JPH01500031A - ポリシラザンおよび関連組成物，方法および使用 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるため要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ポリシラザンおよび関連組成物、方法および使用発明の起源 合衆国政府は本発明に関して確固たる権利を有する０本発明の一部が、海軍調査 局（Ｏｆｆｉｃｅ　ｏｆ　Ｎａｖａｌ　Ｒｅ５ｅａｒｃｈ）によって与えられた 契約番号Ｎ０００１４−８４−Ｃ−０３９２およびＮ０ＯＯ１４−８５−Ｃ−０ ６６８のもとで、資金提供を受けていたからである。 関連出願の相互参照 本出願は、米国特許出願番号第９０８，６８５号（１９８６年３月４日出願：　 ＰＣＴ／ＵＳ８６１００５４８）の一部継続出願であり、該米国特許出願番号第 ９０８，６８５号は、米国特許出願番号第７２７．４１５号（１９８５年４月２ ６日出願；これは、現在、米国特許第４，６１２．３８３号として発行されてい る）の一部継続出願である。 技術分野 本発明は９分子内に５ｉ−Ｎ構造を含む化合物（モノマー。 オリゴマーおよびポリマーを含むことが意図される）の合成に関する。本発明は 、主としてシラザンおよびその誘導体上に関するものであり、これらは熱分解さ れ、様々なセラミック製品を与える。本発明は、またシロキサザン（これは、ｏ −５ｉ−Ｎ単位を含むモノマー、オリゴマーおよびポリマーを意味する）、およ び１またはそれ以上の５ｉ−Ｎ結合を含む他の化合物に関する０本発明は、さら に新規な高分子量ポリシラザンおよびその前駆体の合成、ならびにこれらのユニ ークな化合物をセラミック被覆物、繊維、結合側、および射出成形物品の製作に 用いることに関する。本発明は、またポリシロキサザンおよびポリヒドリドシロ キサンをセラミック前駆体として用いることに関する。 ポリシラザンおよびその誘導体は、窒化ケイ素（Ｓｉ３Ｎａ）。 炭化ケイ素（ＳｉＣ）＋　５ｉ３Ｎ４．／ｓｉｃ合金、　５ｉＪａ／炭素合金、 　５ｔｓＮａ／窒化ホウ素合金、およびこれらの混合物の調製に、とりわけ有用 である。これらのセラミック材料は、極端な環境状態下における硬さ２強さ、構 造的安定性、および広範囲にわたる電気特性のために、建築材料、保護被覆、お よび電子材料として用いられ得る。特に、これらの材料は、複合材料の強化材と して有用なセラミック繊維に形成され得る０例えば、（ａ）国防省、第４回金属 マトリックス複合体技術会ＩＩ議事録、　１９８１年３月１９日〜２１日（００ ０金属マトリックス複合体情報分析センター作成）；および（ｂ）　Ｊ、Ｊ、　 Ｂｒｅｎｎａｎ、　”ＳｉＣ繊維強化マトリックス複合体の研究計画”、海軍省 年報（１９８０年１１月）、契約番号Ｎ０００１４−７８−Ｃ−０５０３を参照 されたい。 歴史的に、ポリシラザンは、はとんど６０年前に５ｔｏｃｋら（例えば、　５ｔ ｏｃｋ、　Ａ、およびに、　Ｓｏｍｉｅｓｋｉ、　Ｂｅｒ、　Ｄｔｓｃｈ、　Ｃ ｈｅ＋ｎ。 Ｇｅｓ、５４　：　７４０　（１９２ｉ）参照）により、簡単なアンモニウムＭ ｅ２ＳｉＣ１ｚ　＋　ＮＨ３−−−−−・−ｉ・ｍ口；＋−Ｊｃ−ＭｅｚＳｉＮ Ｈ÷７−　＋　ＮＨａＣＩ反皇太上 通常、シクロマーの混合物を生じ２主生成物として得られるのは、Ｘが３〜５の ものであり、ｙが約１０より小さいか、または等しい線状オリゴマーが少量得ら れる。しかしながら。 低分子量であるため、これらの線状オリゴシラザンは揮発しやすく、プレセラミ ック（ｐｒｅｃｅｒａ…ｉｃ）材料として用いることはできない。 高分子量の不揮発性材料を得るためには、架橋反応を促進する必要があった。こ のようにして、ａ度の分子量を有するポリシラザンが様々な方法を用いて合成さ れた。例えば、　Ｋｒｕｇｅｒ＋Ｃ，Ｒ，およびＥ、Ｇ、　Ｒｏｃｈｏｗ、　Ｊ 、　Ｐｏｌｙｍｅｒ　Ｓｃｉ、　２Ａ　：　３１７９−３１８９（１９６４）を 参照されたい。Ｒｏｃｈｏｗらは、塩化アンモニウムが簡単なオリゴジメチルシ ラザンの架橋化を触媒し、ポリシラザンを形成させる（反応式■）ことを発見し た。 （以下余白） 肚＝１０．０００　０ 厘玉日（Ｌ このポリシラザンは１式１の構造によって示されるように。 窒素によって架橋した環状モノマー単位を含むと提写された。 Ｐｅｎｎらの仕事は、　Ｖｅｒｂｅｅｋの米国特許第３．８５３．５６７号およ びＷｉｎｔｅｒらの米国特許第３，８９２，５８３号に続くものであり。 高温脱離／縮合反応が、化学式■で示される可溶性の高架橋ポリマーを誘導する ことが示された。高温での熱分解は。 ５２０°Ｃ ＭｅＳｉ（ＮＨＭｅ）ｚ　−−−−−−−−−−−；・（ＭｅＳｉ（ＮＭｅ）ｚ ）　ｘ　［ＭｅＳｉ（ＮＭｅ）＋、ｓ）　ｙ　＋　ＭｅＮＨ■ 禎＝４２００　Ｄ 反息大ｌ Ｓｉ＋ＮａおよびＳｉＣセラミック材料が混合した状態のセラミックを収率６０ ％で与える。 関連する架橋化のアプローチは、特に米国特許第４，３１２，９７０号、第４， ３４０，６１９号、第４．５３５．００７号および第４，５４３，３４４号に述 べられており、該アプローチは、利用し得る文献に報告されている最大の分子量 、すなわち約雇〜１５，０００　Ｄおよび肝〜３９，０００　Ｄを有するポリマ ーバックボーン中にｌｌｅ：＋Ｓｉ基を有する加工しやすいポリシラザンの調製 （反応式■）から始まる： ＨＳｉＣｌ３　＋　（Ｍｅ＊５ｉｚ）ＮＨ−−−−−−ｉ＞（ＨＳｉ（ＮＨ）＋ 、ｓ）　ｘ　（Ｈ５ｉＮＨ（ＮＨＳｉＭｅ）＋））　ｙ＋　Ｍｅ３ＳｉＣ１６＝ １５＋ＯＯＯＤ訂−３９，００００ 及五濃（凹 このポリマーの熱分解から得られるセラミックの収率は、硬化後、４５〜５５％ 程度であって２組成は９６％の５ｚ３Ｎ４＋　２％の炭素および２％の酸素であ る。 ５ｅｙｆｅｒｔｈらの米国特許第４，４８２．６６９号には、以下の反応によっ て、　Ｎ−Ｈ結合に隣接して５ｉ−）！結合を含む低分子量の環状オリゴマーを 架橋させ得ることが開示されている。 （以下余白） 一÷−Ｎ−Ｓｉ１１ｅ　−トー 旺＝１８００〜２２００　Ｄ 及ｍ ＮＨ結合は、この反応における強塩基によって触媒反応的に活性化される。この ような型式の架橋によって２次元的ポリマーが生成し、その溶解度は、それらの シート様の特性により限定される。これらの物質のセラミック収率は、しばしば 非常に高く、約８６％までであり、典型的には５１ｓＮａ＋　ＳＩＣおよび炭素 を、　０．８８　：　１．２７　：　０．１５（Ｄモル比で与える。熱分解をＮ Ｈ２雰囲気中で行う場合には、唯一の生成物はＳｉＪ、であり、他の生成物がわ ずかな不純物として残留する。 ＺｏｅｃｋｌｅｒおよびＬａ１ｎｅは、　Ｊ、　Ｏｒｇ、　Ｃｈｅｗ、　（１９ ８３）　４８　：　２５３９−２５４１で、　５ｉ−Ｎ結合の触媒反応的活性化 と、特にオクタメチルシクロテトラシラザンの開環および開環した中間体の重合 について述べている。連鎖停止反応は、ポリマー（ＣＨ３）　３Ｓ１−［ＮＨＳ ｉ（ＣＨｓ）ｚ）　−−ＮＨＳｉ（ＣＴｏ）ｓ　（ここで、ｎは環状シラザンに 対する連鎖停止剤の割合に依存して１〜１２またはそれ以上であり得る）を生じ る共反応物として（（ＣＨ３）　ｚｓｉ　）　ｚＮＨを導入することによって行 われる。用いる触媒は、　ＲＬＩ３　（Ｃｏ）　ｌ□である。他の出版物は以下 のとおりである：　Ｗ、　Ｆｉｎｋ、　Ｈｅ１ｖ、　ＣｈｅｌＩｌ。 Ａｃｔａ、、４９　：　１４０８　（１９６６）　；ベルギー特許第６６５７７ ４号（１９６５）　；オランダ特許第６，５０７，９９６号（１９６５）　；　 Ｄ、Ｙ、　Ｚｈｉｎｋｉｓら、　Ｒｕｓ。 Ｌ、Ｈ，Ｓｏｍｍｅｒ、　Ｊ、　Ｏｒｇ、　Ｃｈｅｍ、３２　：　２４７０　（ １９６９）　；Ｌ、Ｈ，Ｓｏｍｍｅｒ＋Ｊ、　Ｏｒｇ、　Ｃｈｅｗ、　３２　： 　２４７０　（１９６７）　；　Ｌ、Ｈ，Ｓｏｍｍｅｒら、　ＪＡＣＳ一般に、 ポリシラザンの分子量制御、構造的な構成、および粘弾性は、このポリマーの加 工しやすさく溶解度、溶融性。 または展性）、セラミック収率、および特定のセラミック生成物に対する選択性 を決定する場合に、多くの役割を演じている。特に加工しやすさは、このポリマ ーが、結合剤として。 あるいは成型したり、被覆したり、繊維を紡いだりすることなどに、どの程度有 効であるかという点で、大きな役割を演じる。このポリマーが架橋していればい るほど、粘弾性の制御が低下する。このように、高架橋で低分子量のポリマーは 。 特に繊維を紡くのに有用ではない。紡がれたプレセラミック繊維は、しばしば引 張強さを欠き、従って自重を支持し得ないからである。対照的に、ここに与えら れているような高分子量の実質的に線状のポリマーは、特に重要である。このよ うなポリマーは、当該分野において著しい進歩を示している。 これらのポリマーが、繊維を紡ぐ工程において鎖のもつれ合いの相互作用を与え 、それにより紡がれた繊維の全体的な引張強さを向上させるからである。 分子量が、特定のポリシラザンの特性とどのような相関があるかについての例は 、　→）ＩｚＳｉＮＭｅ÷Ｔの特性によって示され得る。この物質の最初の合成 は、アミツリシス反応によるものが、　５ｅｙｆｅｒｔｈらによって、皇旦１１ １２工ｊヲスお夷び　ム　の口　′告ロエ、　Ｑ　Ｈｅｎｃｈら（讐１ｌｅｙ　 ＆　５ｏｎｓ、　１９８４）に報告された： ＋　Ｈ，ＳｔＮＭｅ　＋　ＭｅＮＨｓＣ１反庭弐豆 この調製法は揮発性のシクロテトラマー（３５％）および不揮発性のオリゴマー の混合物を与える。この混合物は約３３０Ｄの肝を有し、熱分解によって、２８ ％のセラミック収率しか与えない、揮発性のシクロマーを蒸留すると、６５％の 低分子量不揮発性オリゴマー（ＷＦ＋　＝　５６０）が得られる。このオリゴマ ーは、熱分解によって３９％のセラミック収率を与える。これらのオリゴマーを 調製する改良法を、以下の反応式■で示す。 本発明の方法によれば、約０°Ｃより低い温度で実施することにより、主として 蒸留／精製工程を必要としない不揮発性の線状オリゴマーが得られる（約８５％ と９５％の間）、この生る。この改良されたオリゴマーを熱分解すると、５０％ というかなり高いセラミック収率が得られる。生成物の品質は、いくらか改善さ れ、　５ｉ３Ｎａの純度は約８０％を越え、残りは炭素である。 本発明の方法によれば１反応式■のシラザン生成物は、さらに重合されて新規な ポリマーを与え得る。該ポリマーは。 ■が約１０，０００　Ｄより大きく、ある場合には約２０．０００　Ｄより大き く、篩が約１６．００００より大きく、ある場合には約３２，０００　Ｄより大 きく、■が約４０，０００　Ｄより大きく、ある場合には約８０．００００より 大きいポリマーか、あるいは分子量が約ｓｏ、　ｏｏｏより大きく、ある場合に は約５００，０００　Ｄより大きな観察し得る種を有するポリマーである。　２ ，５００，０００　Ｄ程度の分子量（実施例２３を参照）は、ここで与えられる ポリシラザンに対して検出された。これらの真のポリマー種を熱分解すると、従 来得られた収率よりもかなり高いセラミック収率が得られる。このセラミック収 率は、かなりの程度まで分子量分布とポリマーの加工に依存している。８０％ま たはそれ以上の５ｉＪａ純度が。 反応条件に依存して得られる。 これらの新規な高分子量ポリマーは、可溶性であり、高い直線性を示し、オリゴ マー出発材料よりも高いセラミック収率とＳ’１ｘＮａ純度を与える。さらに、 新規な化合物の粘弾性は。 本発明の方法を用いて注意深く制御し得る。特に、高分子量では、これらのポリ マーは非ニユートン粘弾性を示し、鎖のからみ合いを考慮すると、セラミック繊 維を形成するのに必要な薄い前駆体繊維を引伸するのに必要な引張強さを増加さ せる。 高いセラミック収率は、結合剤への応用、射出成形部品。 およびマトリックスへの応用において重要な値である。熱分解の間には、プレセ ラミックポリマー（１〜１．３ｇ／ｃｃ）からセラミック（Ｓｉ３Ｎ４に対して ３．２ｇ／ｃｃ）への密度／体積変化が重要であり得る。このように、理論値よ りかなり低いセラミック収率は、得られる密度／体積変化を拡大するだけである 。 例えば、密度１．０のＳｉＪ＜前駆体に対する５０％のセラミック収率は、約８ ０％の最終的な体積減少をもたらす。 本発明のある局面が、同時係属出願ＰＣＴ／ＵＳ８６１００５４８．米国特許出 願番号筒９０８．６８５号（１９８６年３月４日出＠）、およびその親出願であ る。米国特許出願番号筒７２７．４１５号（１９８５年４月２６日出願；これは 、現在、米国特許第４，６１２．３８３号として発行されている）で考察されて いることを特に言及しておく、これにより、これらの関連した場合の開示は、そ の全体を参照文献として採用する。 （以下余白） ２ｙ廊２Ｍ丞 本発明の第一の目的は、このように従来技術の上記欠点を克服することである。 本発明の他の目的は、シラザン特に高分子量のポリシラザンを調製する改良法を 提供することである。 さらに他の目的は、シロキサザンおよび高分子量のポリシロキサザンを調製する 方法を提供することである。 本発明のさらに他の目的は、極めて速い初期反応速度を与える遷移金属触媒を用 いて、シラザンおよびその関連化合物を製造する方法を提供することである。 本発明のさらなる目的は、シロキサザン、高分子量のポリシラザン、およびポリ シロキサザンを含む新規な化合物を提供することである。 本発明のさらに他の目的は、窒化ケイ素を高い含量で有するセラミック材料を製 造する方法を提供し、前駆体を調製し。 該前駆体を熱分解してシリコンオキシニトリドおよび炭化ケイ素の微粉末にする ことである。 本発明の他の目的は９例えば、温度、昇温、圧力９選択された特定の気体雰囲気 などを制御することによって、得られるセラミックの収率を制御するようにプレ セラミック材料を熱分解する方法を提供することである。 本発明のさらに他の目的は、セラミック材料で基材を被覆する方法を提供するこ とである。 本発明の他の目的は、繊維、微粉末または単分散粉末、被覆材、多孔性の製品（ 例えば、セラミック泡沫、フィルターおよび膜）、特にここで提供されるような プレセラミックポリマーおよびセラミック材料を用いて圧縮成形および射出成形 された製品を製造する方法を包含する。 本発明のさらに他の目的は、浸潤材への応用において、そしてマトリックスおよ び複合体材料において、結合剤や粘着剤として本発明のポリマーを用いる方法を 包含する。 本発明のさらなる目的、利点および新規な特徴は、一部は以下の記述に示されて おり、一部は以下の事柄を試験することにより当業者に明らかであるか、あるい は本発明を実施することにより学び得る。 本発明のある見地においては、少なくとも１つの５ｉ−Ｎ結合を有するモノマー 、オリゴマーまたはポリマーの前駆体が提供される。前駆体中の５ｉ−Ｎ結合は 、水素または水素供与体の存在下で開裂する。開裂生成物は、遷移金属触媒の存 在下で、別の開裂生成物、あるいは５ｉ−Ｎ結合、　Ｎ−Ｎ結合またはその両方 の結合を有する化合物と反応させる。このようにして形成された最初のシラザン 生成物は、少なくとも１つの新しく形成された５ｔ−Ｎ結合を有する。 本発明の他の見地では、　５ｉ−Ｎ結合およびＮ−Ｎ結合を有する反応物が１ま たはそれ以上提供され、水素、および少なくとも１つの新しく形成された５ｉ− Ｎ結合と少なくとも２つの５ｉ−Ｎ結合をその構造中に有するシラザン生成物を 生ずるように反応が引き起こされる。 ある型の反応は、他の型の反応に次いで引き起こされ得る；換言すると２例えば 、５ｉ−Ｎ結合、５ｉ−Ｎ結合およびＮ−Ｎ結合を組み合わせて有するように、 １またはそれ以上の出発材料が提供される場合１両方の型の反応を同時に進行す るように引き起こし得る。このように、多様な反応生成物をこれらの工程で調製 しうる。 シラザン生成物は、中程度または非常に大きな分子量を有するプレセラミックポ リマーとして供給され得る。このポリマーは２次いで熱分解することによって、 同様に高いセラミック収率を与える。後述するように、これらの高分子量ポリマ ーは、このような方法で、熱分解によって実質的に純粋な窒化ケイ素を提供する ように生産され得る。 本発明の好ましい実施態様においては、上述の反応に用いられる触媒は、標準的 な触媒を用いた反応より約１５〜５０倍程度速い反応速度を与える。 本発明はまた。新規なシラザンおよびシロキサザン化合物。 および多様な応用も包含する。 二皿■里皇呈脱ユ 第１図は、シラザンのｃｐｃの結果を示す（（ＨｚＳｉＮＦＩｅ）　Ｘ”重合は Ｒｕ　：＋　（ＣＯ）　ｌ□により触媒される；第２図は、異なる昇温速度にお けるポリシラザンのＴＧＡ熱分解をグラフで示したものである； 第３図は、窒素中で８００″Ｃまで加熱した後に形成されたＳｉ３Ｎ、／ポリシ ラザン体の走査電子顕微鏡写真である；第４図は、窒素中で１７２５°Ｃまで加 熱した後に形成されたＳｉＪ、／ポリシラザン体の走査電子顕微鏡写真である。 