JPH01318907A - カムの検査装置 - Google Patents
カムの検査装置Info
- Publication number
- JPH01318907A JPH01318907A JP15091088A JP15091088A JPH01318907A JP H01318907 A JPH01318907 A JP H01318907A JP 15091088 A JP15091088 A JP 15091088A JP 15091088 A JP15091088 A JP 15091088A JP H01318907 A JPH01318907 A JP H01318907A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cam
- window
- image
- axis
- brightness
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000009826 distribution Methods 0.000 claims abstract description 31
- 230000007547 defect Effects 0.000 claims abstract description 9
- 238000007689 inspection Methods 0.000 claims description 19
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 claims description 6
- 238000005286 illumination Methods 0.000 claims description 4
- 238000001514 detection method Methods 0.000 abstract description 6
- 230000000007 visual effect Effects 0.000 abstract 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 13
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 239000000284 extract Substances 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Testing Of Devices, Machine Parts, Or Other Structures Thereof (AREA)
- Testing Of Engines (AREA)
- Valve-Gear Or Valve Arrangements (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、カムの検査装置に関し、更に詳しくは、カム
面の画像を得てカムの良否を検査する装置に関する。
面の画像を得てカムの良否を検査する装置に関する。
従来のカムの検査装置の一例について第８図〜第１２図
を参照して説明する。
を参照して説明する。
第８図において、カムの検査装置１１は、カムシャフト
Ｓを所定の位置、角度に保持するシャフト保持手段２と
、カムの画像を得るカメラ手段３と、カムシャフトＳの
回転方向ｒに関して前記カメラ手段３を挟むように設置
された２台の照明手段４１．４にと、前記シャフト保持
手段２およびカメラ手段３を制御してカムシャフトＳの
各カム面の検査を行う処理手段１５とからなっている。
Ｓを所定の位置、角度に保持するシャフト保持手段２と
、カムの画像を得るカメラ手段３と、カムシャフトＳの
回転方向ｒに関して前記カメラ手段３を挟むように設置
された２台の照明手段４１．４にと、前記シャフト保持
手段２およびカメラ手段３を制御してカムシャフトＳの
各カム面の検査を行う処理手段１５とからなっている。
第９図に示すように、シャフト保持手段２で力ふシャフ
トＳを回転して、検査対象のカムＩＩ＋Ｅを所定の角度
に保持し、カメラ手段３で画像を得る。
トＳを回転して、検査対象のカムＩＩ＋Ｅを所定の角度
に保持し、カメラ手段３で画像を得る。
この角度で得られる画像は、第１Ｏ図に示すようになり
