JPH0160764B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

技術分野 本発明は、被検物、特に微小な物体の形状およ
び寸法を表わす三次元座標検出装置に関し、特
に、極めて微小な物体や変形し易い物体に対し、
非接触にて測定点検出用フイーラの先端形状等に
基づく補正を要せずに、安定確実かつ高精度に三
次元座標検出を行ない得るようにしたものであ
る。 従来技術 最近、各産業における精密加工技術や自動化に
よる大量生産技術の進歩に伴い、大量かつ高い加
工精度の製造技術が要求されている。しかして、
高い加工精度の基礎となる測長技術は、被検物が
立体的なものであるから三次元的に測定を行なわ
なければ正確さ、省力化、迅速化等の要求を満た
し得ない。したがつて、最近は、三次元測定機が
測長技術の主役として大きくクローズアツプされ
て来ている。 この種三次元測定機は、測定点検出器、すなわ
ち、いわゆるフイーラがＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸よりな
る三次元空間における任意の方向に移動して測定
点の三次元座標を読取り得るようにした三次元座
標検出装置であり、 (1) Ｘ，Ｙ，Ｚ座標位置を直読し得る。 (2) 熟練を要せず、操作が簡単である。 (3) 測定値をデイジタル表示、デイジタル処理し
得、個人誤差が生じない。 (4) 任意の空間位置を座標原点に設定し得る。 等の幾多の利点を有するものである。 しかして、この種三次元座標検出装置は、Ｘ，
Ｙ，Ｚの３軸よりなる直角座標系を採用している
ものが圧倒的に多く、また、被検物を載置するテ
ーブルを移動式にしたものよりテーブル固定式に
し、しかも、第１図に示すようなブリツジ型にし
たものが最も広く使用されている。 図示のテーブル固定式ブリツジ型三次元座標検
出装置においては、基台３０上に被検物載置用テ
ーブル３１を固定するとともに、基台３０の両側
端部に固定した支柱３２を接続してＹ軸方向に移
動可能にしたフレーム３３を設け、そのフレーム
３３上をＸ軸方向に移動可能にしてキヤリツジ３
４により、Ｚ軸方向に移動可能にして支持軸３５
を保持し、その支持軸３５の下端に設けたフイー
ラ・マウント３６に被検物上の測定点を検出する
ための測定点検出子すなわちフイーラを取付ける
ように構成してある。したがつて、フイーラFl
は、テーブル３１の被検物載置面に対し、平行の
Ｘ，Ｙ軸方向および垂直のＺ軸方向に任意に移動
して、所望の測定点を検出し得る。 一方、量産品製造技術における製品の品質に対
する要求および生産の合理化の必要性に応じて新
たに数値制御加工技術の開発が促進されるに伴
い、この製造技術によつて確実な成果を得るため
に、製品検査の迅速性と正確性とが特に強調され
ている。しかしながら、製品検査における測定誤
差は製造公差の端数の範囲しか許されないので、
集積回路等の製品の微細化により製造公差がミク
ロンオーダである場合には三次元座標検出装置に
対しても、単に機械的精度の向上によつて達成し
得る最高の機械的精密度の他に、座標検出装置の
設計に関する構想の段階において、物理的合法則
性の利用について新なな考慮をなすことが重要で
ある。 しかして、第１図に示したような構成のこの種
三次元座標検出装置においては、従来、被検物の
測定点検出用にフイーラマウント３６に取付ける
フイーラすなわち検出子としては、先端に微細な
球体を回転可能に装着した接触型フイーラが用い
られて来た。かかる接触型フイーラにより被検物
の被測定点を順次に検出して三次元曲面の輪郭を
測定しようとすると、フイーラの先端に装着した
回転球の形状、寸法の測定値に及ぼす影響を補正
して測定誤差の発生を防止しなければならず、し
たがつて、精密な測定を正確に行なうことが困難
であつた。また、フイーラの先端により被検物に
機械的に接触して測定を行なうと、ゴム製品等の
軟かくて変形し易い被検物や集積回路等の極めて