主主匪夫施■盪犬 ここで用いられる“′シラザン”は、１またはそれ以上のケイ素−窒素結合を有 する化合物である。“ポリシラザン”という用語は、オリゴマーおよびポリマー のシラザン、すなわち２またはそれ以上のモノマーのシラザン単位を有する化合 物を包含すると意図される。 ここで用いられる“シロキサザン”は、（０−５ｉ−Ｎ）の単位を存する化合物 である。“ポリシロキサザン”という用語は。 オリゴマーおよびポリマーのシロキサザン、すなわち２またはそれ以上のモノマ ーのシロキサザン単位を有する化合物を包含すると意図される。 ここで供給されるような“高分子量”のポリマーは、■が約１０，０００　Ｄよ り大きく、場合によっては約２０，０００　Ｄより大きく、篩が約１６．０００ ０より太き（、場合によっては約３２．０００　Ｄより大きく、ＰｉＨが約４０ ，０００　Ｄより大きく、場合によっては約８０．０００　Ｄより大きいポリマ ーであるか、あるいは分子量が約５０．０００　Ｄより大きく、場合によっては ５００，０００　Ｄより大きな観察しろる種を有するポリマーである。 “肛”、ｔ″′および“訂”は、以下のように定義される。 ／　ポリマー分布の数平均分子量筋は。 ΣＮｉ で与えられる。そして、ポリマー分布の重量平均分子量篩は。 で与えられる。そして、Ｆ値は。 で与えられるやここで、讐ｉは個々のポリマーまたはオリゴマー種のそれぞれの 重量であり、Ｎｉはこの分布における個々の種の数であり、そしてＭｔは個々の 種の質量分率である。特に明示しない限り、直接的に得られた特定のポリマー分 布の分子量は、いかなる分離または蒸留工程にも先んじて計算されたものとして 与えられる。 “実質的に線状の”オリゴマーまたはポリマーは、２またはそれ以上のモノマー 単位を有する非環状構造物であり、広範囲にわたっては架橋または技分かれして いない。 “実質的に純粋な”セラミック材料は、少なくとも約７５重量％の特定化合物を 含有するセラミック材料を意味する。 熱分解における化合物の“セラミック収率”は、熱分解後のセラミック生成物の 重量と熱分解前の化合物の重量の比を示している。 セラミック材料の混合物における特定化合物の°°線純度は。 この混合物における該化合物の重量パーセントとして定義される。 “環状シラザン”は、１またはそれ以上の５ｉ−Ｎ結合を分子内に有する環状化 合物である。 特に明記しない限り、“シリル”は、シロキシル、シロキサジルおよびシラジル を包含する。 シラザンおよびシロキサザン“′コポリマー”は、ここでの（ａ）型または（ハ ）型の反応における前駆体または反応物として定義される。１タイプより多くの モノマー単位を有している。 “加工し易い”ポリマーとは、溶融性、可溶性、または展性を有するものである か、あるいは有機ポリマーのように所望の形に加工できるものである。 本発明の方法によって提供される化合物は、１またはそれ以上の新しく形成され た５ｉ−Ｎ結合を有するモノマー、オリゴマー、またはポリマー構造物である。 これらの構造物を形成する反応は、大きく２つの型に分類できる。 しばしば以下で（ａ）型反応と呼ばれる反応においては、少なくとも１つの５ｉ −Ｎ結合を有する前駆体が最初に提供される。 前駆体における５ｉ−Ｎ結合の開裂は、水素または水素供与体の存在下で触媒反 応的に行われ、この開裂生成物は次いで第２の開裂生成物、あるいは５ｉ−Ｎ結 合、　Ｎ−Ｎ結合またはその両方を有する化合物と反応させて、少なくとも１つ の新しく形成された５ｉ−Ｎ結合を有する最初のシラザン生成物を生成させる。 およびＮ−Ｎ結合を組み合わせて有する。１またはそれ以上の反応物が提供され る。そして遷移金属触媒存在下で２つの結合の間に反応が引き起こされ、少なく とも１つは新しく形成された。少な（とも２つの５ｉ−Ｎ結合を有する最初のシ ラザン生成物が提供される。 このように提供された“最初の”シラザン生成物は、（ａ）型または（ｂ）型の いずれかの反応、あるいはその両方により、同時にまたは連続的にさらに反応を 引き起こされ得る。これらのさらなる反応は、他のトＨ結合との反応を包含し得 る。ここで門は２例えば、　Ｂ＋　ＡＩ＋　Ｇａ、　Ｉｎ、　Ｇｅ、　Ｐｂ、　 ＳまたはＳｎである。 Ａ、見１ｊ１１旧ＪＩ製 前駆体材料は、モノマー、オリゴマーまたはポリマーであり、少なくとも１つの ５ｉ−Ｎ結合および／または５ｉ−Ｎ結合に加えて、１種またはそれ以上の５ｉ −Ｓｔ結合、　５ｔ−Ｃ結合、　５ｔ−０結合またはＮ−Ｎ結合を含み得る。最 終的には、これら前駆体の５ｉ−Ｎ結合または５ｉ−Ｎ結合、場合によっては１ 種またはそれ以上の“５ｉ−Ａ”結合（ここで、ＡはＳｔ、　Ｃまたは０である ）が切断され、１種またはそれ以上の新たな５ｔ−Ｎ結合が形成される。一般に 、　５ｔ−Ｎ結合または５ｔ−Ｎ結合、あるいはその両方を有する前駆体は２次 の式２および式３で表される。 Ｒ’ｚ　Ｈａ 上式において、Ｘは０〜４までの整数、ｙは０〜４までの整数、２は０〜２まで の整数であり、ｘ、ｙおよび２の合計は４である。また、ａはＯ〜２までの整数 、ｂは０〜２までの整数であり、ａおよびｂの合計は２である。さらに２ｍはオ リゴマー、ポリマーまたはコポリマーにおけるモノマー単位数を定義する整数で ある。Ｒ基、すなわち窒素原子上の置換基は、同一であることも異なることもあ り、環状またはポリマー構造の一部を形成し得る。該置換基は、互いに独立して 、以下のものでなる群から選択される：水素；ボリル；炭化水素基１例えば低級 アルキル（１〜６Ｃ）、低級アルケニル（１〜６Ｃ）、低級アルキニル（１〜６ Ｃ）、アリール（フェニル、ベンジルなどを含む）、低級アルキル置換アリール 、および環状脂肪族基；シリルまたはポリシリル（シラザン、シロキサンおよび シロキサジル基を含む）（以下１時として“シラジル”、″シロキシル”および “シロキサジル”）。 該炭化水素基および該シリル基は、必要に応じて以下のもので置換される二アミ ノ；ヒドロキシル：エーテル基またはエステル基；低級アルコキシ（１〜６Ｃ） ；８〜２０個の炭素原子を有する縮環芳香族基；あるいはＢ＋　ＡＩ＋　Ｇａ＋ 　Ｉｎ＋　Ｇｅ、　ＰｂｔＳまたはＳｎのような元素を含み得る有機金属基。窒 素も１例えば−ＮＨ−、−Ｎ）ｌ−ＮＨ−、−ＮＨ−ＮＲ−、−ＮＲ−ＮＲ−、 −ＮＲ−Ｒ−ＮＲ−、ポリアミンなどのような種々の形で存在し得る。 Ｒ°基、すなわちケイ素原子上の置換基は、同一であることも異なることもあり 、環状またはポリマー構造の一部を形成し得る。該置換基は、互いに独立して、 以下のものでなる群から選択される：水素；アミノ；炭化水素基１例えば低級ア ルキル（１〜６Ｃ）、低級アルコキシ（１〜６Ｃ）、低級アルケニル（１〜６Ｃ ）、低級アルキニル（１〜６Ｃ）、アリール（フェニル、ベンジルなどを含む） 、低級アルキル置換アリール、環状脂肪族基；シリルまたはポリシリル（シラジ ル、シロキシルおよびシロキサジルを含む）。該炭化水素基またはシリル基は７ 必要に応じて以下のもので置換される二アミノ；ヒドロキシル；エーテル基また はエステル基；低級アルコキシ；８〜２０個の炭素原子を有する縮環芳香族基； あるいはＢ、ＡＩ、Ｇａ、Ｉｎ、Ｇｅ、Ｐｂ、ＳまたはＳｎのような元素を含み 得る有機金属基。上記のケイ素基は２例えば−ＳｉＲ”、−２−５ｉＲ’、＋、 −５ｉＲ“２　ｈＲ’ｚ　＋　ポリシランなどのような種々の形で存在し得る。 Ｒ”は、場合によっては炭化水素基であり得るが、前駆体が実質的に５ｉ−Ｃ結 合を持たないことは。 例えば実質的に炭素を含まないセラミック製品を最終的に調製するような多くの 応用に対して好ましい。 これらの前駆体または反応物は、ここに記述し、請求の範囲に記載されている方 法によって好適に調製される。 反応式■は１本方法に有効なモノマー前駆体を製造する際に用いられる。好まし い合成経路を表す。 低温 Ｈｇ５ｉ）ｈ　＋　４ＨＮＲ２−−−−−−−−−−−・ｉ・　）ｌｚｓｉ（Ｎ Ｒｚ）ｚ　＋　２ＲｚＮ）ＩｚＣ１反既弐■ 上記の反応式において、Ｘはハロゲン置換基、好ましくは塩素であり、そしてＲ 基は、上述と同様である。 手順としては、ハロゲン置換シラン、　ＨｚＳｉχ２を、溶媒、好ましくは極性 溶媒（例えば、テトラヒドロフラン、ジエチルエーテルなど）に溶解し、約４倍 当量の二置換アミンを徐々に添加する。この添加と混合段階の温度は、低く、好 ましくは約５〜−３０°Ｃの間に保つ、この反応混合物をゆっくりと暖め、アミ ノシラン“前駆体”生成物を、既知の方法（例えば。 濾過および連続抽出）で単離する。 反応式■は、　５ｉ−Ｎ結合を含むオリゴマー前駆体はポリマー反息式■ 反応式■の反応は、ハロゲン置換シランと一置換アミンからのオリゴマーまたは ポリマーの調製に関する。ここで、ＸおよびＲは９反応式■の化合物に対して上 で定義されている。 （実施例１〜３を参照。）二置換アミンよりもむしろ一置換アミンを用いること により、モノマー種よりもむしろオリゴマーまたはポリマー生成物が与えられる 。手順としては、この反応は１反応式ｍのモノマー潤製反応に対して述べたよう に実施される。約３倍当量の一置換アミンが反応の完結に必要である（ＲＮ）Ｉ ２：　ＨｚＳｉＸｚの比が約２．’７：１と３．３：１の間であることが、高分 子量を得るためには好ましい）、変法では。 Ｎ−Ｎ結合を含まないアミン塩基（例えば、トリエチルアミン）を添加して１反 応の間に生じるＨＣＩを中和し得る。この場合。 必要とされる一置換アミンは少量である。（例えば、ＲＮＨ２：１つの５ｉ−Ｘ 結合は約１．３５：１と２．６５：１（７）間であル）。反応式■の反応におけ るように、ここでも同様に極性溶媒が好ましい。 式３によって表される化合物は、新規な化合物であって。 Ｒ“はＨ，ＮＲｚまたはＮＲ−（Ｒは上述と同じ）であり９ｍはポリマー構造ま たはコポリマー構造におけるモノマー単位数を表す。 ＲがＣＬの場合には１ｍは、　Ｍｎが生成物を蒸留または分離する前の約６００ Ｄよりも大きいような値である。 式３によって表されるオリゴマー前駆体またはポリマー前駆体の修飾は、コポリ マーを与えるために、以下のように実施し得る。場合によっては、さらに合成を 行うか、あるいは熱分解を行うことが好ましい、このようなコポリマーの例は。 式４によって表される： 弐土 式Ｒ’５ｉＸｓまたはＳｉＸ４の１種またはそれ以上の化合物を反応混合物に添 加し、　５ｉ−Ｃ結合を形成する炭素含量を調節する。 ここで、Ｘはハロゲンであり　１１７１は、好ましくは水素であるが、低級アル キル（１〜６Ｃ）またはアリール（例えば、フェニルまたはベンジル）であり得 る＊　ＨｚＳｉＸｚ　：　Ｒ’５ｉＸｓ　：　ＳｉＸ４混合比を調節することに よって、　筋、　Ｐｉ’；ｒおよびＥ値は、生成物の加工しやすさと実質的な直 線性を維持しながら、増加させ得る。さらに、アミン反応物ＲＮＨ，がコポリマ ー生成物中に多く含まれる。これらの付加的なアミン基は、熱分解の間に潜在的 な反応基として働き得る。　Ｒ５１Ｘ３または５ｉＸａとともに。 あるいはこれらに代えて、一部のアミン反応物ＲＮＨ２をアンモニアで置き換え ることによって、実質的に同じ結果が得られることに注意しなければならない、 このような手順は、上で概説したような前駆体積の合成に関する出願人らの基本 的方法と共に、生成物の分子量に関する限り、既存の方法にまさる改良を表す。 式３によって表される。すべてのオリゴマー前駆体またはポリマー前駆体は、そ れ自身が熱分解されるか、あるいは（ａ）型または（ｂ）型のいずれかの反応に よって、さらに触媒的に反応され得る。 （ａ）型または（ｂ）型、あるいはその両方の反応をさらに行うのに適当な前駆 体材料には、アルキルアミン（例えば、モノメチルアミン、ジメチルアミン、モ ノエチルアミン）、ヒドラジンおよびヒドラジン誘導体、ポリアミンなどが、各 種のシラザン、ポリシラザン、シロキサン、シロキサザンなどと共に含まれる。 これら前駆体は、付加的で潜在的な反応基（例えば、水素５アミン、アルコキシ 、スルフィド、アルケニル。 アルキニルなど）を含めることによって修飾するか、あるいは適当な架橋剤を用 いて架橋し得る。 Ｂ、−と旦ｊ］ゴυ艷虜 前述の前駆体、あるいは反応物（反応成分）は、　５ｉ−Ｎ結合が開裂し、新し い５ｉ−Ｎ結合が形成されるタイプの（ａ）型反応。 あるいは、　５ｉ−Ｈ部分が、新しく形成される５ｉ−Ｎ結合を有する化合物を 形成するように、　Ｎ−Ｈ部分と反応を起こす（ｂ）型反応に用いられ得る。以 下で概説されるような適当な条件下で。 各反応は、触媒反応的に行われる。 上で述べた（ａ）型あるいはい）型の反応に従って、これらの前駆体、あるいは 反応物の９次の反応を起こさせるのに通した触媒は、以下の表Ｉに示すような遷 移金属触媒のいずれかのタイプである。これらの触媒は、均一触媒であって１反 応物。 あるいは反応物を溶解させるために用いた溶媒のいずれかに溶解する１表Ｈに示 すような不均一触媒、あるいは均一触媒および／または不均一触媒の混合物も用 いられ得る。（゛均一”と“不均一゛°の分類は、ここでは有機溶媒への溶解度 に基づいて行われるということをここに指摘しておかなければならない、しかし １反応の間に、均一触媒が不均一な形に変化し得ることは珍しくなく、逆もまた 同様である。）これらの触媒は、以下で検討され、また１表１と表２で示すよう にアミノ、シリルおよび有機リガンドを含むリガンドを数多く含有し得る。 好ましい触媒は、遷移金属で、特に、■族の遷移金属が好ましい、特に好ましい 触媒は２例えば２式Ｐｄ＋　ＰｄＸｔｒ　ＬａＰｄＸｚ。 あるいはり、Ｐｄのようなパラジウム触媒である。ここで、Ｘは、ハロゲン化物 のような陰イオン種であり、Ｌは、共有結合しているリガンドである。該リガン ドは有機物、ホスフィン、アルシン、アミン、ニトリルであり得、そしてさらに ケイ素置換基を含有し得る０例えば、　ＰｄＣ１ｚ、Ｐｄ　（ＯＡＣ）　ｚｌ（ φＣＮ）　ｚＰｄｃｌ　２およびＰｄ／Ｃである。実施例３０で示すように、こ れらの触媒は、同様の条件下でＲｕ　２　（Ｃｏ）　ＩｔおよびＲｈ　ｂ　（Ｃ Ｏ）　＋　ｂのような標準的な触媒を用いて達成されるよりも、１５〜５０倍程 度速い初期反応速度を与える。 触媒は、ポリマー、無機塩、炭素、またはセラミック材料などの上に担持され得 る。不均一触媒は９粒子、多孔性プレートなどのような、設計された形で供給さ れ得る。 触媒は、それだけを加熱するか、あるいは反応媒体に粒子性、または非粒子性の 照射（ｐａｒｔｉｃｕｌａｔｅ　ｏｒ　ｎｏｎｐａｒｔｉｃｕｌａｔｅｒａｄｉ ａｔｉｏｎ）を行う同時処理によって活性化される。触媒は。 酸、塩基、酸化剤、または水素のような助触媒によっても活性化され、あるいは 、アミン、ホスフィン、アルシン、およびカルボニルのような試薬によって安定 化され得る。触媒の濃度は１通常２反応物の全モル数に基づいて約５モル％より 少ないか、または約５モル％に等しく９通常、約０．１モル％と５モル％の間で ある。しかし、場合によっては、触媒濃度はもつと低く、ｐｐｍ程度である。 表土−抱二韮娠 Ｈ４Ｒｕ４（ＣＯ）＋ｚ＋　Ｆｅ（ＣＯ）５．　Ｒｈｂ（ＣＯ）＋ｉ＋　Ｃｏｔ （ＣＯ）ｓ＋　（ＰｂｓＰ）ｔＲｈ（Ｃｏ）Ｈ＋Ｈ２ＰｔＣ１１，Ｉニッケルー シクロオクタジエン、　０ｓｚ（ＣＯ）＋ｚ。 Ｉｒ４（ＣＯＬｚ＋　（Ｐｈ：＋Ｐ）ｚｌｒ（ＣＯ）Ｈ＋　ＮｉＣ１ｚ、　Ｎ１ （ＯＡｃ）ｚ、　ＣｐｚＴｉＣｌｇ。 （ＰｂｓＰ）ｓＲｈｃｌ、　ＨｚＯｓ３（ＣＯ）＋ｏ＋　Ｐｄ（ＰｈｓＰ）ａ＋ 　Ｆｅ５（ＣＯ）＋ｚ。 Ｒｕ　３　（ＣＯ）　ｒ□、遷移金属水素化物、遷移金属塩（例えば。 ＺｎＣ１ｚ、　ＲｕＣ１５＋　ＮａＨＲｕ３（Ｃｏ）＋＋）と誘導体、　ＰｄＣ １ｚ、　Ｐｄ　（ＯＡｃ）　！＋（φＣＮ）　ｚＰｄｃ１□、およびこれらの混 合物。 （以下余白） １」−エ五均二」【骸 Ｐｔ／Ｃ，Ｐｔ／ＢａＳＯ４，Ｃｒ、　Ｐｄ／Ｃ，Ｃｏ／Ｃ，Ｐｔブラック、　 Ｃｏブラック、　Ｒｕブラック、　Ｒａ−Ｎｉ、　Ｐｄブラック、　Ｉｒ／Ａ１ ｚ０３゜Ｐｔ／５ｉＯｚ、　Ｒｈ／Ｔｉ０ｚ、　Ｒｈ／Ｌａ２０ｘ、　Ｐｄ／Ａ ｇ合金、　ＬａＮｘ５＋　Ｐｔ０ｚ。 およびこれらの混合物。 反応は９反応物それ自体、あるいは、炭化水素、エーテル（例えば、エチルエー テル、テトラヒドロフラン）、ハロゲン化炭化水素（ＣＯＣｌ２．　ＣＨｚＣ１ □、　ＣＩＣＨＦｚ、　ＣＩＣＨ２Ｃ）１２ｃｌ）のような添加された非反応性 有機溶媒；ベンゼン、トルエン９またはメチルフェニルエーテルのような芳香族 化合物；あるいは。 アセトニトリル、ピリジン、または第３級アミンのような極性溶媒のような溶媒 を含む溶液中で行われる。必要に応じて。 金属触媒上に反応物を流すことにより、い（つかの反応を気相中で行ってもよい 。 触媒を活性化する穏和な温度が、典型的に用いられる。このような温度は２通常 、−７８°Ｃから２５０°Ｃの範囲にある。特に立体障害が問題となる場合、高 い温度が必要である。