、カムＩ１．Ｅ、Ｉ２のカム面が明るく、カムシャフト
Ｓの軸Ａがやや暗（、その背後は更に暗くなる。
、カムＩ１．Ｅ、Ｉ２のカム面が明るく、カムシャフト
Ｓの軸Ａがやや暗（、その背後は更に暗くなる。
このような画像が得られると、処理手段１５は、カムＩ
Ｉ、８．１２のカム面を横切る適当な軸Ｙ上の明暗分布
を検出する。その明暗分布を第１１図に示す、そして、
この明暗分布と適当な閾値αとを比較し、カム１．Ｉ
Ｅ１１２の端縁の位置ａ。
Ｉ、８．１２のカム面を横切る適当な軸Ｙ上の明暗分布
を検出する。その明暗分布を第１１図に示す、そして、
この明暗分布と適当な閾値αとを比較し、カム１．Ｉ
Ｅ１１２の端縁の位置ａ。
ｂ＋ Ｃ＋ ｄ＋ ｅ、ｆを検出する。
このように各カムＩ、、ＥＩＩ２の端縁の位置ａｗｆを
検出すると、次に、第１２図に示すように、カムＩの端
縁ａ、ｂで挟まれた領域を含む幅を持ち、予め定められ
た所定の高さを持つウィンドウＷ、を設定する。また同
様に、ウィンドウＷｂ。
検出すると、次に、第１２図に示すように、カムＩの端
縁ａ、ｂで挟まれた領域を含む幅を持ち、予め定められ
た所定の高さを持つウィンドウＷ、を設定する。また同
様に、ウィンドウＷｂ。
Ｗｃを設定する。
そして、そのウィンドウＷ＠ 、Ｗｂ 、Ｗｃ内につい
て欠陥の検査を行っている。
て欠陥の検査を行っている。
第１０図および第１２図に示すカム面の画像から分かる
ように、カム面は比較的明るい画像になるが、その中央
部に暗い部分ｄ Ｈ＋ ｄ２１ ｄ３が生じている
。この暗い部分ｄ、、ｄ２．ｄ３は、カメラ手段３に対
してカム面が正対する角度となっている部分である。
ように、カム面は比較的明るい画像になるが、その中央
部に暗い部分ｄ Ｈ＋ ｄ２１ ｄ３が生じている
。この暗い部分ｄ、、ｄ２．ｄ３は、カメラ手段３に対
してカム面が正対する角度となっている部分である。
ところが、欠陥検出の基準を明るい部分においているた
め、暗い部分での欠陥検出が適正に行われず、誤って良
否を判定してしまう問題点がある。
め、暗い部分での欠陥検出が適正に行われず、誤って良
否を判定してしまう問題点がある。
従って、本発明の目的とするところは、カム面の画像に
生じる暗い部分を含まないウィンドウを設定できるよう
にしたカムの検査装置を提供することにある。
生じる暗い部分を含まないウィンドウを設定できるよう
にしたカムの検査装置を提供することにある。
１゜
本発明のカムの検査装置は、カム面の画像を得る撮像手
段と、カム回転方向に関して前記撮像手段を挟むように
設置された２台の照明手段と、カム面の画像におけるカ
ム回転方向の軸上の明暗分布が所定レベル以上の部分に
ウィンドウを設定するウィンドウ設定手段と、ウィンド
ウ内について欠陥の検査を行う検査手段とを具備してな
ることを構成上の特徴とするものである。
段と、カム回転方向に関して前記撮像手段を挟むように
設置された２台の照明手段と、カム面の画像におけるカ
ム回転方向の軸上の明暗分布が所定レベル以上の部分に
ウィンドウを設定するウィンドウ設定手段と、ウィンド
ウ内について欠陥の検査を行う検査手段とを具備してな
ることを構成上の特徴とするものである。
（作用〕
本発明のカムの検査装置では、カム面の画像におけるカ
ムの回転方向の軸上の明暗分布が抽出され、２その明る
さが所定レベル以上である部分にだけウィンドウが設定
される。
ムの回転方向の軸上の明暗分布が抽出され、２その明る
さが所定レベル以上である部分にだけウィンドウが設定
される。
従って、カム面の画像の中央付近社主じる暗い部分がウ
ィンドウから除去され、暗い部分での欠陥の検出による
誤判定が防止される。
ィンドウから除去され、暗い部分での欠陥の検出による
誤判定が防止される。
なお、カムの角度を変えて画像を得れば、前回は暗い部
分としてウィンドウから除外されていた部分が明るい部
分となってウィンドウ内に入るので、その部分の検査を
行うことができる０通常、カムの角度を変えて複数回検
査するから、検査されない部分が生じるにとはない。
分としてウィンドウから除外されていた部分が明るい部
分となってウィンドウ内に入るので、その部分の検査を
行うことができる０通常、カムの角度を変えて複数回検
査するから、検査されない部分が生じるにとはない。
以下、図に示す実施例により本発明を更に詳しく説明す
