JPS59171806A - 非接触型三次元座標検出装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 技術分野 不発ＥＡは、被検物、特に微小な物体の形状および寸法
を表わす三次元座標を検出する三次元座標検出装置に関
し、特に、極めて微小な物体や変形し易い物体に対し、
非接触にて測定点検出用ツイーンの先端形状等に基づく
補正を要せずに、安定確実かつ高精度に三次元座標検出
を行ない得るようにしたものである。

従来技術 最近、各産業における精密加工技術や自動化による大量
生産技術の進歩に伴い、大量かつ高い加工精度の製造技
術が要求されている。しかして、高い加工精度の基礎と
なる副長技術は、被検物が立体的なものであるから三次
元的に測定を行なわなければ正確さ、省力化、迅速化等
の要求を満たし得ない。したがって、最近は、三次元測
定機が副長技術の主役として太きくクローズアップされ
て米ている。

この種三次元測定機は、測定点検出器、すなわち、いわ
ゆるツイーンがＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸よりなる三次元空間に
おける任意の方向に移動して測定点の三次元座標全読取
や得るようにした三次元座標検出装置であり、 （１）Ｘ、Ｙ、’ｚ座標位置を直読し得る。

（２）熟練を要せず、操作が簡単である。

（８）測定値をディジタル表示、ディジタル処理し得、
個人誤差が生じない。

（４）任意の空間位置を座標原点に設定し得る。

等の幾多の利点を有するものである。

しかして、この種三次元座標検出装置は、Ｘ。

Ｙ、Ｚの３軸よりなる直角座標系を採用しているものが
圧倒的に多く、また、被挟物全載置するテーブルを移動
式にしたものよりテーブル固定式にし、しかも、第１図
に示すようなブリッジ型にしたものが最も広く使用され
ている。

図示のテーブル固定式ブリッジ型三次元座標検出装置に
おいては、基台８０上に被検物装置用テーブル３１を固
定するとともに、基台３ｏの両側端部に固定した支柱８
２を橋絡してＹ軸方向に移動可能にしたフレーム３８を
設け、そのフレーム３３上をＸ軸方向に移動可能にして
キャリッジ３４により、Ｚ軸方向に移動可能にして支持
軸３５を保持し、その支持軸８５の下端に設けたツイー
ン・マウント３６に被検物上の位置測定点を検出するた
めの測定点検出子すなわちツイーンを取付りるように構
成しである。したがって、ツイーンＦ７１は、テーブル
８１の被検物載置面に対し、平行のＸ、Ｙ軸方向および
垂直の２軸方向に任意に移動して、所望の測定点を検出
し得る。

−万、量産品製造技術における製品の品質に対する要求
および生産の合理化の必要性に応じて新たに数値制御加
工技術の開発が促進されるに伴い、この製造技術によっ
て確実な成果を得るために、製品検査の迅速性と正確性
とが特に強調されている。しかしながら、製品検査にお
ける測定誤差は製造公差の端数の範囲しか許されないの
で、集積回路等の製品の微イ細化により製造公差がミク
ロンオーダである場合には三次元座標検出装置に対して
も、単に機械的精度の向上によって達成し得る最高の機
械的精密度の他に、座標検出装置の設計に関する構想の
段階において、物理釣合法則性の利用について新たな考
慮をなすことが重要である。

しかして、第１図に示したような構成のこの種三次元座
標検出装置においては、従来、被検物の測定点検出用に
ツイーンマウント３６に取付けるツイーンすなわち検出
子としては、先端に微細な球体を回転可能に装着した接
触型ツイーンが用いられて米た。かかる接触型ツイーン
により被検物の被測定点を順次に検出して三次元曲面の
輪郭を測定しようとすると、ツイーンの先端に装着した
回転球の形状、寸法の測定値に及ぼす影響を補正して測
定誤差の発生を防止しなければならず、したがって・精
密な測定を正確に行なうことが困難であった。また、ツ
イーンの先端により被検物に機械的に接触して測定を行
なうと、ゴム製品等の軟かくて変形し易い被検物や集積
回路等の極めて微細な構造を有する被検物、あるいは、
塑性加工の対象物等の形状・寸法の測定は一層困難であ
る、という欠点があった。したがって、この種三次元座
標検出装置については、従来、その性能全飛躍的に向上
烙せる新たな構想として非接触型ツイーンの開発が要望
されていた。