一般に、より高い温度は、より早い反応を可能にするが、 架橋度をより大きくする。（ａ）型反応における５ｉ−Ｎ結合の開裂には。 高い活性化エネルギーが必要であるので、（ロ）型反応は、（ａ）型反応よりも 低い温度でよい。 反応が（ａ）型である場合（Ｓｉ−Ｎ結合の開裂と新しい５ｔ−Ｎ結合の形成） すなわち転位反応または、置換反応には、この反応は、水素あるいは水素供与体 の存在下で行われる。適当な水素供与体には、ケイ素水素化物類、必要に応じて プロトン源で活性化された金属水素化物類、アルコール類、アミン類。 モノ−、ジーおよびトリーアルキルアミン類、テトラリン。 テトラハイドロキノリンなどが含まれる。 （ａ）型反応においては、開裂物が５ｉ−Ｎ結合、　Ｎ−Ｎ結合、あるいはその 両方を含む化合物と反応し、少なくとも１つの新しく形成された５ｉ−Ｎ結合を 有する最初のシラザン生成物を形成する。（ｂ）型反応においては、　５ｉ−Ｎ 結合とＮ−Ｎ結合を組み合わせて含む１またはそれ以上の反応物が２反応を引き 起こす。これらの両反応において、　Ｎ−Ｎ結合を含む化合物は、前駆体化合物 に対してアンモニア、　ＲＮｆｌｚ、　Ｒ２ＮＨであり得る。Ｒは上で定義され ている。トＨ結合を含む１またはそれ以上の化合物もまた存在し得る。ここでと は３例えば、　Ｂ、　ＡＩ、　Ｇｅ。 Ｉｎ、　Ｇａ、　ｐｂ、　ｓ、またはＳｎであり、（ａ）型反応の開裂生成物あ るいは（ｂ）型反応の反応物と反応する。 （ｂ）型反応においては１反応を起こす５ｉ−Ｎ結合とＮ−Ｎ結合は同一の化合 物中に存在し、環化あるいは重合化を引き起こすか、あるいはこれらの結合は、 ２またはそれ以上の異なる化合物中に存在し得る。 （ａ）型反応の例は、かくして以下のものを含む：Ｒ３Ｓｉ　ＮＲ’２　＋　Ｒ ″３Ｓｉ　ＮＲ”２−−−−−；−Ｒ，５ｉ　ＮＲ２”　＋　Ｒ”３Ｓｉ　ＮＲ ｚ’反皇犬−Ｘ １’ｈＳｉ　ＮＲ２’　＋　Ｒ’″：＋５ｉＨ−−−−−４・Ｒ３”ｓｉ　ＮＲ ｚｏ　＋　ＲｚＳｉＨ及Ｕ−泣上 及１漆１ （ｂ）型反応の例は以下のものを含む：反盗人−Ｘ里 反皇六−ＸＶ Ｒ３”ＳｉＨ＋　ＲｚＳｉ　ＮＲ’Ｈ・・−−一−・；・Ｉｈ５ｉＮＲ’５ｉＲ ３’　＋　Ｈ２反邦イＬ二！■ 反Ｉばし二！■ （ａＪ型または（ｂ）型（あるいはその両方）に従った初期反応の後、最初のシ ラザン生成物の次の反応は１時間の経過、触媒の種類、触媒の量、溶媒の選択、 温度の上昇、またはより一層の反応種の添加によって起こり得る。反応工程の間 、あるいはこの反応の完了後、低分子量および高分子量部分は、サイズ排除クロ マトグラフィー、限外濾過、膜分離、蒸留１部分沈澱技術によって分離され得る 。このようにして得られた各部分は、（ａ）型またはい）型の一連の反応をもう 一度反復させ得る。例えば、低分子量部分は、高分子量ポリマーの生成物を得る ように、さらに反応させ得る。 （ｂ）型反応の変形は、アンモニアが式Ｒ：ｌ’ｌ　ＳＩＨの化合物との反応に 供される場合である。Ｒ゛は上で与えられている。 Ｒ３’ＳｉＨ＋　ＨＮ３　’−−−−・−＝・　Ｒ３’Ｓｉ　ＮＨ２＋　Ｔ。 反庭式−Ｘ■ 本発明の方法で調製されるポリシラザンは、従来技術によって得られる分子量よ りも、かなり高い分子量を有するプレセラミックポリマーとして提供され得る。 従来、約肛１０，０００　Ｄ（四〜１６．０００　Ｄ、旺〜４０，０００　Ｄ） 程度の分子量を有する加工し易いポリシラザンが知られているが、これらのポリ マーには、揮発性、純度、架橋９分子構造、炭素含量などに関して多くの問題が 見られた。これに対して、非常に高い分子量を有する加工し易いポリマーシラザ ンは９本方法により達成された（実施例２３を参照）、従って２本発明は、以下 の繰返し構造を有する合成物を包含する。 Ｒ′ 莢ｌ ここでＲとＲ′は、それぞれ上で、窒素とケイ素置換基に対して定義されてい゛ る。このポリマーは、加工し易い、筋は、約１０．０００　Ｄより大きく、好ま しくは２０．００００より大きい、篩は。 約１６，０００　Ｄより大きく、好ましくは約３２，０００　Ｄより大きい。 肚は約４０．００００より大きく、好ましくは約８０，０００　Ｄより大きい、 あるいは、これらの組み合わせである。そして与えられた全体的なポリマー分布 は９例えば、サイズ排除クロマトグラフィーによって観察されるように９分子量 が約５０，０００　Ｄより大きく、好ましくは約５００．００００より大きな化 合物を含む。 これらの旺、肛、および正値は１分離あるいは蒸留段階を用いることなく直接的 に得られるポリマー分布に対して与えられる。揮発性化合物を真空蒸留する前の 約６０００よりも大きり、蒸留した後の約８００Ｄよりも大きな肝を有するか、 あるいは匹が２００００より大きいか、または正が約４００００より大きいか、 あるいはこれらの組み合わせを有するポリマーまたはコポリマー中にｒ　（Ｈｚ ＳｉＮＣＨ３）繰返し単位を有するポリシラザンもまた。新規化合物である。” Ｎ”と“Ｓｉ”は、上で概説されているような、ポリアミノあるいはポリシリル 構造を示している。 本発明はまた。（ａ）型と（ｂ）型の反応によって調製される新規なシラザン構 造を包含する。これらの反応中では、前駆体あるいは反応物は、少な（とも１つ の５ｉ−Ｎ結合、および５ｉ−Ｎ結合またはＮ−Ｎ結合、あるいは、その両方を 有し１反応生成物は少なくとも２つの異なる種類の５ｉ−Ｎ結合種を有する。 ここで“５ｉ−Ｎ結合種”　（すなわち、２つの不一致構造）は。 すでに与えられているＲとＲ゛を有するＲ’　５ｓｉ−ＮＲｚ部分と定義される 。新規化合物はまた。シランまたは単置換シラン（Ｒ’５Ｓｉ）りと、　ＮＨＲ ２化合物とを反応させることにより調製される。 本発明は、さらに、Ｒ″−＋−０−Ｓｉ−Ｎ）構造を含む新規シロキザザンオリ ゴマーおよびポリマーを包含する。これらは。 シロキサン前駆体、すなわち、１またはそれ以上の５ｉ−０および２またはそれ 以上の５ｉ−Ｎ結合を有する前駆体から、（ｂ）型として概説された方法に従っ て調製され得る。以下の反応式は１本発明の方法に従ってポリシロキサザンが調 製される種々の経路を示している。 ＨｘＳｉＲｚ’（ＯＲ’）ｙ　＋　ＨＮＲｚ　＝−−−＝−ｊ・（ＲｚＮ）Ｓｉ Ｒｚ’（ＯＲ”）ｙ反息式Ｘ入 反息人−ＸＸ 反息六−ＸＸ上 反妄式−入ｘｎ ここで与えられるような新規シロキサザンは、以下の一般な構造を有する。 Ｒ”−（−０−５ｉ−Ｎ） ここで、Ｒ”はシリル基あるいは炭化水素基である。より特定すると、新規シロ キサンオリマーは、以下の構造を有する。 ここで、Ｘは２〜３までの整数、ｙは、１〜２までの整数。 ２は０〜１までの整数であり、ＲとＲ″は上で与えられており。 そしてＲ”はこの場合、Ｒとして定義されるが、アミノおよびアルコキシ置換基 は除く、新規ポリシロキサザンはまた。オリゴマーおよびポリマー種を含み、こ れは、以下によって与えられる。 ここで、ａは０〜２までの整数、ｂはＯ〜１までの整数、ａとｂの合計は２９ｍ は化合物中のモノマー単位数として定義される整数、そしてＲとＲ“は上で与え られている。必要に応じて、６ンリＯ，ＯＯＱ　Ｄ、好ましくは≧２０．０００ 　Ｄ、籟ン１６．００００゜好ましくは一≧−３２，０００　Ｄ、または正≧４ ０，０００　Ｄ、好ましくは一≧−８０，０００Ｄ、あるいはこれらの組み合わ せを有する高分子量ポリシロキサザンは、上で概説された方法により得られる。 これらの化合物の合成は、（ハ）型の反応順序に従って行われる。 （以下余白） Ｃ，セーミ・・り　′への軌ゝ” 本発明の組成物および方法のもうひとつの重要な利点は。 熱分解におけるセラミック収率の特異性および程度である。 例えば、高分子量ポリシラザンは、対応する高いセラミック収率を示す。そのよ うにして供給されるセラミック材料は。 必要に応じて高い窒化ケイ素含量を有する。熱分解が、窒素。 アルゴン、またはその他の不活性雰囲気下で行われる場合には、ここで供給され るポリシラザンの熱分解により、約８０％を越える純度で窒化ケイ素が供給され 得る。アンモニアまたは他のアミン雰囲気下においては、ポリシラザンの熱分解 により約９５％を越える窒化ケイ素が供給され得る。ここでの方法に従って調製 され得る炭素を含まないポリシラザンは、さらに高純度（つまり、９８〜９９％ またはそれ以上）の窒化ケイ素を供給し得る。 同様に、ここで記述した方法を用いた熱分解で、シリコンオキシニトリド（Ｓｉ ｚＯＮｚ）混合物を高セラミック収率で得ることができる。耐火性を有する望ま しいセラミック材料（酸化物および窒化物の両方）であるシリコンオキシニトリ ドを調製するための既知の合成方法は９問題が多かったので、この新しい方法は ７当該分野における有意な進歩を意味する。 シリコンオキシニトリドを生産するための２つの新しい経路がここに提供される 。 これらのうちの最初のものについては、（ＣＨｉＳｉＨＯ）　−のようなシロキ サンオリゴマーまたはポリマーをアンモニアまたはアミンと反応させてこれらの 種の化合物に窒素部分を導入することができる（例えば１反応式ＸＩＸ〜ＸＸ■ 参照）。これらの反応により、ポリマー中に５ｉ−０および５ｉ−Ｎ結合の均一 な分布を有する窒素架橋したポリマーが形成され得る。そのようにして供給され るシロキサザンは、窒素またはアルゴンのような不活性ガス、またはアンモニア またはガス状アミン化合物のもとて熱分解され、シリコン酸窒化物を含むセラミ ック混合物を生成し得る。 または、窒素を含まないシロキサン出発物質（これは、オリゴマーであってもポ リマーであってもよい）をアンモニアまたはガス状アミン雰囲気下で熱分解すれ ば、シリコンオキシニトリドが直接得られる。この場合には、窒素はむしろ熱分 解の前にシロキサンに導入される。このシロキサンは、セスキシロキサン（（Ｒ ’ＳｉＯ＋、ｓ）　ｎ）、ポリヒドリドシロキサン（式８）または架橋ポリシロ キサン（式９）または、加熱中に架橋するか、硬化中に置換され得る潜在的な反 応性基（例えば、水素、アミン、アルコキシ、スルフィド、アルケニル。 アルキニルなど）を有するポリシロキサン（弐６）であっても良い。 式−」− 上式において、ａ、ｂおよびＲ′は９式３におけるのと同様に定義される。 所望であれば、ポリヒドリドシロキサンをもとにしたプレセラミックポリマーお よび選択された熱分解条件を用いて。 炭化ケイ素もまた。熱分解により高収率で調製され得る。より最近、　ＳｉＣ粉 末がセスキシロキサンの熱分解により調製されたが（例えば、　Ｆｏｘら、「化 学によるより優れたセラミックスＪ　Ｓｙｍｐｏｓｉｕｍ、　Ｊ、　Ｂｒ１ｎｋ ｅｒ、　Ｅｄ、　；　Ｍａｔ、　Ｒｅｓ、　Ｓｏｃ、　（１９８６）＋印刷中、 を参照されたい）、ＳｉＣ微粒子を生産する一般的な方法は、シリカと炭素粉末 との高温での反応である０本法は。 従来得られていたものより均一な炭化ケイ素微粒子および被覆物が得られる。無 機ポリマーで制御される経路を提供する。 その方法によれば、生産物の組成およびそこにおける架橋の量が注意深く制御さ れ得る工程が提供される。この方法は。 従来の方法でのポリマー前駆体中の酸素含量を減少させ、高い純度のＳｉＣ粉末 へと導く。 （ｂ）型反応において上述した一般的な方法は、プレセラミック　ポリヒドリド シロキサンを調製するのに使用され得る。 その調製は１例えば、　５ｉ−Ｈ触媒活性化を利用し、シロキサン前駆体トアミ ン（例えば、モノアルキルアミン、アンモニア。 ヒドラジンなど）とを架橋させることによりなされる。別の実施態様においては 、潜在的な反応基（例えば、アミン、スルフィド、エーテルなど）で修飾された 有機置換基（例えば低級アルキル）がそうであるように、他の架橋試薬（例えば 。 水、ジオール、エーテル、スルフィド、アルケニル、アルキニルおよびジエノー ル化合物）もまた、　５ｉ−Ｈ触媒活性化法を用いて使用され得る。 本発明の好適な方法によれば、熱分解は次のような方法によりなされる。ポリシ ラザン、ポリシロキサザンまたはポリシロキサンを窒素またはアルゴンのような 不活性雰囲気下。 または、アンモニアまたはアミン雰囲気下において、あらかじめ決められた加熱 速度で加熱する。実施例３１および３２に示されるように、熱分解中の加熱速度 は、得られるセラミック材料の収率に大きく関係する。大量に熱分解を行う場合 の好ましい加熱速度は、毎分約０．１℃〜２．０”Ｃであり、好ましくは、毎分 約０．５°Ｃ〜１０°Ｃである。セラミック収量を最大にする特に効果的な加熱 速度は、毎分約０．５℃である。しかし。 ある場合においては、瞬時熱分解が好適であり得る。ポリマーの温度は、典型的 には、約５００°Ｃおよび約９００°Ｃの間にまで、必要に応じてそれよりも高 い約１６００℃〜１８００°Ｃまで上昇させて、セラミック材料の焼結または粒 子の成長を起こさせる。加熱工程は、熱分解を制御し、中程度の温度（約４００ °Ｃを下まわる）でより多くの架橋をつくり、最終生産物の収率をさらに増加さ せるために、１もしくはそれ以上の等温保持のステップを含んでいてもよい。所 望であれば、熱分解は触媒の存在下で行い得る。適当な触媒の例は９表Ｉおよび ■に示されている。 必要に応じて、熱分解は部分的に行われ得る。つまり、完全に熱分解された物質 を得る必要がない場合はそうである。 そのような通用例としては、被覆材、シロキサザンまたはシラザンゴム、ガラス などが含まれる。または、物質の環境が高温で損害を受け得る場合が含まれる。 そのような「部分的な熱分解」または部分的な硬化は５００°Ｃを下まわる温度 で。 なされ得る。 熱分解されるプレセラミックポリマーにより、セラミック生産物には２次のもの が包含され得る：窒化ケイ素、炭化ケイ素、シリコンオキシニトリド、窒化ケイ 素／炭化ケイ素混合物、窒化ケイ素／窒化ホウ素混合物、炭化ケイ素／窒化ホウ 素混合物、およびそれらの混合物。 Ｄ、セーミークの　・　川 ここで提供されるセラミック材料は、数多くの応用に有用であり、その応用とは 、多くの異なった種類の基材への被覆剤としての使用を包含する。 窒化ケイ素およびシリコンオキシニトリド被覆物は９例えばここで述べた熱分解 法の変形により、基材上に供給され得る。熱分解の高温に耐えるような基材（例 えば、金属、ガラス、セラミック、繊維、グラファイト）から選択された基材は １選択されたシラザンまたはシロキサザンポリマー溶液に浸すこと、あるいはこ のようなポリマー溶液を塗布すること。 噴霧することなどにより、プレセラミックポリマー材で被覆される。この溶液は 前もって決められた濃度を有しており。 その濃度はほとんどの場合においては、好ましくは約０．１と１００重量％との 間、さらに好ましくは約５と１０重量％との間である。次いでこのポリマーを基 材上で、上述の熱分解手順に従って加熱することにより熱分解する。このような 方法では、被覆材内部に気泡を生ずることなく生成ガスを逃すように、熱分解は 比較的ゆっくりと、即ち加熱速度が１分間当り約０．１°Ｃと２．０°Ｃの間で 行われ得る。そして１またはそれ以上の等温保持処理を含み得る。ある場合にお いては２例えば比較的温度に敏感な材料を用いられ、または迅速な被覆工程が望 まれる場合には、瞬間熱分解処理が好まれ得る。より厚い材料の層が望まれる場 合には、各被覆処理の後に１部分キュアーまたは漸次または瞬間の熱分解を行う 反復した複数回の被覆操作が通用され得る。 熱分解温度は望まれる被覆のタイプにより異なる。典型的には、温度は約３５０ °Ｃから約１１００℃の範囲である。約５００°Ｃを下まわる低温は第Ｃ節で検 討したように１部分的に熱分解されたポリマーを生成し得る。 液体または溶解ポリマーは、被覆に先立ち、窒化ケイ素ま得る。このセラミック 粉末には必要に応じて、酸化アルミニウム、シリカ、酸化イツトリウムなどの焼 結助剤が混合されている。第Ｃ節で示したように、架橋剤も被覆混合物に含まれ 得る。 上記の被覆方法は窒化ケイ素被覆を形成する従来の化学的蒸着（ＣＶＤ）法を実 質的に改良するものである。　ＣＶＤ法においては、適当な化合物（例えば、　 ５ｉＨａおよびＮｌ２または揮発性シラザン）は、蒸気相で反応して、目的の基 材上に沈着するセラミックを形成する。ＣＶＤは、高価で特別な装置を要する。 典型的に非能率で時間のかかる方法である。窒化ケイ素を含む上述の被覆材を製 造する処理操作は、簡便な炉で行い得る。 さらにこの方法は、熱安定で、摩滅、浸食、剥離および腐食抵抗性のある窒化ケ イ素セラミック被覆材をもたらす、窒化ケイ素は、極めて固（９丈夫な材料であ るので、この被覆方法の多くの応用が可能である。特殊な応用の１つは、ガスタ ービンエンジン中の特に摩滅しやすい部品への応用である。 さらに、窒化ケイ素は絶縁体であるので、この被覆方法はコンデンサーの誘電性 物質または、電気産業における絶縁被覆材を提供するのに用いられ得る。その他 の応用も明らかに可能である。 本発明の別の実施態様においては、基材はセラミックまたはプレセラミック材料 で噴霧被覆される。