る。ここに第１図は本発明の一実施例のカムの検査装置
の構成模式図、第２図は゛カムの画像を得る状態の説明
図、第３図は第２図に示す状態にて得られる画像の例示
図、第４図は第３図に示すＹ軸上の明暗分布図、第５図
＋ａｌは第３図に示すＸ１軸またはＸ３軸上の明暗分布
図、第５図中）は第３図に示すＸ２軸上の明暗分布図、
第６図は設定されたウィンドウと画像の例示図、第７図
１１）（ｂ）は片側ストロボ発光不良の場合の第５図（
ａ） （ｂｌ相当図である。なお、以下の実施例により
本発明が限定されるものではない。
る。ここに第１図は本発明の一実施例のカムの検査装置
の構成模式図、第２図は゛カムの画像を得る状態の説明
図、第３図は第２図に示す状態にて得られる画像の例示
図、第４図は第３図に示すＹ軸上の明暗分布図、第５図
＋ａｌは第３図に示すＸ１軸またはＸ３軸上の明暗分布
図、第５図中）は第３図に示すＸ２軸上の明暗分布図、
第６図は設定されたウィンドウと画像の例示図、第７図
１１）（ｂ）は片側ストロボ発光不良の場合の第５図（
ａ） （ｂｌ相当図である。なお、以下の実施例により
本発明が限定されるものではない。
第１図に示すカムの検査装置１は、シャフト保持手￥Ｉ
ｔ２と、カメラ手段３と、ストロボライト４ｔ、Ａｈと
、処理手段５とからなっている。
ｔ２と、カメラ手段３と、ストロボライト４ｔ、Ａｈと
、処理手段５とからなっている。
シャフト保持手段２は、カムシャフトＳを保持し、軸方
向ｌに移動すると共に、回転方向ｒに回転し、検査対象
となるカム面を所定の角度にしてカメラ手段３の視野中
に入れる。
向ｌに移動すると共に、回転方向ｒに回転し、検査対象
となるカム面を所定の角度にしてカメラ手段３の視野中
に入れる。
カメラ手段３は、例えばＣＣＤカメラであり、画像信号
を処理手段５に送出する。
を処理手段５に送出する。
ストロボライト４ｔ、４ｂは、カムシャフトＳの回転方
向ｒに関して、カメラ手段３を挟むように、上下にそれ
ぞれ設置されている。
向ｒに関して、カメラ手段３を挟むように、上下にそれ
ぞれ設置されている。
処理手ｖｌｔ５は、マイクロコンピュータを中枢とする
もので、シャフト保持手段２を駆動して、例えばカム”
ｌ＋Ｅを第２図に示す如き角度でカメラ手＆３の視野内
に入れる。ここで得られる画像は第３図に示すようにな
る。
もので、シャフト保持手段２を駆動して、例えばカム”
ｌ＋Ｅを第２図に示す如き角度でカメラ手＆３の視野内
に入れる。ここで得られる画像は第３図に示すようにな
る。
処理手段５は、カムシャフトＳの軸方向ｌの適当な軸例
えば第３図のＹ軸上の明暗分布を抽出する。その明暗分
布を第４１！ｌに示す。
えば第３図のＹ軸上の明暗分布を抽出する。その明暗分
布を第４１！ｌに示す。
次に、処理手段５は、適当な閾値αを用いて、カム！、
、Ｅ、１２の端縁の位置ａ、ｂ、ｃ、ｄ、ｅ、ｆを検出
する。
、Ｅ、１２の端縁の位置ａ、ｂ、ｃ、ｄ、ｅ、ｆを検出
する。
次に、端縁ａとｂの中央を通り、軸方向ｌに直角な方向
即ち回転方向ｒの軸Ｘ１を設定し、そのＸ１軸上の明暗
分布を抽出する。その明暗分布を第５図１Ｍ）に示す。
即ち回転方向ｒの軸Ｘ１を設定し、そのＸ１軸上の明暗
分布を抽出する。その明暗分布を第５図１Ｍ）に示す。
同様に、Ｘ２軸上の明暗分布を抽出する。その明暗分布
を第５図（ｂ）に示す。
を第５図（ｂ）に示す。
また、同様に、Ｘ３軸上の明暗分布を抽出するが、その
明暗分布は実質的にＸ１軸上の明暗分布と同じなので、
第５図１８）に示す明暗分布のようになる。
明暗分布は実質的にＸ１軸上の明暗分布と同じなので、
第５図１８）に示す明暗分布のようになる。
次に、処理手段５は、適当な閾値βによって軸Ｘ １＋
Ｘｚ ＋ ｘ２上の明暗分布から明るい部分を検出す
る。即ち、第５図ｔａ＋ではｇ−ｈ区間、ｌ−」区間が
明るい部分であり、第５図伽）ではに−１空間、ｍ−ｎ
区間が明るい部分である。
Ｘｚ ＋ ｘ２上の明暗分布から明るい部分を検出す
る。即ち、第５図ｔａ＋ではｇ−ｈ区間、ｌ−」区間が
明るい部分であり、第５図伽）ではに−１空間、ｍ−ｎ
区間が明るい部分である。
このように明るい部分が検出されると、処理手段５は、
Ｙ軸上の明暗分布から検出した端部ａ〜ｆと、ｘ、、Ｘ
２．Ｘ、軸上の明暗分布から検出した端部ｇ −ｎとに
基づいて、第６図に示すように、ウィンドウＷＩ ＋
