鏡３と光学顕微鏡４の双方
に参照される必要があるため、図のような光学顕微鏡３
の配置からは、少なくとも載置台１０の位置基準マーク
５の裏面は切り欠かれ若しくは透明体とされている。こ
の載置台１０の底部はアーム部材１１に支持されている
。アーム部材１１は、載置台１０と調整用テーブル６．
７および移動用テーブル８を連動させるための部材であ
る。このアーム部材１１は、図中Ｘ方向に延在された上
端部に上記載置台１０が配設されて固定され、その基端
側の底部で調整用テーブル６に固定されている。これら
載置台１０およびアーム部材１１は、所要の剛性を有し
てなる。

上記アーム１１を介して！５！置装１０に接続する調整
用テーブルは、図中Ｘ方向での！！置台１０の位置を調
整するための調整用テーブル６と、図中Ｙ方向での載置
台１０の位置を調整するための調整用テーブル７とから
なっている。Ｘ方向を調整方向とする調整用テーブル６
は上記アーム部材１１の底部に接続され、その下にＹ方
向を調整方向とする調整用テーブル７が設けられている
。これら各調整用テーブル６．７は、車軸テーブルであ
って、各ネジ棒に沿ってそれぞれボールネジのパルスモ
ータ−駆動による制御が可能である。

これら調整用テーブル６．７に接続する移動用テーブル
８は、第２部品２の調整位置から図中Ｘ方向へ一定距離
ｌだけＲ置台１０を移動させる。

移動用テーブル８は、ボールネジのＤＣサーボモーター
駆動による車軸テーブルである。なお、移動用テーブル
８をボールネジのパルスモータ−駆動による制御として
も良く、エアシリンダーとメカストツバ−による構成と
することもできる。

上記光学顕微鏡３は、第１部品１の位置検出手段である
。この光学顕微鏡３には、画像を採り込むためのカメラ
が接続され、第１部品１の位置が検出される。光学顕微
鏡３は、コレット９め下方に設けられ、その光軸が上記
コレット９の軸と略同軸に設けられている。上記載置台
１０が移動用テーブル８の作動によって一定距離βたけ
動いた時では、光学顕微鏡３とコレット９に支持された
第１部品１の間の空隙に！！置台１０が位置する。

この光学顕微鏡３の取り付は場所は、上記コレット９の
支持方法によって変えることができ、第１部品１の形状
により側面からのチャフキングができるならば、光学顕
微鏡３を上側に設けることもできる。

上記光学顕微鏡４は、第２部品の位置検出手段である。

この光学顕微鏡４にも同様に、画像を採り込むためのカ
メラが接続され、載置台ｌＯ上の第２部品２の位置が検
出される。光学顕微鏡４は、載置台１０の表面から離間
されて、その光軸方向は載置台ｌＯの略法線方向である
。そして、この光学顕微鏡４と上記光学顕微鏡３は、各
光軸が平行線であって、その間隔が一定の間隔りとされ
ている。

上記載置台１０に配設された位置基準マーク５は、光学
顕微鏡３，４にそれぞれ参照され、組立作業の補正値を
算出するための目印である。この位置基準マーク５は、
−例として透明体に不透明な十字状の模様を配したもの
とされる。このような透明体にマークを設けることで、
下方から光学顕微鏡３．上方から光学顕微鏡４を用いて
それぞれマークの参照を行なえる。また、位置基準マー
ク５を不透明な下地に透明なマークを設ける様にするこ
ともできる。