このような方法は。 より高密度な被覆および高い均一性を提供する。基材にプレセラミック被覆を付 与され得、またはより高温で、１あるいはそれ以上のセラミック被覆が付与され 得る。シランおよびアンモニアのような３反応してプレセラミックポリマーを形 成し得るガス状物質をノズルへと導く。このガスをノズル内で混合し、ノズル内 に含まれる遷移金属の触媒層を通過させる。ここでの適当な遷移金属触媒は９表 １および■に示したものから選択される。この触媒層は、ガス状物質からプレセ ラミック物質の形成を開始させる。ノズルにおいて、ガス状プレセラミック物質 は、１またはそれ以上の注入口より装置中へ導かれた不活性ガスまたは反応性ガ スと混合され、基材の表面がこれらの材料の混合物によりコーティングされる。 空気中に液体プレセラミック材料の懸濁液を供給するような方法は、微細粉末の 調製にも使用され得る。 ガスが触媒層を通過するにつれ、ここに（ａ）型または（ロ）型で示した所望の 重合反応がこのように起こる。不活性ガスは。 プレセラミック物質を基材の表面に運ぶ。または、もしガス相が加熱されていれ ば、実際のセラミック粉末または粉末の混合物、および制御されたサイズの粒子 を有するプレセラミックポリマーを運ぶことができる。この工程は、超微粒子を 得るときに、前駆体および均一な触媒溶液の極めて細かいエアロゾルを形成する のに用いることができる。 Ｅ、！！ｊ告セーミ・り　のＵ告 ここでセラミック粉末と混合して提供されるプレセラミックポリマーは、注入も しくは圧縮鋳造により３次元の物品を形成するのに用いられ得る。本発明の好ま しい実施Ｂ様においては、プレセラミックポリマー／セラミック粉末系は、圧縮 鋳造により３次元体を形成するのに用いられる。発明者らはここで、驚くべきこ とに、新規のポリシラザンまたはポリシロキサザンと、セラミック粉末（Ｓｉ３ Ｎ４を含む）との間で。 ８００°Ｃという低い温度において、化学的もしくは物理的相互作用があること を見出した。そのような化学的あるいは物理的反応は予期し得ない。なぜなら、 焼結促進剤を含む超微粒子化Ｓｉ３Ｎ４粉末であってもそのような低い温度では 焼結し得ないためである。Ｎ２中で８００’Ｃにて加熱後、窒化ケイ素およびポ リシラザンの両者を含む円筒形のペレットは、５％までの容積収縮と、かなりの 機械的強度を示す。他方、ポリマーを加えず、同条件で加熱した乾燥粉末のベレ ットは、室温でプレスした粉末圧縮物に比べて収縮も機械的強度の向上をも示さ ない。本発明のこのような面は、必要に応じて非常に低い細孔容積を持ち得るセ ラミック体を生産する。この化学的相互作用の発見を利用している。注意深く選 抜された条件を用いることによって、未焼結密度（ｇｒｅｅｎ　ｄｅｎｓｉｔｙ ）が約８５％（または０．０６Ｃ！＋！　／　ｇ　、　もしくはそれ未満の孔容 積）の３次元のセラミック体が調製され得る（しかし、所望であれば、より低い 密度の物質を同じプロセスにより調製しうる；実施例３５〜４３を参照されたい ）。 ポリシラザン（例えば（）ｌｚｓｉＮｃＨｓ）　ｘ）　、ポリシロキサン。 またはポリシロキサザンを含むポリマー溶液が調製され、セラミック粉末組成物 と混合される。この組成物は９例えば。 窒化ケイ素、焼結促進剤、（例えば、酸化イツトリウム；酸化アルミニウム；お よびシリカ）、そして必要に応じて繊維およびウィスカー（例えば窒化ケイ素、 炭化ケイ素、または炭素製）を含有する。ポリマー／粉末混合物の組成物は、約 ５から約５０ｗｔ％の間のポリマーと、それに応じて約５０から約９５−ｔ％の 間のセラミック粉末とを含むようなものである。混合物は負荷して適当な形とさ れ、約２５．０００から約５０　、０ＯＯｐｓ　ｉの間で圧縮鋳造される。形成 体は９次に、不活性ガス下（またはアンモニアまたはガス状アミン化合物下）で 約５００°Ｃから約９００°Ｃの間の温度で加熱し、ポリマーをセラミック材料 に変換する。その形成体を９次に、非常に密な、実質的に非孔性の材料を提供す ることを目的として、少なくとも３気圧の圧力のＮ２あるいは他のガスの雰囲気 下で、少なくとも約１６００°Ｃの温度で焼結する。実施例で示される結果から 、このような方法により焼結促進剤の不存在下においても好結果が得られ得るこ とが示される。 Ｆ、貰里見皿製 本発明で提供されるポリマー、特に実質的に線状の高分子ポリシラザンは、プレ セラミック繊維の紡糸に用いられ得る。 ３種の紡糸技術が一般に用いられる＝（ａ）溶融紡糸：ポリマ−をその溶融状態 で紡糸し、冷却により固化させる；ら）乾式紡糸：ポリマーを、少なくとも部分 的に、溶解して溶液とし。 紡糸口金を通して、ヒートチャンバーへと引き出してから。 溶媒を蒸発させて固化させる；そして（Ｃ）湿式紡糸：ｆｉ縮ポリマー溶液を、 ポリマーが溶解しない他の溶媒を含む凝固または再生浴に紡ぎ入れる。これらの 方法は扱いやすい高分子のポリシラザンに適している。そのポリシラシンは、亜 ≧１０，０００　Ｄ。 またはに＞１６，０００　Ｄまたは慝≧４０，０００　Ｄ、またはその組合せで ある。あるいは生じたポリマーが、　５０，０００　Ｄを越える分子量を有する ポリマーの分布のあるポリマー種を含む。これらのポリマーは、可溶融性であり 、可鍛性であり、もしくはあるタイプの溶媒に可溶である一方で、それらは他の ものには（例えば、湿式紡糸において）不溶であり得る。 非常に高分子量で、実質的に線状の有機ポリマー（１００，０００〜５．０００ ，０００　Ｄ）の比較的少量（０，１〜５．０ｗｔ％）が、さらに無機ポリマー に混合され得、その結果、紡糸後の繊維強度が向上し、改良される。これは９例 えば、　Ｖｅｒｂｅｅｋの米国特許第３．８５３，５６７号およびＷｉｎｔｅｒ らの第３．８９２，５８３号に教示されている。 強度を向上させる技術は、架橋度が非常に低度の低分子量および／または非線状 のポリマーを用いるときに、特に有効である。 セラミック繊維の調製において直面するひとつの問題は。 熱分解中の無機ポリマーの溶融性から起こる。この溶融性は。 紡糸した繊維の構造的な問題となる。しかし２本発明で生産されたポリマーは溶 融性の問題を克服し、ここで述べられている触媒工程が、繊維紡糸工程に実際に 組み入れられている。 例えば、高分子量ポリシラザンは、均質な触媒と混合され。 紡糸口金中、またはキュアーチャンバー中で加熱され得、（ａ）または（ｂ）型 、あるいはその両方の反応を起こさせて、繊維の架橋度を増加させる。あるいは 、紡糸口金は、それ自身が触媒ベッドであり得る。０節で示したような架橋剤が また。繊維紡糸工程に組み込まれ、付加的な架橋が形成される。同様に、潜在的 反応基（例えば、遊離アミノ部分）が、触媒がない場合においても、同じ理由で 同様に存在し得る。 Ｇ６皿坐息里 本発明の新規なポリマーは、明らかに、他の多くのものに応用され得る。 例えば、Ｇ節でまとめた結果は、ポリシラザン、ポリシロキサザン、そして関連 した化合物と、他の、セラミック粉末（例えば、　ＳｉＣ、ＢＮ、　Ｂ、Ｃ）と の組合せにより複合材料が生産されることを示唆している。例えばシロキササン ポリマー／ＳｉＣ粉末混合物のような複合物は、耐酸化性が改善された物品を与 え得る。他のものへの適用は、新規ポリマーを溶解させた。あるいは液体の形態 でバインダーとして、セラミック粉末と組み合わせて使用し、流動性のポリマー ／粉末溶液を提供することである。 浸透および飽和工程を付加することも可能であり、それは。 例えばＭａｚｄｉｙａｓｎｉ　らの米国特許第４．１７７．２３０号およびＷ、 Ｓ。 Ｃｏｂｌｅｎｚらの「バイテクノロジー　セラミックの新規加工法」。 Ｄａｖｉｓ　ら’ｔ４　（Ｐｌｅｎｕｍ　Ｐｕｂｌｉｓｈｉｎｇ、　１９８４） で述べられている。 典型的には２つの一般法が使用されている。そのひとつは。 高真空技術である。それによれば、多孔性のセラミック体が液体、あるいはわず かに溶解したプレセラミックポリマーの溶液中に置かれる。高真空浸透後、その 物品は、熱加水分解され、高密度が達成される。第２の方法は、高圧浸透法であ る。これらの方法のいずれかが１本発明のポリマーに適用され得る。さらに、多 孔性セラミック体中でより高い移動度を持つ低分子量オリゴシラザンの溶液が、 セラミック体および遷移金属触媒とともにインキュベートされ９次に、オリゴ化 した反応成分がインキュベートされて、（ａ）型またはい）型あるいはその両方 の反応を起こさせることができる。そのままの状態における鎖の延長、あるいは 架橋は、オリゴ化した出発物質の移動度と揮発性とを減じる。 本新規ポリマーの他の応用には、粉末、セラミック繊維。 および３次元の物品のようなセラミック材料を「結合させる」セメントとしての 使用が包含される。繊維の結合およびそれに続く熱分解により、マトリックスま たはマトリックス複合物を生成することができる。ある適用においては、セラミ ック材料は、圧力下でポリマーにより結合され得、続いて熱分解が行われる。Ｆ 節で論じているポリマーとセラミック粉末との間の化学的相互作用が結合におい て起こり、セメントの強度を増強させ得る。 本発明は、好適で特別な実施態様と結びつけて述べられているが、以下の記載お よびそれに続〈実施例は説明するために記述されているのであり２本発明を制限 するものではないことを理解すべきである。本発明範囲は添付の請求の範囲に記 載されている０本発明に包含される他の面、利点およびその修飾は、当業者が本 発明内容を読めば明らかとなるであろう。 （以下余白） 遺」１舛 実験用試薬：特に、指示されない限り、使用した試薬は次の供給源から入手した ニジラン類、　Ｐｅｔｒａｒｃｈ　Ｓｙｓｔｅｍｓ、　Ｉｎｃ、。 Ｂｒ１ｓｔｏｌ、　Ｐｅｎｎ５ｙｌｖａｎｉａから；アミン類を含む有機試薬、 　ＡｌｄｒｉｃｈＣｈｅｍｉｃａｌ　Ｃｏｌ、　Ｍｉｌｗａｕｋｅｅ、　Ｗｉｓ ｃｏｎｓｉｎから；ガス類、　ＭａｔｈｅｓｏｎＳｅａｃａｕｃｕｓ、　Ｎｅｗ 　Ｊｅｒｓｅｙ＋から；触媒類、　Ｓｔｒｅｍ、　Ｎｅｗｂｕｒｙｐｏｒｔ。 Ｍａｓｓａｃｈｕｓｅｔｔｓ　から・ 裏庭五−上 皿翌生少皿底 オーバーヘッドメカニカルスターラーおよび窒素導入口を備え、火炎乾燥した三 ロフラスコの中に、無水エーテルを５００−を入れた。これを、ドライアイス／ アセトン浴中で一７０°Ｃを下まわる温度にまで冷却した。次に、ジクロロシラ ン（１５０ｇ：１．５モル）をこのフラスコの中に液化して入れた。次に。 過剰量である約１９８ｇ　（４，５モル）のモノエチルアミンを。 ２時間をかけて加えた。反応混合物をさらに４時間撹拌し。 そしてフラスコをそれから一夜かけて、徐々に室温まで暖めた。内容物を５００ ｍ１のエーテルで希釈し、そして濾過してモノエチルアミン塩酸塩を除去した。 固形物を次に２２のエーレンマイヤーフラスコの中に入れ。 ５００ｄの沸ＷＲＴＨＦ中で１０分間撹拌した。その混合物を加熱濾過した。抽 出を繰り返し、そして固形物を別の５００ｄの熱いＴＨＦで洗浄した。溶媒を除 去し、扁＝　４９００　：ん＝１．７２００　：＆−１１，３７０　Ｄテある生 成物８９．０ｇを得た（収率８１％）、高真空蒸留（１５０°／３００μ）で分 留すると、篇が３０７Ｄである揮発性成分を６０％と、兎が４２００．にが２６ ７００．そして蚕が１７．５６００である残留物４０％とを得た。 裏庭１ 皿に体□□□塁底 オーバーヘッドメカニカルスターラーおよび窒素導入口を備え、火炎乾燥した三 ロフラスコの中に、無水エーテルを５００ｄを入れた。これを、ドライアイス／ アセトン浴中で一７０°Ｃを下まわる温度にまで冷却した。次に、ジクロロシラ ン（１５０ｇ：１．５モル）をこのフラスコの中に液化して入れた０次に。 過剰量である約３００ｄのモノメチルアミンを、２時間をかけて加えた。反応混 合物をさらに４時間撹拌し、そしてフラスコをそれから一夜かけて、徐々に室温 まで暖めた。内容物を５００ｄのエーテルで希釈し、そして濾過してモノメチル アミン塩酸塩を除去した。溶媒部分を減圧下でエバポレートし。 １０〜２０ｇ　（１１〜２３％）のオイルを得た。 固形分重量が予期したより非常に大きかったので、低収率は固形分の抽出が不十 分であることに起因した。 固形物のケーキから抽出のための改良方法が開発された。 この反応混合物を濾過し、そして固形物をエーテルとＴＨＦとで洗浄した。次に 、この固形物を２１のエーレンマイヤーフラスコ内に入れ、そして５００ＨＩＬ の沸騰ＴＨＦの中で１０分間撹拌した。混合物を熱濾過した。抽出を繰り返し、 そして固形物をさらに５００ｄの熱ＴＩ（Ｆで洗浄した。この抽出方法およびそ の後に行われる溶媒の蒸発により、収率は６０〜７５％に改善された。溶媒を蒸 発した後に得られた粘性のあるオリゴマーは標準平均分子量（蒐）が８００〜１ ２５０　Ｄであった。８５〜９５％以上の元の生成物質が、高真空蒸留（１５０ °Ｃ／３００μ）の後に残り、その兎は１４００Ｄおよびそれ以上であった。上 記ケーキの抽出にはソックスレー抽出器が用いられ得る。 亥旧五−主 １駆＼の〉　（・・法 オーバーヘッドメカニカルスターラーおよび窒素導入口を備え、火炎乾燥した三 ロフラスコの中に、無水エーテルを１雁を入れた。これを、ドライアイス／アセ トン浴中で一７０″Ｃを下まわる温度にまで冷却した。次に、ジクロロシラン（ １５４ｇ：１．５モル）をこのフラスコの中に液化して入れた。１５．４ｇ　（ ０，１１モル）のトリクロロシラン、５ＨＣ１＋をその反応器の中へ加えた。次 に、過剰量である約４００ｄのモノメチルアミンをその溶液の中へ３時間かけて 吹き込んだ。反応混合物をさらに２時間撹拌した。フラスコを一夜かけて徐々に 室温まで暖めた。次に、その内容物を、５０Ｍ！のエーテルで希釈し。 そして濾過してモノメチルアミン塩酸塩を除去した。 次に、固形物を２！のエーレンマイヤーフラスコに入れ。 ５００ｄの沸騰ＴＨＦの中で１０分間撹拌した。混合物を加熱濾過した。抽出を 繰り返し、そして固形物をさらに５００ｄの熱ＴＨＦで洗浄した。塩化物の不純 物を完全に除去するために、室温で抽出溶液に過剰量のモノメチルアミン（２０ ｄ）を吹き込んだ。次に、この濁った溶液を濾過し１次いで溶媒を蒸発させた。 溶媒の蒸発により、オリゴマー８９ｇを得た。そのオリゴマーの鷲は１．７８０ 　Ｄ、偏は７，４６０　Ｄ、そして蚕は２８，０２０　Ｄであった。蒸留もしく は精製は不要であった。 災旌班−土 ジエチルシランとアンモニアとの　心 ２０．０ミリモルのジエチルシラン（１，７６ｇ）に２５マイクロモルのＲｕｓ 　（Ｃｏ）　ｌ□（１６■）を加えた。この溶液を約８０ｐｓ　ｉのアンモニア 下にて６０°Ｃに加熱した。１時間後、８５％のシランがオリゴマーの混合物に 変わり、そしてその圧力は水素の発生により２００ｐｓ　ｉにまで上昇した。　 ＥｔｚＳｉＨｚは２時間後には完全に消失したが、鎖状オリゴマー化と環化は１ ２時間にわたり続いた。生成混合物の中には、Ａタイプのオリゴマー（ｎは３〜 ５；主生成物）、Ｂタイプのオリゴマー（ｎは１〜４；主生成物）、Ｃタイプの オリゴマー（ｎ＋ｎ’は２または３）。 そしてＤタイプのオリゴマー（ｎ＋ｎ’＋　ｎ’″十ｎ゛″２は２）が見い出さ れた。他の一連の化合物、　Ｈ［ＥｈＳｉＮＨ）　、Ｈ（ｎは２〜４）およびＨ Ｊ　（ＥｔｚＳｉＮＨ）　、、Ｈ（ｎは２）もまた、その溶液中に少量見い出さ れた。 二のようにして、多少の環状物が生成されたが、生成物の大部分は実質的に線状 のオリゴマーであった。 車止±−ｉ ＴＭＤＳとアンモニアとの　心 ３０ミリモルのテトラメチルジシラザン（ＴＭＤＳ）に２５マイクロモルのＲｕ ｓ　（ＣＯ）　＋　ｚを加えた。その溶液を８０ｐｓ　ｉのアンモニア下で、１ ３５°Ｃに加熱した。２０時間後にＴＤＭＳは完全に消失し。 そして、２８時間にわたり重合が続けられた。１８０°１０．３＋ｍ＋＋Ｈｇで の蒸留後における重合残留物（重質の油）は２．４４ｇｍ　（収率６１重量％） であり、そのＭｎは７６４Ｄであった。主要な一連の重合物は、線状のＨ５ｉＭ ｅｚ　（ＮＨＳｉＭｅ２）　ｘＮ）ｌｓｉＭｅｚＨであった。少量の枝分かれ鎖 ポリマーが同様に見られた。２６０００　Ｄより大きい分子量が１反応条件を変 えることにより得られる。 裏旌五一旦 ＴＭＤＳとアンモニアおよびヒ゛−ジンとの　・２０ミリモルのＴＭＤＳに２５ マイクロモルのＲｕｉ　（Ｃｏ）　ｒ　ｚを加えた。 その溶液を１００ｐｓｉのアンモニア下で１３５”Ｃに加熱した。１時間後のＴ ＭＤＳの変換は９４％であった。０．１ｇのヒドラジンを加え、そして溶液を再 び３時間加熱した。ＧＣの結果は、はとんどの揮発性生成物が消失したことを示 した。１８０°Ｃ１０，３ｍｏ＋Ｈｇで蒸留した後の高重合残渣は６８重量％で あった。同一条件で。 ５％Ｐｔ／Ｃ（Ｈ２下で活性化された）を２００■用いることによっても類似の 結果が得られた。その数平均分子量（兎）は１２００　Ｄである。 亥ＪＬＬ−工 ＴＭＤＳとアンモニアとの　応 ７５ミリモルのＴＭＤＳに２５マイクロモルのＲｕ３　（１０）　Ｉ□を加え。 