発明の要点 本発明の目的は、上述した従来の欠点を除去するととも
に従来の要望全達成し、被検物測定点検出用フイーラを
非接触型に構成し、ツイーン先端の形状・寸法等に対す
る補正を要せずに、Ｘ　、　Ｙ。

ｚ３軸による三次元座標の同時検出を確実容易に行ない
、高精度の測定を迅速に行ない得るようにした非接触型
三次元座標検出装置を提供することにある。

すなわち、本発明非接触型三次元座標検出装置は、Ｚ軸
に対して対称に傾斜させた一対の顕微鏡による被検物測
定点の像を一対のテレビジョンカメラにより撮像し、そ
れら一対のテレビジョンカメラによる撮像出力画像のテ
レビジョンモニタ画面上における一致により、イメージ
スプリット式照準器と同様の動作原理により光学的に非
接触にて被検物測定点の三次元座標を検出し得るように
したものであり、被検物を載置するテーブルと、そのテ
ーブルの載置面に平行のＸ軸方向およびＸ軸方向にそれ
ぞれ移動可能に設けたフレームと・前記載置面に垂直の
２軸方向に移動可能にして前記フレームに取付けた支持
軸と、Ｚ軸に対し互いに対称にＸ軸方向またはＸ軸方向
に互いに離隔して前記支持軸に取付けるとともに２軸に
対し互いに等しい角度をなして傾斜した光軸をそれぞれ
有する一対の顕微鏡と、それら一対の顕微鏡にそれぞれ
結合した一対のテレビジョンカメラと、それら一対のテ
レビジョンカメラの撮像出力画像をともに表示し得るテ
レビジョンモニタと、前記一対のテレビジョンカメラの
各撮像面および前記テレビジョンモニタの表示面の走査
を同期制御する制御回路とを備え、前記被検物の所定個
所の前記一対のテレビジョンカメラによる各撮像出力画
像全前記テレビジョンモニタの表示面上にて互いに一致
させるように前記フレームおよび前記支持軸をそれぞれ
移動させることにより、前記被検物の前記所定個所のＸ
軸、ｙ軸およびＺ軸に対する三次元座標を非接触にて検
出し得るように構成したことを特徴とするものである。

実施例 以下に図面を参照して実施例につき本発明の詳細な説明
する。

本発明非接触型三次元座標検出装置は、前述したように
、その動作原理として、例えばｚ−Ｘ平面内にて２軸に
対し対称に傾斜した一対の顕微鏡による被検物像のモニ
タ画面上における一致により被検物測定点の三次元座標
を検出するのであるから、モニタ画面上における被検物
像のＸ軸方向の動きは三次元座標検出装置におけるＸ軸
方向の動きとともに２軸方向の動きにも依存する。そこ
で、本発明装置における測定精度に関する基礎データを
得るために、まず、第２図に示すように、前述した第１
図示のテーブル固定式ブリッジ型三次゛元座標検出装置
における支持軸３５に相当する支持軸１１に単一の顕微
鏡１を取付けてその元軸を被検物装置用テーブル１２の
載置面に垂直の２軸方向に保持し、その顕微鏡１に光学
的に結合させた超小型のテレビジョンカメラ８による被
検物１３の撮像出力画像をテレビジョンモニタ９の画面
上に表示し、その表示面に予め描いた基準線１０に被検
物１３の像、例えば、被検物１３の上面に形成した格子
縞における格子点の像を一致させたときのＸ、Ｙ、Ｚａ
軸の座標を測定したときにおける繰返し精度金求めた。

