JPH0141370B2 - - Google Patents
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- JPH0141370B2 JPH0141370B2 JP56177183A JP17718381A JPH0141370B2 JP H0141370 B2 JPH0141370 B2 JP H0141370B2 JP 56177183 A JP56177183 A JP 56177183A JP 17718381 A JP17718381 A JP 17718381A JP H0141370 B2 JPH0141370 B2 JP H0141370B2
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- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 claims description 81
- 238000000926 separation method Methods 0.000 claims description 28
- 230000008929 regeneration Effects 0.000 claims description 24
- 238000011069 regeneration method Methods 0.000 claims description 24
- 238000010926 purge Methods 0.000 claims description 10
- 230000006835 compression Effects 0.000 claims description 7
- 238000007906 compression Methods 0.000 claims description 7
- 239000012535 impurity Substances 0.000 claims description 7
- 238000002203 pretreatment Methods 0.000 claims description 7
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 25
- 238000000034 method Methods 0.000 description 11
- CURLTUGMZLYLDI-UHFFFAOYSA-N Carbon dioxide Chemical compound O=C=O CURLTUGMZLYLDI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 10
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 229910002092 carbon dioxide Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000001569 carbon dioxide Substances 0.000 description 5
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 5
- 239000002912 waste gas Substances 0.000 description 4
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 3
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 3
- 230000001172 regenerating effect Effects 0.000 description 3
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 2
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Separation Of Gases By Adsorption (AREA)