Ｗ２ 、Ｗｚ ＊ Ｗ唾、Ｗｅ 。
Ｙ軸上の明暗分布から検出した端部ａ〜ｆと、ｘ、、Ｘ
２．Ｘ、軸上の明暗分布から検出した端部ｇ −ｎとに
基づいて、第６図に示すように、ウィンドウＷＩ ＋
Ｗ２ 、Ｗｚ ＊ Ｗ唾、Ｗｅ 。
Ｗ、を設定する。
このように設定されたウィンドウＷ、＃ＷＧは、カム面
の画像の暗い部分を除去し、明るい部分だけを取り出し
たものである。
の画像の暗い部分を除去し、明るい部分だけを取り出し
たものである。
゛ そこで、処理手８５は、好適にウィンドウＷｌ〜Ｗ
Ｇ内の欠陥の検査を行うことができるようになる。
Ｇ内の欠陥の検査を行うことができるようになる。
処理手段５は、シャフト保持手段２を駆動して、カムＩ
１ 、Ｅ＋ １２の異なる角度位置で上記と同様の
検査を行う、これにより第６図に示す状態では暗い部分
となって検査されなかったカム面も明るい部分となって
検査されるから、全てのカム面を好適に検査できること
となる。
１ 、Ｅ＋ １２の異なる角度位置で上記と同様の
検査を行う、これにより第６図に示す状態では暗い部分
となって検査されなかったカム面も明るい部分となって
検査されるから、全てのカム面を好適に検査できること
となる。
なお、ストロボライト４を又は４トのいずれかが発光不
良になると、第７図（ａｌ、 （ｂｌに示すように、Ｘ
ｌ ＊ Ｘ２＋ Ｘ３軸上の明暗分布から得られる明る
い部分が各々１つになる。他方、第５図（ａ）。
良になると、第７図（ａｌ、 （ｂｌに示すように、Ｘ
ｌ ＊ Ｘ２＋ Ｘ３軸上の明暗分布から得られる明る
い部分が各々１つになる。他方、第５図（ａ）。
（ｂｌから分かるように、ストロボライト４ｔ、４ｂが
いずれも良好であれば明るい部分は各々２つになる。従
って、明るい部分の数によって、ストロボライト４ｔ、
４にの発光不良を検知することもできるようになる。
いずれも良好であれば明るい部分は各々２つになる。従
って、明るい部分の数によって、ストロボライト４ｔ、
４にの発光不良を検知することもできるようになる。
〔発明の効果〕
本発明によれば、カム面の画像を得る撮像手段と、カム
回転方向に関して前記撮像手段を挟むように設置された
２台の照明手段と、カム面の画像におけるカム回転方向
の軸上の明暗分布が所定レベル以上の部分にウィンドウ
を設定するウィンドウ設定手段と、ウィンドウ内につい
て欠陥の検査を行う検査手段とを具備してなることを特
徴とするカムの検査装置が提供され、これによりカム面
のｌｉ像に明るい部分と暗い部分とが生じた場合に、明
るい部分だけを取り出して検査を行うことができるよう
になる。即ち、明るい部分の基準で暗い部分を検査して
欠陥検出に誤りを生じることを防止できるようになる。
回転方向に関して前記撮像手段を挟むように設置された
２台の照明手段と、カム面の画像におけるカム回転方向
の軸上の明暗分布が所定レベル以上の部分にウィンドウ
を設定するウィンドウ設定手段と、ウィンドウ内につい
て欠陥の検査を行う検査手段とを具備してなることを特
徴とするカムの検査装置が提供され、これによりカム面
のｌｉ像に明るい部分と暗い部分とが生じた場合に、明
るい部分だけを取り出して検査を行うことができるよう
になる。即ち、明るい部分の基準で暗い部分を検査して
欠陥検出に誤りを生じることを防止できるようになる。
第１図は本発明の一実施例のカムの検査装置の構成模式
図、第２図はカムの画像を得る状態の説明図、第３図は
第２図に示す状態にて得られる画像の例示図、第４図は
第３図に示すＹ軸上の明暗分布図、第５図（ａｌは第３
図に示すＸｌ軸またはＸ。 軸上の明暗分布図、第５１！Ｉ（ｂ）は第３図に示すＸ
２軸上の明暗分布図、第６図は設定さ軌たウィンドウと
画像の例示図、第７図＋ａｌ （ｂ）は片側ストロボ発
光不良の場合の第５図＋１１１ Ｃｂｌ相当図、第８図
は従来のカムの検査装置の一例の構成模式図、第９ｔ！
ｌはカムの画像を得る状態の説明図、第１０図は第９図
に示す状態で得られるカム面の画像の例示図、第１１図
は第１Ｏ図に示すＹ軸上の明暗分布図、第１２図は従来
装置で設定されたウィンドウと画像の例示図である。 〔符号の説明〕 １・・・カムの検査装置 ２・・・シャフト保持手段 ３・・・カメラ手段 ４１．４＆・・・ストロボライト ５・・・処理手段 Ｓ・・・カムシャフト ！・・・軸方向 ｒ・・・回転方向 Ｗ１〜Ｗ６・・・ウィンドウ。 出願人 ダイハツ工業株式会社