次に、概ね上述の如き機械的構造を有する本実施例の組
立装置の作動状態について説明する。

まず初めに、第２図を参照して、通常の組立作業Ａにつ
いて簡単に説明すると、開始後、参照作業でない側（Ｎ
ｏ側）へ進み、第１部品１がコレット９で支持され、第
２部品２が上記Ｒ置台１０の表面に載置される（ＯＤ＋
）−次に、上記光学顕微鏡３で上記第１部品１の位置が
検出され、上記光学顕微鏡４で上記第２部品２の位置が
検出される（ＯＤり−この検出されたデータを利用し、
さらに後述するような参照作業Ｂによって補正値が有る
ときはその補正値も用いて、第１部品１に対する第２部
品２の位置関係を明らかにし、検出されたデータと補正
値に基づく調整値を計算する（ｏＤｓ）−第３図は、光
学顕微鏡３の光軸０゜、光学顕微鏡４の光軸０４の位置
関係を示している。その間隔りは、移動用テーブル８の
一定距離ｌの移動方向すなわち図中Ｘ方向に対して微小
な角度を持つものと仮定され、間隔りのＸ成分はＸＬと
され、間隔りのＹ成分はＹ、とされる、そして、調整値
は、この第３図に示す位置関係を基に算出される。補正
値がない場合については（補正値が有る場合については
後述する。）、例えば光学顕微鏡３の光軸０．からの第
１部品１の座標が（ｘ＋　、　　３’＋　）とされ、光
学顕微鏡４の光軸０４からの第２部品２の座標が（Ｘｘ
、）’ｔ）とされるときに、調整値（Ｘａ、Ｙａ）は、 （Ｘａ、ｖａ）”　（ｊ！＋ｘｌ　　ＸＬ　−ＸＩ　ｙ
ｌ　　ＹＬ　　Ｖｚ）と表される。

このような調整値に基づき載置台１０上に載置された第
２部品２の位置を調整する（ＯＤ４）。

この調整は、調整用テーブル６．７を用いて行われる。

調整用テーブル６により第１図中Ｘ方向の調整が行われ
、調整用テーブル７から第１図中Ｘ方向の調整が行われ
る。すなわち、上記調整値（補正値なし）では、（Ｘａ
、Ｙａ）だけ動かせば良い。このように調整用テーブル
６．７を用いて第２部品２が調整位置にセントされた後
、上記移動用テーブル８が作動して第２部品２が載置台
１０ごと第１図中Ｘ方向に一定距離Ｅだけ移動する（０
０ｓ）−すると、既に調整がなされているために、コレ
ット９を下降させ、第２部品２上に第１部品１を組み立
てることができる。そして、上記移動用テーブル８の作
動により載置台１０を戻すと共に組立られた部品を取り
外す（ＯＤ６）−以後、終了か否かを判断しく０Ｄ７）
、終了若しくは継続の状態に移る。継続の場合では、再
び参照作業の時刻か否かが判断される（ＯＤｏ）−次に
、参照作業日について説明する０通常の組立作業Ａから
参照作業Ｂに移行する場合、参照作業に移行する時刻か
否かで判断される（ＯＤｏ　）。

参照作業を行う時刻であるとき（ＹＥＳ）では、参照作
業Ｂの流れに移る。なお、必ずしも所要の時刻を基準と
して参照作業に移゛るのではなく、機械装置温度や室温
の変化を検出し、ある温度で参照作業Ｂに移るようにす
ることもできる。また、その他の作業環境の変化に対し
て参照作業Ｂのループに進むようにすることも可能であ
る。

参照作業Ｂは次のように進められる。まず、載置台１０
に配設された位置基準マーク５を、第２部品２の光学顕
微鏡４の視野内に入れ、その焦点を合わせる（ＲＦＩ）
−次に、第２部品２の光学顕微鏡４で位置基準マーク５
の交点の座標（Ｘ４、ｙ４）を検出し、その位置の座標
を記憶する（ＲＦ２）、続いて移動用テーブル８を作動
させ、載置台１０を一定距離ｌだけ移動させる（ＲＦｓ
）。その移動後、上記位置基準マーク５を、第１部品ｌ
の光学ａ微鏡３の視野内に入れ、その焦点を合わせる（
ＲＦ、）。次に、第１部品１の光学顕微鏡３で位置基準
マーク５の交点の座標（Ｘ３、ｙｓ）を検出し、その位
置の座標を記憶する（ＲＦ、）、このようなＲＦ、〜Ｒ
Ｆ、の動作から、光学顕微鏡４の光軸０４からの交点の
座標（ｘｓ＋ｙｉと、光学顕微鏡３の光軸Ｏ８からの交
点の座標（Ｘｉ、ｙｓ）とが求められる。