そしてこの溶液を６０ｐｓ　ｉのアンモニア下で１３５°Ｃに加熱した。 この反応で生成する水素圧を１時間ごとに解放し、そしてその反応容器に再び６ ０ｐｓ　ｉのアンモニアを充填した。５時間後にＴＭＤＳが消失した。ＴＭＤＳ が消失するまでの初期の変化回数（ｔｕｒｎｏｖｅｒ　ｆｒｅｑｕｅｎｃｙ　； ＴＦ）は２６０であった。Ｓｉ　Ｎ結合を生成するための正味の変化回数は８時 間後において４．４８０に近かった。 １隻±−主 ＴＭＤＳとヒドラジンとの　応 ２０ミリモルのテトラメチルジシラザン（ＴＦＩＤ５）と２０ミリモルの無水ヒ ドラジン（Ｎ）１２Ｎ）１２）に、２５マイクロモルのＲｕｔ（ＣＯ）＋ｚを加 え、そしてこの溶液を窒素下において１３５°Ｃに加熱した。 ３時間後全てのＴＭＤＳが消失し、そして水素圧が得られた（ＴＦは５２８）。 揮発性成分を蒸留した後の重合残渣の収率は７５重量％であった。数平均分子量 （扁）は９６８Ｄであった。 実施五一度 ｎ−へキシルシーンとアンモニアとの　し・ステンレススチール製反応容器中で 、１０ｇのｎ−へキシルシランと触媒としての１６■のＲｕ１（ＣＯ）＋ｚを、 　１５０ｐｓｉのアンモニア下において６０’Ｃに加熱した。最初の１時間の間 に圧力は３００ｐｓ　ｉとなった。反応容器を室温まで冷却し２圧を解放した。 そして再び反応容器を１５０ｐｓｉのアンモニアで満たした。この工程を数回繰 り返して行った。１時間後、６８％の基質が消失した（　ＮＭＲ分析に基づいて 算出した）、そして反応速度が遅くなった。１７時間後に、油状溶液の中には出 発物質の１２％だけが残った。温度を９０°Ｃに上げた時、はんの少しの付加的 な変換が認められた。別に１６■のＲｕ１（Ｃｏ）＋ｚを添加すると、粘性物質 への変換がさらに促進され、同時にヘキシルシランの消失が伴うようである。そ のＮＭＲおよびｖｐｏ　（蒸気浸透圧測定法）の分析を表３に示す。 （以下余白） 衷−盈 Ｉ　Ｃ薄いオイル　６８　１．２８　０．７２　−−１７　’　わずかに粘性が ある　８８　１．１８　２．１８　９２１２４　’　粘性才イＢ’　９１　１． ０６　２．２０　９６２２８６°１非常に粘性の高いオイル　１００　０．７０ 　１．８４　２７７２３６’＝”　ワックス　１００　０．４３　１．８３　４ ０５３’　６０°Ｃにて ６９０°Ｃにて ・１６■のＲｕｚ（ＣＯ）＋ｚの添加後反応混合物をＮＭＲおよびＧＣ−ＭＳ法 で分析し、ポリマーのタイプを決定した。表５に、形成されうるタイプＡ、Ｂ、 Ｃ。 ＤおよびＤのポリマーを示す。それぞれについての元素（Ｃ１ＨおよびＮ）分析 を表の上部に示す。２４時間および３６時間後の反応混合物の実際の分析結果は その表の下部に示されている。 表４から次のような結論が得られる： ａ、初期の変化は非常に速く；シラン変換の初期の変化回数は１時間当り２３５ ０であった。 ｂ、２４時間後のポリマーは、その分子量が高い時にも多量の５ｉ−Ｈ結合を含 有した。架橋はそのため防げられた。 おそらく立体障害のせいであろう。 ０．３６時間後におけるＣ−）１に対するＮ−Ｈの高い積分比は。 量で存在していることを強く示唆している。５ｉ−ＮＨｚは。 また１、Ｒ，で検出された。（ＣＣ１，中１５５０ＣＩｌ−’に吸収）。 （（ＮＨ）　Ｉ　／！は、　ＮＨ基が他のポリマーの断片に共有されていること を意味する。〕 ｄ、このポリマー生成物は、新規化合物であると考えられる。 反応溶液のＧＣ−耶は、ケイ素（例えばｃ（−Ｎ）３Ｓｉ−）　）および窒素（ 例えば（（＝Ｓｉ）Ｊ）　）の置換基を両者とも有する線状および環状のオリゴ マーの一連の化合物を示した。 末端５ｉ−ＮＨｚ単位はＧＣ−ＭＳ断片化パターンには見られなかった。 表４に関し、ＡからＥまでの繰り返し単位のタイプを以下に記載する。 （以下余白） ｎ−へキシル　ｎ−ヘキシル Ａ　Ｂ ＣＤ 、表−」ユ 元素分析 叉不プＺ片箇　」」ＸＬ　」（％）　Ｎ（％）Ａ　５５．８１　１１．６３　１ ０．８５Ｂ　５２．９４　１０．６６　１５．４４Ｃ５０，００１１，１１１９ ，４４ Ｄ　５９．２５　１１．９３　５．７６Ｅ　５８．３７　１１．３５　７．５７ ２８ｈ　５４．５１　１０．９５　１０．８４３６ｈ　５２．５４　１０．７３ 　１２．９３表４から次の結果が得られる。２８時間後の実際の分析値は。 線状のＡタイプのポリマーの分析値によく適合する。 この実施例は、初期のそのような反応に続り（ａ）型もしくはｃｏ）型の付加的 な反応を示している（ここでは、架橋したポリマーは初期に合成された線状オリ ゴマーから調製される。）この方法で得られたポリマーは新規化合物であると考 えられる。 実画■［一段 フェニルシーンとアンモニアとの　、゛ステンレススチール反応容器の中で、フ ェニルシラン（１０，０・Ｃに加熱した。この反応容器を反応中数回冷却し、サ ンプリングを行い、そしてアンモニアで再充填した。３時間後、８４％のフェニ ルシランがオリゴマー生成物に転換した（　ＮＭＲのデータから計算した）。１ ４時間後１反応温度を９０”Ｃに上げ。 そして１８時間後に、８■のＲｕ３（Ｃｏ）　＋　２をその混合物に加えた。 表５には、その観察結果と、　ＮＭＲおよびｖＰＯ分析からの結果が要約されて いる。 （以下余白） 表−」− ３ｃ　わずかに粘性がある　８４　１．２１　０．９８　５４９９ｃ　わずかに 粘性がある　９５　１．１３　１．３２　−１４　’　非常に粘性がある　９８ 　１．０７　１．２１　６９５１８４　硬いフックス　１００　０．９８　１． ０３　１０５８２８６′。固体　１００　０．４７　１．４７　−３２ｄ″固体 　１００　０．３４　１．７０　１４３２’　５ｉ−）１およびＮ−Ｈ単位は、 内部標準としてヘキシル基の積分を用いて決定された。 Ｃ６０°Ｃにて ９０°Ｃにて １８時間後の試料のデータは、直線状のＥタイプポリマーの形成を示している（ 表６参照）。さらに触媒を添加し、温度を上げると、ポリマー中にさらにアンモ ニアが組み込まれた。 ３２時間後の、その元素分析およびＩＪＭＲ分析の結果は、そのポリマーが次の おおよその割合で、タイプＦ、　ＧおよびタイプＨの単位を含有していたことを 示す。 Ｆ、　ＧおよびＨ単位を含有するポリマーは、上記Ｉとして示される。 ３２時間後ノコノ固体のポリ？−■は、　ＣＣｌ４．　ＣＨｚＣｌｚ、　ＣＨＣ ｌ３およびトルエンに溶解した。そのガラス転移点は７０〜７２℃で。 ９０°Ｃでかなり軟化した。９００°Ｃでの熱分解は７０％の収率でセラミック を生成し、　１５５０°に加熱した時には最終的に３５％の収率で生成した。最 終的なセラミック生産物は２９％の炭素を含有した（元素分析で決定された）が 、Ｘ線粉体回折法によればアルファおよびベータ５ｉｓＮａだけが観察された。 この生成物は新規化合物であると考えられる。 （以下余白） 差ニー灸 元素分析 久ヱ１／片皿　」ＡＸＬ　」」ＸＬ　Ｎ（％）Ｆ　５９．５０　５．７８　１１ ．５７Ｇ　５６．２５　５．４７　１６．４０Ｈ５２，９４５，８８２０，５８ １８ｈ　５９．３７　５．６７　１１．８１３２ｈ　５７．４２　５．５８　１ ４．２１１　５７．２５　５．６０　１４．９７３時間加熱後の混合物のＧＣ− ＭＳ分析は次のことを示す。つまり、大部分のオリゴマー（ｎ＝１〜３）はＦタ イプであり；少量の生成物には、環式の化合物と、シラン単位に枝分かれを有す る環式化合物、および窒素上で枝分かれした直鎖化合物および環式化合物が包含 される。アミンでキャップ化されたポリマーは観察されなかった。 皇盟五一旦 ヒドリドシーザンの　応 （ｌ（ｚＳｉＮＭｅ　）　、（Ｍｎ＝５６０　）　２．０ｇとＲｕ＝　（ＣＯ） 　＋　２１６　ｍｇとをいくつかの反応条件下で加熱した。その結果を表７に示 す。 出発反応成分−臼Ｈ２ＳｉＮＭｅ÷１　は、エーテル溶液中でＨ，５ｉＣ１□と ＭｅＨＮ、とから二層製した。これは、　５ｅｙｆｅｒｔｈとＷｉｓｅｍａｎ　 （ＰｏｌｙｍｅｒＣｈｅｗ、　Ｄｉｖ、予稿集；　ＡＣＳの春季大会、　１９８ ４年４月に発表された論文）によって報告されている。その生成物は、（ＨｚＳ ｉＮＭｅ〕ａおよび線状オリゴマーＨＮＭｅ　（ＳｉＨｚＮＭｅ）　、−Ｈ（Ｘ は約１０）である。 （以下余白） 卑Ｐ ス１ Ｒｕｓ　（ＣＯ）　ｌ□（１６■）を含む１Ｉｎ１のトルエンを入れたステンレ ス鋼製の反応容器にエチルシラン（ＥｔＳｉＨｚ、８　ｇ　）を凝縮させて、ド ライアイス／アセトン容器中で冷却した。次いで。 この反応容器を１００ｐｓｉのアンモニアで（−７８°Ｃにて）加圧した０反応 容器を室温まで加熱すると、　２５０ｐｓｉの全圧力が得られた。この溶液を６ ０°Ｃに加熱した。この反応容器を１時間後室温に冷却して減圧しくＨ！を放出 ）、さらに１５０ｐｓ　ｉのアンモニアを充填し、６０°Ｃにて１時間再加熱し １次いで再び２時間反復した。得られた溶液（４時間後）は、非常に粘稠であっ た。溶媒を減圧除去（室温、０．１ｍｍ）　Ｌ、、ワックス状のポリマーを再び ９０°Ｃにてさらに２時間加熱して軟質ゴムを形成させた。このゴムを２００℃ と９００°Ｃの間で熱分解すると、５８％のセラミック材料が得られた。４時間 後に生成したポリマーのＮＭＲおよびＩＲスペクトルは、以下のピークを示す： ＮＭＲ（８、ＣＤＣ１３）　：　５ｉ−Ｈ（４，９０〜４．４０．　ｍ　）　； 　ＣＨ３（０，９５，ｔ　）　；　Ｎ−Ｈ（１，０〜０．８ｂｒ）　ｉ　ＣＨｚ 　（０，５８，ｑ）　、（Ｅｔ−ＳｉとＮ−Ｈの吸光度に対する５ｔ−Ｈの吸光 度の比は１：２４であり、これはこのポリマーが約３０％の（ＥｔＳｉＨＮＨ） 単位からなっており、残りが（Ｅｔ（ＮＨｚ）ＳｉＮＨ）および（Ｅｔ（ＮＨ） 。、５ＳｉＮＨ）であったことを示唆している）。この生成物は新しい化合物で あると考えられる。 １、Ｒ，（Ｃｍ−’、　ＣＬＣｈ）　、　５ｉ−ＮＨ−５ｉ　（３３８５，１１ ７０，９５０）　；Ｓｉ−ＮＨｚ　（１５４５）　；　５ｔ−Ｈ（２１０８）　 ；　５ｉ−Ｅｔ　（１２３５，１０１２）。 亥ｍ−υ ポリシロキサザンのＦ制 Ｌ　Ｌ　３．３−テトラメチルジシロキサン（５，３６ｇ　、　４０ｍｍｏｌｅ （ＨＭｅｚＳｉ）　ｚｏ）およびＲｕｚ（ＣＯ）＋ｚ　（３２ｍｇ、　５０μａ ＋ｏｌ）をＮＨ３０５０ｐｓｉ）下で６０゛Ｃに加熱した０反応容器中に生じた 圧力を抜いて。 この反応容器にＮＨ３を数回再充填した。ジシロキサンの８０％が１．５時間後 に変換された。反応物は連続して２０時間加熱された。 ＧＣ−ＭＳ分析は、以下のパターンを示す：Ａ＝　ロ胃賞π臀■市−コ　（ｎ＝ ２〜５）Ｂ＝　Ｈ＋ＭｅｚＳｉＯＭｅｚＳｉＮＨ：ｌ　、ｌＳｉＭｅｚＯ５ｉＭ ｅＪ　（ｎ＝　１〜６　）高真空蒸留（１８０°ｃ、、’　０．５ｍｎ）を行っ た後に７０％の収率が得られた。八〇、２．は、固体白色結晶、　ｍｐ、　３７ °Ｃとして単離され。 ０．１２ｐｐｍに１本のＮＭＩ？吸収を有した。残渣は粘稠な油状物質で、蒐＝ ５６９０　Ｄであった。（兎値は、　ｖｐｏ法によって測定された。後の結果は 、　２０００を越える鷲を有するポリマーに対してｖＰＯが不適当であることを 示している。　ＧＰＣの結果は９通常、より高い値を示す；実施例１４を参照。 ）（以下余白） 元素分析： ％Ｃ％Ｈ％ＮＳｔ　Ｏ ポリマ−８３２，６５８，８４９，５２３８，１０１０，８８実測値　３２．６ ７　９．１０　Ｂ、５６　４１．８９　７．０２これは２次の一般的な構造を有 するポリシロキサザンを調製する一例である： これらのポリシロキサザンは、新規な化合物であると考えら）　れる。Ｒ”は本 文中に定義されている通りである。窒素は９例えば有機基Ｒによって置換され得 る。この有機基Ｒも以前に定義されている。添字ｎは、様々な値をとり得る。 オクタメチルシクロテトラシラザンを様々な条件下で反応させた−　（（Ｃ）ｌ ｚ）ｓｓｉ）　ｚＮＢを用いた場合は（＋）、用いない場合は（−）とし、また 各種触媒を用いた。結果を表８に示す。 （以下余白） 甲■冨届票甲 （以下余白） 房≧」と別梶 ＧＣ−ＭＳによって行った。この方法は１分子量が１０００より小さナホリマー に限定された。実Ｍ（１）ではタイプＡとＢが観察された。Ｂは実験４における 主生成物であった（ｎ＝１〜８）が、Ａは少量であると思われる（ｎ＝３〜７） 。 、ＭｅｚＳｉＮＨ；ＭｅＳｉＮＨ（ＭｅｚＳｉＮＨ＋ＴＳｉＭｅ：＋Ａ　Ｂ やはり少量で観察された別のひと組のポリマーは、Ｃ（ｎ十ｎ”＝２〜７）およ びＤ（ｎ＋ｎ’＋　ｎ”＋ｎ”’＝２〜６）であった。 ＣとＤは窒素基によって架橋していた。 上式において、　Ｓｉは−ＳｉＭｅｚ−を表し、　Ｓｉ＝は−ＳｉＭｅｓを表し ている。 実験３においては２分子量が高いために重要な生成物はＧＣ−ＭＳによって検出 し得なかった。おそらくこの実験では多くの架橋が得られたのであって、高分子 量であることも説明する。 実験６は、　Ｒｕ３（ＣＯ）＋□にょる並発反応と同じタイプを示すが・ＣとＤ の量は多かった。　Ｐｔ／Ｃ触媒は、キャップ化剤を用いないと、一連のＡと他 の定量的な一連のＥとＦを与える。このＥとＦは、ビシクロ架橋化合物およびト リシクロ架橋化合物Ｆは、もう一つ別の環を含む。Ｅでは＋ｎＬ。ｔｌ、（すな わち。 ｎ＋ｎ’＋ｎ”）〜５〜８であり；Ｆではｒ　ｎｔｏｔｍｔ　＝＝　８〜９であ る。 Ｈ，ＳＯ，触媒によって生じるポリマーは、タイプＡ（ｎ＝５゜６）、タイプＢ （ｎ＝２〜８；主生成物）、および実験２ではタイプＣ（ｎ＝２〜５）を含み、 実験４ではタイプＡ　（ｎ＝５〜９）を含む。いずれの場合もＧＣ−ＭＳ分析は 、ある量の酸化生成物を示す。この酸化生成物は酸素がアミン基と置き換わって いる。 １里■−脛 ボｉジメチルシ１ルヒドージンの　、゛以下のように調製して５ｄのトルエンに 溶解した１、８ｇのポリジメチルシリルヒドラジン（ＭｅｚＳｉＮＨＮＨ）　Ｘ （ｌｈ〜１１３０）に： （ＣＨ：＋）ｚｓｉｃｌｚ　＋　ＮＨｚＮＨｚ　−−−−・−・・（（ＣＨｉ） ｚＳｉＮＨＮＨ）　Ｆｌ　十　ＮＨｚＮＨ３Ｃ１２５μｍｏｌのＲｕ　：ｌ　（ Ｃｏ）　＋　ｚを添加し、この溶液を窒素下で１３５°Ｃに加熱した。透明な溶 液が（室温で）濁って粘稠になった。 揮発性生成物および溶媒を１８０°Ｃ／　０．３ｍｍＨｇで蒸留した後。 １．３ｇの軟質の固体生成物が得られた。この固体の蚕は、　１２２００であり 、６０°Ｃにて軟化し始めた。触媒の不在下で出発物質を同様に処理すると室温 にてわずかに濁った溶液が得られた（加熱の間に透明となった）。蒐は、　６１ ２０に低下した。この生成物は、蒸留した後は固体であって、２５０°Ｃまで軟 化しなかった。 この実施例は１分子構造中にＮ−Ｎ部分を有する前駆体の使用を例証する。 裏二五−胆 煎煤■旦突 オクタメチルシクロテトラシラザンを各種の触媒の存在下で（（ＣＨ３）　３Ｓ １　）　ＪＨと反応させた０反応条件、触媒、および結果を表９に示す。 （以下余白） 表９の説明は以下の通りである：オクタメチルシクロテトは２５０：８４：１で あった。反応は、実験番号３では示されているように水素下で実施され、あるい は実験番号４では水を用いて実施された。これら以外は窒素下で実施された。水 素は１気圧であった。時間の数字は、出発のシラザン反応物がもはや転換されな い最短の時間を表す。ガスクロマトグラフィー分析の内部標準としてブチルエー テルを用いた。触媒の分解の欄に船いて、“Ｓ”は遅く、“ｍ”は中程度であり 、そして“ｆ”は速いことを意味する。実験番号４では、Ｎ２０に対するＲｕ　 ｓ　（ＣＯ）　＋　２の比は１：２２であった。実験番号１８では、２００■の ５％Ｐ　ｔ／Ｃを、実験番号２０では、１５０■の５％Ｐｔ／Ｃを、　４．１５ ｇのオクタメチルシクロテトラシラザンと共に用いた。 災血五−Ｕ ヘキサメチルシクロトリシラザンと アンモニアおよび　素との　応 ヘキサメチルシクロトリシラザン（４，４ｇ）とＲｕｚ（ＣＯ）Ｉｚ（１６■） を充填した反応容器をＮ１（ｚ（１５０ｐｓｉ）とＨｚ（１５０ｐｓｉ）で加圧 し９次いで１３５°Ｃにて１８時間加熱した。シクロトリマーが８４％の収率で 転換して２つの主要な一連の生成物を形成した：ＧＣ−ＭＳによって分析すると シクロマー（Ａ；ｎ＝４〜１３）および分枝状シクロマー［Ｂ；ｎ＝１〜６）で あった。 １寺１モ００６４−５０００３１（２３）９π■蒼■■甲３ ヘキサメチルシクロト１シーザン 裏庭旦−」 ｌ庄上丑りｊクヱ１１ニー針ヨＬ卜り辷［とＬ乙１ｉＺｑ芝ｌ企 フェニルシラン（４，３２ｇ　、　４０ｍｍｏｌｅ）と１．１．３．３−テトラ メチルジシラザン（５，３２ｇ　、　４０ｍｍｏｌｅ）の混合物にＲｕ　３　（ Ｃｏ）　Ｉｚ（１６■、２５μ＋ａｏｌ）を添加した。この溶液を１５０ｐｓｉ のアンモニア下で６０°Ｃに加熱した。５時間後、ＧＣは高沸点の生成物を示し 、出発物質の９５％が消費されたことを示す。８時間後２反応温度を９０℃に上 昇させ、さらに２時間後、１３５”Ｃに上昇させた。反応は３０分間行った。最 終的には、生成物の混合物からなる粘稠な油状物質であった。