JPH019168Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 （産業上の利用分野） この考案は半導体部品の電気特性テスタ、ボン
デイング装置等に使用するのに好適なワーク位置
決め装置に関する。

（従来の技術） 例えば、フラツトパツケージと呼ばれる半導体
部品（以下「ワーク」という）１は第４図に示す
ように、上面２および底面３が平行に形成され、
各側面の長手方向中心線を稜線５とし、当該稜線
５を中心とした上面および底面方向は内方傾斜し
た傾斜面４，４′となつており、当該稜線５に所
定間隔をへだて字状のリード６を突出して配列
した構造からなつている。

従来、かかるワークの電気特性をテストするに
は、内部にワーク１のリード６と接続可能な接点
リードを有し、かつ開閉可能な蓋を有するテスト
用ソケツトを用いている。すなわち、テスト用ソ
ケツトの蓋を開とした後、オペレータがワーク１
を手動でソケツト内にセツトして、ワークのリー
ドとソケツトの対応する接点リードを接触させた
後、蓋を閉とすることによつて通電し、測定を行
なう。

しかして、近時、ワークの全自動システムによ
る電気特性テスターの実現が要望されている。し
かし、そのためには、テスト用ソケツトにセツト
する直前に、ワークを自動的に正しい位置に位置
決めすることが必要である。

（考案が解決しようとする問題点） この場合、例えば特開昭58−200547号公報に開
示されているような位置決め用ブロツクを電気特
性テスタにセツトする直前のワークの位置決め用
として、又はボンデイング装置のボンデイング位
置にセツトする直前のワークの位置決め用として
用いることが考えられる。しかし該公報に開示さ
れている、位置決めブロツクは１対のＬ字形ブロ
ツクによりワークの対向角部を中心方向へ押圧し
てワークを定められた位置に位置決めするもので
あつて、これを第４図に示すようなフラツトパツ
ケージ型の半導体部品の位置決め装置として用い
ると、位置決め中、Ｌ字型ブロツクによつて、突
出している多数のリード６に無理な力が加えら
れ、内部素子を破損する恐れがある。

又、例えば実公昭58−18286号公報に開示され
ているようなペレツト位置決め装置をフラツトパ
ツケージ型の半導体部品の位置決め装置として用
いることも考えられる。

しかし、該公報に開示されているペレツト位置
決め装置は一対の押し爪のペレツトとの当接部分
がペレツトの側壁中間部と線接触することを特徴
とするもので、これもペレツトの側壁を一対の爪
で押圧するものであるから、内部素子に対して好
ましくない影響を与えるおそれがある。

（問題点を解決するための手段） この考案は上述のごとき、問題点を解決するた
めになされたもので、位置決めステージの相対す
るコーナ部にストツパ部を設け、爪にワークのリ
ード外側部に対応する位置規制面と前記ストツパ
部に当接する当り面を設け、爪の前進限において
前記位置規制面と位置決めステージのワーク載置
部に載置された、ワークのリード外側部との間隙
の和が所定のごとくなるように位置規制面、スト
ツパ部および当り面の位置関係を定めたものであ
る。

（実施例） 本考案を第１図〜第３図に示す実施例に従つて
説明する。

例えば四角形状立方体からなる位置決めステー
ジ７の相対するコーナ部１１，１１′には、それ
ぞれ垂直面からなるストツパ部１２，１２′が形
成され、当該位置決めステージ７の上面には上面
が平坦のワーク載置部８が形成されており、ワー
ク載置部８の側面は、上記ストツパ部１２の垂直
面を通る垂直線より内方へ切り欠かれた段付きの
垂直面として、後述するようにワーク１をワーク
載置部８に載置した時、リード６との干渉を防ぐ
逃げ部分９としている。

上記位置決めステージ７には一端がワーク載置
部８の上面の所定部分を貫通し、他端が図示しな
い真空源に連なる載置されたワークを真空吸着す
るための、吸引穴１０が設けられている。

１４，１４′は互いに相対向する位置に配置さ
れた爪で、エアーシリンダ１７の駆動により、互
いに相寄る方向ａ又は相離れる方向ｂへ前進又は
後退可能である。爪１４，１４′の対向先端部に
は位置決めステージ７の前記ストツパ部１２に対
向する当り面１５，１５′が形成されるとともに、
ワーク１がワーク載置部８上に載置された場合に
おける、リード外側部６１に対応する位置規制面
１６，１６′が形成されている。

この場合、爪１４，１４′が前進して、その当
り面１５，１５′が位置決めステージ７のストツ
パ部１２，１２′に当接した時、すなわち、爪１
４，１４′が前進限に来た時、ワーク１がワーク
載置部８の正規位置に載置されているとした場
合、ワーク１のリード外側部６１とそれと対向す
る位置規制面１６との間の間隙が△Ｌとなるよう
に位置規制面１６，１６′、ストツパー部１２，
１２′および当り面１５，１５′の関係位置が設定
される。

上記実施例においては爪１４，１４′の位置規
制面１６，１６′と当り面１５，１５′とを同一垂
直面としてあるが、本考案は、これに限定される
ものではなく、要は、前述のように、位置規制面
１６，１６′とワーク１のリード外側部６１との
間隙の和を２△Ｌに確保できるように位置規制面
１６，１６′、ストツパ部１２，１２′および当り
面１５，１５′との関係位置を設定すればよく、
種々の変形が可能である。