すなわち、被検物として幅５０μｍの格子縞を焼付けた
半板を用い、支持軸ｌｉｅ保持したフレームを移動させ
て格子点を表示面上の基準線ｌＯに一致させたときのＸ
座標を読取る操作を多数回反復して行ない、Ｘ座標の読
みについて標準偏差を求めた。その結果を、顕微鏡１の
倍率を５０倍として５０回の読取！ｌｌを反復したとき
について第３図に示す。図は、順次の２μｍ幅の範囲に
入るＸ座標値の読取９度数の百分率を示したものであり
、その標準偏差σは２．０８μｍであった。

上述のようにして２軸方向の光軸を有する顕微鏡により
読取ったＸ座標値の標準偏差σを、顕微鏡の倍率を変え
て求めた結果の顕微鏡倍率と標準偏差値との関係を第４
図に示す。図から明らかなように１．顕微鏡倍率を８５
倍から１００倍までの範囲で変化させた限りにおいては
、Ｘ座標読取り値の標準偏差は顕微鏡倍率の変化に対し
て有意の変化を示さず、はぼ２．０μｍであった。

また、第５図に示すように、被検物上面に形成した格子
縞のＸ軸方向の幅にほぼ等しい間隔にてモニタ画面上に
Ｙ軸方向の基準線を２本設け、それら２本の基準線の間
に格子縞像を挾むようにしてＸ座標の読取ｐを行なった
場合には・顕微鏡倍率を５０倍としたときに、Ｘ座標読
取り値の同様の標準偏差が、第４図に方形の測定点口に
よって示すように、０．８μｍとなジ、Ｘ座標読取、！
２精度が格段に同上した。

しかして、従来のこの種座標検出装置における接触型ツ
イーンによる座標読取りの標準偏差は通例１〜２μｍ程
度であるから、顕微鏡、テレビジョンカメラおよびテレ
ビジョンモニタの組合わせからなる不発明の非接触型ツ
イーンによれば、現実験段階においても、少なくとも従
来と同程度の座標読取り精度が得られることが明らかと
なった。

つぎに、上述のような単一の非接触型ツイーンによるＸ
、Ｙ座標読取り精度の確認のもとに・２座標の読取りを
も非接触にて可能にした不発明非接触型三次元座標検出
装置の原理的構成および座標読取り動作の態様について
説明する。

しかして、本発明座標検出装置は、前述したように・Ｚ
軸に対して対称に傾斜した一対の顕微鏡により・イメー
ジスプリット式照準器と同様の動作原理により光学的に
三次元座標を読取るのであるから、上述したように２軸
方向に光軸を有する顕微鏡を用いたときのＸ座標読取り
の標準偏差に基づいて本発明装置におけるＸ座標読取り
の標試偏差を得るには、上述した標準偏差値に若干の修
正？施す必要がある。

いま、顕微鏡の光軸を被検物載置面に垂直Ｏ２軸に対し
て角度αだけ傾斜させることにより、第６図（ａ）に示
すように、相対的に、Ｚ軸に平行にした顕微鏡の光軸に
対し、被検物載置面をＸ軸方向に角度αだけ傾斜させて
、図示のＸ′軸方向に設置し、その載置面上の被検物を
図示の２′軸方向から垂直に見た場合における顕微鏡の
実効的な倍率は、第６図（ｂｌに示す前述したような２
軸方向から垂直に載置面上の被検物を晃た場合における
顕微鏡倍率のＣＯ８α倍になる。したがって、載置面に
平行のＸ軸方向あるいはＸ′軸方向の前述のように確認
した標準偏差をσ。とすると、第６図（ａ）に示した斜
視の場合におけるＸ軸方向の標準偏差は’ｏ／ｃｏｓα
となり、単一の顕微鏡によっても、被検物載置面を斜視
することによシ、標準偏差を低減させ得るが、モニタ画
面上における被検物像のＸ軸方向の動きは、顕微鏡のＸ
軸方向の相対的動きとともに２軸方向の相対的動きにも
依存するので、Ｘ座標値の検出に時間ｆｆ：安すること
になる。