- Separation By Low-Temperature Treatments (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、深冷分離装置の前処理方法及び装置
に係り、特に深冷空気分離装置に好適な深冷分離
装置の前処理方法及び装置に関するものである。
に係り、特に深冷空気分離装置に好適な深冷分離
装置の前処理方法及び装置に関するものである。
従来の技術を第１図により説明する。
第１図は、深冷空気分離装置に適用される従来
の前処理装置のフローシートで、深冷空気分離装
置（図示省略）で酸素、窒素を深冷分離するのに
用いられる原料空気は、圧縮器１０で約６Kg／
cm2・Ｇに昇圧され減圧再生式吸着塔（以下、吸着
塔と略）１１，１２の切換弁１３を経て吸着塔１
１，１２に供給され、原料空気に含有され、か
つ、深冷において固化する水分および炭酸ガスが
吸着除去される。精製空気は、逆止弁１４を経て
深冷空気分離装置に送給され、ここで、酸素、窒
素が深冷分離され採取される。酸素、窒素が深冷
分離された浅りの廃ガスは、深冷空気分離装置か
ら逆止弁１４を経て吸着塔１２，１１に供給され
吸着塔１２，１１の再生を行つた後に、切換弁１
３を経て大気に放出される。再生が終了した吸着
塔１２，１１を吸着が行えるように圧力約６Kg／
cm2・Ｇまで加圧する際、深冷空気分離装置へ送給
される精製空気量の変動による圧力変動を抑制す
るため圧縮器１０と切換弁１３を連結する原料空
気分配管１５の途中にクツシヨンタンク１６が設
置されている。
の前処理装置のフローシートで、深冷空気分離装
置（図示省略）で酸素、窒素を深冷分離するのに
用いられる原料空気は、圧縮器１０で約６Kg／
cm2・Ｇに昇圧され減圧再生式吸着塔（以下、吸着
塔と略）１１，１２の切換弁１３を経て吸着塔１
１，１２に供給され、原料空気に含有され、か
つ、深冷において固化する水分および炭酸ガスが
吸着除去される。精製空気は、逆止弁１４を経て
深冷空気分離装置に送給され、ここで、酸素、窒
素が深冷分離され採取される。酸素、窒素が深冷
分離された浅りの廃ガスは、深冷空気分離装置か
ら逆止弁１４を経て吸着塔１２，１１に供給され
吸着塔１２，１１の再生を行つた後に、切換弁１
３を経て大気に放出される。再生が終了した吸着
塔１２，１１を吸着が行えるように圧力約６Kg／
cm2・Ｇまで加圧する際、深冷空気分離装置へ送給
される精製空気量の変動による圧力変動を抑制す
るため圧縮器１０と切換弁１３を連結する原料空
気分配管１５の途中にクツシヨンタンク１６が設
置されている。
このような従来の前処理装置では、クツシヨン
タンクの予備加圧が、圧縮機で昇圧された圧力約
６Kg／cm2・Ｇの原料空気を用いてなされるのみ
で、吸着を完了した吸着塔の再生脱圧時に吸着塔
から排出される圧力約６Kg／cm2・Ｇのパージガ
ス、例えば、精製空気はそのまま無駄に大気に放
出されており、この分だけ原料空気量を増量させ
る必要がありランニングコストが増大するといつ
た欠点があつた。
タンクの予備加圧が、圧縮機で昇圧された圧力約
６Kg／cm2・Ｇの原料空気を用いてなされるのみ
で、吸着を完了した吸着塔の再生脱圧時に吸着塔
から排出される圧力約６Kg／cm2・Ｇのパージガ
ス、例えば、精製空気はそのまま無駄に大気に放
出されており、この分だけ原料空気量を増量させ
る必要がありランニングコストが増大するといつ
た欠点があつた。
そこで上記欠点をカバーする技術として、例え
ば、特開昭53−42182号公報に記載のような、吸
着塔の脱圧時に該吸着塔から排出されたガスをク
ツシヨンタンクに導入して加圧するといつた技術
が提案されている。
ば、特開昭53−42182号公報に記載のような、吸
着塔の脱圧時に該吸着塔から排出されたガスをク
ツシヨンタンクに導入して加圧するといつた技術
が提案されている。
しかし、このような技術では、クツシヨンタン
クの圧力は、吸着塔の圧力との均圧により一律に
決まるため、再生された吸着塔のクツシヨンタン
クからのガス導入による加圧が極めて不充分なも
のとなる。従つて、昇圧されて深冷分離装置へ送
給されるガスによる再生された吸着塔の加圧負荷
が大きくなり、これにより、昇圧されて深冷分離
装置へ送給されるガスの吸着塔の加圧工程時にお
ける圧力変動が大きく深冷分離装置での分離性能