微細な構造を有する被検物、あるいは、塑性加工
の対象物等の形状・寸法の測定は一層困難であ
る、という欠点があつた。したがつて、この種三
次元座標検出装置については、従来、その性能を
飛躍的に向上させる新たな構想として非接触型フ
イーラの開発が要望されていた。 発明の要点 本発明の目的は、上述した従来の欠点を除去す
るとともに従来の要望を達成し、被検物測定点検
出用フイーラを非接触型に構成し、フイーラ先端
の形状・寸法等に対する補正を要せずに、Ｘ，
Ｙ，Z3軸による三次元座標の同時検出を確実容
易に行ない、高精度の測定を迅速に行ない得るよ
うにした非接触型三次元座標検出装置を提供する
ことにある。 すなわち、本発明非接触型三次元座標検出装置
は、Ｚ軸に対して対称に傾斜させた一対の顕微鏡
による被検物測定点の像を一対のテレビジヨンカ
メラにより撮像し、それら一対のテレビジヨンカ
メラによる撮像出力画像のモニタ画面上における
一致により、イメージスプリツト式照準器と同様
の動作原理により光学的に非接触にて被検物測定
点の三次元座標を検出し得るようにしたものであ
り、被検物を載置するテーブルと、そのテーブル
の載置面に平行のｘ軸方向およびｙ軸方向にそれ
ぞれ移動可能に設けたフレームと、前記載置面に
垂直のｚ軸方向に移動可能にして前記フレームに
取付けた支持軸と、ｚ軸に対し互いに対称にｘ軸
方向またはｙ軸方向に互いに離隔して前記支持軸
に取付けるとともにｚ軸に対し互いに等しい角度
をなして傾斜した光軸をそれぞれ有する一対の顕
微鏡と、それら一対の顕微鏡にそれぞれ結合した
一対のテレビジヨンカメラと、それら一対のテレ
ビジヨンカメラの撮像出力画像を合成する画像合
成装置と、その画像合成装置の合成出力画像を表
示するテレビジヨンモニタと、前記一対のテレビ
ジヨンカメラの各撮像面および前記テレビジヨン
モニタの表示面の走査を同期制御する制御回路と
を備え、前記被検物の所定個所の前記一対のテレ
ビジヨンカメラによる各撮像出力画像の前記テレ
ビジヨンモニタの表示面上における前記フレーム
および前記支持軸のそれぞれの移動に応じた互い
の一致により前記被検物の前記所定個所のｘ軸、
ｙ軸およびｚ軸に対する三次元座標を非接触にて
検出し得るように構成したことを特徴とするもの
である。 実施例 以下に図面を参照して実施例につき本発明を詳
細に説明する。 本発明非接触型三次元座標検出装置は、前述し
たように、その動作原理として、例えばＺ−Ｘ平
面内にてＺ軸に対し対称に傾斜した一対の顕微鏡
による被検物像のモニタ画面上における一致によ
り被検物測定点の三次元座標を検出するのである
から、モニタ画面上における被検物像のＸ軸方向
の動きは三次元座標検出装置におけるＸ軸方向の
動きとともにＺ軸方向の動きにも依存する。そこ
で、本発明装置における測定精度に関する基礎デ
ータを得るために、まず、第２図に示すように、
前述した第１図示のテーブル固定式ブリツジ型三
次元座標検出装置における支持軸３５に相当する
支持軸１１に単一の顕微鏡１を取付けてその光軸
を被検物載置用テーブル１２の載置面に垂直のＺ
軸方向に保持し、その顕微鏡１に光学的に結合さ
せた超小型のテレビジヨンカメラ３による被検物
１３の撮像出力画像をテレビジヨンモニタ９の画
面上に表示し、その表示面に予め描いた基準線１
０に被検物１３の像、例えば、被検物１３の上面
に形成した格子縞における格子点の像を一致させ
たときのＸ，Ｙ，Z3軸の座標を測定したときに
おける繰返し精度を求めた。 すなわち、被検物として幅50μmの格子縞を焼
付けた平板を用い、支持軸１１を保持したフレー
ムを移動させて格子点を表示面上の基準線１０に
一致させたときのＸ座標を読取る操作を多数回反
復して行ない、Ｘ座標の読みについて標準偏差を
求めた。その結果を、顕微鏡１の倍率を50倍とし
て50回の読取りを反復したときについて第３図に
示す。図は、順次の2μm幅の範囲に入るＸ座標値
の読取り度数の百分率を示したものであり、その
標準偏差σは2.08μmであつた。 上述のようにしてＺ軸方向の光軸を有する顕微