次に、第１回目の参照作業か否かが判断される（ＲＦ、
）、第１回目の参照作業である場合（ＹＥＳ）では、初
期相対距離値（Ｘｉ、Ｙｉ）が求められる（ＲＦ？　）
−この初期相対距離値（Ｘｉ。

Ｙｉ）は、光軸間の間隔りや移動テーブル８の移動路＠
１が変化しない時点で求められ、上記座標（ｘ３．ｙｓ
）、座標（ｘ４．ｙ４）の記憶から、−例として初期相
対距離値（Ｘｉ、Ｙｉ）＝　（ｘ３　＋　Ｘａ　ｒ　　
３’言＋ｙ４）（但し、座標の採り方は、光軸０．を中
心とする。〕である、そして、このとき初期相対距離値
（Ｘｉ、Ｙｉ）は、（１−ＸＬ、ＹＬ）と等しいものと
なる。また、初期相対距離値（Ｘｉ、Ｙｉ）として、単
に各座標値を記憶し保持するだけでも良い、このような
初期相対距離値（Ｘｉ、Ｙｉ）は、次に説明する補正値
を算出するための基礎データとして用いられるも°ので
ある。従って、第４図に示すように、光軸間の間隔りや
移動テーブル８の移動路＠１が変化していない状態で求
められる。なお、初期相対距離値として、補正の必要の
ない状態での調整値をそのまま用いるようにしても良い
、なお、第４図中、矩形３ａ、４ａは、それぞれ各光学
顕微鏡３，４に接続されるカメラのモニター画面を示し
ている。

次に、第１回目の参照作業でない場合すなわち補正値を
位置基準マークの参照情報に基づいて計算する場合につ
いて説明する。まず、例えば第ｎ回目（ｎ−１，ｎは自
然数）の参照作業において、判断ＲＦ、ではＮｏ側に進
み、相対距離値（ｘ　ｎ。

Ｙｎ）を求める。これを第５図を参照しながら説明する
と、補正値を算出する前提として、移動用テーブル８の
一定距離Ｊに誤差Δｌが生じ、光軸Ｏｓ、Ｏａ間の間隔
りに誤差が生じてそのＸ成分が（ＸＬ＋ΔＸＬ）とされ
且つそのＹ成分が（Ｙ、＋ΔＹＬ）とされたものとする
。作業要素ＲＦ１〜ＲＦ、を経ることで、第ｎ回目の参
照作業時の座標データが検出されており、その座標をこ
こで座標（Ｘ２１１＋７ｓ、ｌ）＋座標（Ｘ　４□Ｙ　
４１１）とする。そして、これらの座標値から求められ
る相対距離値（Ｘｎ、Ｙｎ）は、（Ｘｎ、Ｙｎ）＝　（
ｘ１ａ＋　Ｘ４．ｌ＋　　Ｙ２１１”　Ｙ４ｎ＞となる
、この相対距離値（Ｘｎ、Ｙｎ）は、第５図からも明ら
がなように、（Ｅ十ΔＺ−ＸＬ−ΔＸＬ、Δｍ−’ｌＬ
−ΔＹＬ）〔なお、ΔＹ、の絶対値は第５図中マイナス
値である。〕と等しい。