が低下するといつた問題がある。
クの圧力は、吸着塔の圧力との均圧により一律に
決まるため、再生された吸着塔のクツシヨンタン
クからのガス導入による加圧が極めて不充分なも
のとなる。従つて、昇圧されて深冷分離装置へ送
給されるガスによる再生された吸着塔の加圧負荷
が大きくなり、これにより、昇圧されて深冷分離
装置へ送給されるガスの吸着塔の加圧工程時にお
ける圧力変動が大きく深冷分離装置での分離性能
が低下するといつた問題がある。
本発明の目的は、昇圧されて深冷分離装置へ送
給されるガスの吸着塔の加圧工程時における圧力
変動を小さく抑制することで、深冷分離装置での
分離性能の低下を抑制できる深冷分離装置の前処
理方法及び装置を提供することにある。
給されるガスの吸着塔の加圧工程時における圧力
変動を小さく抑制することで、深冷分離装置での
分離性能の低下を抑制できる深冷分離装置の前処
理方法及び装置を提供することにある。
本発明は、深冷分離装置の前処理方法を、昇圧
されて深冷分離装置へ送給されるガス中の不純物
を吸着除去すると共に切換え使用される複数の減
圧再生式吸着塔の脱圧時に該減圧再生式吸着塔か
ら排出されるパージガスをクツシヨンタンクに導
入して該クツシヨンタンクを予備加圧する工程
と、不純物を吸着除去され前記減圧再生式吸着塔
から前記深冷分離装置へ送給される精製されたガ
スを前記クツシヨンタンクに導入して該クツシヨ
ンタンクを前記減圧再生式吸着塔の一切換サイク
ル内で更に所定圧まで予備加圧する工程と、所定
圧まで予備加圧された前記クツシヨンタンクから
再生された前記減圧再生式吸着塔へガスを導入し
て該減圧再生式吸着塔を加圧する工程とを有する
方法とし、深冷分離装置の前処理装置を、昇圧さ
れて深冷分離装置へ送給されるガス中の不純物を
吸着除去すると共に切換え使用される複数の減圧
再生式吸着塔と、該減圧再生式吸着塔の切換えに
応じて作動するバランス弁が設けられた配管で前
記減圧再生式吸着塔に連結されたクツシヨンタン
クと、前記減圧再生式吸着塔から前記深冷分離装
置へ送給される精製されたガスが流通する配管よ
り分岐され前記クツシヨンタンクに連結された配
管と、該配管に設けられた常時微開の絞り弁とを
具備した装置としたもので、吸着塔の脱圧時に該
吸着塔から排出されるパージガスをクツシヨンタ
ンクに導入して該クツシヨンタンクを予備加圧す
ると共に、吸着塔から深冷分離装置へ送給される
精製されたガスをクツシヨンタンクに導入して該
クツシヨンタンクを更に所定圧まで予備加圧し、
該予備加圧完了後のクツシヨンタンクから再生さ
れた吸着塔へガスを導入して加圧することで、昇
圧されて深冷分離装置へ送給されるガスによる再
生された吸着塔の加圧負荷を軽減し該ガスの吸着
塔の加圧工程時における圧力変動を小さく抑制す
るようにしたものである。
されて深冷分離装置へ送給されるガス中の不純物
を吸着除去すると共に切換え使用される複数の減
圧再生式吸着塔の脱圧時に該減圧再生式吸着塔か
ら排出されるパージガスをクツシヨンタンクに導
入して該クツシヨンタンクを予備加圧する工程
と、不純物を吸着除去され前記減圧再生式吸着塔
から前記深冷分離装置へ送給される精製されたガ
スを前記クツシヨンタンクに導入して該クツシヨ
ンタンクを前記減圧再生式吸着塔の一切換サイク
ル内で更に所定圧まで予備加圧する工程と、所定
圧まで予備加圧された前記クツシヨンタンクから
再生された前記減圧再生式吸着塔へガスを導入し
て該減圧再生式吸着塔を加圧する工程とを有する
方法とし、深冷分離装置の前処理装置を、昇圧さ
れて深冷分離装置へ送給されるガス中の不純物を
吸着除去すると共に切換え使用される複数の減圧
再生式吸着塔と、該減圧再生式吸着塔の切換えに
応じて作動するバランス弁が設けられた配管で前
記減圧再生式吸着塔に連結されたクツシヨンタン
クと、前記減圧再生式吸着塔から前記深冷分離装
置へ送給される精製されたガスが流通する配管よ
り分岐され前記クツシヨンタンクに連結された配
管と、該配管に設けられた常時微開の絞り弁とを
具備した装置としたもので、吸着塔の脱圧時に該
吸着塔から排出されるパージガスをクツシヨンタ
ンクに導入して該クツシヨンタンクを予備加圧す
ると共に、吸着塔から深冷分離装置へ送給される
精製されたガスをクツシヨンタンクに導入して該
クツシヨンタンクを更に所定圧まで予備加圧し、
該予備加圧完了後のクツシヨンタンクから再生さ
れた吸着塔へガスを導入して加圧することで、昇
圧されて深冷分離装置へ送給されるガスによる再
生された吸着塔の加圧負荷を軽減し該ガスの吸着
塔の加圧工程時における圧力変動を小さく抑制す
るようにしたものである。
本発明の一実施例を第２図により説明する。な
お、第２図は、深冷分離装置に適用される本発明
を実施した前処理装置のフローシートで、第１図
と同一装置、部品等は同一符号で示し説明を省略
する。
お、第２図は、深冷分離装置に適用される本発明
を実施した前処理装置のフローシートで、第１図
と同一装置、部品等は同一符号で示し説明を省略
する。
第２図で吸着塔１１，１２の頂部とクツシヨン
タンク１６′は吸着塔１１，１２の切換えに応じ
て作動するバランス弁１７，１８が途中に設けら
れた配管１９で連結され、また、吸着塔１１，１
２で精製された精製空気を逆止弁１４を介して深
冷分離装置（図示省略）に送給する精製空気配管
２０から分岐し途中に絞り弁２１が設けられた配
管２２が配管１９に連結されている。
タンク１６′は吸着塔１１，１２の切換えに応じ
て作動するバランス弁１７，１８が途中に設けら
れた配管１９で連結され、また、吸着塔１１，１
２で精製された精製空気を逆止弁１４を介して深
冷分離装置（図示省略）に送給する精製空気配管
２０から分岐し途中に絞り弁２１が設けられた配
管２２が配管１９に連結されている。
運転当初、クツシヨンタンク１６′は、原料空
気に含有され、かつ、深冷において固化する水分
および炭酸ガスを吸着除去する吸着塔１１，１２
から精製空気配管２０を経て深冷空気分離装置に
送給される精製空気の一部を配管２２に分流させ
常時微開の絞り弁２１、配管１９を経てクツシヨ
ンタンク１６′に供給される精製空気により予備
加熱される。この予備加圧時間は、吸着塔の１切
換サイクルで予備加圧が完了するように絞り弁２
１の開度を調節し設定される。
気に含有され、かつ、深冷において固化する水分
および炭酸ガスを吸着除去する吸着塔１１，１２
から精製空気配管２０を経て深冷空気分離装置に
送給される精製空気の一部を配管２２に分流させ
常時微開の絞り弁２１、配管１９を経てクツシヨ
ンタンク１６′に供給される精製空気により予備
加熱される。この予備加圧時間は、吸着塔の１切
換サイクルで予備加圧が完了するように絞り弁２
１の開度を調節し設定される。
その後の運転中は、深冷空気分離装置から逆止
弁１４を経て供給される廃ガスにより再生され、
ほぼ大気圧の吸着塔１２，１１は、その後、吸着
が行えるように圧力約６Kg／cm2・Ｇまで加圧する
必要がある。そこで、吸着塔１２，１１の加圧工
程の初期に、吸着塔１２，１１と予備加圧された
クツシヨンタンク１６′間のバランス弁１８，１
７を全開し、約20秒程度で吸着塔１２，１１を圧
力約３Kg／cm2Ｇまで加圧（クツシヨンタンク１
６′の圧力が約６Kg／cm2Ｇであるため、クツシヨ
ンタンク１６′の圧力との均圧により吸着塔１２，
１１は圧力約３Kg／cm2Ｇまで加圧される）した後
に、バランス弁１８，１７を全開し切換弁１３を
作動させて圧縮器１０で圧力約６Kg／cm2・Ｇまで
昇圧された原料空気を原料空気配管１５、切換弁
１３を経て吸着塔１２，１１に供給し吸着塔１
２，１１を更に圧力約６Kg／cm2・Ｇまで加圧す
る。吸着塔１２，１１の加圧工程終了後に切換弁
１３を切換えて吸着塔１２，１１で原料空気に含
有され、かつ、深冷で固化する水分、炭酸ガスを
吸着除去する。
弁１４を経て供給される廃ガスにより再生され、
ほぼ大気圧の吸着塔１２，１１は、その後、吸着
が行えるように圧力約６Kg／cm2・Ｇまで加圧する
必要がある。そこで、吸着塔１２，１１の加圧工
程の初期に、吸着塔１２，１１と予備加圧された
クツシヨンタンク１６′間のバランス弁１８，１
７を全開し、約20秒程度で吸着塔１２，１１を圧
力約３Kg／cm2Ｇまで加圧（クツシヨンタンク１
６′の圧力が約６Kg／cm2Ｇであるため、クツシヨ
ンタンク１６′の圧力との均圧により吸着塔１２，
１１は圧力約３Kg／cm2Ｇまで加圧される）した後
に、バランス弁１８，１７を全開し切換弁１３を
作動させて圧縮器１０で圧力約６Kg／cm2・Ｇまで
昇圧された原料空気を原料空気配管１５、切換弁
１３を経て吸着塔１２，１１に供給し吸着塔１
２，１１を更に圧力約６Kg／cm2・Ｇまで加圧す
る。吸着塔１２，１１の加圧工程終了後に切換弁
１３を切換えて吸着塔１２，１１で原料空気に含
有され、かつ、深冷で固化する水分、炭酸ガスを
吸着除去する。
切換え前に原料空気に含有され、かつ、深冷で
固化する水分、炭酸ガスを吸着除去していた吸着
塔１１，１２は、切換え後、再生を行うために圧
力約６Kg／cm2・Ｇから大気圧まで脱圧されるが、
脱圧時にクツシヨンタンク１６′と吸着塔１１，
１２間のバランス弁１７，１８を全開してクツシ
ヨンタンク１６′にバランス弁１７，１８、配管
１９を経て吸着塔１１，１２から排出されるパー
ジガス、例えば、精製空気を導入しクツシヨンタ
ンク１６′を、例えば、クツシヨンタンク１６′と
吸着塔１１，１２との容量が同一の場合、圧力約
３Kg／cm2Ｇから圧力約4.5Kg／cm2Ｇに予備加圧す
る。その後、クツシヨンタンク１６′を、吸着塔
１２，１１から深冷空気分離装置へ送給される精
製された原料空気を常時微開の絞り弁２１を介し
てクツシヨンタンク１６′へ導入することで圧力
約4.5Kg／cm2Ｇから更に所定圧、この場合、約６
Kg／cm2Ｇまで予備加圧する。尚、この約６Kg／cm2
Ｇまでの予備加圧は、絞り弁２１の開度を上記の
ように調節し設定しているため、吸着塔１１，１
２の一切換えサイクル内で完了する。
固化する水分、炭酸ガスを吸着除去していた吸着
塔１１，１２は、切換え後、再生を行うために圧
力約６Kg／cm2・Ｇから大気圧まで脱圧されるが、
脱圧時にクツシヨンタンク１６′と吸着塔１１，
１２間のバランス弁１７，１８を全開してクツシ
ヨンタンク１６′にバランス弁１７，１８、配管
１９を経て吸着塔１１，１２から排出されるパー
ジガス、例えば、精製空気を導入しクツシヨンタ
ンク１６′を、例えば、クツシヨンタンク１６′と
吸着塔１１，１２との容量が同一の場合、圧力約
３Kg／cm2Ｇから圧力約4.5Kg／cm2Ｇに予備加圧す
る。その後、クツシヨンタンク１６′を、吸着塔
１２，１１から深冷空気分離装置へ送給される精
製された原料空気を常時微開の絞り弁２１を介し
てクツシヨンタンク１６′へ導入することで圧力
約4.5Kg／cm2Ｇから更に所定圧、この場合、約６
Kg／cm2Ｇまで予備加圧する。尚、この約６Kg／cm2
Ｇまでの予備加圧は、絞り弁２１の開度を上記の
ように調節し設定しているため、吸着塔１１，１
２の一切換えサイクル内で完了する。
圧力約６Kg／cm2・Ｇから大気圧まで脱圧され、
深冷空気分離装置から逆止弁１４を経て供給され
る廃ガスにより再生された吸着塔１１，１２は、
その後、前記と同様に大気圧から圧力約３Kg／cm2
Ｇ（クツシヨンタンク１６′の圧力が約６Kg／cm2Ｇ
であるため、クツシヨンタンク１６′の圧力との
均圧により吸着塔１１，１２は圧力約３Kg／cm2Ｇ
まで加圧される。）圧力約３Kg／cm2・Ｇから圧力
約６Kg／cm2・Ｇという具合に段階的に加圧され、
再び、原料空気に含有され、かつ、深冷で固化す
る水分、炭酸ガスの吸着除去に使用され、また、
吸着塔１２，１１は、前記と同様に圧力約６Kg／
cm2・Ｇから大気圧まで脱圧され、深冷空気分離装
置から逆止弁１４を経て供給される廃ガスにより
再び再生される。
深冷空気分離装置から逆止弁１４を経て供給され
る廃ガスにより再生された吸着塔１１，１２は、
その後、前記と同様に大気圧から圧力約３Kg／cm2
Ｇ（クツシヨンタンク１６′の圧力が約６Kg／cm2Ｇ
であるため、クツシヨンタンク１６′の圧力との
均圧により吸着塔１１，１２は圧力約３Kg／cm2Ｇ
まで加圧される。）圧力約３Kg／cm2・Ｇから圧力
約６Kg／cm2・Ｇという具合に段階的に加圧され、
再び、原料空気に含有され、かつ、深冷で固化す
る水分、炭酸ガスの吸着除去に使用され、また、
吸着塔１２，１１は、前記と同様に圧力約６Kg／
cm2・Ｇから大気圧まで脱圧され、深冷空気分離装
置から逆止弁１４を経て供給される廃ガスにより
再び再生される。
このように、運転当初のクツシヨンタンクの予
備加圧のみに圧縮機で昇圧され不純物を吸着除去
された精製空気を用いるだけで、その後の運転中
において吸着塔の再生脱圧時に吸着塔から排出さ
れるパージガスをバランス弁、配管を経てクツシ
ヨンタンクに導入しクツシヨンタンクを予備加圧
するようにした場合は、吸着塔から排出されるパ
ージガスを大気放出することなくクツシヨンタン
クの予備加圧に有効に利用することができる。ま
た、吸着塔の脱圧時に該吸着塔から排出されるパ
ージガスでクツシヨンタンクを予備加圧すると共
に、吸着塔から深冷空気分離装置へ送給される精
製空気によりクツシヨンタンクを更に所定圧まで
予備加圧し所定圧までの予備加圧が完了したクツ
シヨンタンクのガスを再生された吸着塔に導入し
て該吸着塔を加圧するようにしているので、昇圧
されて深冷空気分離装置へ送給される原料空気
（精製空気）による再生された吸着塔の加圧負荷
を軽減できる。従つて、これにより、昇圧されて
深冷空気分離装置へ送給される原料空気（精製空
気）の吸着塔の加圧工程時における圧力変動を小
さく抑制でき深冷空気分離装置での分離性能の低
下を抑制することができる。
備加圧のみに圧縮機で昇圧され不純物を吸着除去
された精製空気を用いるだけで、その後の運転中
において吸着塔の再生脱圧時に吸着塔から排出さ
れるパージガスをバランス弁、配管を経てクツシ
ヨンタンクに導入しクツシヨンタンクを予備加圧
するようにした場合は、吸着塔から排出されるパ
ージガスを大気放出することなくクツシヨンタン
クの予備加圧に有効に利用することができる。ま
た、吸着塔の脱圧時に該吸着塔から排出されるパ
ージガスでクツシヨンタンクを予備加圧すると共
に、吸着塔から深冷空気分離装置へ送給される精
製空気によりクツシヨンタンクを更に所定圧まで
予備加圧し所定圧までの予備加圧が完了したクツ
シヨンタンクのガスを再生された吸着塔に導入し
て該吸着塔を加圧するようにしているので、昇圧
されて深冷空気分離装置へ送給される原料空気
（精製空気）による再生された吸着塔の加圧負荷
を軽減できる。従つて、これにより、昇圧されて
深冷空気分離装置へ送給される原料空気（精製空
気）の吸着塔の加圧工程時における圧力変動を小
さく抑制でき深冷空気分離装置での分離性能の低
下を抑制することができる。
なお、本実施例の他に圧縮機と切換弁を連結す
る原料空気配管の途中に設置されたクツシヨンタ
ンクを吸着塔の再生脱圧時に吸着塔から排出され
るパージガスにより予備加圧しても良く、また、
吸着塔から深冷空気分離装置に送給される精製空
気の一部で予備加圧されたクツシヨンタンクに吸
着塔の再生脱圧時に吸着塔から排出されるパージ
ガスを導入しクツシヨンタンクを所定の圧力まで
更に加圧しても良い。
る原料空気配管の途中に設置されたクツシヨンタ
ンクを吸着塔の再生脱圧時に吸着塔から排出され
るパージガスにより予備加圧しても良く、また、
吸着塔から深冷空気分離装置に送給される精製空
気の一部で予備加圧されたクツシヨンタンクに吸
着塔の再生脱圧時に吸着塔から排出されるパージ
ガスを導入しクツシヨンタンクを所定の圧力まで
更に加圧しても良い。
以上、本発明によれば、昇圧されて深冷分離装
置へ送給されるガスの吸着塔の加圧工程時におけ
る圧力変動を小さく抑制できるので、深冷分離装
置での分離性能の低下を抑制できるという効果が
ある。
置へ送給されるガスの吸着塔の加圧工程時におけ
る圧力変動を小さく抑制できるので、深冷分離装
置での分離性能の低下を抑制できるという効果が
ある。
第１図は、従来のクツシヨンタンクの予備加圧
法を説明するもので、深冷空気分離装置に適用さ
れる従来の前処理装置のフローシート、第２図
は、本発明の一実施例を説明するもので、深冷空
気分離装置に適用される本発明を実施した前処理
装置のフローシートである。 １０……圧縮器、１１，１２……吸着塔、１３
……切替弁、１４……逆止弁、１５……原料空気
配管、１６，１６′……クツシヨンタンク、１７，
１８……バランス弁、１９，２２……配管、２０
……精製空気配管、２１……絞り弁。
法を説明するもので、深冷空気分離装置に適用さ
れる従来の前処理装置のフローシート、第２図
は、本発明の一実施例を説明するもので、深冷空
気分離装置に適用される本発明を実施した前処理
装置のフローシートである。 １０……圧縮器、１１，１２……吸着塔、１３
……切替弁、１４……逆止弁、１５……原料空気
配管、１６，１６′……クツシヨンタンク、１７，
１８……バランス弁、１９，２２……配管、２０
……精製空気配管、２１……絞り弁。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 昇圧されて深冷分離装置へ送給されるガス中
の不純物を吸着除去すると共に切替え使用される
複数の減圧再生式吸着塔の脱圧時に該減圧再生式
吸着塔から排出されるパージガスをクツシヨンタ
ンクに導入して該クツシヨンタンクを予備加圧す
る工程と、不純物を吸着除去され前記減圧再生式
吸着塔から前記深冷分離装置へ送給される精製さ
れたガスを前記クツシヨンタンクに導入して該ク
ツシヨンタンクを前記減圧再生式吸着塔の一切換
サイクル内で更に所定圧まで予備加圧する工程
と、所定圧まで予備加圧された前記クツシヨンタ
ンクから再生された前記減圧再生式吸着塔へガス
を導入して該減圧再生式吸着塔を加圧する工程と
を有することを特徴とする深冷分離装置の前処理
方法。 ２ 昇圧されて深冷分離装置へ送給されるガス中
の不純物を吸着除去すると共に切換え使用される
複数の減圧再生式吸着塔と、該減圧再生式吸着塔
の切換えに応じて作動するバランス弁が設けられ
た配管で前記減圧再生式吸着塔に連結されたクツ
シヨンタンクと、前記減圧再生式吸着塔から前記
深冷分離装置へ送給される精製されたガスが流通
する配管より分岐され前記クツシヨンタンクに連
結された配管と、該配管に設けられた常時微開の
絞り弁とを具備したことを特徴とする深冷分離装
置の前処理装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56177183A JPS5880485A (ja) | 1981-11-06 | 1981-11-06 | クツシヨンタンクの予備加圧法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56177183A JPS5880485A (ja) | 1981-11-06 | 1981-11-06 | クツシヨンタンクの予備加圧法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5880485A JPS5880485A (ja) | 1983-05-14 |
| JPH0141370B2 true JPH0141370B2 (ja) | 1989-09-05 |
Family
ID=16026626
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP56177183A Granted JPS5880485A (ja) | 1981-11-06 | 1981-11-06 | クツシヨンタンクの予備加圧法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5880485A (ja) |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4964569A (ja) * | 1972-07-26 | 1974-06-22 | ||
| JPS5342182A (en) * | 1976-08-24 | 1978-04-17 | Boc Ltd | Method of separating gas mixture |
-
1981
- 1981-11-06 JP JP56177183A patent/JPS5880485A/ja active Granted
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4964569A (ja) * | 1972-07-26 | 1974-06-22 | ||
| JPS5342182A (en) * | 1976-08-24 | 1978-04-17 | Boc Ltd | Method of separating gas mixture |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5880485A (ja) | 1983-05-14 |
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