以上のような基礎的検討に基づく本発明非接触型三次元
座標検出装置の動作原理を第７図（ａ１〜（ｄｉを参照
して説明する。

、本発明非接触型三次元座標検出装置においては、第１
図に示したのと同様の構成においてＸ、Ｙ。

ｚａ軸方向に移動可能にしたＸ軸方向の支持軸１１に対
して、第７図（ａ）に示すように、Ｚ軸から対称にＸ軸
の正負両方向に角度αだけ傾斜させて１対の顕微鏡１．
２を取付け、それら１対の顕微鏡１゜２に１対の超小型
に構成したテレビジョンカメラ３．４をそれぞれ結合さ
せ、固定したテーブル１２の載置面上の被検物１８にお
ける所望の測定点を中心とする拡大被検物像全撮像し、
さらに拡大した被検物撮像出力信号をテレビジョンモニ
タ９の画面に互いに重畳して同時に表示する。しかして
）説明の便宜上、１対のテレビジョンカメラ３，４の各
撮像出力信号を個別にそれぞれ供給して個別にそれぞれ
表示するように図示した１対のテレビジョンモニタ９−
１．９−２の表示面には、Ｚ軸上に生ずる双方の顕微鏡
１．２の元軸相互間の交点に位置した測定点像が表示さ
れる位置を中心交点とした十字形の基準線１０−１．１
０−２を、第７図中）に示すように、予め描いである。

したがって、１対のテレビジョンカメラ３，４．による
被検物測定点像の撮像出力画像、例えば被検物表面の格
子縞における格子点像が、第７図（０）に示すように、
それぞれの基準線１０−１　、１０−２の中心交点に一
致して、双方の顕微鏡８，４相互間の対称傾胴に基づく
視差をなくした状態になるように支持軸１１を移動させ
れば、十分に拡大した被検物測定点像全モニタ画面上に
て目視しながら、非接触にて、支持軸１１の位置が示す
座標値として、被検物測定点の三次元座標Ｘ。、Ｙｏ、
ｚｏを高精度かつ容易に検出することができる。

しかして、第７図（ａ）に示した本発明装置の概略構成
における１対の顕微鏡１．２は、ｚ−Ｘ″＋＋市内いて
Ｚ軸に対し対称に角度αだけ傾斜してイルので、前述し
たように、モニタ画面上における被検物像のＸ軸方向の
動きは、第１図示の三次元座標検出装置におけるＸ軸方
向の動きとともに２軸方向の動きにも依存する。したが
って、双方１の被検物測定点像をモニタ画面上にて精度
よく一致させるには、Ｘ軸方向の位置調整と２軸方向の
位置調整とを交互に反復して行なう必要があり、一致点
の検出に時間がかかることが予想される。

そこで、１対のテレビジョンカメラ３．４の撮像出カイ
百号を現実に１対のテレビジョンモニタ９−１゜９−２
にそれぞれ供給し、第７図（ｄ）　、　（ｅ）に示すよ
うに、それら１対のモニタ画面上の被検物測定点像を片
方ずつそれぞれの基準線１０−１．１０−２にそれぞれ
一致させたときの各三次元座標値（Ｘ□。

Ｙ、　、　Ｚ、　）　、　（Ｘ３．　Ｙ□、　ｚｌ）を
それぞれ検出し、つき゛の計算式（１）〜（３）により
所要の三次元測定点座標を求めるようにすれば、比較的
迅速に所望の三次元座標検出を行なうことができる。

Ｘｏ−一・（Ｘ、＋Ｘ２）　　　　　　　　（１）ｙｏ
＝　ｙ、　　　　　　　　　　　　　（２）Ｚｏ＝　Ｚ
、−１／２ｔａｎ　ａ　−（Ｘ、−Ｘｌ）　　　（３１
なお、第６図につき前述したように、Ｚ軸に対：して角
度αだけ傾斜させた顕微鏡によるＸ座標読取りの標準偏
差は、顕微鏡を２軸方向に設置したときのＸ座標読取り
の標準偏差σ。に対して’　Ｑ／６０Ｓαとなるが、こ
の斜視時の標準偏差は、上述の式（１）。