鏡により読取つたＸ座標値の標準偏差σを、顕微
鏡の倍率を変えて求めた結果顕微鏡倍率と標準偏
差値との関係を第４図に示す。図から明らかなよ
うに、顕微鏡倍率を35倍から100倍までの範囲で
変化させた限りにおいては、Ｘ座標読取り値の標
準偏差は顕微鏡倍率の変化に対して有意の変化を
示さず、ほぼ2.0μmであつた。 また、第５図に示すように、被検物上面に形成
した格子縞のＸ軸方向の幅にほぼ等しい間隔にて
モニタ画面上にＹ軸方向の基準線を２本設け、そ
れら２本の基準線の間に格子縞像を挾むようにし
てＸ座標の読取りを行なつた場合には、顕微鏡倍
率を50倍としたときに、Ｘ座標読取り値の同様の
標準偏差が、第４図に方形の測定点口によつて示
すように、0.8μmとなり、Ｘ座標読取り精度が格
段に向上した。 しかして、従来のこの種座標検出装置における
接触型フイーラによる座標読取りの標準偏差は通
例１〜2μm程度であるから、顕微鏡、テレビジヨ
ンカメラおよびテレビジヨンモニタの組合わせか
らなる本発明の非接触型フイーラによれば、現実
験段階においても、少なくとも従来と同程度の座
標読取り精度が得られることが明らかとなつた。 つぎに、上述のような単一の非接触型フイーラ
によるＸ，Ｙ座標読取り精度の確認のもとに、Ｚ
座標の読取りをも非接触型にて可能にした本発明
非接触型三次元座標検出装置の原理的構成および
座標読取り動作の態様について説明する。 しかして、本発明座標検出装置は、前述したよ
うに、Ｚ軸に対して対称に傾斜した一対の顕微鏡
により、イメージスプリツト式照準器と同様の動
作原理により光学的に三次元座標を読取るのであ
るから、上述したようにＺ軸方向に光軸を有する
顕微鏡を用いたときのＸ座標読取りの標準偏差に
基づいて本発明装置におけるＸ座標読取りの標試
偏差を得るには、上述した標準偏差に若干の修正
を施す必要がある。 いま、顕微鏡の光軸を被検物載置面に垂直のＺ
軸に対して角度αだけ傾斜させることにより、第
６図ａに示すように、相対的に、Ｚ軸に平行にし
た顕微鏡の光軸に対し、被検物載置面をＸ軸方向
に角度αだけ傾斜させて、図示のX′軸方向に設
置し、その載置面上の被検物を図示のZ′軸方向か
ら垂直に見た場合における顕微鏡の実効的な倍率
は、第６図ｂに示す前述したようなＺ軸方向から
垂直に載置面上の被検物を見た場合における顕微
鏡倍率のcosα倍になる。したがつて、載置面に
平行のＸ軸方向あるいはX′軸方向の前述のよう
に確認した標準偏差をσ₀とすると、第６図ａに示
した斜視の場合におけるＸ軸方向の標準偏差は
σ₀／cosαとなり、単一の顕微鏡によつても、被
検物載置面を斜視することにより、標準偏差を低
減させ得るが、モニタ画面上における被検物のＸ
軸方向の動きは、顕微鏡のＸ軸方向の相対的動き
とともにＺ軸方向の相対的動きにも依存するの
で、Ｘ座標値の検出に時間を要することになる。 以上のような基礎的検討に基づく本発明非接触
型三次元座標検出装置の動作原理を第７図ａ〜ｄ
を参照して説明する。 本発明非接触型三次元座標検出装置において
は、第１図に示したのと同様の構成においてＸ，
Ｙ，Z3軸方向に移動可能にしたＺ軸方向の支持
軸１１に対して、第７図ａに示すように、Ｚ軸か
ら対称にＸ軸の正負両方向に角度αだけ傾斜させ
て１対の顕微鏡１，２を取付け、それら１対の顕
微鏡１，２に１対の超小型に構成したテレビジヨ
ンカメラ３，４をそれぞれ結合させ、固定したテ
ーブル１２の載置面上の被検物１３における所望
の測定点を中心とする拡大被検物像を撮像し、さ
らに拡大した被検物撮像出力信号をテレビジヨン
モニタ９の画面に互いに重畳して同時に表示す
る。しかして、説明の便宜上、１対のテレビジヨ
ンカメラ３，４の各撮像出力信号を個別にそれぞ
れ供給して個別にそれぞれ表示するように図示し
た１対のテレビジヨンモニタ９−１，９−２の表
示面には、Ｚ軸上に生ずる双方の顕微鏡１，２の
光軸相互間の交点に位置した測定点像が表示され
る位置を中心交点とした十字形の基準線１０−
１，１０−２を、第７図ｂに示すように、予め描
いてある。したがつて、１対のテレビジヨンカメ
ラ３，４による被検物測定点像の撮像出力画像、
例えば被検物表面の格子縞における格子点像が、
第７図ｃに示すように、それぞれの基準線１０−
１，１０−２の中心交点に一致して、双方の顕微
鏡１，２相互間の対称傾斜に基づく視差をなくし
た状態になるように支持軸１１を移動させれば、
十分に拡大した被検物測定点線をモニタ画面上に
て目視しながら、非接触にて、支持軸１１の位置
が示す座標値として、被検物測定点の三次元座標
X₀，Y₀，Z₀を高精度かつ容易に検出することが
できる。 しかして、第７図ａに示した本発明装置の概略
構成における１対の顕微鏡１，２は、Ｚ−Ｘ平面
内においてＺ軸に対し対称に角度αだけ傾斜して
いるので、前述したように、モニタ画面上におけ
る被検物像のＸ軸方向の動きは、第１図示の三次
元座標検出装置におけるＸ軸方向の動きとともに
Ｚ軸方向の動きにも依存する。したがつて、双方
の被検物測定点像をモニタ画面上にて精度よく一
致させるには、Ｘ軸方向の位置調整とＺ軸方向の
位置調整とを交互に反復して行なう必要があり、
一致点の検出に時間がかかることが予想される。
そこで、１対のテレビジヨンカメラ３，４の撮像
出力信号を現実に１対のテレビジヨンモニタ９−
１，９−２にそれぞれ供給し、第７図ｃ，ｄに示
すように、それら１対のモニタ画面上の被検物測
定点像を片方ずつそれぞれの基準線１０−１，１
０−２にそれぞれ一致させたときの各三次元座標
値X₁，Y₁，Z₁、X₂，Y₁，Z₁をそれぞれ検出し、
つぎの計算式(1)〜(3)により所要の三次元測定点座
標を求めるようにすれば、比較的迅速に所望の三
次元座標検出を行なうこができる。 X₀＝１／２・（X₁＋X₂） (1) Y₀＝Y₁ (2) Z₀＝Z₁−1/2tanα・（X₂−X₁） (3) なお、第６図につき前述したように、Ｚ軸に対
して角度αだけ傾斜させた顕微鏡によるＸ座標読
取りの標準偏差は、顕微鏡をＺ軸方向に設置した
ときのＸ座標読取りの標準偏差σ₀に対してσ₀／
cosαとなるが、この斜視時の標準偏差は、上述
の式(1)、(3)における座標値X₁，X₂の標準偏差に
相当する。しかして、座標値X₁，X₂の分布は互
いに独立であるから、三次元座標値X₀，Y₀，Z₀
の各標準偏差σX₀，σY₀，σZ₀は、上述の式(1)〜
(3)からそれぞれつぎのようにして計算することが
できる。 σX² ₀＝（1/2）²・｛（σ₀／cosα）²＋（σ₀／cosα
）²｝ ＝（σ₀／√２cosα）² (4) σY² ₀＝σ² ₀ (5) σZ² ₀＝（1/2tanα）²・｛（σ₀／cosα）² ＋（σ₀／cosα）²｝＝（σ₀／√２sinα）² (6) つぎに、上述のような動作原理に基づいて非接
触にて三次元座標検出を行なう本発明装置の原理
的構成の例を第８図に示す。 図示の原理的構成においては、第１図示の三次
元座標検出装置におけるＺ軸方向の支持軸１１に
第７図ａに示したとおりに１対の顕微鏡付きテレ
ビジヨンカメラ１，３および２，４を装着し、双
方の顕微鏡撮像出力画像信号を一対のカメラ制御
器５および６をそれぞれ介して二重像合成装置８
に供給し、フレーム周期もしくはライン周期等に
て交互に切換え、あるいは、非加算混合するなど
して、双方の被検物像が相互に重畳した二重像信
号を形成し、その二重像信号を単一のテレビジヨ
ンモニタ９に供給して双方の被検物測定点像が単
一の十字形基準線１０の中心交点に一致するよう
に支持軸１１を三次元座標系内にて移動させる。
なお、かかる二重像表示を円滑に行なうために、
同期信号発生装置７から適切な走査方式による水
平・垂直両同期信号をカメラ制御装置５，６およ
びテレビジヨンモニタ９に供給して、撮像画面お
よび表示面を同期制御する。 なお、第７図ａに示した原理的構成においては
顕微鏡１，２とテレビジヨンカメラ３，４との光
軸をそれぞれ一直線上にて一致させてあるが、第