次に、このようにして求められた相対距離値（Ｘｎ、Ｙ
ｎ）と初期相対距離値（Ｘｉ、Ｙｉ）から補正値（ΔＸ
、ΔＹ）を求めてみる（　ＲＦ　１゜）、まず、初期相
対距離値は、 （Ｘｉ、Ｙｉ）−（ｘｓ　＋ｘ４．　　ｙｓ　＋ｙ４　
）−（Ｊ−ＸＬ、Ｙ、　）−・−・・・・・−・・−・
・０次に、相対距離値は、 （Ｘｎ、　　Ｙｎ）　　＝　　（Ｘ２＋１＋　Ｘ４１１
１　　）’３１１＋　ｙａ、１）＝（１＋ΔＮ−ＸＬ　
−ΔＸｔ、　　Δｍ−ＹＬ　−ΔｙＬ　）　　−−−−
一・・・・−・・−・・−・・−■である。ここで、こ
れら式■−式■の辺、々減算を考えてみると、 （Ｘｉ、Ｙｉ）−（Ｘｎ、Ｙｎ） ＝（Ｘ！Ｒ＋Ｘ４１１ＸツＸ４ｒＹｘｎ＋Ｙａｎ−ｙｚ
　−ｙａ　） ＝（Δｉ−ΔＸＬ、Δｍ−ΔＹＬ　）　　−−−−−−
−■となる。すなわち、弐〇より相対距離値から初期相
対距離値を差し引いた値は、（Δｌ−ΔＸＬｉΔｍ−Δ
ＹＬ）であって、それぞれ生じた誤差を相対量として示
すものとなる。そこで、相対距離値から初期相対距離値
を差し引いた値（（Ｘ　ｔ。

Ｙｉ）−（Ｘｎ、Ｙｎ））を補正値（ΔＸ、ΔＹ）とす
ることで、一定の移動距離ｌや光軸間の間隔りに生じた
誤差を総合的に数値化できることになる。

このような初期相対距離値や相対距離値を求めた後、移
動用テーブル８を戻し、載置台１０を当初の位置に戻す
（ＲＦｓ）。以下、通常の組立作業に戻り、判断ＯＤ、
等を経て、上述の組立作業が行われる。特に作業ＯＤ、
では、参照作業Ｂによって求められた補正値（ΔＸ、Δ
Ｙ）が検出データに加えられ、一定の移動距離ｌや光軸
間の間隔りに生じた誤差を含んだ形で調整値（Ｘａ、Ｙ
ａ）が算出されることになる。このため、本実施例の組
立装置では、参照作業Ｂを行った後では、一定の移動距
離ｌや光軸間の間隔りの誤差を組立作業に反映させるこ
となく組立作業が行われることになる。

次に、本実施例の組立装置の有効性を示す実験例工、■
について、第６図〜第８図を参照しながら説明する。

まず、実験例Ｉは、どの程度の誤差が生じるかを実証す
るための実験例である。この実験例Ｉの仕様は、光学顕
微鏡３．４として２０倍の対物レンズを使用し、ＣＯＤ
　（電荷結合素子）カメラにより画像処理を行っている
。データは、第２部品２にかかる光学顕微鏡４における
位置基準マーク５の座標を原点（０，Ｏ）とし、移動用
テーブル８を作動させ、今度は第１部品１にかかる光学
顕微鏡３での位置基準マーク５の位置をＸ成分（第６図
中Δ印で示す、）、Ｙ成分（第６図中Ｏ印で示す。）で
表示したものである。なお、第６図にはデータと同時に
その作業温度についてｘ印で示している。

このような実験例Ｉの結果を第６図に示す０図からも明
らかなように、経時的に位置基準マーク５の座標が光学
顕微鏡３において変化していることが分る。Ｙ成分では
、開始時に画素２９３の位置であったものが、最終的（
約９時間後）に画素２８４の位置までずれている。Ｙ方
向の１画素は０．６７μｍであり、９画素分のずれであ
るから結局およそ６μｍずれている。Ｘ成分では、開始
時に画素２４０の位置であったものが、最終的に画素２
７４の位置までずれている。Ｘ方向の１画素は０．８μ
ｍであり、３４画素分のずれであるから結局およそ２８
μｍもずれている。