（８）における座標値Ｘ、　、　Ｘ２の標準偏差に相当
する。

しかして、座標値Ｘ１．　Ｘ２の分布は互いに独立であ
るから、三次元座標値Ｘ。、Ｙｏ、ｚｏの各標準れぞれ
つぎのようにして計算することができる。

σＸ”　＝　Ｃ３Ａ）２・（＜”／ｃｏａａｆ”　Ｃ”
／ｃｏｓａ）”）〇 −（′０べＪ。０８（ｆｆｉ）”　　　　　　　　　　
（４）σべ＝（％ｔａｎα）２・（（００％ｏｓα）電
ガ４゜８ｏ少２）−（・。る、８、□。）・　　　　　
　（°）つぎに、上述のような動作原理に基づいて非接
触にて三次元座標検出を行なう本発明装置の原理的構成
の例を第８図に示す０ 図示の原理的構成においては、第１図示の三次元座標検
出装置における２軸方向の支持軸１１に第７図（ａ）に
示したとおりに１対の顕微鏡付きテレビジョンカメラ１
，８および２，４を装着し、双方の顕微撮像出力画像信
号を一対のカメラ制御器５および６をそれぞれ介して二
重像合成装置８に供給し、フレーム周期もしくはライン
周期等にて交互に切換え、あるいは、非加算混合するな
どして、双方の被検物像が相互に重畳した二重像信号を
形成し、その二重像信号を単一のテレビジョンモニタ９
に供給して双方の被検物測定点像が単一の十字形基準線
１０の中心交点に一致するように支持軸１１を三次元座
標系内にて移動させる。なお、かかる二重像表示を円滑
に行なうために、同期信号発生装置７から適切な走査方
式による水平・垂直画同期信号をカメラ制御装置５，６
およびテレビジョンモニタ９に供給して、撮像画面およ
び表示面を同期制御する。

なお、第７図（ａ）に示した原理的構成においてはＭ微
Ｗｉ８１．２とテレビジョンカメラ８．４との光軸をそ
れぞれ一直線上にて一致させであるが、第１図示のよう
な構成の三次元座標検出装置における支持軸８５の下端
に設けたフイーラマウント３６に、第７図（ａ）　Ｋ示
したようにＸ軸方向に張や出しタ顕微テレビジョンカメ
ラを装着したのでは、支持軸３５のＸ軸方向の移動に支
障が生ずる。

したがって、第９図に示す本発明装置の一部の具体的構
成例においては、１対のテレビジョンカメラ３，４を、
各光軸をＺ軸方向にして支持軸１１に近接して平行に配
置し、例えばプリズムの適切な組合わせ等によｐ光軸を
所要の角度に屈折させるように構成した１対の屈折光学
手段１７　、１８をそれぞれ介して、所要の斜視角αを
もって２軸に対し傾斜させた１対の顕微鏡１，２にそれ
ぞれ結合式せ、かかる構成の顕微撮像手段をアーム１５
．１６を介して支持軸１１の下端部に設けたツイーン・
マウント１４に装着することにより１不発明による非接
触ツイーンをコンパクトに構成しである。

なお、上述のように１対の斜視顕微撮像手段からの各被
検物像を同一モニタ画面上に重畳表示したときに生ずる
二重像は、第１１図（ａ）〜（（１）に、かかる二重像
中の各成分画像の基準線１０−１．１０−２に対する位
置関係と、三次元座標原点ｏｒと被検物測定点Ｔｇとの
相対位置関係とを、種々の三次元座標について、それぞ
れ対比して示すように、被検物の相対位置によって複雑
に変化する。しかしながら、第７図について前述しｆｃ
ように、かかる二重像を分解した各成分画像を各基準線
１０−１゜１０−２に一致させるようにして得られる三
次元座標の各標準偏差σＸｏ、σＹｏ、σｚｏと顕微鏡
１．２の２軸に対する傾斜角αとの関係は、第１１図に
示すようになり、傾斜角α−４５°としたときに各座標
の標準偏差σＸｏ、σＹｏ、σｚｏがすべて同一偏差値
σ。となり、最高の三次元座標検出精度が得られた。