１図示のような構成の三次元座標検出装置におけ
る支持軸３５の下端に設けたフイーラマウント３
６に、第７図ａに示したようにＸ軸方向に張り出
した顕微テレビジヨンカメラを装着したのでは、
支持軸３５のＸ軸方向の移動に支障が生ずる。 したがつて、第９図に示す本発明装置の一部の
具体的構成においては、１対のテレビジヨンカメ
ラ３，４を、各光軸をＺ軸方向にして支持軸１１
に近接して平行に配置し、例えばプリズムの適切
な組合わせ等により光軸を所要の角度に屈折させ
るように構成した１対の屈折光学手段１７，１８
をそれぞれ介して、所要の斜視角αをもつてＺ軸
に対し傾斜させた１対の顕微鏡１，２にそれぞれ
結合させ、かかる構成の顕微撮像手段をアーム１
５，１６を介して支持軸１１の下端部に設けたフ
イーラ・マウント１４に装着することにより、本
発明による非接触フイーラをコンパクトに構成し
てある。 なお、上述のように１対の斜視顕微撮像手段か
らの各被検物像を同一モニタ画面上に重畳表示し
たときに生ずる二重像は、第１０図ａ〜ｄに、か
かる二重像中の各成分画像の基準線１０−１，１
０−２に対する位置関係と、三次元座標点O_rと
被検物測定点T_gとの相対位置関係とを、種々の
三次元座標について、それぞれ対比して示すよう
に、被検物の相対位置によつて複雑に変化する。
しかしながら、第７図について前述したように、
かかる二重像を分解した各成分画像を各基準線１
０−１，１０−２に一致させるようにして得られ
る三次元座標の各標準偏差σX₀，σY₀，σZ₀と顕
微鏡１，２のＺ軸に対する傾斜角αとの関係は、
第１１図に示すようになり、傾斜角α＝45゜とし
たときに各座標の標準偏差σX₀，σY₀，σZ₀がす
べて同一偏差値σ₀となり、最高の三次元座標検出
精度が得られた。 上述のように構成して動作する本発明非接触型
三次元座標検出装置による座標検出精度を検討す
るために試作装置について行なつた測定実験にお
ける実験条件および実験結果を第１表に示すとと
もに、実験結果の標準偏差をプロツトして第１２
図に示す。

【表】 これらの実験結果から判るように、本発明装置
による非接触三次元座標検出値の標準偏差は、第
２図乃至第５図について前述したように、Ｚ軸方
向の光軸を有する単一の顕微撮像手段によるＸ，
Ｙ座標検出値の標準偏差とほぼ同様に、ほぼ2μm
となり、しかも、実験番号１〜４についてはＺ座
標検出値の標準偏差がＸ，Ｙ座標検出値の標準偏
差より大きくなつているが、一方の被検物像の極
性を反転させて同一モニタ画面上に重畳表示した
実験番号５については、Ｚ座標とＸ，Ｙ座標との
検出値の標準偏差の大小関係が逆転しており、本
発明装置による三次元座標検出精度の格段の向上
の可能性を示唆している。 したがつて、上述の実験結果では本発明による
三次元座標検出値の標準偏差は0.9〜3.4μmに留ま
るが、今後の一層の改善を期待し得る。 つぎに、本発明装置を用いて非接触にて三次元
座標検出を行なう測定系の概略構成配置の例を第
１３図に示す。図示の構成配置においては、上述
のようにして非接触三次元座標検出を行なう本発
明装置２０の顕微撮像出力画像をコントローラ５
〜８を介してモニタ９の画面に表示するととも
に、検出結果のＸ，Ｙ，Ｚ各座標値を座標表示部
２１にデイジタル表示し、さらに、そのデイジタ
ル測定値をコンピユータ２２により処理し、その
処理結果をプロツタ２３によりグラフ表示する。 効 果 以上の説明から明らかなように、本発明によれ
ば、１対の斜視顕微鏡と１対の超小型テレビジヨ
ンカメラとによる被検物像を同一モニタ画面に重
畳表示することにより、非接触にて被検物の三次
元座標を確実容易に検出することができ、しか
も、従来の接触型フイーラに比して少なくとも同
等の検出精度を得ることができる。 したがつて、本発明装置によれば、従来の接触
型フイーラによつては測定不可能であつた微小物
体、例えば集積回路や、変形し易い物体、例えば
ゴム製品、あるいは、三次元物体上の格子線等に
ついて三次元座標検出を容易に、しかも、良好な
精度をもつて行なうことができ、さらに、従来の
接触型フイーラによる場合のような測定値の補正
も全く必要としない、という顕著な効果が得ら
れ、測定用プログラムの開発を著しく簡単化する
ことができるので、プレス加工技術や集積回路製
造技術に貢献すること甚だ大である。

【図面の簡単な説明】

第１図は三次元座標検出装置の概略構成の例を
示す斜視図、第２図は本発明による非接触式三次
元座標検出の予備実験装置の構成を模式的に示す
構成配置図、第３図および第４図は同じくその予
備実験の結果の例をそれぞれ示すグラフ、第５図
は同じくその予備実験装置の構成の一部の他の例
を示す線図、第６図ａ，ｂは同じくその予備実験
の原理をそれぞれ示す線図、第７図ａ〜ｄは本発
明による非接触式三次元座標検出の動作原理を順
次に示す線図、第８図は本発明非接触型三次元座
標検出装置の原理的構成を示すブロツク線図、第
９図は同じくその具体的構成の一部の例を示す正
面図、第１０図ａ〜ｄは同じくその動作の態様の
例を順次に模式的に示す線図、第１１図は同じく
その動作の態様の例を示す特性曲線図、第１２図
は同じくその動作の態様の例を示すグラフ、第１
３図は本発明装置を用いた三次元座標測定系の概
略構成の例を示すブロツク線図。 ３０…基台、３１…テーブル、３２…支柱、３
３…フレーム、３４…キヤリツジ、３５…支持
軸、３６…フイーラマウント、１，２…顕微鏡、
３，４…テレビジヨンカメラ、５，６…カメラ制
御器、７…同期信号発生装置、８…二重像合成装
置、９，９−１，９−２…テレビジヨンモニタ、
１０，１０−１，１０−２…基準線、１１…支持
軸、１２…テーブル、１３…被検物、１４…フイ
ーラマウント、１５，１６…アーム、１７，１８
…屈折光学手段（プリズム）、２０…非接触型三
次元座標検出装置、２１…座標表示部、２２…コ
ンピユータ、２３…プロツタ、２４…フートスイ
ツチ、O_r…座標原点、T_g…測定点。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １ 被検物を載置するテーブルと、そのテーブル
   の載置面に平行のｘ軸方向およびｙ軸方向にそれ
   ぞれ移動可能に設けたフレームと、前記載置面に
   垂直のｚ軸方向に移動可能にして前記フレームに
   取付けた支持軸と、ｚ軸に対し互いに対称にｘ軸
   方向またはｙ軸方向に互いに離隔して前記支持軸
   に取付けるとともにｚ軸に対し互いに等しい角度
   をなして傾斜した光軸をそれぞれ有する一対の顕
   微鏡と、それら一対の顕微鏡にそれぞれ結合した
   一対のテレビジヨンカメラと、それら一対のテレ
   ビジヨンカメラの撮像出力画像を合成する画像合
   成装置と、その画像合成装置の合成出力画像を表
   示するテレビジヨンモニタと、前記一対のテレビ
   ジヨンカメラの各撮像面および前記テレビジヨン
   モニタの表示面の走査を同期制御する制御回路と
   を備え、前記被検物の所定個所の前記一対のテレ
   ビジヨンカメラによる各撮像出力画像の前記テレ
   ビジヨンモニタの表示面上における前記フレーム
   および前記支持軸のそれぞれの移動に応じた互い
   の一致により前記被検物の前記所定個所のｘ軸、
   ｙ軸およびｚ軸に対する三次元座標を非接触にて
   検出し得るように構成したことを特徴とする非接
   触型三次元座標検出装置。 ２ 前記テレビジヨンカメラをｚ軸に平行にして
   前記支持軸に取付けるとともに、ｚ軸に対し前記
   互いに等しい角度をなして光軸を傾斜させた前記
   顕微鏡を屈折光学手段を介して前記テレビジヨン
   カメラに結合させたことを特徴とする特許請求の
   範囲第１項記載の非接触型三次元座標検出装置。 ３ 前記一対のテレビジヨンカメラの撮像出力画
   像信号の極性を互いに反転させて前記撮像出力画
   像の一致を検出するように構成したことを特徴と
   する特許請求の範囲第１項または第２項記載の非
   接触型三次元座標検出装置。