（作用） ワーク１は、たとえば、図示しない、真空吸引
式コレツト等を利用した、公知の吸着式搬送手段
等でワーク載置部８上に載置される。

この状態では吸引穴１０によるワーク１の真空
吸引はなされていない。

しかる後、エアーシリンダ１７を駆動して室１
８に給気し、室１９から排気することによつて、
連結部材２０，２１を介して連結されている爪１
４，１４′はそれぞれ、その下方に設けられてい
る、ガイド部材１３，１３′で案内されて、位置
決めステージ７の対向するコーナ部１１，１１′
方向へ前進し、当り面１５，１５′が位置決めス
テージ７のストツパ部１２，１２′に当接するが、
その間、爪１４，１４′の規制面１６，１６′は不
整位置にあるワーク１のリード６を押しながらワ
ーク１の位置決めを行い、最終的に爪１４，１
４′の当り面１５，１５′が位置決めステージ７の
ストツパ部１２，１２′に当つて、爪１４，１
４′を停止する。第１図から明らかなごとく、エ
アーシリンダ１７の駆動による爪１４，１４′の
前進、後退移動量は同一であるので、諸元は適宜
設定することによつて、ワーク１は爪１４，１
４′の位置規制面１６，１６′によるリード６に対
する規制によつてワーク載置部８上を変位し、最
終的には間隙２△Ｌの範囲内の遊びで位置決めさ
れることとなる。この場合、間隙△Ｌの値を適切
に設定しておけば、その遊びがあつても次のテス
ト用ソケツトへ挿入するための位置決め精度、又
はボンデイングのための位置決め精度を十分確保
できることが、本考案者の実験の結果、判明して
いる。

このようにして、ワーク１が位置決めされた
ら、真空装置を動作として吸引穴１０を介して、
当該ワーク１をワーク載置部８上に真空吸着し、
エアーシリンダ１７を前述したと逆の方向に駆動
して爪１４，１４′をそれぞれ後退させる。位置
決めされたワーク１は図示しない、真空吸着式コ
レツト等を利用した吸着式搬送手段によつてテス
ト部、ボンデイング部等に搬送される。吸着式搬
送手段による搬送時にワーク１のワーク載置部７
への真空吸着を解くことはもちろんである。

（考案の効果） 本考案によれば、位置決めステージ７の相対す
るコーナ部１１，１１′にストツパ部１２，１
２′を設け、爪１４，１４′にワーク１のリード外
側部６１に対応する位置規制面１６，１６′、と
前記ストツパ部１２，１２′に当接する当り面１
５，１５′を設け、爪１４，１４′の前進限におい
て位置規制面１６，１６′と、それと対向するワ
ーク載置部８に載置されたワーク１のリード外側
部６１との間の間隙の和が２△Ｌとなるように位
置規制面１６，１６′、ストツパ部１２，１２′及
び当り面１５，１５′との位置関係が設定されて
いるので、上記２△Ｌという遊びをもつた位置決
めが出来、第４図に例示したごときフラツトパツ
ケージの場合でも側面に突出したリードに何等の
無理な力を加えることなく、ワーク載置部８を滑
らしての位置決めが可能であり、従つて従来にお
けるごとく、位置決め時に加えられる無理な力に
よつてリードを曲げたり、内部素子を破損したり
することにより不良品が生ずることはない。又、
上述したごとく、２△Ｌはテスト用ソケツトへの
挿入又はボンデイングのための位置決め精度に何
等支障が生じない範囲内で十分設定可能であるこ
とも確認されており、位置決め精度の面からする
信頼性も高い、等その実用的効果は顕著である。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案の全体構成を示す平面図、第２
図は第１図のＡ−Ａ断面図、第３図は第２図にお
ける位置決めステージのストツパ部、爪の位置規
制面および当り面およびワーク載置部に載置され
たワークのリード外側部との位置関係を示す拡大
断面図、第４図ａはフラツトパツケージ型半導体
部品を示す斜視図、第４図ｂは第４図ａにおける
リードの一部拡大側面図である。 １……ワーク、７……位置決めステージ、８…
…ワーク載置部、１１，１１′……位置決めステ
ージのコーナ部、１２，１２′……位置決めステ
ージのコーナ部に設けられるストツパ部、１４，
１４′……爪、１５，１５′……爪に設けられる当
り面、１６，１６′……爪に設けられる位置規制
面、６１……リード外側部。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. ワーク載置部８を有する位置決めステージ７
   と、この位置決めステージ７の相対するコーナ部
   １１，１１′に対して前進、後退する爪１４，１
   ４′とを備えたワーク位置決め装置において、位
   置決めステージ７の相対するコーナ部１１，１
   １′にストツパ部１２，１２′を設け、爪１４，１
   ４′にワーク１のリード外側部６１に対応する位
   置規制面１６，１６′と前記ストツパ部１２，１
   ２′に当接する当り面１５，１５′を設け、爪１
   ４，１４′の前進限において、位置規制面１６，
   １６′と、それと対向するワーク載置部８上に載
   置されたワーク１のリード外側部６１との間の間
   隙の和が２△Ｌとなるように、位置規制面１６，
   １６′、ストツパ部１２，１２′及び当り面１５，
   １５′の関係位置を設定したことからなるワーク
   位置決め装置。