図、第２図はカムの画像を得る状態の説明図、第３図は
第２図に示す状態にて得られる画像の例示図、第４図は
第３図に示すＹ軸上の明暗分布図、第５図（ａｌは第３
図に示すＸｌ軸またはＸ。 軸上の明暗分布図、第５１！Ｉ（ｂ）は第３図に示すＸ
２軸上の明暗分布図、第６図は設定さ軌たウィンドウと
画像の例示図、第７図＋ａｌ （ｂ）は片側ストロボ発
光不良の場合の第５図＋１１１ Ｃｂｌ相当図、第８図
は従来のカムの検査装置の一例の構成模式図、第９ｔ！
ｌはカムの画像を得る状態の説明図、第１０図は第９図
に示す状態で得られるカム面の画像の例示図、第１１図
は第１Ｏ図に示すＹ軸上の明暗分布図、第１２図は従来
装置で設定されたウィンドウと画像の例示図である。 〔符号の説明〕 １・・・カムの検査装置 ２・・・シャフト保持手段 ３・・・カメラ手段 ４１．４＆・・・ストロボライト ５・・・処理手段 Ｓ・・・カムシャフト ！・・・軸方向 ｒ・・・回転方向 Ｗ１〜Ｗ６・・・ウィンドウ。 出願人 ダイハツ工業株式会社
Claims (1)
- １、カム面の画像を得る撮像手段と、カム回転方向に関
して前記撮像手段を挟むように設置された２台の照明手
段と、カム面の画像におけるカム回転方向の軸上の明暗
分布が所定レベル以上の部分にウィンドウを設定するウ
ィンドウ設定手段と、ウィンドウ内について欠陥の検査
を行う検査手段とを具備してなることを特徴とするカム
の検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63150910A JP2531750B2 (ja) | 1988-06-17 | 1988-06-17 | カムの検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63150910A JP2531750B2 (ja) | 1988-06-17 | 1988-06-17 | カムの検査装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01318907A true JPH01318907A (ja) | 1989-12-25 |
| JP2531750B2 JP2531750B2 (ja) | 1996-09-04 |
Family
ID=15507062
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63150910A Expired - Fee Related JP2531750B2 (ja) | 1988-06-17 | 1988-06-17 | カムの検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2531750B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011247242A (ja) * | 2010-05-31 | 2011-12-08 | Musashi Seimitsu Ind Co Ltd | カムシャフトのカムロブ外周面の検査方法及びその装置 |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59180413A (ja) * | 1983-03-31 | 1984-10-13 | Nok Corp | 表面欠陥検査方法 |
| JPS61230005A (ja) * | 1985-04-04 | 1986-10-14 | Bridgestone Corp | シ−ト状物体の継目検査法 |
| JPS62182453U (ja) * | 1986-05-12 | 1987-11-19 | ||
| JPS62299709A (ja) * | 1986-06-20 | 1987-12-26 | Matsushita Electric Works Ltd | 半田付外観検査方法 |
-
1988
- 1988-06-17 JP JP63150910A patent/JP2531750B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59180413A (ja) * | 1983-03-31 | 1984-10-13 | Nok Corp | 表面欠陥検査方法 |