上述のように構成して動作する本発明非接触型三次元座
標検出装置による座標検出精度を検討するために試作装
置について行なった測定実験における実験条件および実
験結果を第１表に示すとともに、実験結果の標準偏差を
プロットして第１２図に示す。

これらの実験結果から判るように、本発明装置による非
接触三次元座標検出値の標準偏差は、第２図乃至第５図
について前述したように、Ｚ軸方向の光軸を有する単一
の顕微撮像手段によるＸ。

Ｙ座標検出゛値の標準偏差とほぼ同様に、はぼ２μｍと
なり、しかも、実験番号１−４については２座標検出値
の標準偏差がＸ、Ｙ座標検出値の標準偏差より大きくな
っているが、−万の被検物像の極性を反転させて同一モ
ニタ画面上に重畳表示した実験番号５については、２座
標とＸ、Ｙ座標との検出値の標準偏差の大小関係が逆転
しており、本発明装置による三次元座標検出精度の格段
の向上の可能性を示唆している。

したがって、上述の実験結果では本発明による三次元座
標検出値の標準偏差は０．９〜３．４μｍに質重るが、
今後の一層の改善を期待し得る。

つぎに、本発明装置を用いて非接触にて三次元座標検出
を行なう測定系の概略構成配置の例を第１３図に示す。

図示の構成配置においては、上述のようにして非接触三
次元座標検出を行なう不発明装置２０の顕微撮像出力画
像をコントローラ５〜８を介してモニタ９の画面に表示
するとともに、検出結果のｘ、ｙ、ｚ各座標値を座標表
示部２１にディジタル表示し、さらに、そのディジタル
測定値をコンピュータ２２により処理し、その処理結果
をプロッタ２３によジグラフ表示する。

効果 以上の説明から明らかなように、本発明によれば、１対
の斜視顕微鏡と１対の超小型テレビジョンカメラとによ
る被検物像を同一モニタ画面に重畳表示することにより
、非接触にて被検物の三次元座標を確実容易に検出する
ことができ、しかも、従来の接触型ツイーンに比して少
なくとも同等の検出精度を得ることができる。

したがって、本発明装置によれば、従来の接触型ツイー
ンによっては測定不可能であった微小物体′、例えば集
積回路や、変形し易い物体、例えばゴム製品、あるいは
、三次元物体上の格子線等について三次元座標検出を容
易に、しかも、良好な精度をもって行なうことができ、
さらに、従来の接触型ツイーンによる場合のような測定
値の補正も全く必要としない、という顕著な効果が得ら
れ、測定用プログラムの開発を著しく簡単化することが
できるので、プレス加工技術や集積回路製造技術に貢献
すると甚だ大である。