この時点では、高 分子量の生成物であることを示す物質はＧＣによってほとんど得られなかった。 残留する揮発性生成物をエバボレート（２３０”Ｃ／２ｍｍ）すると、ワックス 状の残渣が残った。この生成物のＴＲ。 ＮＭＲおよびＧＣ／？ＩＳを測定し、２つの出発物質間の共重合を調べた。５ｉ −Ｈ結合は、　ＩＲスペクトルでは明らかに見られる（分析感度が低いＮＭＲス ペクトルでは観測されないが）。元素分析とＮＭＲの積分によると、このコポリ マーは以下の平均的構造を含むことが示唆される： （ＭｅｚＳｉＮＨ）　ｚ　（フェニル−５ＩＨＮ）Ｉ３１．３このコポリマーは 、新しい化合物であると考えられる。 元素分析： ＣＨＮ　Ｓｉ 推定される構造に 対する計算値：　４６．６９　７．６１　１５．２３　３０．４４実測値：　４ ６．４５　７．０５　１５．９１　３０．８８１隻斑−■ ヘキサメチルシクロトリシラザンと ジエチルシランの日の　心 １５ｍｇ　（２５μｍｏｌ）のＲｕ：＋（ＣＯ）Ｉｚを２．１９ｇ　（１０ｍｍ ｏｌｅ）のへキサメチルシクロトリシラン（＋ＭｅｚＳＩＮＨ−ｒ−３）と０． ８８　ｇ　（１０ｍｍｏｌｅ）のジエチルシラン（ＥｔｚＳｉＨｚ）に添加した 。この溶液を１３５℃で２０時間加熱した。 Ｎ〜ジエチルシラン−へキサメチルシクロトリシラザンは。 ＧＣ−１１ｓとＮＭＲによって同定された主生成物（３，７ｍｍｏｌｅ／であっ た。他の副生成物は、　（）ｌＥｔ２ｓｉ）ＪＨとビス−（Ｎ−ジメチルシリル ）−へキサメチルシクロトリシラザンであった。１８０℃にてエバボレート（０ ，５ｍｍ）　した後、２８％の収率で残渣が得られた。新しい化合物であると考 えられる。ビス−（Ｎ−ジエチルシリル）−シクロトリシラザンが蒸留によって 単離され、ＧＣ−ＭＳとＮＭＲによって同定された。 災旌狙−刈 １２３４５６−ヘキサメチルシクロト１シーザンとヱ上ｊ三式ひ膓【応 ４．３９　ｇの（ＭｅＳｉＨ−ＮＭｅ〕３に１６■のＲｕ＋　（ＣＯ）　＋　ｚ を添加した。 この溶液を１５０ｐｓｉのアンモニア下で６０°Ｃに加熱した。この反応物は５ 時間後に消失した。反応容器に再びアンモニアを充填して９０℃にて３３時間加 熱した。生成物は、　）４ｏ＝　６９１を有する粘稠な油状物質であり、５７％ の収率でセラミック材料を与えた。オリゴマ一部分のＧＣ−？ｌＳ分析によると 、シクロマー構造においてＮ−Ｍｅ基がＮ−Ｈ基に置換されると共に５ｉ−Ｈ基 がＳｉ−ＮＨ基にＷ換されていた。この生成物は新しい化合物であると考えられ る。 某ＪＪＬ二は アンモニア　における−トーメチルジシーザンの　入（ａ）　１００．Ｏｏ＋ｍ ｏｌｅのＴＭＤＳ　（１３，３ｇ　）に５０．Ｏｕ　＋ｎｏｌ　のＲｕｓ　（Ｃ Ｏ）　ｌ　２（３２，０■）を添加し、この溶液をアンモニア存在下で加熱した 。表１０に示した様々な反応条件を用いた。この溶液から揮発性オリゴマーを真 空蒸留（１８０°Ｃまで／３００μ）によって分離した。残渣は、不揮発性の部 分であった。 均一なルテニウム触媒または活性化Ｐｔ／Ｃのいずれかを用いることによって、 この反応を最初に評価したところ、　ＧＣ−？ＩＳ分析によって明らかなように 、シクロマー（ｎ＝３〜７）。 線状オリゴマー（ｎ＝２〜１１）、および非常に少量の分枝状オリゴマー（ｎ＝ １〜７く５％）が得られた。 （以下余白） ス財ｌＬ二化 ｉ　心による　言゛′ポリマーのノ Ｎ−メチルポリシラザ７　（ＨｚＳｉＮＣＨｓ）　−Ｉ７　（＆＝１１００）を Ｒｕ１（ＣＯ）　Ｉ□と様々な条件下（例えば２反応時間と温度、アンモニアと モノエチルアミンの環境）で反応させた。反応溶液から試料を取り出し；溶媒を エバポレートさせ、蒐測定をｖＰｏ装置で実施した。結果を表１１に示す。 （以下余白） 実験７および８で得られたポリマーは９反応溶液に可溶であり、溶媒をエバポレ ートさせることによって架橋した。従って、これらポリマーは、結合剤および被 覆材への応用に対する優れた候補である。実験７および８は、　ＳｉＨポリマー のＮ−Ｈ結合付加剤への反応性、および該ポリマーに熱硬化特性を与える潜在的 な反応基が多量に形成されることを立証する。 失施開−益 、・による　１゛″ポリマーのン ５０ｇのＮ−メチルシラザン［）ｌｚｓｉＮｃ）Ｉｓ）　ｘ−１？　Ｃ＆＝１０ ５０）に１００■のＲｕｓ　（ＣＯ）　＋　ｚを添加し、この混合物を９０°Ｃ で加熱する。 この溶液から試料を取り出し、　ＧＰＣ（ゲル透過クロマトグラフィー）　、　 ｖｐｏおよびレオメトリー装置によって測定した。結果は表１２に示され、第１ 図にプロットされている。出発物質を含む、すべての試料は、非常に幅広い分布 を示す、（観察し得る種に対する）分子量の上限は、出発物質の５０．２０００ から１００時間後には、１，０００，０００〜２，０００，０００に上昇した。 ２つの新しい最大ピークは、　２８．０００　Ｄ付近と５５，０００　Ｄ付近に 出現する。逼の上昇は、４０時間後には観察できなかったが、　ＧＰＣにより測 定された大きな蜜値および石僅によって示されるように、高分子量の部分が増大 し続けた。これらの結果は、直接のアンモノリシスによって得られる非常に高分 子量のポリマー、および触媒による活性化、鎖の伸長および架橋によって得られ る非常に高分子量のポリマーから明らかである。このような加工しやすい高分子 量生成物は、最近の文献には決して報告されなかった。高分子量部分の分離は、 サイズ排除クロマトグラフィー、膜濾過または限外濾過、超遠心分離。 溶液からの溶媒／溶媒分別または高真空蒸留のいずれかによって行い得る。ポリ マーの粘度は２反応の間に劇的に上昇し。 〜１．０ポアズから出発して、最終的に〜４００〜４５００ポアズとなった。１ ００時間に対する試料を除く、すべての試料はニュートン流体のような挙動を示 す。１００時間に対する試料は。 ４７８０ポアズ（剪断速度が１．０ｓｅｃ”）　〜４００ポアズ（剪断速度が１ ０．０ｓｅｃ−’　）の間の非ニユートン粘度を示した。 （以下余白） 亥ＪＬｆＬｊ阻 メチルシロキサンとジメチルアミンの　応ａ、（郷陀道匪ｆ ６．０ｇ　（１００ｍｍｏｌｅ）　（ＣＨｓＳｉＨＯ）　ａに３２　ｇ　（０， ０５ｍｍｏｌｅ）のＲｕｚ（ＣＯ）　Ｉｔを添加した。この溶液に約Ｌｏｏｐｓ 　ｉのジメチルアミンを充填した。反応は６０°Ｃで行い９反応容器に生じた圧 力を観察することによって検出した。この圧力は０．５〜１時間毎に放出し１反 応容器に再び新しいジメチルアミンを充填した。６時間後９合計の圧力が１１０ ０ｐｓｉのジメチルアミンを反応容器に充填し、　７７０ｐｓｉの合計圧力が得 られた。これ以上のガス発生は観察されなかった。８．１ｇの粘稠な油状生成物 が得られたが、これはアミノ置換の収率が４９％であることを示してし）る。こ の収率は、溶液の’）ｌ−ＮＭＲ分析結果（５３％のアミン置換と２９％の５ｉ −Ｈ基を示す）と相関がある。ＧＣ−ＭＳ分析によると。 ビス置換およびトリス置換シクロテトラマーが主生成物であったが、この場合モ ノ置換およびテトラキス置換体は少量のみ現れる。生成物の兎は６０４Ｄであっ た。元素分析：　Ｓｉ　（２５，３３）　；Ｎ　（１２，５９）　；Ｃ（３０， ７１）　；　）ｌ　（８，１５）　；０　（１９，８７）。Ｎ２下で熱分解する と、収率１４％でセラミックが得られ、ＮＯ３下で熱分解すると、収率６１％で セラミックが得られた。 ｂ、」」メ田憔Ｌ■ 反応は、（ａ）のテトラマー反応と同量の出発物質を用し）、同一条件下で実施 した。毎回１反応容器にはわずか５０ｐｓｉのジメチルアミンを充填した。６時 間後１合計の圧力が５００ｐｓｉのジメチルアミンが充填され、　３７５ｐｓｉ の水素が発生した。７．４ｇの非常に粘稠なポリマーが得られた（アミノ置換の 収率３３％）が、これは同様の結果（３６％のアミン置換と、　５ｉ−ＣＨ：＋ 基に関して４５％の５ｉ−Ｈ）を示す’Ｈ−ＮＭＲ分析と相関があった。生成物 の堀は１９７６、ＯＤであった。元素分析：　Ｓｉ　（２８，８９）　；　Ｎ　 （７，７７）　；Ｃ（２８，６８）　；　Ｈ（７，５１）　；　０　（２０，８ ５）　、：　Ｎ、下およびＮＨ３下で熱分解すると、それぞれ収率２５％および 収率７０％でセラミックが得られた。 １丘斑−飼 シランとアンモニアの　心 ３２ｍｇ　Ｒｕｚ　（Ｃｏ）　１□の１０戚ＴＨＦ溶液を含むステンレス鋼製の 反応容器に４０ｐｓｉのＳｉＨｇと６０ｐｓ　ｉのＮＨ３を充填した。この反応 容器を６０°Ｃで６時間加熱した。ＩＲ分析は、シラザンの形成を示している。 溶媒を除去した後に得られた不溶性の固体物質（３００■）は、加工しにくいシ ラザン樹脂として特徴付けられた。この生成物の元素分析によると、この固体物 質にはＴＨＦまたはＴＨＦ生成物が捕捉されていた。この分析は、　ＴＨＦ生成 物と触媒の存在に対する補正を計算した後、（（ＮＨ）。、、５ｉＨＮＨ）　Ｘ という分子構造と適合した。この固体を熱分解すると、収率８６％でセラミック が得られた。 （以下余白） 月υ目足： 汐′ＩＲＴＨＦ）　・詔ＴＩＩＦ　Ω伺：ＮＨｚ３３８０−３３２０　；　ＮＨ ３２８０；　５ｉ−Ｈ２１５７，２１４２，８８０ｉ　５ｉ−ＮＨｚ１１５５５ 　；　５ｉ−ＮＨ−Ｓｉ　１１５０．　９７２゜；ＴＲＫＢｒ　ｃｍ−’　：Ｎ Ｈ２，ＮＨ３７００−３０００；に幅が広い） ポリマー生　の−、χ　％　： Ｓｉ　Ｎ　ＨＣＯＲｕ ３６．２５　１４．１０　４．６８　１２．１１　２３．０６　９．０８このよ うな反応は、セラミック生成物の調製にも用い得る。 １隻五−匹 シーンとメチルアミンの　心 １６ｍｇ　Ｒｕ＋（ＣＯ）＋ｚの１０ｄ　ＴＨＦ溶液を含むステンレス鋼製の反 応容器に６０ｐｓ　ｉの５ｉＨａと６０ｐｓ　ｉのＭｅＮＨｚを充填した。この 反応容器を６０°Ｃで４時間加熱した。反応の間に１２０ｐｓｉの圧力が生じた 。この溶液は均一であり、溶媒を除去した後に３８０■の油状生成物が残留した 。この油状物質は、不活性雰囲気下。 室温で架橋した結果、より粘稠になった。’）ｌ−ＮＭＲにおける５ｉ−Ｈのい くつかの１本線、およびＮ−ＣＨ３の２つの１本線は、異なる種類のシラザン結 合を示唆している。実際、　ＧＣ−ＭＳ分析によると、アミノ側基およびシリル アミノ側基を有するシクロシラザンの形成は明らかである。’Ｈ−ＮＭＲ：　５ ｉ−Ｈ４，６２，４，４９゜４．３８　（７Ｈ）　；　Ｎ−ＣＨ３２，５２，２ ，４８（３０Ｈ）。 １庭±−釘 旦且■ｈ■金底 ２０ｍｍｏｌｅ　（３，２ｍ＋！　）のＥｔ３ＳｉＨに０．０５ｍｍｏｌｅ（ｌ １ｍｇ）のＰｄ　（ＯＡｃ）　ｚを添加し、この溶液をＮ２下１００°Ｃにて５ 分間加熱し　ｐａｌｌをＰｄ’に還元した。この溶液を２１°Ｃに冷却し１次い で乾燥したアンモニアをこの溶液に通気して、４時間でシランのシリルアミンへ の転換を完結させた。反応の完結は、ガスクロマトグラフィーと９反応の間に起 こる激しい水素発生が漸減することで監視した。反応混合物を＋Ｎ２下で濾過し 　Ｎｚ下で（１３８°Ｃにて）蒸留したところ１分析的に純粋なシリルアミンが 得られた。収率は約９０％を越えた。 １隻五−社 ＥｔｚＳｕＪ）ＩｚとＥｔ３ＳｉＨの　応９　ｍｍｏｌｅ（２ｍｌ）　Ｅｔ３Ｓ ｉＮＨｚの５ｄＴＨＦ溶液に１６■のＲｕｘ（Ｃｏ）＋ｚと９　ｍｍｏｌｅのＥ ｔ３ＳｉＨを添加した。反応は、７０°Ｃにて２０分後に完結した。生成物の形 成（収率は９５％を越える）はＧＣによって追跡した。 災宛五−益 オリゴ−およびポリメチルシロキサンとアンモニアの　応ａ、　０．０５ｍｍｏ ｌｅ（３２ｍｇ）　Ｒｕ、（ＣＯ）＋ｚを１００ｍｍｏｌｅ　（６，０ｇ　）（ ＣＨ３Ｓｉｌ（Ｏ）　ａニ添加し、コノ溶液を２００ｐｓｉ　（７）　７　ンモ ：−７下６゜°Ｃにて加熱した。ガス発生によって１９時間に４００ｐｓｉの圧 力が生じ、硬質ゴムが形成された。生成物の元素分析は、　５．５５重量％の存 在を示したが、これは窒素−ケイ素の比が０．２８であることを表す（表１３） 。酸素の含量は、ケイ素あたり１．２９の割合であった。ある程度の過剰な酸素 は、市販の出発材料に見られる酸素の汚染の結果であり、　５ｉ−Ｈ／５ｉ−Ｃ ｔｈのＮＭＲ吸収強度比（０，８：　１．０　）によって検出された。 この生成物は、窒素雰囲気下およびアンモニア雰囲気下の両方で８５０°Ｃにて 熱分解させた。熱分解した物質の元素分析は、以下のセラミック成分（モル比） の混合物であることを示唆している：　５ｉｎ２（０，６２）　；　５１３Ｎ４ （０，２３）　；　ＳｉＣ（０，１４）　；Ｃ（０，５８）。ゆるやかなアンモ ニア気流中で熱分解すると、はとんど全体的に炭素含量およびある程度の過剰酸 素が減少し。 窒素含量が著しく増加した。 シクロテトラマーを２表１３および１４に示したように数平均分子量（石）が１ ８８０　（重合度は、２９であった）のポリメチルシロキサンで置き換えた場合 にも非常に類似した結果が得られた。シクロ反応とポリシロキサンの反応を比較 すると、ポリマーと相互作用した窒素はシクロマーの場合より少なく。 窒素下で熱分解した生成物中のＳｉＣ部分はポリマー反応の場合に多かった。し かしながら１両者をアンモニア下で熱分解した場合には、実際の差は見られなか った。過剰の酸素が存在するので、熱分解は完結しなかった（Ｓｉ、ＯＮｔが主 生成物であって、過剰のケイ素は５ｉＯ１を形成すると仮定する）。セラミック の収率は、すべてのタイプの反応および熱分解の手順に対して非常に高かった。 ｂ　、１００ｍｍｏｌｅ　（６，０ｇ　）の（Ｃ）Ｉ：＋５ｉ）１０）　ａと２ ５μ１Ｉｌｏｌ（８■）Ｒｕ３　（ＣＯ）　、□の溶液を１００ｐｓｉのアンモ ニア下で６０度にて加熱した。２時間後、　２２０ｐｓｉの圧力が生じ、生成物 は兎が１２３００であるような粘稠な液体として得られた。圧力を放出させ、さ らに１０００ｐｓｉのアンモニアを再充填した。２００ｐｓｉのガスが２時間に わたって発生し、粘稠な液体が軟質ゴムに変化した。 ’ＨＮＭＨの積分は、４１％の５ｔ−Ｈ結合がアンモニアで置き換わって、　５ ｉ−ＮＨｚおよび５ｉ−ＮＨ−結合を形成することを示した。元素分析によると 、炭素あたりの窒素導入割合は０．２４であったが、これはアンモニアによって 架橋されたシクロシラザン鎖状ポリマーの形成を示した。単一の−ＮＨによって 架橋された２つのシクロテトラマーの二量体がＧＣ−ＭＳ分析で見い出された主 生成物であった。 ＣＣ１，溶液のＩＲには、伸縮振動による新しく鋭い吸収が３４２０ｈ）ｃｍ− ’、　３３８０（ｍ）　ｃｌｎ−’に見られ、　１２４０ｃｍ−’および１１６ ０ｃｍ−’には新しく肩の部分が見られる。 ’ＨＮＭＲＣＤＣｌ　δ　・ＩＰ？ＣＨＣｌ：５ｉ−Ｈ（４，６９，０，５９Ｈ ）　、　ＮＨ（１，１０，０，１６Ｈ）　ＣＨ，（０，２２，３８）。 豆１公捉： 実測値（％）　１９．９４　６．１４　５．３９　４２．２３モル比　１．００ 　３．７０　０．２４　０．９１（以下余白） シフロチトーマ−、゛ ポリマー　４０．７０　２９．８５　５．５５　１８．０２　５．８８（１，０ ０）　（１，２９）　（０，２８）　（１，０３）　（４，０６）Ｎ２下のセラ ミック材料　４５．７３　３２．５３　６．９４　１４．１０　０．７９（１， ００）　（１，２５）　（０，３１）　（０，７２）　（０，４８）Ｎ）１３下 のセラミック材料　４７．７６　２Ｂ、２６　２１．８１　１．３５　０．５７ （１，００）　（１，０４）　（０，９１）　（０，０６）　（０，３３）Ｗ二 ≧畳え応 ポリマー　４２．４７　２７．８０　４．０６　１９．６７　６．００（１，０ ０）　（１，１４）　（０，１９）　（１，０７）　（３，９５）Ｎ、下のセラ ミック材料　４Ｂ、１２　３２．８１　５．０２　１３．６５　０．７６（１， ００）　（１，１９）　（０，２１）　（０，６６）　（０，４４）シクロテト ラマー　Ｎ８７７ シクロテトラマー　ＮＨ３８４ ポリマー　Ｎ２７５ ポリマー　ＮＨ，８８ 亥１じ設 オＪＬａＪ壇匠究 典型的な速度論的反応では、少量の固体触媒の重量を慎重に計って、ガラス製反 応容器に入れた。次いで、この反応容器に、隔膜で密閉されたヘッド部をかぶせ て、この系をアルゴンで少なくとも１５分間パージした。この反応容器に注射器 で新鮮な乾燥Ｔ）ＩＰ、次いで３．１４ｍｍｏｌｅのトリエチルシラン。 ０．５１３ｍｍｏｌｅのｎ−デカン、および２．３８ｍｍｏｌｅのｎ−プチルア ミンヲ導入シタ。次いで、この溶液混合物を反応させるために７゜°Ｃの油浴中 に置いた。ＧＣ分析を行うために、定められた時間間隔で少量を取り出した。反 応が７０″Ｃで起こらない場合には。 温度を１００°Ｃに上昇させた。 （以下余白） 表　１５：ＥｔＳｉＨとｎ−ＢｕＮＨ２の　、・の　其　応゛声■　Ｒｕ　（Ｃ Ｏと　・　・な　其　ひ゛束戸１１ｒ４（Ｃｏ）　１ｚ　Ｏ，２５” ０５３　（Ｃｏ）　＋　２　０．３０ｂＨｚＯｓｓ（Ｃｏ）ｔｏ　０．４５’ Ｒｈ６（Ｃｏ）＋ｂ　０．１７” Ｒｕ３（Ｃｏ）ｌｚ　１．００” Ｈ４Ｒｕ１　（Ｃｏ）　ｌｚ　Ｏ，０３”Ｐｄ　（ＯＡｃ）　ｚ　１２．８” （φＣＮ）　２ＰｄＣ１ｚ　１６．