JPH01321187A - 搬送機構 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔概　要〕 搬送機構の保持手段の改良に関し、 節単且つ容易に製作できるパッドの回転機構により、被
搬送物を所望の角度だけ回転させて搬送することが可能
な搬送機構の提供を目的とし、被搬送物を保持して搬送
する保持手段と、該保持手段を所望の角度だけ回転する
手段とを具備するよう構成する。

〔産業上の利用分野〕

本発明は、搬送機構に係り、特に搬送機構の保持手段の
改良に関するものである。

方向性を有する被搬送物、例えばフラットパッケージタ
イプの半導体装置のような被搬送物を搬送する際に、そ
の方向を任意の角度だけ回転させて搬送先の容器に収容
したい場合には、回転させずに一旦搬送し、その後手作
業等による詰め替えを行わなければならない。

このため、余分の工数が必要となり、作業効率が低下し
、また、詰め替え作業に伴う足面がり不良或いは詰め替
え作業時の静電気による不良等が発生する戊もある。

以上のような状況から、被搬送物を所望の角度だけ回転
させて搬送することが可能な搬送機構が要望されている
。

〔従来の技術〕

従来の半導体装置の試験工程における搬送機構を第３図
〜第５図により説明する。

第３図は搬送機構の配置及び被搬送物の移動方向を示す
平面図であり、第４図は搬送機構の良品収納部を示す斜
視図である。

第３図において、未検査品は供給部１１の製品収容容器
に収納されている。

未検査品は供給搬送アーム１２により供給搬送レール１
３に搬送され、供給搬送レール１３により検査を行うコ
ンタクトソケット４の側まで搬送される。

コンタクトソケット１４の側まで搬送された未検査品は
分類搬送装置１５によりコンタクトソケット１４に挿入
され、コンタクトソケット１４と接続されている図示し
ない試験装置により検査される。

この検査により良否の判定を受けた未検査品はその判定
に従って、良品は分類搬送装置１５により良品搬送レー
ル１６に搬送され、更に良品搬送アーム１７により良品
搬送レール１６から良品収納部１８の良品トレイ１８ａ
に収納される。不良品は分類搬送装置１５により不良品
搬送レール１９に搬送され、更に不良品搬送アーム２０
により不良品搬送レール１９から不良品収納部２１の不
良品トレイ２１ａに収納される。

第４図は搬送機構の良品収納部を示す斜視図で、検査の
結果良品と判定された製品は、良品搬送レール１６から
良品搬送アーム１７により良品収納部１８の良品トレイ
１８ａに収納される。

第５図は従来の搬送アームを示す側面図である。

図において、フレーム１の下部にはトレイの一列の収容
数に相当する保持手段、例えばバキュームバッド８が設
けられている。

このバキュームパッド８はパッド８ｆにより被搬送物を
真空により吸着して搬送するもので、スリーブ８ａはナ
ツト８ｂによりフレーム１に固定されており、その中を
ホース継手８ｃが上下にスライドできるようになってお
り、ホース継手８ｃの下端に設けたパッド８ｆはスリー
ブ８ａとカラー８ｅの間に設けたスプリング８ｄにより
下方に加勢されている。

被搬送物を吸着する場合には上記のスプリング８ｄの作
用により、各々のパッド８ｆが均一に被搬送物に付着し
吸着可能なようになっている。

〔発明が解決しようとする課題〕

以上説明の従来の搬送機構においては、被搬送物を吸着
するパッドがフレームに固定されており、上下にスライ
ドするのみで、回転させることができないので、被搬送
物を所望の角度だけ回転させて搬送することができない
という問題点があった。

本発明は以上のような状況から簡単且つ容易に製作でき
るパッドの回転機構により、被搬送物を所望の角度だけ
回転させて搬送することが可能な搬送機構の提供を目的
としたものである。

〔課題を解決するための手段〕

上記問題点は、被搬送物を保持して搬送する保持手段と
、該保持手段を所望の角度だけ回転する手段とを具備す
る本発明による搬送機構によって解決される。

〔作用〕

即ち本発明においては、被搬送物を保持する手段と、こ
の保持手段を所望の角度だけ回転する手段とを具備して
いるので、被搬送物の搬送に際して被搬送物を回転して
搬送を行うことが可能となる。

〔実施例〕

以下第１図〜第４図により、本発明の一実施例の半導体
装置の試験工程における搬送機構について説明する。

第３図〜第４図に示す搬送機構の配置及び被搬送物の移
動方向及び搬送機構の良品収納部は従来のものと同じで
ある。

本発明の特徴を第１図と第２図により詳細に説明する。

第１図は従来の搬送アームを改良したもので、フレーム
１にスライドレール４を設け、これに沿ってスライドす
るスライドブロック３を、フレーム１に設けたシリンダ
２によりスライドさせ、スライドブロック３と共にスラ
イドするガイドブロック５によりバキュームパッド８を
回転するものである。

第２図によりバキュームパッド８を９０°回転する場合
について説明する。

バキュームパッド８には回転リンク６が固定されており
、回転リンク６の先端に設けたピン７はガイドブロック
５の長孔と滑合するように係合されている。バキューム
パッド８の中心とピン７の中心との距離をＬとすると、
ピン７を直線距離で２Ｌだけスライドして移動すれば、
バキュームパッド８は９０°回転することになる。

従って第２図（ａ）に示す初期状態からガイドブロック
５を図示の矢印の方向に２Ｌだけ左方にスライドし、第
２図（ｂ）に示すような位置まで移動するとバキューム
パッド８が９０°回転するので、バキュームパッド８に
吸着されている半導体装置９が９０°回転する。

即ち、ガイドブロック５のスライドする距離をＬ／２と
すれば３０″、２Ｌ／２とすれば４５″、バキュームパ
ッド８を回転させることができる。

このようにガイドブロック５のスライドにより回転リン
ク６を回転させて、バキュームパッド８を回転させるこ
とができるので、半導体装置９をバキュームパッド８に
吸着させた状態で所望の角度だけ回転させながら搬送す
ることが可能となる。

〔発明の効果〕

以上の説明から明らかなように本発明によれば極めて簡
単な構造によりバキュームパッドを回転させることがで
きるから、被搬送物を任意の方向に回転させながら搬送
することが可能となるので、詰め替え作業が不要になり
、工数削減、人員削減、作業効率の向上が可能となり、
また、詰め替え作業に伴う足面がり不良或いは詰め替え
作業時の静電気による不良等の発生を防止することが可
能となる等の利点があり、著しい経済的及び、信頼性向
上の効果が期待でき工業的には極めて宵月なものである
。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明による一実施例を示す斜視図、第２図は
本発明による一実施例のバキュームパッドの回転状態を
示す平面図、 第３図は搬送機構の配置及び被搬送物の移動方向を示す
平面図、 第４図は搬送機構の良品収納部を示す斜視図、第５図は
従来の搬送アームを示す側面図、である。 図において、 ■フレーム、 ２はシリンダ、 ３はスライドブロック、 ４はスライドレール、 ５はガイドブロック、 ６は回転リンク、 ７はピン、 ８はバキュームパッド、 ８ａはスリーブ、 ８ｂはナツト、 ８ｃはホース継手、 ８ｄはスプリング、 ８ｅはカラー、 ８「はパッド、 ９は半導体装置、 １１は供給部、 １２は供給搬送アーム、 １３は供給搬送レール、 １４はコンタクトソケット、 １５は分類搬送装置、 １６は良品搬送レール、 １７は良品搬送アーム、 １８は良品収納部、 １８ａは良品トレイ、 １９は不良品搬送レール、 ２０は不良品搬送アーム、 ２１は不良品収納部、 ２１ａは不良品トレイ、 を示す。 本発明による一実施例を示す斜視図 第１図 ｆａｌ　　初期状！！！（ｂ）９ｏ°回転後の状態第２
図 毎　　　　　　＜ ５　　領 綬

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 　被搬送物を保持して搬送する保持手段と、 該保持手段を所望の角度だけ回転する手段と、を具備す
   ることを特徴とする搬送機構。