以上の実験例■は、位置基準マークの参照情報によって
部品の調整位置を補正しない例であるが、実験例■では
、参照作業における参照情報によって部品の調整位置を
補正している。その結果は、第７図および第８図に示す
通りである。

第７図に示す結果からは、Ｘ方向のデータとして、３５
９〜３６０ｐｍをピークとする分布が得られ、そのばら
つきは８μｍ以下（６σ−１０゜４）となっている、ま
た、第８図に示す結果からは、Ｘ方向のデータとして、
８７〜８８μｍをピークとする分布が得られ、そのばら
つきは同様に８μｍ以下（６σ−１０，６）となってい
る。このように補正値（ΔＸ、ΔＹ）を調整値（Ｘａ、
Ｙａ）に加えていくことで、位置決めのばらつきは大幅
に低減されていくことになる。ここで、実験例のサンプ
ル数は５０であり、ばらつきの中には他のプ、ロセス的
な要因も含まれている。

なお、上述の実施例は、好適な一例を示したものであり
、本発明の組立装置は、その要旨を逸脱しない範囲での
種々の変更が可能であることは言うまでもない。

〔発明の効果〕

本発明の組立装置は、上述のように、通常の組立作業に
加えて、位置基準マークの参照情報をもって部品の調整
位置を補正するために、高精度の位置決めが可能であり
、μｍレベルでの組立が実現される。そして、本発明の
組立装置では、作業温度の制御のための装置等も不要と
なる。また、本発明は、その補正を行うために特別に機
械的に１３［雑な機構を設けるものでもなく、従って、
安価で且つメンテナンスも容易である。また、画像処理
システムとの組み合わせによる自動化を図ることや、温
度センサー等との組合せによる制御も容易となる。

このため本発明の組立装置を製造ラインで用いることで
、信転性の高い組立作業が行われ、製造コストの低減も
図ることができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の組立装置の一例を示す要部斜視図、第
２図は本発明の組立装置にかかる組立作業の一例のフロ
ーチャート、第３図は本発明の組立装置にかかる位置検
出手段の光軸の位置関係を示す平面図、第４図は本発明
の組立装置の一例の外乱等のない状態における位置基準
マークの座標を説明するための平面図、第５図は本発明
の組立装置の一例の外乱等の有る状態における位置基準
マークの座標を説明するための平面図、第６図は実施例
に説明する実験例■の実験結果を示す図、第７図は実施
例に説明する実験例■のＸ方向にかかる実験結果を示す
図、第８図は実施例に説明する実験例■のＹ方向にかか
る実験結果を示す図である。 また、第９図は従来の組立装置の一例を示す斜視図、第
１０図は組立作業の概念を示す模式図である。 １・・・第１部品 ２・・・第２部品 ３．４・・・光学顕微鏡 ５・・・位置基準マーク ６・・・調整用テーブル ７・・・調整用テーブル ８・・・移動用テーブル ９・・・コレット １０・・・載置台 特許出願人　　　ソニー株式会社 代理人弁理士　小池　晃（他２名）

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 　第１部品の支持手段を有し、第１部品の位置検出手段
   と第２部品の位置検出手段が所定の間隔で配置され、上
   記第１部品の位置検出手段および上記第２部品の位置検
   出手段からの各位置情報に基づいて部品の位置が調整さ
   れた後、上記第２部品の載置台が一定距離移動され、上
   記第１部品と上記第２部品の組立を行う組立装置におい
   て、上記第２部品の載置台近傍に位置基準マークが設け
   られ、その位置基準マークを第１部品の位置検出手段お
   よび第２部品の位置検出手段で参照して、位置基準マー
   クの参照情報に基づいて部品の調整位置を補正しながら
   組立を行う組立装置。