９”Ｐｔ／ｃ　Ｏ，１８” ａ浴の温度は７０°Ｃ０ ｂ浴の温度は１００°Ｃ０ 某１１頌−Ｕ シーザンの′、々の此ノ＼眸 平均のＸが１０より大きなｎ−メチルポリシラザン、（ＬＳｉＮＭｅ）ｘに基づ くポリシラザンポリマー（これは、Ｒｕ３（ＣＯ）＋□触媒と他の成分２例えば ＭｅＨＮ２．　ＭｅｚＮＨ、およびＮＨ３を用いて反応させた）については、Ｎ ４囲気下で加熱した場合におけるセラミック材料への転換収率が加熱速度に強く 依存することを測定した。ポリマーをＮ２中、０．５°Ｃ／分で加熱すると、６ ７〜７０重量％の間の収量が得られる（セラミック材料）が、ポリマーを５°Ｃ ／分で加熱すると６０％を越えない収率が得られる。 これら熱分解反応の最高温度は〜８００°Ｃであった。熱分解の間に〜１１０　 ’Ｃで３時間等温的に保持すると、セラミックの収量がさらに６重量％までの量 だけ増加することも見い出された。加熱速度の変化による収率の差は、３００〜 ５００　”Ｃの間の温度に対する重量減少の差と相関があり得る。何らかの特定 の理論に束縛されることは望まないが、熱分解の間に等温的な硬化段階が存在す るかしないかによる収率の差は、　５ｉ−）１結合の潜在的な反応性とポリマー 中に少量の触媒が存在するためであると仮定される。 炎旌五−録 一匹ｙ九氷解 １０ｇの（Ｈ２ＳｉＮＣＨｚ）　＋９に２０■のＲｕ　３　（ＧＯ）　ｒ　ｚを 添加し、この溶液を９０°Ｃにて８時間加熱した。この反応で得られた粘稠なポ リマーを１次いでＴＧＡ装置で熱分解した。昇温速度は５．０”Ｃ／分と０．５ °Ｃ／分であった。第２図は、セラミックの収率の加熱速度に対する依存性を表 す。２００°Ｃと４００°Ｃの間の重量減少は、徐々の熱分解において約１０％ だけ遅延したが、これは熱的な架橋反応が増大し、化合物の揮発が減少したため である。この温度範囲では、樹脂材料から蒸発した生成物は。 主として低分子量のシラザンオリゴマーであった。２００’Ｃより低い温度では １重量減少は主として水素およびメチルアミンの放出によるものであったが、こ れはこの範囲内に温度を調節すると、熱分解された材料中の架橋量が増大するこ とを示唆している。 モ、ツマ一単位（）ＩｚＳｉＮＣＨ３）を含む各種ポリマーをＮ２下およびアン モニア下で様々な昇温速度によって熱分解した（表１６を参照）。表１６は、以 下のことを示している＝１）熱分解速度が遅いとセラミックの収率が上昇する： ２）熱分解の設定条件として低温で保持するとセラミックの収率がわずかに上昇 する；３）高分子量であれば、一般にセラミックの収率が高い；４）触媒の活性 によって生成さた伸長類ポリマーは。 セラミックの高い収率を与える；および５）アンモニアの存在下でポリマーを触 媒で処理すると、アンモニアが存在しない場合よりもセラミックの収率が高くな る。 表１７は２表１６に記載された各実験の熱分解されたポリマーの元素分析を表す 。表１７から明らかなように、アンモニアまたはガス状アミンの雰囲気下で触媒 と反応させたポリマーから誘導されたセラミックの炭素含量は、窒素下で反応さ せたポリマーの場合よりも著しく小さい。このように、アンモニ（以下余白） 表１７：３Ｊｌ■ Ｓｉ　Ｎ　ＣＨ０ ４４５，８３２，５１８，８１，０２，０６４８，８３２，８１７，５０，８０ ，１１２４５，０３４，０１８，９０，８１，４１３４９，３３１，５１６，２ １，１０２，２１５５２，０３４，００，７１，２１，５５１６５６，０３２， ６４，’３　０．７　０．１実讃」［−Ｈ シ！コンオキシニトリドセラミック 実施例２９で述べた方法によって得られたセラミック生成物をχ線粉末回折によ って分析すると、ポリマー生成物をＮＨ。 下で熱分解した場合には、斜方晶系の５ｉ２ＯＮ、のスペクトルパターンが明瞭 に得られた（ＮＺ下で熱分解すると同一条件下でも結晶化はかなり不十分であっ た）。これらのパターンは。 ９００°Ｃで生成した全体的にアモルファスなセラミック生成物をＮ、下で１６ ００°Ｃに再加熱した場合にのみ見られる。χ線粉末回折スペクトルには、他の タイプのセラミック結晶は観察されなかった。０．４５重量％より少ない炭素が 見い出され、生成物のケイ素含量は５１〜５６重量％であった（理論収量：５６ 重量％）。これは、セラミック混合物中のシリコンオキシニトリドが実質的に純 粋であることを示唆している。 １詣１ 六ヒ　イ、人　として　いたセラミック　ｒの製この実施例は、プレセラミック ポリシラザンとセラミック粉末の混合物からセラミック固体の製作工程を例証す る。前の実施例で調製されたようなケイ素と窒素を含むポリマーは。 調節し得る化学的特性１機械的特性、レオロジー的特性、および熱分解特性を示 す、これらの特性によって、該ポリマーは結合剤または成形助剤として適当とな る。　Ｓｉ３Ｎ、のようなセラミック粉末と混合した場合、このポリマー／粉末 系は。 種々の形に圧縮成形し得る。ポリシラザンに結合した有機成分を８００°Ｃを越 える温度で熱分解によって放出させると、アモルファスなＳｉ３Ｎ４材料が得ら れた。該材料は、ｙＪ末コンパクトに存在する小孔系を部分的に充填する。この 部分的な充填によって、この物体の多孔度が減少し、未焼結状態の密度が上昇す る。これは、　１７００’Ｃを越える温度における次の焼結段階に有利である。 この方法に用いるプレセラミックポリマーは、おおよその構造が（ｔ＋ｚｓｉＮ ｃＨ：＋）　ｘのポリシラザンであった。このポリシラザンは、米国特許第４． ６１２．３８３号（前出）に記載の方法によって合成された。この方法は、ポリ シラザンの重合度と粘度の調節、および結合剤材料として重要な特性を考慮して いる。 典型的な実験では、　（ＨｚＳｉＮＣＨ３）ｘ　（蒐＝１２６５　Ｄ　；粘度〜 １ポアズ）を９０’Ｃにて５時間、触媒としてＲｕ３（ＣＯ）＋ｚを用いて加熱 した。次いで、　Ｔ）ＩＦに溶解して濾過した。溶媒は真空蒸発（Ｐ８．〜１− ）によって除去した。得られたポリマー（逼＝１４２００　、粘度〜５０ポアズ ；密度＝１．０３ｇ／ｃｉりをＴ）ＩＰに再溶解して、標準溶液０．５９ｇ／ｍ ｆ！を形成させた。５ｉＪ４のような粉末をこの標準溶液に２種々の混合比で添 加し、超音波によって分散させた。ＴＩ（Ｆを再び真空排気によって除去すると 。 均一なポリマー／粉末混合物が残った。この混合物をＮ２の不活性雰囲気下で調 製の型に充填し、　５０００〜４５．０００ｐｓｉの圧力で圧縮成形した。この 型は、離型剤としてテトラメチルジシラザンまたはへキサメチルジシラザンで被 覆した。成形体は。 すでに重要な事前の処置（湿気にさらすことを減少させること以外）を行うこと なく転置し得るほど十分な硬度を有する堅い物品であるが２次いでＮ２中、０． ５〜５°Ｃ／分で〜８００°Ｃまで加熱し、ポリマーをセラミック材料に転換さ せた。熱分解された成形体は、２．９ｇ／ｃｃまでの密度を有し、これは未焼結 体に対する１５％より小さな多孔度を示している。この成形体を最終的な密度に まで焼結することは、　１７２５°ＣにてＮ２の過剰圧力下で行われる。 対照的に、ポリマー／粉末混合物は、液状ポリシラザンをセラミック粉末と機械 的に混合することによっても加工される。上述の方法をこのように変更すると、 劣った成形体が得られた。これはポリマー／粉末混合物の均一性が、不適当な混 合によって不十分になるためであった。この結果は、セラミック粉末に関するポ リマーの分布が不満足なものであった。 この方法によって製作された焼結体は、２．７ｇ／ｃｃまたはそれ以下の最終的 な密度を有した。これは、均一性を得るためにポリマーと粉末を溶液混合する効 率を示している。ポリマーのストック溶液を用いても、酸素と水に鋭敏なこれら ポリマーの取扱が平易になる。 ポリマー／粉末の割合の範囲は、　１０〜３０重景％のポリマーから調べられて いる。ポリマー／粉末の割合は、熱分解された成形体の未焼結状態の密度と、熱 分解の間における損傷の程度に対して重要な効果を有する。１５〜２０重量％の ポリマーという最適な割合は、未焼結状態の密度を最大にし、圧縮体に十分な多 孔度をもたらす。これにより、ポリマーの揮発成分が、熱分解の間に、この成形 体に損傷を与えることなく確実に除去され得る。 （以下余白） 亥ｎｕ坦 プレセラレンクボリシラザンおよびセラミニー久扮末ケ上や一セラミック　のｉ 制 実施例３５で調製されたポリシラザン（ＨｚＳｉＮＣＨ：＋）ｘ　（ｒ＝１１０ ０　Ｄ　；粘度〜１ポアズ）を９０°Ｃにて５時間、触媒としてのＲｕ　：ｌ　 （ＣＯ）　Ｉ□と共に加熱した。次いで、　ＴＨＦに溶解し、濾過した。溶媒を 真空蒸発（Ｐ８．〜１唾）によって除去した。得られたポリマー（兎＝１４２０ Ｄ；粘度〜５０ポアズ；密度＝１．０３ｇ／ｃ％）をＴ）ＩＰに再溶解し、標準 溶液０．０５９ｇ／ｄｉを形成させた。　７９．８１重量％の５１３Ｎ４　、１ １．３７重量％のＹ２Ｏ２，５，６９重量％のＡｈＯｓ　。 および３．１３重量％のＳｉｎｇからなるセラミック粉末をボールミル中で２４ 時間、　５ｉ３Ｎａボールおよびメタノールと混合した。 メタノールを蒸発させた後、　８．００２ｇの粉末を３３．９０　、ｄのポリマ ー溶液に添加し、超音波によって分散させた。Ｔ）ＩＰを真空排気によって除去 すると、８０重量％のセラミック粉末と２０重量％のポリマーである。均一な粉 末／ポリマーが残留した。 この混合物をＮ２下で鋼製の型に充填し、　２７．０ＯＯｐｓｉで圧縮成形した 。この型は、離型剤としてテトラメチルジシラザンで被覆された。成形体は、１ 気圧のＮ２下にて０゜５°Ｃ／分で８００°Ｃまで加熱して、ポリマーをセラミ ック材料に転換した。この焼結前の成形体の小孔体積は、　０．１１４　ｃ４／ ｇであり、これは焼結前の密度７５％に対応する。次いで、この成形体を８気圧 のＮｚ下、　１７２５°Ｃにて６時間焼結した。焼結後、この焼結体の密度は閉 空孔を有さない場合の理論密度の９５％を越えた。 実ｆ狂 セラミック　の富。−１＋ ポリシラザン溶液およびセラミック粉末組成物を前の実施例と同様に調製した。 前の実施例と同様に、このセラミック粉末をＳｉ３Ｎ、およびメタノールと混合 し、そしてメタノールをエバボレートした。１０．２０ｇの粉末を３０．４０　 ｄのポリマー溶液に添加し、超音波によって分散させた。Ｔ）ＩＰを真空排気に よって除去すると、８５重量％のセラミック粉末と１５重ｆ％のポリマーである 。均一な粉末／ポリマーが残留した。この混合物をＮ２下で鋼製の型に充填して 、　２７，０００ｐｓｉで圧縮成形した。この型は、離型剤としてヘキサメチル ジシラザンで被覆された。成形体は、１気圧のＮ２下にて０．５°Ｃ／分で８０ ０°Ｃまで加熱して、ポリマーをセラミック材料に転換した。この焼結前の成形 体の小孔体積は、　０．１５Ｃｆ！／ｇであり、これは焼結前の密度６８％に対 応する。次いで、この成形体を８気圧のＮｚ下。 １７２５°Ｃにて６時間焼結した。前の実施例と同様に、焼結後。 この焼結体の密度は閉空孔を有さない場合の理論密度の９５％を越えた。 皇五五−進 セーミック　の言、制 ポリシラザン溶液およびセラミック粉末組成物を実施例３５と同様に鋼製した。 実施例３５と同様に、このセラミック粉末を５ｉ３Ｎａおよびメタノールと混合 し、そしてメタノールをエバボレートした。　７．５１ｇの粉末を４２．４０　 ｄのポリマー溶液に添加し、超音波によって分散させた。ＴＨＦを真空排気によ って除去すると、７５重量％のセラミック粉末と２５重量％のポリマーである。 均一な粉末／ポリマーが残留した。この混合物をＮ２下で鋼製の型に充填して、 　４５．０００ｐｓｉで圧縮成形した。 この型は、離型剤としてヘキサメチルジシラザンで被覆された。成形体は、１気 圧のＮｚ下にて０．５°Ｃ／分テ８００”ｃ：ｌ：で加熱して、ポリマーをセラ ミック材料に転換した。この焼結前の成形体の小孔体積は、　０．０９ａｌｔ／ ｇであり、これは焼結前の密度７９％に対応する。この焼結体は、混合物中のポ リマーが過剰であるため、成形と熱分解の後に損傷を示した。混合物中の過剰の ポリマーは、粉末／ポリマーの最適な割合が達成されることを妨げた。粉末の体 積分率は、５０％より低下したが。 これは粉末粒子が成形体において接触していなかったことを示している。 裏庭±−共 セーミック　の８゜制 ポリシラザン溶液およびセラミック粉末組成物を実施例３５と同様に調製した。 実施例３５と同様に、このセラミック粉末を５ｉ３Ｎａおよびメタノールと混合 し、そしてメタノールをエバボレートした。７．５１ｇの粉末を４２．４０　ｄ のポリマー溶液に添加し、超音波によって分散させた。　ＴＨＦを真空排気によ って除去すると、７５重量％のセラミック粉末と２５重量％のポリマーである。 均一な粉末／ポリマーが残留した。この混合物をＮ２下で鋼製の型に充填して、 　２７，０ＯＯｐｓｉで圧縮成形した。 この型は、離型剤としてテトラメチルジシラザンで被覆された。成形体は、１気 圧ＯＮ２下にて０．５°Ｃ／分で８００°Ｃまで加熱して、ポリマーをセラミン ク材料に転換した。この焼結前の成形体の小孔体積は、　０．０６ｃｍ／ｇであ り、これは焼結前の密度８５％に対応する。この焼結体は、混合物中のポリマー が過剰であるため、成形と熱分解の後に損傷を示した。混合物中の過剰のポリマ ーは、粉末／ポリマーの最適な割合が達成されることを妨げた。粉末の体積分率 は、５０％より低下したが。 これは粉末粒子が成形体において接触していなかったことを示している。 ス１」（ユ残 セラミツ色生Δ恩製 ポリシラザン溶液およびセラミック粉末組成物を実施例３５と同様に調製した。 実施例３５と同様に、このセラミック粉末をＳｉ３Ｎ＜およびメタノールと混合 し、そしてメタノールをエバボレートした。９．００ｇの粉末を１７．００　、 ｄのポリマー溶液に添加し、超音波によって分散させた。ＴＩ（Ｆを真空排気に よって除去すると、９０重量％のセラミック粉末と１０重量％のポリマーである 。均一な粉末／ポリマーが残留した。この混合物をＮ２下で調製の型に充填して 、　２７．０００ｐｓｉで圧縮成形した。 この型は、離型剤としてテトラメチルジシラザンで被覆された。成形体は、１気 圧のＮ２下にて０．５°Ｃ／分で８００°Ｃまで加熱して、ポリマーをセラミッ ク材料に転換した。この焼結前の成形体の小孔体積は、　０．２５ｃｆｆｌ／ｇ であり、これは焼結前の密度５６％に対応する０次いで、この成形体を８気圧の Ｎ２下。 １７２５°Ｃにて６時間焼結した。前の実施例と同様に、焼結後。 この焼結体の密度は閉空孔を有さない場合の理論密度の９５％を越える。 実１」（工ｌ ±う」」ヨ璽（盆皿裂− ポリシラザン溶液を実施例３５と同様に調製した。この溶液３０．４ｄに、　１ ０．２０ｇの純粋な窒化ケイ素粉末を添加し２この懸濁液を超音波によって分散 させた。　ＴＨＦを真空排気によって除去すると、８５重量％のセラミック粉末 と１５重量％のポリマーである。均一な粉末／ポリマーが残留した。この混合物 をＮ２下で鋼製の型に充填して、　２７．０００ｐｓｉで圧縮成形した。この型 は、離型剤としてヘキサメチルジシラザンで被覆された。 成形体は、１気圧のＮｔ下にて０．５°Ｃ／分で８００°Ｃまで加熱して、ポリ マーをセラミック材料に転換した。この焼結前の成形体の小孔体積は、　０．１ ０６　ｃｉ／ｇであり、これは焼結前の密度７７％に対応する。走査電子顕微鏡 による分析によって、この成形体の微細構造を観察すると、ポリマーから誘導さ れた材料と窒化ケイ素粉末の間に化学的および物理的反応が見られた（第３図参 照）、これらは、５ｉＪ４粉末の固体状態における焼結にこの系を用いることの 可能性を示した。８気圧のＮ２下で１７２５°Ｃまで処理することによって、か なり粗い成長が起こったが、小孔は閉塞されなかった（第４図参照）、これは。 窒化ケイ素粉末／ポリマーから誘導されたガラスという系において生じる固体状 態の反応からさらに明らかである。 災見炭−婬 皇立まヱ又生■璽裂 ポリマー溶液を実施例３５と同様に調製し、　７９．８１重量％の５ｉＪａ、　 １１．３７重量％のＹｔＯｉ、　５．６９重量％のＡｈ０３　、および３．１３ 重量％の５ｉｆｔからなるセラミック粉末と機械的に混合した。この混合物は、 ７１重量％の粉末および２９重量％のポリマーである混合物に対して、　２．０ ４ｇのセラミック粉末および０．８３ｇのポリマーを含有した。この混合物を鋼 製の型により、　１５．０００ｐｓｉでヘキサメチルジシラザン離型剤を用いて 圧縮成形し。 型に入れたまま、真空中、１５０’Ｃにて加熱した。この成型体は、前の実施例 の成形体よりも品質が劣った。これは、粉末／ポリマー混合物の均一性が不十分 であったからであり、不適当な混合によるものである。この成型体をＮｚ中、２ °Ｃ／分で５００°Ｃまで加熱し、５００°Ｃにて３時間保持し１次いで１°Ｃ ／分で９００″Ｃまで加熱した。熱分解の前後には、成型体にクラックが見られ た。８気圧のＮ２中、　１７２５°Ｃにて６時間焼結することにより、焼結体の 密度は理論密度のわずか８０％となった。 １隻五−リ セラミック　の１゜剖 ポリシラザン溶液（（ＨｚＳｉＮＣＨｚ）　、兎〜１１００　Ｄ）を実質的に前 の実施例と同様に調製した；しかしながら、この実施例では、ポリシラザンは触 媒と前もって処理しなかった。８．５０２ｇノセラミック粉末（実施例３５に記 述したものと同じ）を１．５ｇのポリマーとＴＨＦ溶液中で混合した。この混合 物を鋼製の型ニヨリ、　１５，０ＯＯｐｓｉで圧縮成形し、前の実施例と同様に Ｎｚ下で熱分解した・８気圧のＮｚ中、　１７２５°Ｃにて６時間焼結すること により、未焼結状態の密度が約７２％であることが見い出された。 スＪＬｆＬ工Ｕ 」ユ長ヨロしと改１ ポリシラザン前駆体の被覆は、ステンレス鋼製の研磨した平板（１１／４Ｘ１１ ／４　ＸＩ／１６インチ）をポリシラザン（〔Ｈ２ｓｉＮＭｅＸ〕タイプ、百〜 １４００）のＴＩＰ溶液（濃度は５重量％、　１０重量％。 および２０重量％）に浸漬することによって調製した。この試料を緩慢な熱分解 の処方（加熱速度１００’Ｃ／時）に従って。 最終温度７００°Ｃまでで硬化させた。硬化した被覆は光沢があり、透明で平滑 であった。ステンレス鋼板上の被覆は反射光の干渉によって明るく色づいていた 。硬化した被覆の厚さは干渉色から見積もられ、２つの希釈溶液に対しては０． １μと０．５μの間であり、２０％溶液に対しては０．５μと１．５μの間であ った。薄い被覆と厚い被覆を光学顕微鏡写真器で観察すると、薄い被覆は非常に 均一であるが、厚い被覆には熱分解の間の収縮によるクラックと不規則性が見ら れた。 ！施■一旦 ±ユ之ｉヱヱ豊１ 厚いセラミック被覆を得るために、ポリシラザン前駆体の３層被覆をステンレス 鋼製の平板上（実施例４４に記述したものと同じ）に調製した。これは、該平板 をポリシラザン／ＴＨＦ溶液（重量濃度は５％と１０％）に浸漬することによっ て行なった。用イたポリシラザンは、実施例４４のものと同じであった。熱分解 は、各塗布工程の間に除々の熱分解の処方（昇温は１００”Ｃ／分）に従って、 最終温度７００°Ｃまでで硬化させた。 このように調製された被覆は、厚さが約０．１〜２．０　μであり。 実質的に平滑で均一であった。 笑止±−郵 蓋里■旦裂 ［ＨｚＳｉＮＣＨｓ）−タイプのポリマーを伸長させたが、これは実質的には実 施例２３で考察したように、　Ｒｕ３（ＣＯ）ｒｚを用いた触媒反応的な処理に よって行なった。伸長したポリマーは。 篇が２１０００であり、粘度が９０ポアズであった。このポリマー（４，０ｇ） を、　２０ｍＩＴＨＦ中に単分散した１、０重量％のポリスチレン（０，４ｇ） と混合した。このポリスチレンのＭｎは１，８００．００００であった。両方の ポリマーを溶液中に完全に溶解させた後。 溶媒をエバボレートして除去した。この非常に粘稠な液体を細口のガラス容器に 移し、アルゴン下で、密閉したガラスの円筒容器中に入れた。この円筒容器には 、ステンレス鋼製の針金、ガスの出入口、および加熱装置と熱電対が装備されて いた。アルゴン雰囲気をアンモニアで置換し、４〜８”の繊維を針金によって粘 稠なポリマー混合物から引き出した。これらの繊維はアンモニア下で０．５時間 硬化させた後、いがなる欠陥または破損もなく９その形状を維持した。 ＦＩＧ、３　ｑ’１−ＦＦ（Ｓｏｏ゛ｃｉて°　ｆｊｏ　１％しｆ；Ｄｔｔ　１ ｓｋ−、ｈｐ−９ｒｓＮ＊／　Ｐソ＞うｆ＞４黍（ボ°ツマ−＋ｔＪｉｑつの造 ｔ＠−１１１厖鏝写洟 国際調査報告 Ａｔｔａｃｈｍｅｎｔ　ｔｏ　Ｆｏｒｍ　ＰＣＴ／ｒｓＡ／２１０　Ｐａｒｔ　 Ｉ　ＩＩ：１、ＣＬＡＳＳＩＦＩＣＡＴＩＯＮ　ＯＦ　５ＵＢＪＥＣＴ　）ｉＡ ＴＴＥＲ：１Ｎ丁、ＣＬ（４）：　ｃｏａｃ　７７１０４．　Ｃ０８Ｇ　７７／ ２６゜Ｂ５２Ｂ　９１００．　Ｂ５２Ｂ　’１５１００Ｈ，ＦＩＥＬＤＳ　５Ｅ ＡＲＣＨＥＤ：υ、Ｓ、　５２８／ユＳ　ＳＯユ／８８　４２ｇ／４０４

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １．少なくとも１つの新しく形成されたＳｉ−Ｎ結合を含むシラザンを製造する 方法であって，該方法は以下の（ａ）または（ｂ）を包含する： （ａ）少なくとも１つのＳｉ−Ｎ結合を含む前駆体を与えること，該前駆体のＳ ｉ−Ｎ結合を遷移金属触媒の存在下で触媒反応的に開裂させること，ただしこの ような開裂は水素または水素供与体の存在下で行われる，そして該開裂生成物を 反応させて最初のシラザン生成物を製造すること；または（ｂ）Ｓｉ−Ｈ結合と Ｎ−Ｈ結合を含む１またはそれ以上の反応物を与えること，およびこのようなＳ ｉ−Ｈ結合とＮ−Ｈ結合の間で起こる反応を遷移金属触媒の存在下で行い，少な くとも２つのＳｉ−Ｎ結合を有する最初のシラザン生成物を製造すること。 ２．前記反応を，前記最初のシラザン生成物が次の反応を受けて他の生成物を与 えるような条件下で行う，請求の範囲第１項に記載の方法。 ３．前記最初の反応生成物が，（ａ）型または（ｂ）型，あるいはその両方の反 応の結果であり，前記次の反応が（ａ）型または（ｂ）型，あるいはその両方で ある，請求の範囲第２項に記載の方法。 ４．前記（ａ）型反応において，前記開裂生成物の反応により生じる前記最初の シラザン生成物が，第２のこのような開裂生成物，あるいはＳｉ−Ｈ結合，Ｎ− Ｈ結合，またはその両方を含む化合物との反応に供される，請求の範囲第３項に 記載の方法。 ５．Ｍ−Ｈ結合を有する化合物が，前記（ａ）型反応の開裂生成物，または前記 （ｂ）型反応の反応物のいずれか，あるいはその両方と反応し，ここでＭがＢ， Ａｌ，Ｇａ，Ｉｎ，Ｇｅ，Ｐｂ，ＳｎまたはＳである，請求の範囲第３項に記載 の方法。 ６．前記遷移金属触媒が，均一触媒，不均一触媒，またはこれらの混合物である ，請求の範囲第３項に記載の方法。 ７．前記遷移金属触媒がパラジウム触媒である，請求の範囲第３項に記載の方法 。 ８．前記反応温度が約−７８℃と約２５０℃の間である，請求の範囲第１項また は第２項に記載の方法。 ９．前記製造されたシラザンが，加工しやすいプレセラミックポリマー組成物で あって，該ポリマー組成物が約１０，０００Ｄより大きなＭｎ，約１６，０００ Ｄより大きなＭｗ，約４０，０００Ｄより大きなＭｚ，分子量が約５０，０００ Ｄより大きいポリシラザン種のいずれか，またはその組み合わせを有する，請求 の範囲第３項に記載の方法。 １０．プレセラミックポリマーとして適当なシラザンおよびシロキサザンを調製 する方法であって，該方法は以下の工程を包含する： （ａ）分子内に構造−Ｒ′２Ｓｉ−Ａ−を有する線状，分枝状または環状の出発 物質を与えること（ここでＡは水素，ＮＲ，またはＳｉであり，該出発物質はオ リゴマー，ポリマーまたはコポリマーである）； （ｂ）遷移金属触媒を与えること；および（ｃ）該出発物質をこのような触媒の 存在下で，（１）水素または水素供与体であって，ＡがＮＲであり，該出発物質 がシラザンの一部である水素または水素供与体，あるいは（２）Ｈ−Ｘ−Ｒであ って，Ａが水素またはＳｉであるＨ−Ｘ−Ｒと反応させること；〔ここで，該Ｒ 基は，互いに独立して，水素；ボリル；低級アルキル，アルケニル，アルキニル ，アリール，低級アルキル置換アリール，環状脂肪族基を含む炭化水素基；シリ ルまたはポリシリルでなる群から選択されるが，該炭化水素基またはシリルは， 必要に応じてアミノ，ヒドロキシル，エーテル基またはエステル基，低級アルコ キシ，８〜２０個の炭素原子を有する縮環状芳香族基，または有機金属基で置換 され；該Ｒ′基は，互いに独立して，水素；アミノ；低級アルキル，アルコキシ ，アルケニル，アルキニル，アリール，低級アルキル置換アリール，環状脂肪族 基を含む炭化水素基；シリルまたはポリシリルでなる群から選択されるが，該炭 化水素基またはシリルは，必要に応じて，アミノ，ヒドロキシル，エーテル基ま たはエステル基，低級アルコキシ，８〜２０個の炭素原子を有する縮環芳香族基 ，または有機金属基で置換され，ＲおよびＲ′はオリゴマーまたはポリマー構造 の一部であることができ；そして ＸはＮＲ，ＮＲ−ＮＲ，およびＮＲ−Ｒ−ＮＲでなる群から選択される〕。 １１．前記出発物質が以下の構造を有し，ｘが０〜４の整数，ｙが０〜４の整数 ，Ｚが０〜２の整数，ｘ，ｙおよびｚの和が４．ａおよびｂが０〜２の整数，ａ およびｂの和が２，そしてｍがオリゴマー，ポリマーまたはコポリマーにおける モノマー単位数を定義する整数である，請求の範囲第１０項に記載の方法： ▲数式、化学式、表等があります▼▲数式、化学式、表等があります▼１２．前 記出発物質が式Ｒ′ａＳｉＨｂを有し，ａが０〜２の整数，ｂが２〜４の整数， そしてａおよびｂの和が４である，請求の範囲第１０項に記載の方法。 １３．前記反応が（ｂ）型であり，前記１またはそれ以上の反応物がシロキサン を含み，そして前記シラザン生成物がシロキサザンを含む，請求の範囲第３項に 記載の方法。 １４．シラザン前駆体を製造する方法であって，該方法は以下の工程を包含する ： ジハロゲノシランを与えること；および該ジハロゲノシランをモノアルキルアミ ン化合物と溶液中で約４０℃より低い温度，または約０℃より低い温度にて反応 させることであって，該温度が約４０℃より低い場合には，該アミンはＲＮＨｚ であり，Ｒはエチル，プロピル，ブチル，アリール，または低級アルキル置換ア リールであり，該温度が約０℃より低い場合には，Ｒはメチルである。 １５．前記溶液に反応物を添加することをさらに含み，このような反応物がＲ１ ＳｉＸ３，ＳｉＸ４，ＮＨ３，およびこれらの混合物でなる群から選択され，そ してＸがハロゲンであり，Ｒ１が水素，低級アルキルまたはアリールである，請 求の範囲第１４項に記載の方法。 １６．前記前駆体が実質的にＳｉ−Ｃ結合を含まない，請求の範囲第１４項に記 載の方法。 １７．ポリシラザンおよび関連化合物を熱分解し，セラミック混合物材料を与え る方法であって，該方法は以下の工程を包含する： 少なくとも１つのＳｉ−Ａ結合を有するプレセラミックポリマー組成物を与える ことであって，Ａは窒素，水素，炭素，酸素，およびケイ素でなる群から選択さ れる；および該化合物を選択された雰囲気下で，１分間あたり約０．１℃と２． ０℃の間の速度で温度を上昇させることによって熱分解すること。 １８．セラミック組成物を製造する方法であって，該方法は（ａ）シロキサザン ，（ｂ）ポリヒドリドシロキサン，（ｃ）少なくとも約１０，０００ＤのＭｎ， 少なくとも約１６，０００ＤのＭｗ，少なくとも約４０，０００ＤのＭｚ，また は分子量が少なくとも約５０，０００Ｄのポリシラザン種のいずれか，あるいは これらの組み合わせを有するポリシラザン，（ｄ）実質的にＳｉ−Ｃ結合を含ま ないシラザンであって，このようなシラザンは以下の構造を有する：▲数式、化 学式、表等があります▼ ここで，ａは０〜２の整数，ｂは２〜４の整数，ａおよびｂの和は４，そしてｍ はこの構造中のモノマー単位数を定義する整数であり，またＲ′基は，互いに独 立して，水素；アミノ；低級アルキル，アルコキシ，アルケニル，アルキニル， アリール，低級アルキル置換アリール，環状脂肪族基を含む炭化水素基；シリル またはポリシリルでなる群から選択されるが，該炭化水素基またはシリルは，必 要に応じて，アミノ，ヒドロキシル，エーテル基またはエステル基，低級アルコ キシ，８〜２０個の炭素原子を有する縮環芳香族基，または有機金属基で置換さ れている，そして（ｅ）これらの混合物，でなる群から選択されたポリマーをプ レセラミックポリマー組成物中で，選択された雰囲気下，約５００℃より高い温 度で熱分解することを包含する。 １９．前記熱分解が触媒の存在下で行われる，請求の範囲第１７項または第１８ 項に記載の方法。 ２０．前記プレセラミックポリマー組成物が，前記熱分解工程の前に，基材に対 する被覆として与えられる，請求の範囲第１７項または第１８項に記載の方法。 ２１．請求の範囲第２０項に記載の方法によって与えられる，被覆された基材。 ２２．前記シラザン生成物が微粉末またはセラミック被覆として与えられるが， 前記前駆体または前記反応物，あるいはその両方を，遷移金属触媒の存在下，気 相中，または気相中の液状懸濁物として反応させ，そしてプレセラミックシラザ ンの液状懸濁物を形成するように前記混合物を噴霧することによって行われる， 請求の範囲第３項に記載の方法。 ２３．プレセラミックポリマー組成物中に与えられたポリシラザンであって，該 ポリマー組成物は，約１０，０００Ｄより大きなＭｎ，約１６，０００Ｄより大 きなＭｗ，約４０，０００Ｄより大きなＭｚ，分子量が約５０，０００Ｄより大 きなポリシラザン種のいずれか，またはこれらの組み合わせを有する。 ２４．約２０，０００Ｄより大きなＭｎ，約３２，０００Ｄより大きなＭｗ，約 ８０，０００Ｄより大きなＨｚ，分子量が少なくとも約５００，０００Ｄのポリ シラザン種のいずれか，またはこれらの組み合わせを有する，請求の範囲第２３ 項に記載のポリシラザン。 ２５．前記反応が（ｂ）型であり，前記少なくとも１つの反応物がＳｉ−Ｎ結合 ，およびＳｉ−Ｈ結合またはＮ−Ｈ結合のいずれか，あるいはその両方を含み， そして前記最初のシラザン生成物が２つの区別し得るＳｉ−Ｎ結合種を含む，請 求の範囲第１項に記載の方法によって調製されたシラザン。 ２６．ａが０または１であり，ｂが３または４である，請求の範囲第１２項に記 載の方法によって調製されたシラザン。 ２７．以下の構造を有するシラザン： ▲数式、化学式、表等があります▼ ここで，ａは０〜２の整数，ｂは２〜４の整数，ａおよびｂの和は４，そしてｍ はこの構造中のモノマー単位数を定義する整数であり，またＲ′基は，互いに独 立して，水素；アミノ；低級アルキル，アルコキシ，アルケニル，アルキニル， アリール，低級アルキル置換アリール，環状脂肪族基を含む炭化水素基；シリル またはポリシリルでなる群から選択されるが，該炭化水素基またはシリルは，必 要に応じて，アミノ，ヒドロキシル，エーテル基またはエステル基，低級アルコ キシ，８〜２０個の炭素原子を有する縮瑛芳香族基，または有機金属基で置換さ れ，該シラザンは実質的にＳｉ−Ｃ結合を含まない。 ２８．以下の構造を含む，モノマー，オリゴマーまたはポリマーのシロキサザン ： ▲数式、化学式、表等があります▼ ここで，Ｒ′′はシリルまたは炭化水素基である。 ２９．以下の構造の一方によって与えられる，請求の範囲第２８項に記載のシロ キサザン： ▲数式、化学式、表等があります▼▲数式、化学式、表等があります▼ここで， ｘは２〜３の整数，ｙは１〜２の整数，２は０〜１の整数，ａは０〜２の整数， ｂは０〜１の整数，ａおよびｂの和は２，そしてｍはこの化合物中のモノマー単 位数を定義する整数であり，またＲ′基およびＲ′′基は，互いに独立して，水 素；低級アルキル，アルケニル，アルキニル，アリール，低級アルキル置換アリ ール，環状脂肪族基を含む炭化水素基；シリルまたはポリシリルでなる群から選 択されるが，該炭化水素基またはシリルは，必要に応じて，アミノ，ヒドロキシ ル，エーテル基またはエステル基，低級アルコキシ，８〜２０個の炭素原子を有 する縮環芳香族基，または有機金属基で置換されている。 ３０．セラミック物品を製造する方法であって，該方法は以下の工程を包含する ： ポリマー溶液または液状ポリマーを与えることであって，このようなポリマーは ，（ａ）少なくとも約１０，０００ＤのＭｎ，少なくとも約１６，０００ＤのＭ ｗ，少なくとも約４０，０００ＤのＭｚのいずれかを有するか，または分子量が 少なくとも約５０，０００Ｄの種を含むか，あるいはこれらの組み合わせを有す るポリシラザン，（ｂ）以下の構造を有するシラザン： ▲数式、化学式、表等があります▼ ここで，ａは０〜２の整数，ｂは２〜４の整数，ａおよびｂの和は４，そしてｍ はこの構造中のモノマー単位数を定義する整数であり，またＲ′基は，互いに独 立して，水素；アミノ；低級アルキル，アルコキシ，アルケニル，アルキニル， アリール，低級アルキル置換アリール，環状脂肪族基を含む炭化水素基；シリル またはポリシリルでなる群から選択されるが，該炭化水素基またはシリルは，必 要に応じて，アミノ，ヒドロキシル、エーテル基またはエステル基，低級アルコ キシ，８〜２０個の炭素原子を有する縮環芳香族基，または有機金属基で置換さ れ，このようなシラザンは実質的にＳｉ−Ｃ結合を含まない，（ｃ）シロキサザ ン，および（ｄ）これらの混合物，でなる群から選択される； 該ポリマー溶液をセラミック粉末，セラミックウィスカー，セラミック繊維，あ るいは多孔性または非多孔性セラミック物品と混合すること；および セラミック物品を形成するように該混合物を熱処理すること。 ３１．請求の範囲第２３項，第２４項，第２５項，第２６項または第２７項に記 載のシラザンを紡いだ繊維。 ３２．請求の範囲第２８項または第２９項に記載のシロキサザンを紡いだ繊維。