【図面の簡単な説明】

第１図は三次元座標検出装置の概略構成の例を示す斜視
図、 第２図は本発明による非接触式三次元座標検出の予備実
験装置の構成を模式的に示す構成配置図、第３図および
第４図は同じくその予備実験の結果の例をそれぞれ示す
グラフ、 第５図は同じくその予備実験装置の構成の一部の他の例
を示す線図、 第６図（ａ）、■）は同じくその予備実験の原理をそれ
ぞれ示す線図、 第７図（ａ）〜（ｅｌは本発明による非接触式三次元座
標検出の動作原理を順次に示す線図、 第８図は本発明非接触型三次元座標検出装置の原理的構
成を示すブロック線図、 第９図は同じくその具体的構成の一部の例を示す正面図
、 第１０図（ａｌ〜（ｄｌは同じくその動作の態様の例を
順次に模式的に示す線図、 第１１図は同じくその動作の態様の例を示す特性曲線図
、 第１２図は同じくその動作の態様の例を示すグラフ、 第１８図は本発明装置を用いた三次元座標測定系の概略
構成の例を示すブロック線図。 ８０・・・基台、８１・・テーブル、８２・・・支柱、
３８・・・フレーム、３４・・・キャリッジ、３５・・
・支持軸、３６・・・ツイーンマウント、 １．２・・・顕微鏡、３，４・・・テレビジョンカメラ
１．５，６・・・カメラ制御器、７・・・同期信号発生
装置、８・・・二重像合成装置、９　、９−１．９−２
・・・テレビジョンモニタ、１０　　、１０−１　、１
０−２・・・基準線、１１・・支持軸、１２・・テーブ
ル、１３・・・被憤物、１４・・・ツイーンマウント、
！５．１６・・・アーム、１７　、１８・・・屈折光学
手段（プリズム）、２０・・・非接触型三次元座標検出
装置、２１・・・座標表示部、２２−・コンピュータ、
２３・・・プロッタ、２４・・・フートスイッチ、 Ｏｒ・・・座標原点、　Ｔｇ・・・測定点。 特許出願人　東京工業大５、学長 第１図 第２図 第３図 第４図 イ音　牢 第５図 第６図 （ａ　）　　　　（ｂ　） 第７図 （Ｘｚ、　Ｙｔ、　ＺＤ 第８図 第９図 ｒ 第１θ図 ズ 第１ｉ図 実験番号 手続補正書（方式） 昭和５８年　７月　４「日 １、事件の表示 昭和’５８年　特　許　願第４・５９８２　号２、発明
の名称 非接触型三吹元座標検出装置 ３、補正をする者 事件との関係　特許出願人 東京工業大学長 昭和５８年６月２８日 ■、明明細書第１貰 「第７図（Ｃ）　、　（ｄ）　Ｊに訂正する。 ２、同第２４頁第１７行の「第７図（ａ）〜（ｅ）」を
「第７図（ａ）〜（ｄ）」に訂正する。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 Ｌ　被検物音載置するテーブルと、そのテーブルの載置
   面に平行のＸ軸方向およびＸ軸方向にそれぞれ移動可能
   に設けたフレームと、前記載置面に垂直の２軸方向に移
   動可能にして前記フレームに取付けた支持軸と、２ｍに
   対し互いに対称にＸ軸方向またはＸ軸方向に互いに離隔
   して前記支持軸に取付けるとともに２軸に対し互いに等
   しい角度をなして傾斜した光軸をそれぞれ有する一対の
   顕微鏡と、それら一対の顕微鏡にそれぞれ結合した一対
   のテレビジョンカメラと、それら一対のテレビジョンカ
   メラの撮像出力画像をともに表示し得るテレビジョンモ
   ニタと、前記一対のテレビジョンカメラの各撮像面およ
   び前記テレビジョンモニタの表示面の走査を同期制御す
   る制御回路と金備え、前記被検物の所定個所の前記一対
   のテレビジョンカメラにょる各撮像出力画像を前記テレ
   ビジョンモニタの表示面上にて互いに一致させるように
   前記フレームおよび前記支持軸をそれぞれ移動させるこ
   とにより、前記被検物の前記所定個所のＸ軸、ｙ軸およ
   びＺ軸に対する三次元座標を非接触にて検出し得るよう
   に構成したことを特徴とする非接触型三次元座標検出装
   置。 区　前記テレビジョンカメラｔ−ｚ軸に平行にして前記
   支持軸に取付けるとともに、Ｚ軸に対し前記互いに等し
   い角度をなして光軸を傾斜させた前記顕微蜆を屈折光学
   手段を介して前記テレビジョンカメラに結合させたこと
   を特徴とする特許請求の範囲第１項記載の非接触型三次
   元座標検出装置。 ＆　前記一対のテレビジョンカメラの撮像出力画像信号
   の極性を互いに反転させて前記撮像出力画像の一致全検
   出するように構成したことを特徴とする特許請求の範囲
   第１項または第２項記載の非接触型三次元座標検出装置
   。