| JPS61230005A (ja) * | 1985-04-04 | 1986-10-14 | Bridgestone Corp | シ−ト状物体の継目検査法 |
| JPS62182453U (ja) * | 1986-05-12 | 1987-11-19 | ||
| JPS62299709A (ja) * | 1986-06-20 | 1987-12-26 | Matsushita Electric Works Ltd | 半田付外観検査方法 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011247242A (ja) * | 2010-05-31 | 2011-12-08 | Musashi Seimitsu Ind Co Ltd | カムシャフトのカムロブ外周面の検査方法及びその装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2531750B2 (ja) | 1996-09-04 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US8179524B2 (en) | Hard disk inspection apparatus | |
| US6396949B1 (en) | Machine vision methods for image segmentation using multiple images | |
| JP4514007B2 (ja) | 被検体の外観形状検査方法及び装置 | |
| JP3754003B2 (ja) | 欠陥検査装置及びその方法 | |
| US5703687A (en) | Method and apparatus for inspecting the outer appearance of a spherical article | |
| US20100053790A1 (en) | Hard disk inspection apparatus and method, as well as program | |
| GB2248930A (en) | Defect inspection method and apparatus using image processing with pattern detection and identification steps | |
| CN108776147A (zh) | 一种检测回转体表面缺陷的装置及其检测方法 | |
| JPH01318907A (ja) | カムの検査装置 | |
| JPH02257044A (ja) | びん検査装置 | |
| JPH0926311A (ja) | 外観検査装置 | |
| KR100484812B1 (ko) | 이미지 센서를 이용한 표면 검사방법 및 검사장치 | |
| KR20230024646A (ko) | 이차전지 결함 검사장치 및 방법 | |
| JP3321503B2 (ja) | 電子部品の外観検査装置 | |
| JPH0979990A (ja) | 半導体装置の検査装置及びその検査方法 | |
| KR102558404B1 (ko) | 비정형적 외형을 갖는 제품의 불량을 검사하는 장치 | |
| JPH1010051A (ja) | 視覚センサを用いた塗布状態検出装置 | |
| JPH0619332B2 (ja) | カムシャフトのポンプカム面検査装置 | |
| JPS6232345A (ja) | 欠点検出装置 | |
| JPH03113352A (ja) | ゴム製品などのワークの傷検査方法 | |
| JPS636679A (ja) | ワイヤの傾き検出方法 | |
| JPH0213836A (ja) | カム表面の検査装置 | |
| JPH06201608A (ja) | 面検査方法 | |
| JP6797092B2 (ja) | 観察装置、画像解析処理制御プログラム | |
| JPH0763537A (ja) | 表面欠陥検査装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |